專利名稱：微噴嘴及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種微膠囊和微乳液制備用噴射裝置的微噴嘴及其制作方法。
背景技術(shù)：
目前，用于微膠囊和微乳液制備的直通式微通道器件多采用微機(jī)電加工方法制作， 一般制作步驟包括掩模制作、涂膠、曝光、腐蝕和去膠等。典型的如IsaoKobayashi等 詳述的一種微乳化用微通道及其制作方法，主要包括以下幾個(gè)步驟a)用氣相沉積的方 法在硅片基底上沉積一層0.2pm厚的鋁層作為深度離子刻蝕的保護(hù)層；b)在此基底上涂 覆一層光刻膠；c)通過(guò)紫外線曝光將掩模上的微管道形狀布局轉(zhuǎn)移到光刻膠上；d)顯影 后對(duì)鋁膜進(jìn)行腐蝕，將微管道形狀布局轉(zhuǎn)移到鋁膜上；e)用反應(yīng)離子刻蝕刻穿硅片，將 微管道形狀布局轉(zhuǎn)移到硅片上。使用此方法制作微通道器件，需要較為完備的成套的微 機(jī)電加工設(shè)備(Kobayashi I, Nakajima M， Chun K, Kikuchi Y, Fujita H. Silicon array of elongated through-holes for monodisperse emulsion droplets. AIChE J， 2002;48: 1639 1644)。這些設(shè)備，特別是反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備價(jià)格昂貴，由此微通道器件制造成本高； 使用此方法制作微通道器件工藝復(fù)雜，對(duì)操作人員要求較高，對(duì)工藝環(huán)境要求也較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)和制作方法簡(jiǎn)單、裝夾和進(jìn)液方便的微噴嘴及其制 造方法。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)解決方案為 一種微噴嘴，毛細(xì)管由微管道和過(guò)渡管道組成， 該毛細(xì)管嵌入到塑料管的一端，該微管道與噴嘴外環(huán)境連通，該過(guò)渡管道與塑料管的內(nèi) 腔連通，所述的過(guò)渡管道的內(nèi)徑尺寸逐漸減小。
一種制作上述的微噴嘴的方法，包括以下步驟
第一步，將一個(gè)或者排成一排的毛細(xì)管一端密封，該毛細(xì)管的材料為玻璃或石英； 第二步，將內(nèi)腔為圓柱形、圓錐形或者內(nèi)徑臺(tái)階變化的塑料管放入模具內(nèi)腔，放入 的塑料管的管道長(zhǎng)度為所設(shè)計(jì)的毛細(xì)管嵌入塑料管的長(zhǎng)度b;
第三步，將毛細(xì)管的未密封端穿過(guò)模具內(nèi)腔插入塑料管放入模具的一端； 第四步，加熱模具，上下模合模，流動(dòng)的塑料將毛細(xì)管間縫隙密封；
4第五步，冷卻模具至室溫，塑料固化將毛細(xì)管嵌入到塑料管的一端，然后將塑料管 連同嵌入其一端的毛細(xì)管取出；
第六步，向塑料管中注入毛細(xì)管腐蝕液，腐蝕液由于毛細(xì)作用吸入毛細(xì)管的一端， 將毛細(xì)管一端腐蝕加工成內(nèi)徑尺寸逐漸減小到微管道內(nèi)徑尺寸的過(guò)渡管道，同時(shí)將微管 道的長(zhǎng)度腐蝕變短；
