專利名稱：：層疊型壓電元件、使用它的噴射裝置和燃料噴射系統(tǒng)、層疊型壓電元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及層疊型壓電元件和噴射裝置、層疊型壓電元件的制造方法。
背景技術(shù)：
：從以往，已知具有通過內(nèi)部電極層疊多個(gè)壓電體層的層疊體，在該層疊體的側(cè)面形成一對外部電極的層疊型壓電元件。一般，層疊型壓電元件(以下有時(shí)也只稱作"元件")成為不在壓電體層的主面整體形成內(nèi)部電極，即所謂的部分電極構(gòu)造。該部分電極構(gòu)造的內(nèi)部電極每隔一層在層疊體的不同側(cè)面露出，每隔一層與一對外部電極連接。在具有部分電極構(gòu)造的元件中，如果比較印刷內(nèi)部電極的部分和未印刷內(nèi)部電極的部分，燒成時(shí)的壓電體層的收縮率不同。因此，在燒成后，在元件中會產(chǎn)生殘余應(yīng)力。為了減少殘余應(yīng)力，例如在專利文獻(xiàn)1、2中提出在未印刷內(nèi)部電極的部分形成收縮率調(diào)整層(虛設(shè)電極)，來謀求殘余應(yīng)力的減少。專利文獻(xiàn)l:特開平8-242023號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開2001-102646號公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容近年，要求在高溫、高濕的環(huán)境下確保大的移位量、且能長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動。因此，嘗試對元件施加高的電場，取得大的移位量，并且進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動。在這樣的高溫、高濕、高電場、高壓力下進(jìn)行了長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動時(shí)，如專利文獻(xiàn)1、2中記載的元件那樣，只形成虛設(shè)電極，抑制龜裂的發(fā)生的效果是不充分的。本發(fā)明者為了解決所述課題，銳意進(jìn)行研究，作為結(jié)果，在設(shè)置了內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部的層疊型壓電元件中，與由金屬構(gòu)成的內(nèi)部電極和虛設(shè)電極相接觸的壓電體層、與和它們之間的絕緣部相接觸的壓電體層在燒成時(shí)的燒結(jié)行為中產(chǎn)生差異，所以注意到該燒結(jié)行為的差異成為元件的殘余應(yīng)力的發(fā)生原因之一。本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)在通過壓電體層與絕緣部在層疊方向相對置的位置上形成比內(nèi)部電極孔隙更多的多孔質(zhì)部，從而降低元件的殘余應(yīng)力，而且發(fā)現(xiàn)還能緩和在驅(qū)動時(shí)在元件上作用的應(yīng)力的新的事實(shí)，而完成了本發(fā)明。即本發(fā)明的層疊型壓電元件具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊了多個(gè)壓電體層的層疊體，在層疊方向上相鄰的壓電體層之間并列設(shè)置所述內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部，其特征在于，在經(jīng)由所述壓電體層與所述絕緣部在層疊方向相對置的位置上形成了與所述內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部。優(yōu)選所述多孔質(zhì)部形成在經(jīng)由所述壓電體層與所述內(nèi)部電極、所述虛設(shè)電極以及所述絕緣部在層疊方向相對置的位置上。優(yōu)選所述多孔質(zhì)部分別形成在通過所述壓電體層與所述絕緣部在層疊方向兩側(cè)相對置的位置上。優(yōu)選所述層疊體在其側(cè)面具有一對外部電極，所述虛設(shè)電極與外部電極電連接，該外部電極不同于與該虛設(shè)電極位于相同的壓電體層之間的內(nèi)部電極電連接的外部電極。所述層疊體在其側(cè)面可以具有一對外部電極、且所述虛設(shè)電極與所述外部電極電絕緣。本發(fā)明的其他層疊型壓電元件具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊多個(gè)壓電體層的層疊體，其特征在于，所述層疊體在層疊體的層疊方向上相鄰的內(nèi)部電極之間，具有與該內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部，在該多孔質(zhì)部和所述相鄰的內(nèi)部電極的至少一方之間，具有與這些內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極。優(yōu)選所述虛設(shè)電極由在彼此隔離且電絕緣狀態(tài)下存在的多個(gè)虛設(shè)部構(gòu)成。優(yōu)選所述多孔質(zhì)部是由金屬構(gòu)成的金屬部和由陶瓷構(gòu)成的陶瓷部的至少一方在相鄰的2個(gè)壓電體層之間經(jīng)由空隙散布多個(gè)而形成。優(yōu)選多個(gè)所述金屬部在彼此隔離而電絕緣的狀態(tài)下散布。優(yōu)選所述層疊體具有多個(gè)所述多孔質(zhì)部，這些多孔質(zhì)部在所述層疊體的層疊方向上規(guī)則地配置。經(jīng)由所述壓電體層與所述多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極可以是同極。此外，經(jīng)由所述壓電體層與所述多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極是也可以是不同極。本發(fā)明的噴射裝置的特征在于，具有包含噴出孔的容器；和上述的任意一項(xiàng)中記載的層疊型壓電元件，構(gòu)成為通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動，從所述噴射孔噴出在所述容器內(nèi)所填充的液體。本發(fā)明的燃料噴射系統(tǒng)具有存儲高壓燃料的高壓共軌；噴射在該高壓共軌中存儲的燃料的所述噴射裝置；向所述高壓共軌供給高壓的燃料的壓力泵；和向所述噴射裝置提供驅(qū)動信號的噴射控制單元。