專利名稱：經(jīng)由一個(gè)供電級(jí)的多個(gè)插頭線圈的控制的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及插頭(plug)的兩個(gè)電極之間的等離子體產(chǎn)生系統(tǒng)， 其特別用于內(nèi)燃才幾燃燒室內(nèi)的氣態(tài)混合物的受控射頻點(diǎn)火。
背景技術(shù)：
對(duì)于這種到等離子體產(chǎn)生機(jī)動(dòng)車點(diǎn)火的應(yīng)用，具有插頭線圏(plug
coil)的等離子體產(chǎn)生電路用于產(chǎn)生其電極之間的多絲放電
(multiple-filament discharge),使得可以啟動(dòng)發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室中的混合物 的燃燒。多火花插頭在申請(qǐng)人名下的下列專利申請(qǐng)中詳細(xì)介紹FR 03-10766、 FR 03-10767、 FR 03-10768。
按照慣例，這樣的插頭線圏通過(guò)諧振器1來(lái)建模，其諧振頻率Fc大于 lMHz，典型地接近5MHz。諧振器包含串聯(lián)的電阻R、電感L和電容C。 插頭線圏的點(diǎn)火電極10和12連接到電容C的端子。
當(dāng)諧振器由高電壓在其諧振頻率fc(l/(2冗VT^))上供電時(shí)，電容 C的端子上的幅值被放大，使得在厘米數(shù)量級(jí)的距離上，在高壓下并對(duì) 于小于30kV的峰值電壓，可以在插頭的電極之間建立起多絲放電。
于是，術(shù)語(yǔ)"分支火花"(branched sparks )適用，因?yàn)樗鼈兩鎊J^ 定體積內(nèi)至少幾個(gè)電離線或路徑的同時(shí)產(chǎn)生，其分支線也是全方向的。
對(duì)這樣的插頭線圏的電力供給進(jìn)行控制需要使用這樣的電力供給電 路其能夠以被設(shè)計(jì)為非常接近于插頭線圖射頻諧振器諧振頻率的頻率產(chǎn) 生電壓脈沖，該電壓脈沖典型地具有100ns的上升時(shí)間并具有l(wèi)kV數(shù)量級(jí) 的幅值。諧振器諧振頻率與產(chǎn)生器運(yùn)行頻率之間的差越小，諧振器的過(guò)電 壓系數(shù)(其輸出電壓與其輸入電壓的幅值之間的比)越高。
這樣的電力供給電路一一其另外在專利申請(qǐng)F(tuán)R 03-10767中詳細(xì)介紹一一在圖2中示出。按照傳統(tǒng)，其實(shí)現(xiàn)了 "E類功率放大器"組件。這 種類型的DC/AC轉(zhuǎn)換器使得可以產(chǎn)生具有上述特性的電壓脈沖。
根據(jù)圖2的實(shí)施例，放大器2包含開關(guān)M，其用于控制諧振器l的端 子的開關(guān)，在此實(shí)例中以功率MOSFET晶體管的形式實(shí)現(xiàn)。
因此，控制裝置5以控制頻率產(chǎn)生控制信號(hào)VI并將之經(jīng)由原理性地 示出的控制級(jí)3施加到功率MOSFET M的柵極。為了在其諧振器1經(jīng)由 控制信號(hào)VI激勵(lì)時(shí)控制連接到放大器輸出的插頭線圈的電極之間的火花 的產(chǎn)生，控制信號(hào)VI由不同的點(diǎn)火指示激活，并采用以控制頻率的控制 脈沖串的形式。
如專利申請(qǐng)EP-A-1 515 594所述，并聯(lián)的諧振電路4連接在中間電壓 Vinter的源與晶體管M的漏極之間。此電路4包含與電容Cp并聯(lián)的電感 Lp。
接近其諧振頻率，并聯(lián)諧振器將中間電壓Vinter變換為放大電壓Va (圖5示出)，其對(duì)應(yīng)于中間電壓乘以并聯(lián)諧振器的過(guò)電壓系數(shù)。此放大 電壓被供到也連接到諧振器1的輸入的晶體管M的漏極。
晶體管M因此作為開關(guān)運(yùn)行，并在控制信號(hào)VI處于高(相應(yīng)地，低) 邏輯狀態(tài)時(shí)在諧振器1的輸入上施加(相應(yīng)地，阻塞)電壓Va。晶體管M 因此施加由控制信號(hào)VI決定的開關(guān)頻率，應(yīng)當(dāng)使之盡可能接近連接到輸 出的插頭線圏的諧振頻率(典型地為5MHz)，以4更保持并使構(gòu)成插頭線 圏的串聯(lián)諧振器1和并聯(lián)諧振器4之間的能量傳送最大化。
