全自動(dòng)基板清潔機(jī)的制作方法
【專利摘要】全自動(dòng)基板清潔機(jī)，包括：底座、前后導(dǎo)軌、氣動(dòng)抓手、基板、下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒、上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥、吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)、吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)。本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：采用靜電風(fēng)棒和吹氣嘴從基板的上下側(cè)同時(shí)對(duì)基板進(jìn)行反復(fù)吹氣清潔除塵，清潔除塵更加徹底；采用吹氣壓力低壓時(shí)自動(dòng)暫停吹氣清潔除塵、吹氣壓力恢復(fù)后自動(dòng)恢復(fù)吹氣清潔除塵的清潔氣源壓力有效性管理，確保基板清潔除塵的效果；料條上下側(cè)的吹氣壓力可獨(dú)立調(diào)節(jié)，保持上下側(cè)的吹氣壓力基本平衡，有效的實(shí)現(xiàn)基板的防抖動(dòng)、防掉料和防磨損。
【專利說(shuō)明】
全自動(dòng)基板清潔機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體焊線基板及封裝基板的靜電除塵。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體封裝產(chǎn)業(yè)中，粘晶的目的乃是將一顆顆分離的晶粒放置在導(dǎo)線架(leadframe)或基板(PCB)上并用銀膠(epoxy )粘著固定。導(dǎo)線架或基板提供晶粒一個(gè)粘著的位置(晶粒座die pad)，并預(yù)設(shè)有可延伸IC晶粒電路的延伸腳或焊墊(pad)。而焊線的目的是將晶粒上的接點(diǎn)以極細(xì)的金線(18?50um)連接到導(dǎo)線架或基板上之內(nèi)引腳，從而將IC晶粒之電路訊號(hào)傳輸?shù)酵饨绾妇€時(shí)，以晶粒上之接點(diǎn)為第一焊點(diǎn)，內(nèi)接腳上之接點(diǎn)為第二焊點(diǎn)。首先將金線之端點(diǎn)燒結(jié)成小球，而后將小球壓焊在第一焊點(diǎn)上(此稱為第一焊，firstbond)。接著依設(shè)計(jì)好之路徑拉金線，最后將金線壓焊在第二焊點(diǎn)上，焊接工序完成后是對(duì)基板的封裝。
[0003]在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，基板的潔凈度對(duì)芯片的粘貼的品質(zhì)以及焊線的焊接質(zhì)量有著決定性的影響，芯片的粘貼的品質(zhì)以及焊線的焊接質(zhì)量直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的電氣特性以及電子器件的穩(wěn)定性，而基板表面在生產(chǎn)過(guò)程中或多或少都會(huì)存在著灰塵或碎肩，因此基板的清潔就顯得特別重要。
[0004]然而，傳統(tǒng)的除塵方法是操作人員用手將基板從料盒中取出，再放置在吹塵臺(tái)上進(jìn)行除塵，采用的也多為單純的吹風(fēng)除塵。采用這種方式，一方面人體上的靜電，手上的汗?jié)n、灰塵、體液，都容易影響和基板以及新品；另一方面人工的接觸不免增加了人為撞傷產(chǎn)品的幾率;再者，人工手持基板的方式，基板上多數(shù)區(qū)域因受重力而發(fā)生彎曲下垂，表面的芯片以及焊線將受到不同程度的牽拉，導(dǎo)致芯片粘貼狀態(tài)以及焊線發(fā)生變形。這種變形，恰恰發(fā)生在料條轉(zhuǎn)移過(guò)程中，因此，隨后的檢測(cè)將無(wú)法準(zhǔn)確的反映出產(chǎn)品的實(shí)際生產(chǎn)情況，對(duì)技術(shù)員以及生產(chǎn)設(shè)備的調(diào)整將產(chǎn)生錯(cuò)誤的引導(dǎo)。并且單純的吹風(fēng)除塵也無(wú)法最大可能的清除基板表面的灰塵和碎肩，靜電除塵通過(guò)靜電離子的作用使得基板表面的灰塵和碎肩附著力大幅降低，再通過(guò)吹風(fēng)最大可能的清除表面的灰塵及碎肩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是為了解決上述傳統(tǒng)除塵方法的缺陷，提供一種基板雙面同時(shí)靜電清潔除塵、實(shí)現(xiàn)清潔氣源壓力有效性管理、基板防抖動(dòng)及防掉料和防磨損的全自動(dòng)料條清潔機(jī)。
[0006]本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
本發(fā)明包括:底座、前后導(dǎo)軌、氣動(dòng)抓手、基板、下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒、上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥、吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)、吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)。
[0007]本發(fā)明的工作過(guò)程如下:
1.氣動(dòng)夾爪沿前后導(dǎo)軌左移并閉合，抓住基板后右移到達(dá)設(shè)定位置，下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒同時(shí)打開(kāi)，對(duì)基板的上下側(cè)面同時(shí)進(jìn)行吹氣清潔除塵；
2.氣動(dòng)夾爪抓住基板按設(shè)定次數(shù)在前后導(dǎo)軌上作左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)，下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒反復(fù)對(duì)基板進(jìn)行吹氣清潔除塵；
3.清潔完成后，氣動(dòng)夾爪沿前后導(dǎo)軌左移并打開(kāi)，將基板送回原處，更換新的基板繼續(xù)進(jìn)行吹氣清潔除塵，直至所有基板全部吹氣清潔除塵完成；
4.在基板吹氣清潔除塵的過(guò)程中，當(dāng)吹氣壓力低于設(shè)定值，吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)暫停對(duì)基板的吹氣清潔除塵，等待吹氣壓力恢復(fù)到設(shè)定值后，吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)恢復(fù)對(duì)基板的吹氣清潔除塵；
