真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，包括旋轉(zhuǎn)托盤、殼體和設(shè)于所述殼體內(nèi)的螺旋狀發(fā)條、內(nèi)外斜齒齒輪、定向旋轉(zhuǎn)叉和轉(zhuǎn)動(dòng)軸，內(nèi)外斜齒齒輪為環(huán)形輪，該環(huán)形輪的內(nèi)、外側(cè)面上分別設(shè)有內(nèi)、外斜齒，該內(nèi)、外斜齒的傾斜方向相反；轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端固定于旋轉(zhuǎn)托盤上，轉(zhuǎn)動(dòng)軸下端依次穿過內(nèi)外斜齒齒輪、發(fā)條和外殼；定向旋轉(zhuǎn)叉包括若干個(gè)止檔部，該定向旋轉(zhuǎn)叉的中心固定于轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，該若干個(gè)止檔部的末端分別抵靠?jī)?nèi)斜齒；螺旋狀發(fā)條的內(nèi)端固定于轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，外端固定于殼體上；在殼體內(nèi)側(cè)面上設(shè)有若干個(gè)棘爪，該若干個(gè)棘爪的末端抵靠外斜齒。該真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且能滿足轉(zhuǎn)動(dòng)順暢和轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的氣密性要求。
【專利說明】真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，涉及一種用于有毒、有害、有腐蝕性氣體密閉腔體內(nèi)部可自旋轉(zhuǎn)的裝置，具體的說是一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空腔體中一般都需要配置旋轉(zhuǎn)裝置，尤其是在半導(dǎo)體、微電子真空設(shè)備中，就要兼顧工藝中對(duì)均勻性和真空腔體的密閉性的高要求，現(xiàn)有設(shè)備的旋轉(zhuǎn)裝置都是由轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)軸方式給真空腔體內(nèi)部提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源。此種方法對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)軸和真空腔體之間的轉(zhuǎn)動(dòng)密封要求很高，既要轉(zhuǎn)動(dòng)順暢又要保證轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的密封性，而且要防止長(zhǎng)時(shí)間的轉(zhuǎn)動(dòng)后密封處的防磨損。
[0003]用電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的傳動(dòng)裝置中密封的方法一般有兩種:
[0004]①密封圈(Ο-ring)密封:在轉(zhuǎn)動(dòng)軸與真空腔體銜接處上加入密封圈。優(yōu)點(diǎn)是價(jià)格便宜，維修、更換簡(jiǎn)單。但密封圈易磨損、密封性差、穩(wěn)定性差、防腐蝕性差，多用于真空度要求不高的設(shè)備。
[0005]②磁流體密封:磁流體密封技術(shù)是在磁性流體的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的，當(dāng)磁流體注入磁場(chǎng)的間隙時(shí)，它可以充滿整個(gè)間隙，形成一種“液體的O型密封圈”。磁流體密封裝置的功能是把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞到密封容器內(nèi)，常用于真空密封。優(yōu)點(diǎn)是密封效果好、穩(wěn)定、多由于真空度要求高的設(shè)備。但磁流體密封裝置價(jià)格昂貴，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且更換安裝繁瑣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且能滿足轉(zhuǎn)動(dòng)順暢和轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的氣密性要求。
[0007]本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，包括旋轉(zhuǎn)托盤、殼體和設(shè)于所述殼體內(nèi)的螺旋狀發(fā)條、內(nèi)外斜齒齒輪、定向旋轉(zhuǎn)叉和轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述內(nèi)外斜齒齒輪為環(huán)形輪，該環(huán)形輪的內(nèi)側(cè)面沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)內(nèi)斜齒，該環(huán)形輪的外側(cè)面上沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)外斜齒，且該環(huán)形輪的內(nèi)斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端固定于所述旋轉(zhuǎn)托盤上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸下端依次穿過所述內(nèi)外斜齒齒輪、發(fā)條和外殼；所述定向旋轉(zhuǎn)叉包括若干個(gè)止檔部，該定向旋轉(zhuǎn)叉的中心固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，該定向旋轉(zhuǎn)叉的若干個(gè)止檔部的末端分別抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的內(nèi)斜齒上使所述內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)該定向旋轉(zhuǎn)叉朝與所述內(nèi)斜齒傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)；所述螺旋狀發(fā)條的內(nèi)端固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述螺旋狀發(fā)條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內(nèi)側(cè)面上設(shè)有若干個(gè)棘爪，該若干個(gè)棘爪的末端抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的外斜齒使該內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝向另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)。