在插頭線圏的諧振頻率上，于是，在串聯(lián)諧振器1的電容C的端子上， 或在插頭的電極的端子上，存在前面提到的輸出電壓Va乘以串聯(lián)諧振器1 的過(guò)電壓系數(shù)。
從由放大器構(gòu)成的供電級(jí)到插頭線圏的諧振器的能量傳送的這一階段 必須在諧振器的諧振頻率上進(jìn)行，以便保證好的效率。實(shí)際上，如果晶體 管M施加不同于插頭線圏諧振頻率的開關(guān)頻率，能量傳送劣化，這是因?yàn)?用于插頭線圏的串聯(lián)諧振器的帶寬的狹窄。
在具有等離子體產(chǎn)生機(jī)動(dòng)車點(diǎn)火的應(yīng)用中，各個(gè)燃燒室裝有如上所介紹的插頭線圏，以l更在受到命令時(shí)啟動(dòng)燃燒。
結(jié)果，對(duì)于例如四汽釭發(fā)動(dòng)機(jī)，能夠具有參照?qǐng)D2在上面所介紹的四 個(gè)具有E類放大器類型的電力供給電路是重要的，以便對(duì)四個(gè)插頭線圏供 電并分別進(jìn)行控制。
這樣的構(gòu)造因此依賴與和受控插頭線圏一樣多的放大路徑，于是，限 制了通過(guò)等離子體產(chǎn)生的這種類型的機(jī)動(dòng)車點(diǎn)火的iL^潛力， 一方面是因 為防護(hù)軍(hood)下這種安裝引起的龐大體積，也是因?yàn)榘惭b的成本，已 經(jīng)證明，這種安裝妨礙了將這種類型的點(diǎn)火安裝到大量生產(chǎn)的車輛上。
本發(fā)明目的在于，通過(guò)使得可以經(jīng)由一個(gè)且同一個(gè)、單獨(dú)一個(gè)放大路 徑來(lái)控制多個(gè)插頭線圏，彌補(bǔ)這種缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
以此為目的，本發(fā)明的對(duì)象在于一種射頻等離子體產(chǎn)生裝置，其特征 在于包含
-電力供給電路，其包含由控制信號(hào)控制的開關(guān)，以便以由控制信號(hào)限 定的頻率將中間電壓施加到電力供給電路的輸出，
-至少兩個(gè)等離子體產(chǎn)生電路，其并聯(lián)連接到電力供給電路的輸出，各 個(gè)等離子體產(chǎn)生電路具有其自己的諧振頻率，并能夠在高電壓等級(jí)以大致 等于等離子體產(chǎn)生電路諧振頻率的頻率被施加到電力供給電路的輸出時(shí)產(chǎn) 生等離子體，
-用于控制電力供給電路的裝置，其由等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率中 的一個(gè)確定控制信號(hào)的頻率，以便根據(jù)所用控制頻率有選擇地控制各個(gè)等 離子體產(chǎn)生電路。
根據(jù)一實(shí)施例，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路包含諧振器，各個(gè)諧振器具有 不同的諧振頻率。
根據(jù)另一實(shí)施例，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路包含諧振器，各個(gè)諧振器具 有相同的諧振頻率，等離子體產(chǎn)生電路中的至少一個(gè)還包含移動(dòng)其諧振器 的諧振頻率的裝置。有利的是，頻率移動(dòng)裝置包含在電力供給電路的輸出與諧振器之間串 聯(lián)定位的阻抗匹配電路。
優(yōu)選的是，阻抗匹配電路包含電感。
根據(jù)一種變型，阻抗匹配電路包含阻抗鏈接電纜(impeding link cable)，該電纜提供了電力供給電路的輸出與各個(gè)諧振器之間的連接，諧 振器之間的電纜部分的長(zhǎng)度限定了振蕩器之間的頻率移動(dòng)。
有利的是，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路被設(shè)計(jì)為以下面的實(shí)現(xiàn)方式中的一 種產(chǎn)生點(diǎn)火燃燒發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸中的受控點(diǎn)火、微粒過(guò)濾器中的點(diǎn)火、空氣 調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的凈化點(diǎn)火。