本發(fā)明的層疊型壓電元件的制造方法用于制造層疊型壓電元件，所述層疊型壓電元件具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊了多個(gè)壓電體層的層疊體，在相鄰的2個(gè)壓電體層之間設(shè)置所述內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部，特征在于，包括在陶瓷生片的表面上，形成含有金屬成分M,的內(nèi)部電極膏層，并且為了形成所述絕緣部，在與所述內(nèi)部電極膏層隔離的狀態(tài)下，形成含有金屬成分M,的虛設(shè)電極膏層的工序；在其他陶瓷生片的表面中在與所述隔離部分對應(yīng)的位置上形成含有金屬成分M,的應(yīng)力緩和膏層的工序；制作包含相鄰地層疊了這些陶瓷生片的部分的層疊成形體的工序；和燒成該層疊成形體的工序；對于所述應(yīng)力緩和膏層，金屬成分M,相對于膏中的金屬成分總量的比率X比所述內(nèi)部電極膏層和所述虛設(shè)電極膏層更高。所述應(yīng)力緩和膏層形成在所述內(nèi)部電極膏層、所述虛設(shè)電極膏層以及與它們的所述隔離部分對應(yīng)的位置上。根據(jù)本發(fā)明的層疊型壓電元件，在經(jīng)由壓電體層與絕緣部在層疊方向相對置的位置上形成與內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部，所以，即使在與內(nèi)部電極和虛設(shè)電極相接觸的壓電體層、與和未形成內(nèi)部電極和虛設(shè)電極的絕緣部相接觸的壓電體層之間，在燒結(jié)行為中產(chǎn)生差異而產(chǎn)生殘余應(yīng)7力，多孔質(zhì)部也能吸收該殘余應(yīng)力。據(jù)此，能抑制殘余應(yīng)力引起龜裂的發(fā)生，所以能提供即使在高溫、高濕、高電場下驅(qū)動時(shí)，也具有優(yōu)異的耐久性的層疊型壓電元件。此外，多孔質(zhì)部形成在經(jīng)由壓電體層與內(nèi)部電極、虛設(shè)電極以及絕緣部在層疊方向相對置的位置上時(shí)，能進(jìn)一步提高應(yīng)力緩和效果。多孔質(zhì)部分別形成在經(jīng)由壓電體層與絕緣部在層疊方向兩側(cè)相對置的位置上時(shí)，能進(jìn)一步減少燒成時(shí)的殘余應(yīng)力，能進(jìn)一步提高元件的可靠性。層疊體在其側(cè)面具有一對外部電極，當(dāng)虛設(shè)電極電連接在與和該虛設(shè)電極位于相同的壓電體層之間的內(nèi)部電極電連接的外部電極不同的外部電極上時(shí)，在壓電體層之間，對在內(nèi)部電極和虛設(shè)電極之間存在的壓電體施加電壓，該壓電體不必要地進(jìn)行移位，但是多孔質(zhì)部能吸收由該不必要的移位而引起的應(yīng)力。據(jù)此，能緩和在內(nèi)部電極與虛設(shè)電極之間存在的壓電體附近產(chǎn)生的應(yīng)力，能更可靠地抑制龜裂的發(fā)生。層疊體在其側(cè)面具有一對外部電極，當(dāng)虛設(shè)電極與外部電極電絕緣時(shí)，能提供絕緣耐壓(絕緣耐力)優(yōu)異、在高電場下耐久性也優(yōu)異的層疊型壓電元件。根據(jù)本發(fā)明的其他層疊型壓電元件，在經(jīng)由壓電體層在層疊方向相鄰的2個(gè)內(nèi)部電極之間具有與這些內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部，在該多孔質(zhì)部和所述2個(gè)內(nèi)部電極的至少一方之間形成與這些內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極，所以即使在與內(nèi)部電極相接觸的壓電體層、與虛設(shè)電極相接觸的壓電體層、位于不形成內(nèi)部電極和虛設(shè)電極的絕緣部的附近的壓電體層之間，在燒結(jié)行為中產(chǎn)生差異而產(chǎn)生了殘余應(yīng)力，多孔質(zhì)部也能吸收該殘余應(yīng)力。據(jù)此，能抑制殘余應(yīng)力所引起的龜裂的發(fā)生，所以能提供即使在高溫、高濕、高電場下驅(qū)動時(shí)，也具有優(yōu)異的耐久性的層疊型壓電元件。虛設(shè)電極在彼此隔離并且電絕緣狀態(tài)下散布時(shí)，能減小虛設(shè)電極和壓電體層的接觸面積，所以即使在高溫、高濕、高電場下長時(shí)間進(jìn)行了驅(qū)動時(shí)，也能抑制遷移的發(fā)生。多孔質(zhì)部在與由金屬構(gòu)成的金屬部和由陶瓷構(gòu)成的陶瓷部的至少一方相鄰的2個(gè)壓電體層之間經(jīng)由空隙散布多個(gè)而形成時(shí)，對多孔質(zhì)部施加了應(yīng)力時(shí)，應(yīng)力分散到各金屬部或陶瓷部，所以能防止應(yīng)力集中在一點(diǎn)。多孔質(zhì)部具有金屬部時(shí)，金屬的楊氏模量比陶瓷更低，所以能進(jìn)一步提高減低應(yīng)力的效果。此外，陶瓷部與金屬部相比，在施加了應(yīng)力時(shí)，在陶瓷部自身容易產(chǎn)生龜裂。因此，當(dāng)多孔質(zhì)部具有陶瓷部時(shí)，在驅(qū)動時(shí)，與其他部分相比，可更有選擇地在陶瓷部自身產(chǎn)生龜裂等，所以在多孔質(zhì)部能緩和應(yīng)力。據(jù)此，能抑制在其他部分產(chǎn)生龜裂等。多孔質(zhì)部具有金屬部和陶瓷部雙方時(shí)，由金屬部引起的柔軟性與由陶瓷部的龜裂容易產(chǎn)生性引起的應(yīng)力緩和效果相輔相成，能進(jìn)一步提高壓電元件的耐久性。在多個(gè)金屬部彼此隔離而電絕緣的狀態(tài)下散布時(shí)，該多孔質(zhì)部不作為電極發(fā)揮功能，所以能減少與它相鄰的壓電體層的移位量，能進(jìn)一步提高應(yīng)力緩和效果。層疊體具有多個(gè)多孔質(zhì)部，這些多孔質(zhì)部在層疊體的層疊方向規(guī)則地配置時(shí)，在層疊體的層疊方向的幾乎全部區(qū)域能幾乎均一地取得應(yīng)力緩和效果。經(jīng)由壓電體層與多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極是同極時(shí)，與多孔質(zhì)部相鄰接的壓電體層不進(jìn)行驅(qū)動，所以能更減少應(yīng)力。