一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法；其特征在于采用微波和離心結(jié)合使用的辦法，避免使用酸堿等容易造成環(huán)境的試劑，回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅，該回收方法顯著降低污水的污染程度，利于環(huán)境保護。
【專利說明】
一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法
技術(shù)領(lǐng)域
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[0001]本發(fā)明涉及一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法，采用微波和離心結(jié)合使用的方式，避免使用酸或者堿。所屬領(lǐng)域為資源綜合利用的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
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[0002]太陽能、電子行業(yè)中硅片的切割或磨削加工采用多線切割原理。市場上的硅切割液多為聚乙二醇型，其廢漿的成分主要是聚乙二醇、碳化硅和硅粉。如果直接廢棄硅片切割廢砂漿，不但污染環(huán)境，而且造成碳化硅和聚乙二醇切割液等成分的浪費，增加生產(chǎn)成本，因此，將硅片切割廢砂漿中的碳化硅和聚乙二醇切割液進行回收利用，能夠獲得很大的環(huán)保效益和企業(yè)效益。
[0003]已有的專利發(fā)明方法雖然能夠從硅片切割廢砂漿中回收聚乙二醇切割液，但是由于采用酸、堿反應(yīng)清洗，不但在回收過程中產(chǎn)生大量對環(huán)境污染程度較重的污水，不利于環(huán)境保護，而且對回收產(chǎn)品的性能有不利的影響，不利于應(yīng)用。
[0004]微波和離心方法結(jié)合使用回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇，目前尚沒有報道。本發(fā)明采用微波和離心方法結(jié)合，避免使用酸或者堿，使用能夠非常方便的回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅。該法目前無人報道。
【發(fā)明內(nèi)容】
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[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法；其特征在于采用微波和離心結(jié)合使用的辦法，避免使用酸堿等容易造成環(huán)境的試劑，回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅，該回收方法顯著降低污水的污染程度，利于環(huán)境保護?；厥辙k法包括以下步驟:
[0006](I)將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器25°C -90°C條件下，反應(yīng)5分鐘-2小時，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。
[0007](2)第一級水洗的溫度為25°C _75°C，所述第一級水洗的時間在15min以上；第二級水洗的溫度為25°C _75°C，所述第二級水洗的時間在15min以上。離心分離的轉(zhuǎn)速為1000r/min-3000r/min,離心分離的時間為 15min_60min。
[0008]發(fā)明優(yōu)點
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明將硅片切割廢砂漿與水混合后，采用微波和離心結(jié)合使用大大加速了 SiC和PEG的分離，可以通過完全水洗和離心分離回收聚乙二醇切割液而產(chǎn)生的減壓蒸餾水、薄膜蒸發(fā)水用于回收碳化硅時的第二級水洗、第一級水洗，從而大大降低污水的排放量，對環(huán)境的污染程度較輕。另外，由于本發(fā)明沒有使用化學(xué)試劑，使回收得到的碳化硅不會因化學(xué)試劑的殘留而性能不穩(wěn)定，從而提高了聚乙二醇的使用品質(zhì)。
【具體實施方式】
[0010]為了進一步理解本發(fā)明，下面結(jié)合實施例對本發(fā)明優(yōu)選實施方案進行描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，這些描述只是為進一步說明本發(fā)明的特征和優(yōu)點，而不是對本發(fā)明權(quán)利要求的限制。
[0011]實施例1:
[0012]將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器60°C條件下，反應(yīng)I小時，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。第一級水洗的溫度為605°C，所述第一級水洗的時間在15min ;第二級水洗的溫度為60°C，所述第二級水洗的時間在15min。離心分離的轉(zhuǎn)速為1000r/min，離心分離的時間為30mino
[0013]實施例2:
[0014]將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器25°C條件下，反應(yīng)2小時，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。第一級水洗的溫度為25°C，所述第一級水洗的時間在30min ;第二級水洗的溫度為25°C，所述第二級水洗的時間在30min。離心分離的轉(zhuǎn)速為2000r/min，離心分離的時間為60mino
[0015]實施例3:
[0016]將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器80°C條件下，反應(yīng)30分鐘，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。第一級水洗的溫度為60°C，所述第一級水洗的時間在25min ;第二級水洗的溫度為60°C，所述第二級水洗的時間在25min。離心分離的轉(zhuǎn)速為2500r/min，離心分離的時間為30mino
[0017]實施例4:
[0018]將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器90°C條件下，反應(yīng)5分鐘，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。第一級水洗的溫度為75°C，所述第一級水洗的時間在30min ;第二級水洗的溫度為75°C，所述第二級水洗的時間在30min。離心分離的轉(zhuǎn)速為3000r/min，離心分離的時間為15min0
【主權(quán)項】
1.一種回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅的新方法；其特征在于采用微波和離心結(jié)合使用的辦法，避免使用酸堿等容易造成環(huán)境的試劑，回收硅片切割廢砂漿中聚乙二醇和碳化硅，該回收方法顯著降低污水的污染程度，利于環(huán)境保護?；厥辙k法包括以下步驟: (1)將硅片切割廢砂漿與水混合后，運用微波反應(yīng)器25°c-90°c條件下，反應(yīng)5分鐘-2小時，之后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；將所述第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；將所述第三級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第三級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于所述第一級水洗。 (2)第一級水洗的溫度為25°C— 75°C，所述第一級水洗的時間在15min以上；第二級水洗的溫度為25°C — 75°C，所述第二級水洗的時間在15min以上。離心分離的轉(zhuǎn)速為1000r/min 一 3000r/min，離心分離的時間為 15min — 60min。
【文檔編號】C08G65/00GK105886096SQ201410841083
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年12月25日
【發(fā)明人】王大偉, 余信, 呂東蕓, 鄭鈺, 丁玉強
【申請人】江南大學(xué)