本發(fā)明還涉及一種控制等離子體產(chǎn)生裝置的電力供給的方法，該裝置 包含電力供給電路，電力供給電路具有由控制信號(hào)控制的開關(guān)，以便以由 控制信號(hào)定義的頻率將中間電壓施加到電力供給電路的輸出，至少兩個(gè)等 離子體產(chǎn)生電路并聯(lián)連接到電力供給電路的輸出，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路
被設(shè)計(jì)為以其自身的諧振頻率有選擇地受到控制， 所述方法包含以下步驟 -接收請(qǐng)求以確定控制頻率； -確定將被控制的等離子體產(chǎn)生電路；
-確定控制頻率，其大致等于將被控制的等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻
率；
-以所確定的控制頻率產(chǎn)生控制信號(hào)。


參照附圖，通過(guò)閱讀由說(shuō)明性且非限制性的實(shí)例給出的下面的介紹， 可更為明了本發(fā)明的其它特性和優(yōu)點(diǎn)，在附圖中
圖1示出了用于對(duì)等離子產(chǎn)生插頭線周進(jìn)行建模的諧振器的電氣模
型；
圖2示出了包含放大器的高電壓產(chǎn)生裝置，其用于電力供給以及插頭 線圏的控制；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的插頭線圏諧振頻率的分布的第一實(shí)施例； 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的插頭線圏諧振頻率的分布的第二實(shí)施例； 圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的完整射頻點(diǎn)火圖，其包含N個(gè)插頭線圏； 圖6為根據(jù)本發(fā)明的點(diǎn)火控制的示例性實(shí)施方式的流程圖。
具體實(shí)施例方式
因此，本發(fā)明的目的在于通過(guò)使用一個(gè)放大路徑控制多個(gè)插頭線圏型 等離子體產(chǎn)生電路，換句話說(shuō)，通過(guò)使用一個(gè)具有如前面在圖2中介紹的 E類功率放大器類型的電力供給電路，有選擇地對(duì)并聯(lián)連接到此一個(gè)電力 供給電路的輸出的所述多個(gè)等離子體產(chǎn)生電路進(jìn)行供電。
這種特殊的組件所基于的原理在于，在由電力供給電路產(chǎn)生的高電壓 和高頻率控制等級(jí)上，利用連接到電力供給電路輸出的各個(gè)等離子體產(chǎn)生 電路的自諧振頻率。
實(shí)際上，看起來(lái)，等離子體產(chǎn)生電路諧振頻率的合理分布使得可以自 然地確定從電力供給電路到等離子體產(chǎn)生電路中的一個(gè)或另一個(gè)的、所希 望的電力傳送。因此，取決于電力供給電路的層次上所用的控制頻率是否 大致與等離子體產(chǎn)生電路的自諧振頻率對(duì)準(zhǔn)，在電力供給電路的輸出上同 時(shí)施加到連接于其上的所述多個(gè)等離子體產(chǎn)生電路的端子的一個(gè)且相同的 高電壓使得可以有選擇地控制這些等離子體產(chǎn)生電路中的一個(gè)。
因此，使得可以經(jīng)由一個(gè)電力供給電路獨(dú)立控制所述多個(gè)等離子體產(chǎn) 生電路的條件在于這些等離子體產(chǎn)生電路各自具有與其它的在相當(dāng)程度上 區(qū)分開的諧振頻率。實(shí)際上，目的在于避免構(gòu)成各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路的 諧振器的諧振頻率范圍的重疊，并因此消除多個(gè)同時(shí)點(diǎn)火的問題。
并聯(lián)連接到一個(gè)電力供給電路的輸出的多個(gè)等離子體產(chǎn)生電i^間的 諧振頻率差應(yīng)當(dāng)優(yōu)選為至少等于各個(gè)諧振器的帶寬的倍數(shù)。例如，可以選 擇將各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率相對(duì)于其他等離子體產(chǎn)生電路移動(dòng) 等于各電路帶寬兩或三倍的值。