5.分別調(diào)整下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥和上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥，保證基板上下側(cè)的吹氣壓力基本平衡，既不會(huì)因?yàn)橄蚂o電風(fēng)棒、下吹氣嘴吹氣壓力過(guò)大造成料條抖動(dòng)，也不會(huì)因?yàn)樯响o電風(fēng)棒、上吹氣嘴吹氣壓力過(guò)大造成料條與前后導(dǎo)軌間摩擦力過(guò)大導(dǎo)致基板掉料或磨損。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
1.采用靜電風(fēng)棒和吹氣嘴從基板的上下側(cè)同時(shí)對(duì)基板進(jìn)行反復(fù)吹氣清潔除塵，清潔除塵更加徹底；
2.采用吹氣壓力低壓時(shí)自動(dòng)暫停吹氣清潔除塵、吹氣壓力恢復(fù)后自動(dòng)恢復(fù)吹氣清潔除塵的清潔氣源壓力有效性管理，確保料條清潔除塵的效果；
3.基板上下側(cè)的吹氣壓力可獨(dú)立調(diào)節(jié)，保持上下側(cè)的吹氣壓力基本平衡，有效的實(shí)現(xiàn)基板的防抖動(dòng)、防掉料和防磨損。
[0009]
【附圖說(shuō)明】
[0010]附圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖。
[0011]
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖1與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
由圖1可見(jiàn)，本發(fā)明包括:底座1、前后導(dǎo)軌2、氣動(dòng)抓手3、基板4、下靜電風(fēng)棒5、下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥6、下吹氣嘴7、上吹氣嘴8、上靜電風(fēng)棒9、上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥10、吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)11、吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)12。
[0013]本發(fā)明的工作過(guò)程如下:
1.氣動(dòng)夾爪3沿前后導(dǎo)軌2左移并閉合，抓住基板4后右移到達(dá)設(shè)定位置，下靜電風(fēng)棒5、下吹氣嘴7、上吹氣嘴8、上靜電風(fēng)棒9同時(shí)打開(kāi)，對(duì)料條4的上下側(cè)同時(shí)進(jìn)行吹氣清潔除塵；
2.氣動(dòng)夾爪3抓住基板4按設(shè)定次數(shù)在前后導(dǎo)軌2上作左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)，下靜電風(fēng)棒5、下吹氣嘴7、上吹氣嘴8、上靜電風(fēng)棒9反復(fù)對(duì)料條4進(jìn)行吹氣清潔除塵；
3.清潔完成后，氣動(dòng)夾爪3沿前后導(dǎo)軌2左移并打開(kāi)，將料條4送回原處，更換新的基板4繼續(xù)進(jìn)行吹氣清潔除塵，直至所有基板4全部吹氣清潔除塵完成；
4.設(shè)備對(duì)料條4吹氣清潔除塵的過(guò)程中，當(dāng)吹氣壓力低于設(shè)定值，吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)11發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)暫停對(duì)基板4的吹氣清潔除塵，等待吹氣壓力恢復(fù)到設(shè)定值后，吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)12發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)恢復(fù)對(duì)基板4的吹氣清潔除塵； 5.分別調(diào)整下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥6和上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥10，保證基板4上下側(cè)的吹氣壓力基本平衡，既不會(huì)因?yàn)橄蚂o電風(fēng)棒5、下吹氣嘴7吹氣壓力過(guò)大造成基板4抖動(dòng)，也不會(huì)因?yàn)樯响o電風(fēng)棒9、上吹氣嘴8吹氣壓力過(guò)大造成料條4與前后導(dǎo)軌2間摩擦力過(guò)大導(dǎo)致基板4掉料或磨損。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.全自動(dòng)基板清潔機(jī)，其特征在于: 氣動(dòng)夾爪沿前后導(dǎo)軌左移并閉合，抓住基板后右移到達(dá)設(shè)定位置，下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒同時(shí)打開(kāi)，對(duì)基板的上下側(cè)面同時(shí)進(jìn)行吹氣清潔除塵； 氣動(dòng)夾爪抓住基板按設(shè)定次數(shù)在前后導(dǎo)軌上作左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)，下靜電風(fēng)棒、下吹氣嘴、上吹氣嘴、上靜電風(fēng)棒反復(fù)對(duì)基板進(jìn)行吹氣清潔除塵； 清潔完成后，氣動(dòng)夾爪沿前后導(dǎo)軌左移并打開(kāi)，將基板送回原處，更換新的基板繼續(xù)進(jìn)行吹氣清潔除塵，直至所有基板全部吹氣清潔除塵完成； 在基板吹氣清潔除塵的過(guò)程中，當(dāng)吹氣壓力低于設(shè)定值，吹氣低壓停止壓力開(kāi)關(guān)發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)暫停對(duì)基板的吹氣清潔除塵，等待吹氣壓力恢復(fù)到設(shè)定值后，吹氣恢復(fù)壓力開(kāi)關(guān)發(fā)出信號(hào)，設(shè)備自動(dòng)恢復(fù)對(duì)基板的吹氣清潔除塵； 分別調(diào)整下吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥和上吹氣嘴壓力調(diào)節(jié)閥，保證基板上下側(cè)的吹氣壓力基本平衡。
【文檔編號(hào)】B03C3/36GK106040432SQ201610649451
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年8月10日 公開(kāi)號(hào)201610649451.7, CN 106040432 A, CN 106040432A, CN 201610649451, CN-A-106040432, CN106040432 A, CN106040432A, CN201610649451, CN201610649451.7
【發(fā)明人】盧冬青
【申請(qǐng)人】上海功源電子科技有限公司