經(jīng)由壓電體層與多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極是不同極時(shí)，與多孔質(zhì)部相鄰接的壓電體層進(jìn)行驅(qū)動，所以能增大移位量。根據(jù)本發(fā)明的噴射裝置，具有應(yīng)力緩和效果優(yōu)異的層疊型壓電元件，所以即使在高溫、高濕、高電場下使用時(shí)，也能發(fā)揮優(yōu)異的耐久性。圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的層疊型壓電元件的立體圖。圖2是圖1所示的層疊型壓電元件的A-A線剖視圖。圖3是放大圖1所示的層疊型壓電元件的一部分的剖視圖。圖4是表示實(shí)施方式1的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖5是表示實(shí)施方式1的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖6是用與層疊方向垂直的平面截?cái)嗔藢?shí)施方式1的層疊型壓電元件時(shí)的剖視圖。圖7是用與層疊方向垂直的平面截?cái)嗔藢?shí)施方式1的層疊型壓電元件時(shí)的剖視圖。圖8是表示實(shí)施方式1的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖9是表示實(shí)施方式1的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖10是表示實(shí)施方式1的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖11是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的層疊型壓電元件的立體圖。圖12是圖ll所示的層疊型壓電元件的A-A線剖視圖。圖13是對圖11所示的層疊型壓電元件的一部分進(jìn)行了放大的剖視圖。圖14是表示實(shí)施方式2的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖15是表示實(shí)施方式2的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖16是表示實(shí)施方式2的其他例子的剖視圖(用與層疊方向平行的平面進(jìn)行了截?cái)鄷r(shí)的剖視圖)。圖17(a)(c)是表示本發(fā)明的層疊型壓電元件的制造方法的說明圖。圖18是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的噴射裝置的剖視圖。圖19是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的燃料噴射高壓共軌系統(tǒng)的概略圖。符號的說明11—壓電體層；lla—陶瓷生片；13—內(nèi)部電極；13a—內(nèi)部電極膏層；15—虛設(shè)電極；15a—虛設(shè)電極膏層；17—多孔質(zhì)部；17a—應(yīng)力緩和膏層；19一外部電極；21—金屬部；23—絕緣部；25—空隙。具體實(shí)施例方式〈層疊型壓電元件〉以下，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的層疊型壓電元件。圖1是表示本實(shí)施方式的層疊型壓電元件的立體圖，圖2是A-A線剖視圖，圖3是對多孔質(zhì)部17的周邊進(jìn)行了放大的放大剖視圖。如圖13所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件具有經(jīng)由內(nèi)部電極13層疊了多個(gè)壓電體層11的層疊體10。在相鄰的2個(gè)壓電體層11之間設(shè)置有內(nèi)部電極13、與該內(nèi)部電極13隔離且電絕緣的虛設(shè)電極15、該虛設(shè)電極15與該內(nèi)部電極13之間的絕緣部23。在經(jīng)由壓電體層11與內(nèi)部電極13、虛設(shè)電極15以及絕緣部23在層疊方向相對置的位置上形成與內(nèi)部電極13相比空隙更多的多孔質(zhì)部17。多孔質(zhì)部17優(yōu)選是由金屬和陶瓷的至少一方構(gòu)成。多孔質(zhì)部17只由金屬構(gòu)成時(shí)，金屬的楊氏模量(Young'smodulus)低，所以能進(jìn)一步降低應(yīng)力。此外，當(dāng)多孔質(zhì)部17只由陶瓷構(gòu)成時(shí)，與壓電體牢固地接合，所以能防止龜裂的發(fā)生。此外，陶瓷部與金屬部相比，在施加了大的應(yīng)力時(shí)，更容易在陶瓷部自身產(chǎn)生龜裂。因此，當(dāng)多孔質(zhì)部具有陶瓷部時(shí)，在驅(qū)動時(shí)施加了大的應(yīng)力時(shí)，與其他部分相比，更能有選擇地使陶瓷部自身產(chǎn)生龜裂，所以在多孔質(zhì)部能緩和應(yīng)力。據(jù)此，能抑制在其他部分產(chǎn)生龜裂。此外，當(dāng)多孔質(zhì)部17由金屬和陶瓷構(gòu)成時(shí)，因?yàn)榧婢邇烧叩奶卣?，所以能防止?yīng)力的降低和龜裂的發(fā)生。如圖3所示，多孔質(zhì)部17更優(yōu)選將由金屬構(gòu)成的金屬部21a和由陶瓷構(gòu)成的陶瓷部21b的至少一方在相鄰的2個(gè)壓電體層11之間經(jīng)由空隙25散布多個(gè)而形成。即使在對多孔質(zhì)部17施加了應(yīng)力時(shí)，也能抑制局部地應(yīng)力集中，能進(jìn)一步提高可靠性。多個(gè)金屬部21a如圖3所示，在彼此隔離且電絕緣的狀態(tài)下散布而形成。如圖4所示，多孔質(zhì)部17即使形成在經(jīng)由壓電體層11、至少與絕緣部23在層疊方向相對置的位置上，也能取得本發(fā)明的效果。在該方式時(shí)，只在最小限度的必要的位置上形成多孔質(zhì)部17，所以能降低成本，并且即使在元件中配置多個(gè)多孔質(zhì)部17，也幾乎不產(chǎn)生元件強(qiáng)度的降低。如圖5所示，層疊型壓電元件也可以將多孔質(zhì)部17分別形成在經(jīng)由壓電體層11ii與絕緣部23在層疊方向兩側(cè)相對置的位置上。如圖6所示，虛設(shè)電極15也可與外部電極19電連接，其中，該外部電極19不同于電連接在位于與配置了該虛設(shè)電極15相同的壓電體層11之間的內(nèi)部電極13上的外部電極19。此外，如圖7所示，虛設(shè)電極15也可以與外部電極19電絕緣。