技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種新型單晶硅切割廢砂漿再利用生產(chǎn)工藝,在回收廢砂漿中硅片切割液的同時,也對其中的碳化硅微粉和單晶硅固體進行了回收利用,回收率高?;厥盏墓杵懈钜壕哂信c新切割液相同的表面活性、懸浮力和攜帶力,該生產(chǎn)工藝流程簡便,建設(shè)運行成本較低,管理簡單,能有效回收處理單晶硅切割廢砂漿。
技術(shù)研發(fā)人員:任磊
受保護的技術(shù)使用者:合肥耀貝軟件開發(fā)有限公司
文檔號碼:201610676921
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.17
技術(shù)公布日:2017.01.04