可以想到幾種實(shí)施例，以便產(chǎn)生各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率之間的這樣的頻率移動(dòng)。
第一種方法是對(duì)于各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路使用構(gòu)造不同的如圖1中所 建模的插頭線圈，使得所用的插頭線圏根據(jù)上面介紹的原理具有充分不同 的諧振頻率。
在此實(shí)施例中，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路包含圖l所示的諧振器且各個(gè) 諧振器具有不同的諧振頻率，然而，考慮到其在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的集成， 這不是最優(yōu)的。
實(shí)際上，其要求工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程;陂改變?yōu)樯a(chǎn)多個(gè)不同的插頭線圈，因 此要求與受控路徑一樣多的插頭線圏。
另外，參照?qǐng)D3與4，用于在將被控制的所述多個(gè)等離子體產(chǎn)生電路 之間產(chǎn)生諧振頻率移動(dòng)的優(yōu)選實(shí)施例在于使用同樣的插頭線圏，其中對(duì) 之進(jìn)行建模的諧振器具有同樣的諧振頻率；將各個(gè)諧振器與移動(dòng)其諧振頻 率的裝置相關(guān)聯(lián)。
如圖3所示，等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率移動(dòng)裝置包含阻抗匹配電 路14,其被設(shè)計(jì)為串聯(lián)位于電力供給電路2的輸出和諧振器1之間。通過(guò) 這種方式，阻抗和構(gòu)成等離子體產(chǎn)生電路的諧振器的配對(duì)使其諧振頻率相 對(duì)于隔離開的插頭線圏的諧振器1的諧振頻率移動(dòng)。
如圖5所示，才艮據(jù)上面闡釋的原理，具有不同的相應(yīng)值的這種阻抗電 路——分別為Zl、 Z2、 Z3、 Z4——在一個(gè)電力供給電路和各個(gè)插頭線 圏——分別為BB1、 BB2、 BB3、 BB4——之間的串聯(lián)插入于是使得可以產(chǎn) 生并聯(lián)連接到 一個(gè)電力供給電路輸出的等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率的所 希望的分布。
電路14的阻抗值因此被選擇為使得各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路一一其各 自包含阻抗-諧振器配對(duì)一 一之間的諧振頻率差等于至少為各諧振器的帶 寬的倍數(shù)。
例如，對(duì)于所加入的阻抗電路，可以使用電感，使得各個(gè)等離子體產(chǎn) 生電路的諧振頻率移動(dòng)希望的值。
為了最優(yōu)化電力供給電路的效率并最優(yōu)化插頭線圖的運(yùn)行，可以使用相同的插頭線圏，該線圏的諧振頻率高于插頭線圏希望以之受到控制的諧 振頻率。在這種情況下，如果所添加的阻抗電路是電感，這種添加的作用 應(yīng)當(dāng)對(duì)應(yīng)于降低各個(gè)電感/插頭線圏配對(duì)的整體諧振頻率的值。
作為變型，對(duì)于將被控制的路徑中的一個(gè)，可以使用簡(jiǎn)單的連接，而 不添加與插頭線圏串聯(lián)的任何額外無(wú)源器件，例如電感。
根據(jù)圖4所示另一實(shí)施例，相對(duì)于其他的對(duì)等離子體產(chǎn)生電路的諧振 頻率進(jìn)行移動(dòng)的裝置使用鏈接電纜，其作為串聯(lián)阻抗提供電力供給電路輸 出與各個(gè)插頭線圏之間的連接，插頭線圏也是同樣的，也就是說(shuō)，它們的
諧振器具有同樣的諧振頻率。在這種情況下，作為阻抗、特別是作為電感 在插頭線圏之間——分別在BB1與BB2之間、BB2與BB3之間、BB3與 BB4之間——的電纜部分的長(zhǎng)度——分別為L(zhǎng)l、 L2、 L3——因此限定了 插頭線圏的諧振器之間的諧振器頻率移動(dòng)。