而且，如圖8所示，虛設(shè)電極15優(yōu)選由在彼此隔離且電絕緣的狀態(tài)下散布的多個(gè)虛設(shè)部15a構(gòu)成。虛設(shè)電極彼此隔離且電絕緣，所以即使在高溫、高濕、高電場下長時(shí)間驅(qū)動，也能進(jìn)一步降低遷移(migration)的發(fā)生。如圖9所示，通過壓電體層11與多孔質(zhì)部17在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13也可是同極。此外，如圖IO所示，經(jīng)由壓電體層11與多孔質(zhì)部17在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13是也可以是不同極。在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，配置有與內(nèi)部電極13絕緣的虛設(shè)電極15，在與內(nèi)部電極13在層疊方向相鄰的位置上配置有與內(nèi)部電極13相比空隙25更多的多孔質(zhì)部17。即通過虛設(shè)電極15，降低燒成時(shí)的殘余應(yīng)力，并且由于在層疊方向相鄰的位置上配置有空隙25多的多孔質(zhì)部17，所以即使例如在高溫、高濕、高電場下驅(qū)動時(shí)，多孔質(zhì)部17也能有效地吸收應(yīng)力。因此，能抑制產(chǎn)生龜裂的發(fā)生、周圍環(huán)境中的水蒸氣的進(jìn)入、或者發(fā)生遷移，或者在內(nèi)部電極13之間導(dǎo)通的問題。虛設(shè)電極15為了使燒成時(shí)的收縮接近內(nèi)部電極13的部分，所以優(yōu)選包含與內(nèi)部電極13相同的金屬成分。希望優(yōu)選與內(nèi)部電極相同的組成。通過設(shè)為與內(nèi)部電極相同的組成，能使燒成時(shí)的收縮與內(nèi)部電極13的部分相同，所以能降低殘余應(yīng)力。為了進(jìn)一步提高應(yīng)力降低效果，優(yōu)選多孔質(zhì)部17的空隙率是1095%。通過空隙率是該范圍內(nèi)，從而能很好地維持多孔質(zhì)部17和與它相鄰的壓電體層11的接合強(qiáng)度，并且有效地降低應(yīng)力，防止龜裂的發(fā)生?？障堵矢Ｍ麅?yōu)選是4090%。多孔質(zhì)部17的空隙率，是用百分率來表示在與元件的層疊方向平行的截面中，空隙25(void)相對于多孔質(zhì)部17整體的面積(由壓電體層ll夾持的區(qū)域的面積)所占的比例。12多孔質(zhì)部17的金屬填充率理想的是555%。通過將金屬填充率設(shè)為5%以上，能抑制金屬部21a和與它相鄰的壓電體的接合強(qiáng)度過度降低。通過將金屬填充率設(shè)為55%以下，多個(gè)金屬部21a成為適度散布的狀態(tài)，所以能提高吸收應(yīng)力的效果。據(jù)此，能有效抑制龜裂的發(fā)生。更優(yōu)選金屬填充率為1040°/。。金屬填充率，是用百分率來表示在與元件的層疊方向平行的截面中，金屬部21a相對于多孔質(zhì)部17整體的面積所占的比例。金屬部21a的尺寸(層疊方向的長度)優(yōu)選是1100um，更優(yōu)選是350um。金屬部21a的尺寸為lixm以上，從而能抑制金屬部21a的厚度變得過薄、能抑制應(yīng)力緩和效果減小。此外，金屬部21a的尺寸為100ym以下，從而能抑制金屬部21a分散地吸收由于層疊體的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力的效果減小。金屬部21a的形狀可以是大致球形，也可以是其它形狀。在層疊體10的層疊方向的兩端部配置有不活性層9。不活性層9是由未配置內(nèi)部電極13的多個(gè)壓電體構(gòu)成的層，所以即使施加電壓，也不發(fā)生移位。在層疊體的對置的側(cè)面，接合有外部電極19，該外部電極19，每隔一層，與層疊的內(nèi)部電極13電連接。因此，對連接的內(nèi)部電極13能公共供給通過反壓電效應(yīng)使壓電體層11移位所必要的電壓。外部電極19，通過焊錫等與固定導(dǎo)線連接，所以能將外部電極19與外部的電壓供給部連接。在層疊體的側(cè)面形成一對外部電極19，這些外部電極19交互與多個(gè)內(nèi)部電極13電連接，虛設(shè)電極15和與電連接了內(nèi)部電極13的外部電極19不同的外部電極19電連接，其中，內(nèi)部電極13位于與該虛設(shè)電極15相同的壓電體層11之間。據(jù)此，能降低面內(nèi)的應(yīng)力的不均勻，能進(jìn)一步提高龜裂抑制效果。在層疊體的側(cè)面形成一對外部電極19，這些外部電極19交互與多個(gè)內(nèi)部電極13電連接，虛設(shè)電極15與外部電極19也可以絕緣。據(jù)此，外部電極19與虛設(shè)電極15絕緣，所以絕緣耐壓優(yōu)異，能提供即使在高電場下耐久性也優(yōu)異的層疊型壓電元件。多孔質(zhì)部17優(yōu)選存在多個(gè)、且在層疊體的層疊方向規(guī)則地配置。通過將具有應(yīng)力緩和效果的多孔質(zhì)部17在層疊體的層疊方向規(guī)則地配置，從而在層疊體的層疊方向全部區(qū)域幾乎均一地緩和應(yīng)力。優(yōu)選每隔層疊體的層疊數(shù)(全部內(nèi)部電極13的數(shù)量)的1/2以下的層疊數(shù)來配置多孔質(zhì)部17。通過將多孔質(zhì)部17的間隔設(shè)為層疊體的層疊數(shù)的l/2以下，在層疊體的側(cè)面的全部區(qū)域能均等地降低應(yīng)力。據(jù)此，即使在高溫、高濕、高電場下長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動，也能防止產(chǎn)生龜裂的發(fā)生、水蒸汽的進(jìn)入、發(fā)生遷移、在內(nèi)部電極13之間導(dǎo)通、層疊體移位不起作用的問題。更優(yōu)選多孔質(zhì)部17為層疊體的層疊數(shù)的1/8以下。雖然優(yōu)選多孔質(zhì)部17在層疊體的層疊方向規(guī)則地配置，但是層疊方向的兩端部也可以偏離層疊體的中央的規(guī)則性。對于多孔質(zhì)部17，經(jīng)由壓電體層11在層疊方向的兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13優(yōu)選是同極。這時(shí)，由于多孔質(zhì)部17不驅(qū)動，所以能進(jìn)一步提高應(yīng)力緩和效果。