第七步，當(dāng)毛細(xì)管的微管道剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，截去一排毛細(xì)管的密封 端，清洗并干燥制備出的微噴嘴。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn)(1)微噴嘴制作方法不需采用微機(jī)電加工工 藝，具體操作步驟少，模具壓鑄和腐蝕等工藝普通機(jī)械工藝人員都能操作，因此方法簡(jiǎn) 單可靠，操作人員易于學(xué)習(xí)掌握。(2)微噴嘴制作無(wú)需薄膜沉淀、光刻、離子刻蝕等大 型精密設(shè)備，毛坯器件均便于市購(gòu)，對(duì)工藝環(huán)境要求不高，微噴嘴制作成本低廉。(3) 微噴嘴的塑料管具有宏觀管道的形狀，可以運(yùn)用現(xiàn)有的方法方便可靠的裝夾于常見(jiàn)的微 噴射裝置或進(jìn)樣系統(tǒng)上。(4)微噴嘴圓形截面的塑料管形成了向微管道進(jìn)送液體的進(jìn)液 池，同時(shí)也形成了進(jìn)液系統(tǒng)與毛細(xì)管間的宏觀連接，可以方便的與常見(jiàn)的圓截面宏觀進(jìn) 液管道密封連接。微噴嘴內(nèi)的流體通道無(wú)彎角直線連通，易于進(jìn)樣、清洗和干燥。
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。


圖1是本發(fā)明微噴嘴剖面結(jié)構(gòu)主視圖示意圖； 圖2是本發(fā)明微噴嘴剖面結(jié)構(gòu)俯視圖示意圖3是微噴嘴制作方法實(shí)施實(shí)例中模具合模前毛細(xì)管、塑料管和模具相對(duì)位置關(guān)系
圖4是微噴嘴制作方法實(shí)施實(shí)例中所用模具的剖面圖； 圖5是微噴嘴制作方法實(shí)施實(shí)例中加熱合模操作示意圖；
具體實(shí)施例方式
結(jié)合圖1和圖2，本發(fā)明微噴嘴的毛細(xì)管l由微管道lb和過(guò)渡管道la組成，該毛 細(xì)管1嵌入到塑料管2的一端，該微管道lb與噴嘴外環(huán)境連通，該過(guò)渡管道la與塑料 管2的內(nèi)腔連通，所述的過(guò)渡管道la的內(nèi)徑尺寸逐漸減小。其中，毛細(xì)管l為一根或者一根以上，該一根以上的同外徑毛細(xì)管l軸線在同一平面內(nèi)平行排列成一排。塑料管 2為熱塑性塑料管道，與塑料管2軸線垂直的內(nèi)腔截面形狀為圓形或由圓形逐漸過(guò)渡到 扁圓形。與毛細(xì)管l軸線垂直的毛細(xì)管內(nèi)腔截面形狀為圓形。微管道lb的內(nèi)徑可以為 ljam lmm。
一種制作上述的微噴嘴的方法，包括以下步驟
第一步，將一個(gè)或者排成一排的毛細(xì)管1 一端密封，該毛細(xì)管1的材料為玻璃或石
英；
第二步，將內(nèi)腔為圓柱形、圓錐形或者內(nèi)徑臺(tái)階變化的塑料管2放入模具內(nèi)腔，放
入的塑料管2的管道長(zhǎng)度為所設(shè)計(jì)的毛細(xì)管嵌入塑料管的長(zhǎng)度b;
第三步，將毛細(xì)管1的未密封端穿過(guò)模具內(nèi)腔插入塑料管2放入模具的一端；
第四步，加熱模具，上下模合模，流動(dòng)的塑料將毛細(xì)管1間縫隙密封；
第五步，冷卻模具至室溫，塑料固化將毛細(xì)管1嵌入到塑料管2的一端，然后將塑
料管2連同嵌入其一端的毛細(xì)管1取出；
第六步，向塑料管2中注入毛細(xì)管腐蝕液，腐蝕液由于毛細(xì)作用吸入毛細(xì)管1的一 端，將毛細(xì)管1 一端腐蝕加工成內(nèi)徑尺寸逐漸減小到微管道lb內(nèi)徑尺寸的過(guò)渡管道la，
同時(shí)將微管道lb的長(zhǎng)度腐蝕變短；
第七步，當(dāng)毛細(xì)管l的微管道lb剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，截去一排毛細(xì)管 的密封端，清洗并干燥制備出的微噴嘴。