有利的是，通過(guò)使用插頭線圏之間的阻抗電纜，可以消除圖3的實(shí)施 例所需要的用于移動(dòng)插頭線圏頻率的額外部件的使用。
由于不同路徑的諧振頻率根據(jù)前面介紹的原理獨(dú)立分布，基于一個(gè)電 力供給電路的控制方法因此考慮匹配到對(duì)于各個(gè)點(diǎn)火受到控制的路徑的頻 率。
為此，根據(jù)一實(shí)施例，電力供給電路的控制裝置5可具有存儲(chǔ)器，其 能夠保持與將被控制的各個(gè)路徑對(duì)應(yīng)的頻率的級(jí)別順序。
因此，根據(jù)參照用于四汽缸燃燒發(fā)動(dòng)機(jī)的機(jī)動(dòng)車點(diǎn)火應(yīng)用的圖6的實(shí) 例，在收到點(diǎn)火請(qǐng)求時(shí)，控制裝置首先能夠確定將被控制汽缸，例如，其 以在發(fā)動(dòng)機(jī)上布置的順序從1到4編號(hào)。各個(gè)汽缸號(hào)因此具有與4^目關(guān)聯(lián) 的諧振頻率，分別為Fl、 F2、 F3、 F4，諧振頻率對(duì)將被控制的對(duì)應(yīng)的等 離子體產(chǎn)生電路是特有的。
于是，控制裝置包含這樣的模塊根據(jù)將被點(diǎn)火的汽缸號(hào)以及事先存 儲(chǔ)的頻率的等級(jí)順序，由這些頻率Fl、 F2、 F3、 F4，確定將要產(chǎn)生的控 制信號(hào)的頻率。 一旦確定了控制頻率，控制裝置將所述頻率的控制信號(hào)施 加到輸出接口，用于控制開關(guān)M。于是，電力到將被控制用于點(diǎn)火的等離子體產(chǎn)生電路的有選擇的傳送 自然受到用于此點(diǎn)火的控制頻率的管理。
根據(jù)一特定實(shí)施例，將在所述一個(gè)電力供給電路的輸出上獲得的諧振
頻率的確定能受到如本申請(qǐng)人提交的法國(guó)專利申請(qǐng)F(tuán)R 05-127669、 FR 05-12770所介紹的制表(tabulation )或伺服控制方法的控制。
例如，控制裝置可具有接口，其用于接^動(dòng)機(jī)運(yùn)行參數(shù)測(cè)量信號(hào) (發(fā)動(dòng)機(jī)油溫、發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩、發(fā)動(dòng)機(jī)速度、點(diǎn)火角度、入口空氣溫度、燃 燒室壓力等)和/或電力供給運(yùn)行參數(shù)測(cè)量信號(hào)；特定的存儲(chǔ)器模塊，其對(duì) 測(cè)量信號(hào)和將要產(chǎn)生的控制信號(hào)頻率之間的關(guān)系進(jìn)行存儲(chǔ)。于是，控制裝 置根據(jù)在接收接口上接收的測(cè)量信號(hào)以及存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器模塊中的關(guān)系來(lái)確 定將要產(chǎn)生的控制信號(hào)的頻率。
在不脫離本發(fā)明的框架的情況下，可以想到除受控燃M動(dòng)機(jī)點(diǎn)火實(shí) 施方式以外的應(yīng)用，例如在微粒過(guò)濾器中產(chǎn)生點(diǎn)火或在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中產(chǎn) 生凈化點(diǎn)火。
權(quán)利要求
1.一種射頻等離子體產(chǎn)生裝置，其特征在于包含-電力供給電路(2)，其包含由控制信號(hào)(V1)控制的開關(guān)(M)，以便以由控制信號(hào)限定的頻率將中間電壓(Vinter)施加到電力供給電路的輸出，-至少兩個(gè)等離子體產(chǎn)生電路(BB1，BB2，BB3，BB4)，其并聯(lián)連接到電力供給電路的輸出，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路具有其自己的諧振頻率，并能夠在高電壓等級(jí)以大致等于等離子體產(chǎn)生電路諧振頻率的頻率被施加到電力供給電路輸出時(shí)產(chǎn)生等離子體，-用于控制電力供給電路的裝置(5)，其由等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率(F1，F(xiàn)2，F(xiàn)3，F(xiàn)4)中的一個(gè)確定控制信號(hào)的頻率，以便根據(jù)所用控制頻率有選擇地控制各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l的裝置，其特征在于，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路包含 諧振器(1)，各個(gè)諧振器具有不同的諧振頻率。