而另一方面，當(dāng)將取得更大的移位量作為優(yōu)先時(shí)，對于多孔質(zhì)部17，通過壓電體層11在層疊方向的兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13可以是不同極。這時(shí)，由于多孔質(zhì)部17驅(qū)動，所以能增加移位量，并能提供以小型取得大的移位量的層疊型壓電元件。此外，壓電體層11的厚度、即內(nèi)部電極13之間的距離優(yōu)選是40250um。據(jù)此，即使層疊型壓電元件施加電壓、并為了取得更大的移位量而增加層疊數(shù)，也能實(shí)現(xiàn)層疊型壓電致動器的小型化、低高度化，并且能防止壓電體層11的絕緣破壞。圖11是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的層疊型壓電元件的立體圖，圖12是它的剖視圖。圖13是放大了多孔質(zhì)部17的周邊的放大剖視圖。在本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，如圖12、圖13所示，具有與內(nèi)部電極13相比空隙更多的多孔質(zhì)部17，在該多孔質(zhì)部17和內(nèi)部電極13的至少一方之間配置有與這些內(nèi)部電極13隔離且電絕緣的虛設(shè)電極15。即由虛設(shè)電極15降低燒成時(shí)的殘余應(yīng)力，并且在層疊方向相鄰的位置上配置有空隙25多的多孔質(zhì)部17，所以即使在高溫、高濕、高電場下長時(shí)間驅(qū)動，多孔質(zhì)部17也能吸收應(yīng)力。因此，能抑制產(chǎn)生龜裂的發(fā)生、周圍環(huán)境中的水蒸氣的進(jìn)入、發(fā)生遷移、在內(nèi)部電極13之間導(dǎo)通的問題。此外，如圖13所示，多孔質(zhì)部17將由金屬構(gòu)成的金屬部21a和由陶瓷構(gòu)成的陶瓷部21b的至少一方在相鄰的2個(gè)壓電體層11之間經(jīng)由空隙25散布多個(gè)而形成。特別優(yōu)選構(gòu)多個(gè)金屬部21a在彼此隔離且電絕緣的狀態(tài)下散布而形成。在層疊體上，優(yōu)選具備多個(gè)多孔質(zhì)部17，且這些多孔質(zhì)部17在層疊體的層疊方向上規(guī)則地配置。如圖14所示，優(yōu)選虛設(shè)電極15在彼此隔離且電絕緣的狀態(tài)下散布而形成。如圖15所示，經(jīng)由壓電體層ll與多孔質(zhì)部17在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13可以是同極。此外，如圖16所示，經(jīng)由壓電體層11與多孔質(zhì)部17在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13也可以是不同極。另外，也可使虛設(shè)電極15與內(nèi)部電極13不在同一平面內(nèi)而在層疊方向上成列配置。據(jù)此，即使在內(nèi)部電極之間所夾持的壓電體層11施加的電場強(qiáng)度由于壓電體粒子的形狀或極化能力的偏差而引起在同一面內(nèi)發(fā)生面內(nèi)分布偏差時(shí)，通過具有虛設(shè)電極15,也能修正同一面內(nèi)的電場強(qiáng)度。據(jù)此，在同一面內(nèi)能成為幾乎均一的電場強(qiáng)度，所以針對為了使元件的應(yīng)力集中而配置的多孔質(zhì)部17，能抑制由于局部地電場強(qiáng)度集中而產(chǎn)生的應(yīng)力集中。其結(jié)果，將多孔質(zhì)部17作為應(yīng)力緩和層而有效地發(fā)揮作用，能將層疊型壓電元件變得耐久性極高。優(yōu)選在多孔質(zhì)部17與在層疊方向的兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13之間分別配置虛設(shè)電極15。虛設(shè)電極15配置在多孔質(zhì)部17的上下，所以能進(jìn)一步降低燒成時(shí)的殘余應(yīng)力，并能降低向多孔質(zhì)部17的應(yīng)力。針對多孔質(zhì)部17，虛設(shè)電極15不只配置在分別配置了在層疊方向的兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極13的壓電體層11之間，也可以配置在配置了全部內(nèi)部電極13的壓電體層11之間。關(guān)于其它部位和其它特性，與實(shí)施方式l中說明的同樣，所以省略說明?！粗圃旆椒ā迪旅?，說明所述的本發(fā)明的層疊型壓電元件的制造方法。本發(fā)明的制造方法包括在陶瓷生片Ha的表面形成含有金屬成分M,的內(nèi)部電極膏層13a，并且為了形成絕緣部23，在與內(nèi)部電極膏層13a隔離的狀態(tài)下，形成含有金屬成分M,的虛設(shè)電極膏層的工序；在其他陶瓷生片lla的表面中在與所述隔離部分對應(yīng)的位置上形成含有金屬成分M,的應(yīng)力緩和膏層17a的工序；將這些陶瓷生片lla相鄰地層疊來制作層疊成形體的工序；和燒成該層疊成形體的工序。應(yīng)力緩和膏層17a的金屬成分M,相對于金屬成分總量的比率X，比內(nèi)部電極膏層13a和所述虛設(shè)電極膏層更高。優(yōu)選應(yīng)力緩和膏層17a形成在內(nèi)部電極膏層13a、虛設(shè)電極膏層以及與它們的隔離部分對應(yīng)的位置上。作為壓電材料，例如能使用將鈦酸鋯酸鉛(Pb(Zr，Ti)03，以下簡稱為PZT)或者鈦酸鋇(BaTi03)作為主成分的壓電陶瓷材料等。該壓電陶瓷優(yōu)選表示其壓電特性的壓電應(yīng)變常數(shù)山3是高的。以下，以金屬成分M,為銀的情形為例，進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的制造方法。首先，將鈦酸鋯酸鉛(PZT)的粉末、由丙烯系和丁醛系等的有機(jī)高分子構(gòu)成的粘合劑、DBP(鄰苯二甲酸)、D0P(鄰苯二甲酸二辛酯)等可塑劑進(jìn)行混合而制作漿料(slurry)。接著，使用眾所周知的刮刀法(doctorblade)或壓光輥法(calenderroll)等帶式(tape)成形法，制作陶瓷生片。接著，制作內(nèi)部電極13用的金屬膏和虛設(shè)電極15用的金屬膏。這些金屬膏是在主要由銀-鈀構(gòu)成的金屬粉末中添加并混合粘合劑(binder)、可塑劑等而得到的。