[0008]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上還固設(shè)一置物托盤，該置物托盤位于所述定向旋轉(zhuǎn)叉和旋轉(zhuǎn)托盤之間。[0009]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述定向旋轉(zhuǎn)叉上的止檔部為三個(gè)，且該三個(gè)止檔部均布于該定向旋轉(zhuǎn)叉上。
[0010]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述殼體呈一端開口的圓柱形。
[0011]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述棘爪為三個(gè)，該三個(gè)棘爪均布于所述殼體的內(nèi)側(cè)面上。
[0012]本發(fā)明還提供一種如上所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置帶動(dòng)物體旋轉(zhuǎn)的方法。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過用發(fā)條自旋轉(zhuǎn)裝置來代替電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)方式，解決轉(zhuǎn)動(dòng)軸密封的問題。通過在真空腔體內(nèi)內(nèi)置一個(gè)自旋轉(zhuǎn)裝置來解決真空度要求極高和通入有毒、有害、有腐蝕性氣體的真空設(shè)備的電機(jī)轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的密封問題。具有以下優(yōu)點(diǎn):①為設(shè)備提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源，解決了旋轉(zhuǎn)的工藝問題。②取代了電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸給真空腔體內(nèi)提供動(dòng)力源的傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)的方式，此種裝置的旋轉(zhuǎn)處密封的技術(shù)難題也仍刃而解。③解決了現(xiàn)有轉(zhuǎn)動(dòng)方式引起的真空度下降問題。④減小了現(xiàn)有轉(zhuǎn)動(dòng)方式在通入有毒、有害、有腐蝕性工藝氣體泄露的幾率。⑤節(jié)約成本，提高效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明分解結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]結(jié)合附圖，作以下說明:
[0016]I——旋轉(zhuǎn)托盤2——?dú)んw
[0017]3——發(fā)條4——內(nèi)外斜齒齒輪
[0018]5——定向旋轉(zhuǎn)叉 6——轉(zhuǎn)動(dòng)軸
[0019]41-內(nèi)斜齒42-外斜齒
[0020]51——止檔部7——棘爪
[0021]8——置物托盤
【具體實(shí)施方式】
[0022]結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)說明，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述實(shí)施例，即但凡以本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍及說明書內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵蓋范圍之內(nèi)。
[0023]如圖1所示，一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，包括旋轉(zhuǎn)托盤1、殼體2和設(shè)于所述殼體內(nèi)的螺旋狀發(fā)條3、內(nèi)外斜齒齒輪4、定向旋轉(zhuǎn)叉5和轉(zhuǎn)動(dòng)軸6，所述內(nèi)外斜齒齒輪為環(huán)形輪，該環(huán)形輪的內(nèi)側(cè)面沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)內(nèi)斜齒41，該環(huán)形輪的外側(cè)面上沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)外斜齒42，且該環(huán)形輪的內(nèi)斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端固定于所述旋轉(zhuǎn)托盤上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸下端依次穿過所述內(nèi)外斜齒齒輪、發(fā)條和外殼；所述定向旋轉(zhuǎn)叉包括若干個(gè)止檔部51,該定向旋轉(zhuǎn)叉的中心固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，該定向旋轉(zhuǎn)叉的若干個(gè)止檔部的末端分別抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的內(nèi)斜齒上使所述內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)該定向旋轉(zhuǎn)叉朝與所述內(nèi)斜齒傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)；所述螺旋狀發(fā)條的內(nèi)端固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述螺旋狀發(fā)條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內(nèi)側(cè)面上設(shè)有若干個(gè)棘爪7，該若干個(gè)棘爪的末端抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的外斜齒使該內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝向另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)。