一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法
【專利摘要】一種硅片線切割用水基切削液，由下列重量份的原料制成：環(huán)烷酸鈉2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200；本發(fā)明切削液的表面張力低，極大提高切削液對(duì)磨料的潤(rùn)濕性，提高了磨料的分散性，避免磨料團(tuán)聚結(jié)成塊對(duì)硅片帶來(lái)?yè)p壞；冷卻和潤(rùn)滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率，使硅片切割成品率達(dá)到98%，而且切割線使用壽命長(zhǎng)；對(duì)硅片無(wú)腐蝕且可在硅片表面形成保護(hù)膜，使硅片更容易被清洗。
【專利說(shuō)明】一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及切削液領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]切削液應(yīng)具備良好的冷卻性能、潤(rùn)滑性能、防銹性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀釋特點(diǎn)。目前切削液可分為兩類，油溶性切削液和水溶性切削液。一般油溶性切削液潤(rùn)滑性能好，但冷卻性能差，且含有大量有機(jī)物，污染環(huán)境。一些水溶性切削液雖然冷卻性能好，又存在潤(rùn)滑性和防銹效果差的問(wèn)題，因此研發(fā)兼具潤(rùn)滑性、冷卻性、防銹性、易清洗、無(wú)毒、無(wú)味、對(duì)人體無(wú)侵蝕、對(duì)設(shè)備不腐蝕、對(duì)環(huán)境不污染的切削液就顯得很重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法，該切削液潤(rùn)滑性好，表面張力低、提高硅片成品率。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種硅片線切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:環(huán)烷酸鈉
2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、納米氮化鋁0.1-0.2、碳酸氫銨2-3、乙醇胺1-2、羧甲基殼聚糖2-3、二乙二醇 丁醚1-2、丙二醇5-8、桃膠2-3、硅酸鈉1_2、尿素3_4、過(guò)硫酸銨1-2、水20-24 ;制備方法是將過(guò)硫酸銨溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時(shí)，即得。
[0006]所述硅片線切割用水基切削液的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、環(huán)烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合，加熱至40-50°C ;加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑，在1000-1200轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘吕^續(xù)加熱到70-80°C，攪拌10-15分鐘；加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌15-20分鐘，即得。
[0007]本發(fā)明的有益效果
[0008]本發(fā)明切削液的表面張力低，極大提高切削液對(duì)磨料的潤(rùn)濕性，提高了磨料的分散性，避免磨料團(tuán)聚結(jié)成塊對(duì)硅片帶來(lái)?yè)p壞；冷卻和潤(rùn)滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率，使硅片切割成品率達(dá)到98%，而且切割線使用壽命長(zhǎng)；對(duì)硅片無(wú)腐蝕且可在硅片表面形成保護(hù)膜，使硅片更容易被清洗。
【具體實(shí)施方式】
[0009]一種硅片線切割用水基切削液，由下列重量份(公斤)的原料制成:環(huán)烷酸鈉2.5、壬基酚聚氧乙烯醚2.5、油酸二乙醇胺1.5、脂肪酸甘油酯4.5、月桂醇硫酸鈉1.5、礦物油16、石油磺酸鈉2.5、油酸1.5、助劑7、水200 ;所述的助劑由下列重量份(公斤)的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯3、納米氮化鋁0.1、碳酸氫銨3、乙醇胺1、羧甲基殼聚糖2、二乙二醇丁醚1、丙二醇8、桃膠3、硅酸鈉1、尿素4、過(guò)硫酸銨2、水20 ;制備方法是將過(guò)硫酸銨溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時(shí)，即得。
[0010]所述硅片線切割用水基切削液的制備方法，包括以下步驟:將水、環(huán)烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合，加熱至45°C ;加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑，在1100轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘吕^續(xù)加熱到75°C，攪拌13分鐘；加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌18分鐘，即得。
[0011]該實(shí)施例得到的硅片線切割用水基切削液試驗(yàn)數(shù)據(jù)如下:
[0012]
【權(quán)利要求】
1.一種硅片線切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:環(huán)烷酸鈉2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、納米氮化鋁0.1-0.2、碳酸氫銨2-3、乙醇胺1-2、羧甲基殼聚糖2-3、二乙二醇丁醚1-2、丙二醇5-8、桃膠2-3、硅酸鈉1_2、尿素3_4、過(guò)硫酸銨1-2、水20-24 ;制備方法是將過(guò)硫酸銨溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時(shí)，即得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片線切割用水基切削液的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、環(huán)烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合，加熱至40-50°C ；加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑，在1000-1200轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘吕^續(xù)加熱到70-80°C，攪拌10-15分鐘； 加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌15-20分鐘，即得。
【文檔編號(hào)】C10N30/06GK103725390SQ201310653501
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】張萬(wàn)寶 申請(qǐng)人:當(dāng)涂縣金龍機(jī)械廠