通過絲網(wǎng)印刷(screenprint)等，在陶瓷生片11a的單面對該金屬膏進(jìn)行印刷，而形成內(nèi)部電極膏層13a和虛設(shè)電極膏層15a。此外，制作空隙率高的多孔質(zhì)部17用的金屬膏。例如可以在以銀為主成分的金屬粉末中添加并混合粘合劑、可塑劑等來得到這些金屬膏，或者也可在由比內(nèi)部電極13、虛設(shè)電極15用的金屬膏更提高了銀的比率的銀-鈀構(gòu)成的金屬粉末中添加并混合粘合劑、可塑劑等來得到這些金屬膏。通過絲網(wǎng)印刷等，在陶瓷生片lla的單面對該金屬膏進(jìn)行印刷。這時(shí)，在與所述隔離部分對應(yīng)的位置上形成含有銀的應(yīng)力緩和膏層17a。優(yōu)選應(yīng)力緩和膏層17a形成在內(nèi)部電極膏層13a、虛設(shè)電極膏層15a以及與它們的隔離部分對應(yīng)的位置上。接著，將印刷了各金屬膏的生片，例如以成為圖2所示的構(gòu)造那樣的方式進(jìn)行層疊、干燥，從而得到燒成前的層疊成形體。圖17(a)是放大了層疊成形體的一部分的剖視圖。這時(shí)，當(dāng)更需要陶瓷層厚度時(shí)，只要在需要厚度的地方，局部層疊未印刷金屬膏的生片即可。此外，層疊成形體裁斷，成為所希望的形態(tài)。如果是絲網(wǎng)印刷，則金屬膏層的厚度能在l40um左右。接著，在給定的溫度下對層疊成形體進(jìn)行脫粘合劑處理后，在800100(TC進(jìn)行燒成。這樣，銀從銀濃度高的金屬層向合金層擴(kuò)散(參照圖17(b))，形成空隙率高的多孔質(zhì)部17，而形成比較致密的內(nèi)部電極13(圖17(c))。接著，將燒結(jié)體加工為所希望的尺寸之后，形成外部電極19。在主要由銀構(gòu)成的金屬粉末中添加并混合粘合劑、可塑劑、玻璃粉末等，來制作金屬膏，并通過絲網(wǎng)印刷等，在所述燒結(jié)體的側(cè)面對該金屬膏進(jìn)行印刷，在60080(TC下燒成，從而能形成外部電極19。另外，銀從銀濃度高的金屬膏層向銀濃度低的金屬膏層擴(kuò)散，而形成空隙率高的多孔質(zhì)部17。本發(fā)明的層疊型壓電元件的其他制造方法如下所述。通過含有形成多孔質(zhì)部17的銀-鈀等金屬成分、和在根據(jù)需要添加混合了壓電陶瓷的假燒粉末等的膏中在丙烯樹脂珠(acrylbeads)等的干燥時(shí)接合固定，在燒成時(shí)揮發(fā)的有機(jī)物，能形成具有任意的空隙率的多孔質(zhì)部17。即通過控制在所述膏中添加的丙烯樹脂珠的量，能控制該多孔質(zhì)部17的空隙率。即丙烯樹脂珠少時(shí)，空隙率減小，相反，丙烯樹脂珠多時(shí)，空隙率增大。其它與所述的方法同樣，所以省略說明。另外，這時(shí)，在構(gòu)成非活性層的生片中構(gòu)成添加銀-鈀等內(nèi)部電極13的金屬粉末，或者在層疊構(gòu)成非活性層9的生片時(shí)，在生片上印刷由構(gòu)成銀-鈀等的內(nèi)部電極13的金屬粉末以及無機(jī)化合物和粘合劑和可塑劑構(gòu)成的漿料，從而使非活性層9與其它部分的燒結(jié)時(shí)的收縮行為以及收縮率一致，所以能形成致密的層疊體。層疊體10并不局限于由所述方法所制作的層疊體，如果能制造交替層疊多個(gè)壓電體和多個(gè)內(nèi)部電極13而構(gòu)成的層疊體，就可以通過任意的方法形成。接著，使用眾所周知的平面磨床等，將取得的層疊燒成體磨削為給定的形狀。17然后，通過絲網(wǎng)印刷等，在形成外部電極19的層疊體側(cè)面印刷銀玻璃導(dǎo)電性膏，該銀玻璃導(dǎo)電性膏是在以銀為主成分的導(dǎo)電劑粉末和玻璃粉末中添加粘合劑、可塑劑和溶劑而制作的。然后，在給定的溫度下干燥，進(jìn)行烘焙，從而能形成外部電極19。在外部電極19的外面也可以形成由埋設(shè)了金屬的網(wǎng)或者網(wǎng)狀的金屬板的導(dǎo)電性粘合劑構(gòu)成的導(dǎo)電性輔助構(gòu)件。這時(shí)，即使通過在外部電極19的外面設(shè)置導(dǎo)電性輔助構(gòu)件，對致動器(actuator)施加大電流，并以高速驅(qū)動時(shí)，也能將大電流流到導(dǎo)電性輔助構(gòu)件，并能降低流到外部電極19的電流，所以能防止外部電極19局部發(fā)熱而斷線，能大幅度提高耐久性。而且，在導(dǎo)電性粘合劑中埋設(shè)有金屬的網(wǎng)或者網(wǎng)狀的金屬板，所以能防止在所述導(dǎo)電性粘合劑中產(chǎn)生龜裂。金屬的網(wǎng)是指織入金屬線，網(wǎng)狀的金屬板是指在金屬板中形成孔而成為網(wǎng)狀。然后，在外部電極19用焊錫連接導(dǎo)線后，在包含外部電極19的層疊體側(cè)面，使用浸漬(dipping)等方法，涂敷(coating)由硅膠等構(gòu)成的外裝樹脂，完成本發(fā)明的層疊型壓電元件?！磭娚溲b置〉圖18表示本發(fā)明的噴射裝置，在收納容器31的一端設(shè)置噴射孔33，在收納容器31內(nèi)收納能開關(guān)噴射孔33的針形閥35。在噴射孔33中可連通地設(shè)置燃料通路37，該燃料通路37與外部的燃料供給源連接，對燃料通路37總以恒定的高壓供給燃料。因此，形成為如果針形閥35開放噴射孔33，則將供給到燃料通路37的燃料以恒定的高壓向內(nèi)燃機(jī)的未圖示的燃料室內(nèi)噴出。此外，針形閥35的上端部直徑增大，成為與形成在收納容器31中的汽缸(cylinder)39能滑動的活塞41。而且，在收納容器31內(nèi)收納所述的壓電致動器43。在這樣的噴射裝置中，如果壓電致動器43通過施加電壓而伸長，則按壓活塞41，針形閥35閉塞噴射孔33，并停止燃料的供給。此外，如果電壓的施加停止，則壓電致動器43收縮，碟形彈簧45壓回活塞41，噴射孔33與燃料通路37連通，進(jìn)行燃料的噴射?！慈剂蠂娚湎到y(tǒng)〉圖19是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的燃料噴射系統(tǒng)的概略圖。如圖18所示，本實(shí)施方式的燃料噴射系統(tǒng)51具有儲存高壓燃料的高壓共軌(commonrail)52、噴射該高壓共軌52所儲存的燃料的多個(gè)所述噴射裝置53、向高壓共軌52供給高壓的燃料的壓力泵54、對噴射裝置53提供驅(qū)動信號的噴射控制單元55。噴射控制單元55，一邊用傳感器等感知引擎的燃燒室內(nèi)的狀況，一邊控制燃料噴射的量和時(shí)間。壓力泵54起到如下作用，g卩，從燃料容器56將燃料設(shè)為10002000大氣壓程度、優(yōu)選是15001700大氣壓程度送入高壓共軌52。