使用時(shí)，先沿與內(nèi)外斜齒齒輪的內(nèi)斜齒傾斜方向(如順時(shí)針方向)相反的方向(如逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)托盤1，旋轉(zhuǎn)托盤帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸6旋轉(zhuǎn)，定向旋轉(zhuǎn)叉5也跟隨轉(zhuǎn)動(dòng)軸6沿相同的方向(逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，并卡緊內(nèi)外斜齒齒輪4的內(nèi)斜齒41使該內(nèi)外斜齒齒輪4 一同沿相同的方向(逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，由于發(fā)條3內(nèi)端固定于轉(zhuǎn)動(dòng)軸6上,該發(fā)條3也同轉(zhuǎn)動(dòng)軸6 —同沿相同的方向(逆時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，并產(chǎn)生收緊勢(shì)能。旋轉(zhuǎn)一定圈數(shù)后，將該旋轉(zhuǎn)裝置放入真空設(shè)備內(nèi)，由于發(fā)條勢(shì)能的釋放會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸6和定向旋轉(zhuǎn)叉5沿與開始旋轉(zhuǎn)方向相反的方向(順時(shí)針方向)旋轉(zhuǎn)，由于內(nèi)外斜齒齒輪4的外斜齒42被棘爪7阻止而不能同時(shí)旋轉(zhuǎn)，這樣定向旋轉(zhuǎn)叉5受到內(nèi)外斜齒齒輪4的內(nèi)斜齒41的阻力作用而緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)，也就帶動(dòng)了旋轉(zhuǎn)托盤I 一起(沿順時(shí)針方向)緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)真空設(shè)備內(nèi)部的自轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0024]優(yōu)選的，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上還固設(shè)一置物托盤8，該置物托盤位于所述定向旋轉(zhuǎn)叉和旋轉(zhuǎn)托盤之間。
[0025]優(yōu)選的，所述定向旋轉(zhuǎn)叉上的止檔部為三個(gè)，且該三個(gè)止檔部均布于該定向旋轉(zhuǎn)叉上。
[0026]優(yōu)選的，所述殼體呈一端開口的圓柱形。
[0027]優(yōu)選的，所述棘爪為三個(gè)，該三個(gè)棘爪均布于所述殼體的內(nèi)側(cè)面上。
[0028]一種采用上述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置帶動(dòng)物體旋轉(zhuǎn)的方法。
【權(quán)利要求】
1.一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:包括旋轉(zhuǎn)托盤(I)、殼體(2)和設(shè)于所述殼體內(nèi)的螺旋狀發(fā)條(3)、內(nèi)外斜齒齒輪(4)、定向旋轉(zhuǎn)叉(5)和轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)，所述內(nèi)外斜齒齒輪為環(huán)形輪，該環(huán)形輪的內(nèi)側(cè)面沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)內(nèi)斜齒(41)，該環(huán)形輪的外側(cè)面上沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個(gè)外斜齒(42)，且該環(huán)形輪的內(nèi)斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端固定于所述旋轉(zhuǎn)托盤上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸下端依次穿過所述內(nèi)外斜齒齒輪、發(fā)條和外殼；所述定向旋轉(zhuǎn)叉包括若干個(gè)止檔部(51)，該定向旋轉(zhuǎn)叉的中心固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，該定向旋轉(zhuǎn)叉的若干個(gè)止檔部的末端分別抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的內(nèi)斜齒上使所述內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)該定向旋轉(zhuǎn)叉朝與所述內(nèi)斜齒傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)；所述螺旋狀發(fā)條的內(nèi)端固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述螺旋狀發(fā)條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內(nèi)側(cè)面上設(shè)有若干個(gè)棘爪(7),該若干個(gè)棘爪的末端抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的外斜齒使該內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對(duì)所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝向另一個(gè)相反的方向止轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上還固設(shè)一置物托盤(8)，該置物托盤位于所述定向旋轉(zhuǎn)叉和旋轉(zhuǎn)托盤之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:所述定向旋轉(zhuǎn)叉上的止檔部為三個(gè)，且該三個(gè)止檔部均布于該定向旋轉(zhuǎn)叉上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:所述殼體呈一端開口的圓柱形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:所述棘爪為三個(gè)，該三個(gè)棘爪均布于所述殼體的內(nèi)側(cè)面上。
6.一種采用權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置帶動(dòng)物體旋轉(zhuǎn)的方法。
【文檔編號(hào)】F03G1/02GK103807119SQ201210451613
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月13日
【發(fā)明者】盧狄克, 焦斌斌, 李志剛, 尚海平, 孔延梅 申請(qǐng)人:昆山光微電子有限公司