一種單晶硅切削液及其制備方法
【專利摘要】一種單晶硅切削液，由下列重量份的原料制成：煤油20-24、二乙二醇10-12、甘油5-8、三乙醇胺1-2、硫酸鈷1-2、烏洛托品1-2、OP-101-2、氯化石蠟2-3、草酸2-4、四氟化鋯2-3、月桂酸鈉1-2、助劑6-8、水200；本發(fā)明切削液通過使用甘油、氯化石蠟以及溶劑和表面活性劑，使得切削液具有優(yōu)異的潤滑性、極壓抗磨性、清洗分散性，提高了切割成品率；而且該切削液對硅片腐蝕性小，能在硅片表面形成保護膜，提高了硅片的品質(zhì)，同時切削液無毒、不易燃、抗菌防腐性好、化學(xué)性能穩(wěn)定，使用時間長，適用于單晶硅等半導(dǎo)體材料的多線切割，具有攜載能力強、高懸浮等特點。
【專利說明】一種單晶硅切削液及其制備方法【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及切削液【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種單晶硅切削液及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]切削液應(yīng)具備良好的冷卻性能、潤滑性能、防銹性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀釋特點。目前切削液可分為兩類，油溶性切削液和水溶性切削液。一般油溶性切削液潤滑性能好，但冷卻性能差，且含有大量有機物，污染環(huán)境。一些水溶性切削液雖然冷卻性能好，又存在潤滑性和防銹效果差的問題，因此研發(fā)兼具潤滑性、冷卻性、防銹性、易清洗、無毒、無味、對人體無侵蝕、對設(shè)備不腐蝕、對環(huán)境不污染的切削液就顯得很重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種單晶硅切削液及其制備方法，該切削液具有攜載能力強、高懸浮、潤滑性好的特點。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種單晶硅切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:煤油20-24、二乙二醇10-12、甘油5-8、二乙醇胺1-2、硫酸鉆1-2、烏洛托品1-2、0P-101-2、氣化石臘2-3、草酸2-4、四氟化鋯2-3、月桂酸鈉1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、氮化鋁粉0.1-0.2、硼酸2-3、嗎啉1-2、硅酸鈉1-2、硅烷偶聯(lián)劑KH-5601-2、過硫酸鉀1-2、桃膠3_4、水20-24 ;制備方法是將過硫酸鉀溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時，即得。
[0006]所述單晶硅切削液的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、0P-10、月桂酸鈉混合，加熱至40-50°C ;在3000-4000轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘?，加入煤油、二乙二醇、甘油、硫酸鈷、氯化石蠟、助劑，繼續(xù)加熱到70-80°C，攪拌10-15分鐘；加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌15-25分鐘，即得。
[0007]本發(fā)明的有益效果
[0008]本發(fā)明切削液通過使用甘油、氯化石蠟以及溶劑和表面活性劑，使得切削液具有優(yōu)異的潤滑性、極壓抗磨性、清洗分散性，提高了切割成品率；而且該切削液對硅片腐蝕性小，能在硅片表面形成保護膜，提高了硅片的品質(zhì)，同時切削液無毒、不易燃、抗菌防腐性好、化學(xué)性能穩(wěn)定，使用時間長，適用于單晶硅等半導(dǎo)體材料的多線切割，具有攜載能力強、聞懸浮等特點。
【具體實施方式】
[0009]一種單晶硅切削液，由下列重量份(公斤)的原料制成:煤油22、二乙二醇11、甘油
6、三乙醇胺1.5、硫酸鈷1.5、烏洛托品1.5、0P-101.5、氯化石蠟2.5、草酸3、四氟化鋯2.5、月桂酸鈉1.5、助劑7、水200 ;所述的助劑由下列重量份(公斤)的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2、氮化鋁粉0.1、硼酸2、嗎啉1、硅酸鈉2、硅烷偶聯(lián)劑KH-5601、過硫酸鉀1、桃膠3、水20 ;制備方法是將過硫酸鉀溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時，即得。
[0010]所述單晶硅切削液的制備方法，包括以下步驟:將水、0P-10、月桂酸鈉混合，加熱至45°C ;在3500轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘?，加入煤油、二乙二醇、甘油、硫酸鈷、氯化石蠟、助劑，繼續(xù)加熱到75°C，攪拌13分鐘；加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌20分鐘，即得。
[0011]將該實施例得到的單晶硅切削液與商品SiC磨料混合(切削液:SiC=l:1)，進行單晶硅8英 寸的切割，當(dāng)批次共處理硅片4000片，切割成品率97.5%。
【權(quán)利要求】
1.一種單晶硅切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:煤油20-24、二乙二醇10-12、甘油5-8、二乙醇胺1-2、硫酸鉆1-2、烏洛托品1-2、OP-1O 1-2、氣化石臘2-3、草酸2-4、四氟化鋯2-3、月桂酸鈉1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、氮化鋁粉0.1-0.2、硼酸2-3、嗎啉1-2、硅酸鈉1-2、硅烷偶聯(lián)劑KH-560 1-2、過硫酸鉀1-2、桃膠3-4、水20-24 ;制備方法是將過硫酸鉀溶于水后，再加入其它剩余物料，攪拌10-15分鐘，加熱至70-80°C，攪拌反應(yīng)1-2小時，即得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述單晶硅切削液的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、0P-10、月桂酸鈉混合，加熱至40-50°C ;在3000-4000轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢柘?，加入煤油、二乙二醇、甘油、硫酸鈷、氯化石蠟、助劑，繼續(xù)加熱到70-80°C，攪拌10-15分鐘；加入其他剩余成分，繼續(xù)攪拌15- 25分鐘，即得。
【文檔編號】C10N30/04GK103710122SQ201310654129
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月5日
【發(fā)明者】章功國, 王涇文, 段宗銀, 李純金, 陳超, 王淑妍, 張少伍, 王曉芬, 謝勇 申請人:馬鞍山市恒毅機械制造有限公司