在高壓共軌52中，儲存從壓力泵54送來的燃料，并適當(dāng)送入噴射裝置53。噴射裝置53如上所述，從噴射孔33向燃燒室內(nèi)將少量的燃料噴射成霧狀。實(shí)施例1按以下那樣制作由本發(fā)明的層疊型壓電元件構(gòu)成的壓電致動器。首先，制作混合了以平均粒徑0.4um的鈦酸鋯酸鉛(PbZr03-PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的假燒粉末、粘合劑、可塑劑的漿料，用刮刀法，制作成厚度120ym的壓電體11的陶瓷生片。在該陶瓷生片的單面上，將在內(nèi)部電極以及根據(jù)需要在成為虛設(shè)電極的部分，通過絲網(wǎng)印刷法，形成在銀-鈀合金(銀質(zhì)量95%-鈀5重量％)上添加了粘合劑的導(dǎo)電性膏的薄板合計(jì)層疊300片，在空隙多的多孔質(zhì)部的部分，將絲網(wǎng)印刷的圖案進(jìn)行變更來印刷并燒成銀-鈀合金(銀質(zhì)量99%-鈀1重量％)的導(dǎo)電性膏。燒成，保持在80(TC后，在950。C下燒結(jié)，而后，在90(TC下加熱保持1小時(shí)后，冷卻。這時(shí)，空隙多的多孔質(zhì)部的配置、虛設(shè)電極向外部電極的連接、多孔質(zhì)部的上下的內(nèi)部電極的極性如表1所示進(jìn)行配置。接著，在平均粒徑2um的薄片(flake)狀的銀粉末、與殘余部為平均粒徑2um的以硅為主成分的軟化點(diǎn)為64(TC的非晶質(zhì)的玻璃粉末的混合物中，相對于銀粉末和玻璃粉末的合計(jì)質(zhì)量100質(zhì)量部，添加8質(zhì)量部的粘合劑，并充分混合，來制作銀玻璃導(dǎo)電性膏，并得到這樣制作的銀玻璃導(dǎo)電性膏。然后，在層疊體13的外部電極15面上印刷所述銀玻璃膏，干燥后，在70(TC下進(jìn)行30分鐘烘焙，形成外部電極15。此后，在外部電極15上連接導(dǎo)線，在正極和負(fù)極的外部電極15上通過導(dǎo)線施加15分鐘的3kV/mra的直流電場，進(jìn)行極化處理，制作使用了圖1所示的方式的層疊型壓電元件的壓電致動器。對所取得的層疊型壓電元件施加170V的直流電壓，在全部壓電致動器中，在層疊方向上取得移位量。進(jìn)而，對該壓電致動器，在室溫下，用150Hz的頻率施加0+170V的交流電壓，進(jìn)行1乂109次連續(xù)驅(qū)動的試驗(yàn)。此外，一部分在連續(xù)驅(qū)動的試驗(yàn)后對截面進(jìn)行研磨，并用金屬顯微鏡確認(rèn)了內(nèi)部。另外，對在同一條件下制作的壓電致動器施加電壓，并測定了絕緣耐壓。結(jié)果如表l所示。[表l]試料虛設(shè)多孔多孔向與多孔酉己置多孔初始1X109分層絕緣編號電極質(zhì)層質(zhì)層內(nèi)部質(zhì)層多孔質(zhì)層的移次驅(qū)耐壓層的的有的位電極的酉己質(zhì)層的上位動后有無無置層不置的層下的c的移同的疊位內(nèi)部m)位量夕卜部置電極(u電極層m)的連接的有無1有無-—-一4024有-2有有單f有隨機(jī)第30同極4038無一層、第100層、第200層20<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>從表1可知，作為比較例的試料編號1在活性部內(nèi)未配置能緩和應(yīng)力的多孔質(zhì)部，所以在1X109次循環(huán)后，觀察到移位量的大幅度下降。此外，在外部電極附近發(fā)現(xiàn)了分層(層間剝離)。相對于此，本發(fā)明的實(shí)施例的試料編號27在連續(xù)驅(qū)動試驗(yàn)后，也未從初始的移位量觀察到極端的惡化，作為層疊型壓電元件，具有需要的有效移位量，此外，能制作沒有分層、不產(chǎn)生誤動作的具有耐久性的層疊型壓電元件。其中，試料編號4、6和7能制作具有優(yōu)異的絕緣耐壓的層疊型壓電元件。特別是試料編號6能一邊自初始確保有效的移位量，一邊在連續(xù)驅(qū)動后，元件性能也不變化，而且，還能提高絕緣耐壓，并成為耐久性極優(yōu)異的層疊型壓電元件。實(shí)施例2另外，將虛設(shè)電極在與內(nèi)部電極不同的陶瓷生片上涂敷了與內(nèi)部電極相同的導(dǎo)電性膏的生片印刷給定片數(shù)，除了虛設(shè)電極的配置、空隙多的多孔質(zhì)部的配置以及多孔質(zhì)部的上下的內(nèi)部電極的極性如表2所示地配置以外，與實(shí)施例1同樣地制作了壓電致動器。對所取得的層疊型壓電元件施加了170V的直流電壓時(shí)，在全部的壓電致動器中，在層疊方向取得了移位量。進(jìn)而，將該壓電致動器在室溫下，用150Hz的頻率施加0+170V的交流電壓，進(jìn)行了1X109次的連續(xù)驅(qū)動的試驗(yàn)。此外，一部分在連續(xù)驅(qū)動的試驗(yàn)后對截面進(jìn)行研磨，并用金屬顯微鏡確認(rèn)了內(nèi)部。結(jié)果如表2所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>12有多孔質(zhì)層的單有隨機(jī)第30層、第100層、第200層同極4039無13有多孔質(zhì)層的兩有隨機(jī)第30層、第100層、第200層同極4039無14有多孔質(zhì)層的單有規(guī)則地第75層、第150層、第225層同極4040無15有多孔質(zhì)層的單側(cè)有規(guī)則地第75層、第150層、第225層不同極4242無從表2可知，作為比較例的試料編號11在活性部內(nèi)未配置能緩和應(yīng)力的多孔質(zhì)部，所以在1XK)9次循環(huán)后，發(fā)現(xiàn)了移位量的大幅度下降。此外，在外部電極附近發(fā)現(xiàn)了分層。相對于此，本發(fā)明的實(shí)施例的試料編號1215在連續(xù)驅(qū)動試驗(yàn)后，也未從初始的移位量觀察到極端的惡化，作為層疊型壓電元件，具有需要的有效移位量，此外，能制作在內(nèi)部電極之間沒有分層、不產(chǎn)生誤動作的具有耐久性的層疊型壓電元件。2權(quán)利要求1.一種層疊型壓電元件，具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊了多個(gè)壓電體層的層疊體，在層疊方向相鄰的壓電體層之間并列設(shè)置所述內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部，其特征在于，在經(jīng)由所述壓電體層與所述絕緣部在層疊方向相對置的位置上形成了與所述內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述多孔質(zhì)部形成在經(jīng)由所述壓電體層與所述內(nèi)部電極、所述虛設(shè)電極以及所述絕緣部在層疊方向相對置的位置上。