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l的裝置，其特征在于，各個(gè)等離子體產(chǎn)生電路包含 諧振器(l)，各個(gè)諧振器具有相同的諧振頻率，等離子體產(chǎn)生電路中的至 少一個(gè)還包含用于移動(dòng)其諧振器的諧振頻率的裝置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其特征在于，頻率移動(dòng)裝置包含串聯(lián)定位 在電力供給電路的輸出與諧振器之間的阻抗匹配電路(14)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其特征在于，阻抗匹配電路包含電感。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其特征在于，阻抗匹配電路包含提供電力 供給電路的輸出與各個(gè)諧振器之間的連接的阻抗鏈接電纜，諧振器之間的 電纜部分的長(zhǎng)度(Ll， L2， L3)限定振蕩器之間的頻率移動(dòng)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l-6中任意一項(xiàng)的裝置，其特征在于，各個(gè)等離子體 產(chǎn)生電路被i殳計(jì)為產(chǎn)生下面的實(shí)施方式之一中的點(diǎn)火燃燒發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸中 的受控點(diǎn)火，賴t粒過(guò)濾器中的點(diǎn)火，空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的凈化點(diǎn)火。
8. —種控制等離子體產(chǎn)生裝置的電力供給的方法，該裝置包含電力供給電路(2)，電力供給電路具有由控制信號(hào)(VI)控制的開關(guān)(M), 以便以由控制信號(hào)限定的頻率將中間電壓(Vinter)施加到電力供給電路 的輸出，至少兩個(gè)等離子體產(chǎn)生電路并聯(lián)連接到電力供給電路的輸出，各 個(gè)等離子體產(chǎn)生電路被設(shè)計(jì)為在其自身的諧振頻率上有選擇地受到控制，所述方法包含以下步驟-接收請(qǐng)求以確定控制頻率；-確定將被控制的等離子體產(chǎn)生電路；-確定控制頻率，其大致等于將被控制的等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率；-以所確定的控制頻率產(chǎn)生控制信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種射頻等離子體產(chǎn)生裝置，該裝置包含電力供給電路(2)，其包含由控制信號(hào)(V1)控制的開關(guān)(M)，以便以控制頻率將電壓(Vinter)施加到控制電路的輸出；至少兩個(gè)等離子體產(chǎn)生電路(BB1，BB2，BB3，BB4)，其并聯(lián)連接到電力供給電路的輸出，各個(gè)電路具有其自己的諧振頻率，并能夠在高電壓等級(jí)以基本等于等離子體產(chǎn)生電路諧振頻率的頻率被施加到電力供給電路輸出時(shí)產(chǎn)生等離子體；供電控制裝置(5)，其由等離子體產(chǎn)生電路的諧振頻率(F1，F(xiàn)2，F(xiàn)3，F(xiàn)4)確定控制頻率，以便根據(jù)所用控制頻率有選擇地控制各個(gè)電路。
文檔編號(hào)F02P9/00GK101622442SQ200880006697
公開日2010年1月6日 申請(qǐng)日期2008年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月1日
發(fā)明者C·努瓦爾, N·梅西蒂, P·巴羅索 申請(qǐng)人:雷諾股份公司