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述多孔質(zhì)部分別形成在經(jīng)由所述壓電體層與所述絕緣部在層疊方向兩側(cè)相對置的位置上。4.根據(jù)權(quán)利要求13中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體在其側(cè)面具有一對外部電極，所述虛設(shè)電極與外部電極電連接，該外部電極不同于與該虛設(shè)電極位于相同的壓電體層之間的內(nèi)部電極電連接的外部電極。5.根據(jù)權(quán)利要求13中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體在其側(cè)面具有一對外部電極，所述虛設(shè)電極與所述外部電極電絕緣。6.—種層疊型壓電元件，具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊多個(gè)壓電體層的層疊體，其特征在于，所述層疊體在層疊體的層疊方向上相鄰的內(nèi)部電極之間，具有與該內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部，在該多孔質(zhì)部和所述相鄰的內(nèi)部電極的至少一方之間，具有與這些內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極。7.根據(jù)權(quán)利要求16中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述虛設(shè)電極由在彼此隔離且電絕緣狀態(tài)下存在的多個(gè)虛設(shè)部構(gòu)成。8.根據(jù)權(quán)利要求17中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述多孔質(zhì)部是由金屬構(gòu)成的金屬部和由陶瓷構(gòu)成的陶瓷部的至少一方在相鄰的2個(gè)壓電體層之間經(jīng)由空隙散布多個(gè)而形成。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的層疊型壓電元件，其特征在于，多個(gè)所述金屬部在彼此隔離而電絕緣的狀態(tài)下散布。10.根據(jù)權(quán)利要求19中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，所述層疊體具有多個(gè)所述多孔質(zhì)部，這些多孔質(zhì)部在所述層疊體的層疊方向上規(guī)則地配置。11.根據(jù)權(quán)利要求110中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，經(jīng)由所述壓電體層與所述多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極是同極。12.根據(jù)權(quán)利要求110中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于，經(jīng)由所述壓電體層與所述多孔質(zhì)部在層疊方向兩側(cè)相鄰的內(nèi)部電極是不同極。13.—種噴射裝置，其特征在于，具有包含噴出孔的容器；和權(quán)利要求112中的任意一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，構(gòu)成為通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動，從所述噴射孔噴出在所述容器內(nèi)所填充的液體。14.一種燃料噴射系統(tǒng)，具有高壓共軌，其存儲高壓燃料；權(quán)利要求13所述的噴射裝置，其噴射在該高壓共軌中存儲的燃料；壓力泵，其向所述高壓共軌供給高壓的燃料；和噴射控制單元，其向所述噴射裝置提供驅(qū)動信號。15.—種層疊型壓電元件的制造方法，用于制造層疊型壓電元件，所述層疊型壓電元件具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊了多個(gè)壓電體層的層疊體，在相鄰的2個(gè)壓電體層之間設(shè)置所述內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部，特征在于，包括在陶瓷生片的表面上，形成含有金屬成分M,的內(nèi)部電極膏層，并且為了形成所述絕緣部，在與所述內(nèi)部電極膏層隔離的狀態(tài)下，形成含有金屬成分M,的虛設(shè)電極膏層的工序；在其他陶瓷生片的表面中在與所述隔離部分對應(yīng)的位置上形成含有金屬成分M,的應(yīng)力緩和膏層的工序；制作包含相鄰地層疊了這些陶瓷生片的部分的層疊成形體的工序；和燒成該層疊成形體的工序，對于所述應(yīng)力緩和膏層，金屬成分M,相對于膏中的金屬成分總量的比率x比所述內(nèi)部電極膏層和所述虛設(shè)電極膏層更高。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的層疊型壓電元件的制造方法，其特征在于，所述應(yīng)力緩和膏層形成在與所述內(nèi)部電極膏層、所述虛設(shè)電極膏層以及它們的所述隔離部分對應(yīng)的位置上。全文摘要本發(fā)明提供一種即使在高溫、高濕下長時(shí)間連續(xù)驅(qū)動時(shí)，也具有優(yōu)異的耐久性的層疊型壓電元件。具有經(jīng)由內(nèi)部電極層疊多個(gè)壓電體層的層疊體，在相鄰的2個(gè)壓電體層之間設(shè)置內(nèi)部電極、與該內(nèi)部電極隔離且電絕緣的虛設(shè)電極、該虛設(shè)電極與該內(nèi)部電極之間的絕緣部，在經(jīng)由壓電體層與內(nèi)部電極、虛設(shè)電極以及絕緣部在層疊方向相對置的位置上形成了與內(nèi)部電極相比空隙更多的多孔質(zhì)部。文檔編號F02M51/00GK101507007SQ20078003052公開日2009年8月12日申請日期2007年9月26日優(yōu)先權(quán)日2006年9月28日發(fā)明者小野進(jìn)申請人:京瓷株式會社