上述的微噴嘴制作方法中每排毛細(xì)管1插入塑料管2中的長(zhǎng)度大于或等于所設(shè)計(jì)毛 細(xì)管1嵌入塑料管2的長(zhǎng)度。當(dāng)上下模間溫度在低于所用熱塑性塑料粘流態(tài)溫度3(TC到 高于熱塑性塑料粘流態(tài)溫度5'C的溫度范圍內(nèi)時(shí)，上下模合模；或者當(dāng)觀測(cè)到放入上下 模間的那段塑料管有粘流態(tài)出現(xiàn)時(shí)，上下模合模。腐蝕液為含氫氟酸的腐蝕液。在腐蝕 過(guò)程中，若塑料管為可透光的塑料管，當(dāng)直接透過(guò)塑料管觀測(cè)到微管道lb的剩余長(zhǎng)度 達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，進(jìn)行截?cái)喙艿?、清洗和干燥操作；或者根?jù)腐蝕液腐蝕毛細(xì)管的 速度，當(dāng)計(jì)量腐蝕時(shí)間并換算，由此判斷出微管道lb的剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)， 進(jìn)行截?cái)喙艿?、清洗和干燥操作?br> 圖1和圖2為微噴嘴的一具體實(shí)例，微噴嘴由毛細(xì)管1和塑料管2兩部分組成，毛
6細(xì)管1由過(guò)渡管道la和微管道lb構(gòu)成。本例的毛細(xì)管1是石英玻璃毛細(xì)管。微管道lb 的內(nèi)徑根據(jù)需要在lMm lmm范圍內(nèi)選擇，本例選擇石英毛細(xì)管微管道內(nèi)徑50^mi，石 英毛細(xì)管外徑300pm。作為微噴嘴的出口的毛細(xì)管可以是一根或多根，根據(jù)需要選定， 本例圖示為三根。三根長(zhǎng)度3mm規(guī)格相同的毛細(xì)管l一端對(duì)齊排成一排，毛細(xì)管l軸 線平行且在同一平面內(nèi)。每根毛細(xì)管l一端內(nèi)有一個(gè)同軸線的過(guò)渡管道la。過(guò)渡管道 la是一個(gè)內(nèi)徑尺寸逐漸減小的管道，其小徑尺寸與微管道lb內(nèi)徑相同且二者光滑連通， 其大徑尺寸小于毛細(xì)管1外徑尺寸但大于微管道lb內(nèi)徑尺寸，本例大徑尺寸250pm。 過(guò)渡管道la將塑料管內(nèi)腔與微管道lb相連通，其中渡管道la的大徑端直接與塑料管2 內(nèi)腔連通。毛細(xì)管1嵌入到塑料管2的一端，將塑料管內(nèi)腔與微噴嘴出口外環(huán)境連通。 塑料管的作用主要是1.形成進(jìn)液系統(tǒng)與毛細(xì)管1間的宏觀連接；2.由于塑料管具有宏 觀的外徑尺寸(一般外徑都大于lmm),便于固定或裝夾于微噴射裝置或進(jìn)液平臺(tái)上。
塑料管材料為熱塑性材料，常見(jiàn)的如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚甲 基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚酰胺、ABS塑料、聚四氟乙烯等。本例中使用的熱塑性塑 料管材料為聚丙烯。
下面參照附圖給出上述構(gòu)造微噴嘴的制作方法實(shí)例
本例選用的毛細(xì)管1材料為石英玻璃，其規(guī)格為內(nèi)徑5(Vm，外徑300pm。如圖3 示例選用三根等長(zhǎng)的毛細(xì)管l，因此其外徑總和卯Opm，毛細(xì)管長(zhǎng)度a為40mm。塑料 管2為內(nèi)徑逐漸減小的圓錐形管道，其小端2a內(nèi)徑lmm。
塑料管2可以為圓柱形內(nèi)腔的塑料管、內(nèi)徑逐漸減小的圓錐形塑料管道或內(nèi)徑臺(tái)階 變化的管道。為了便于微噴嘴裝夾和進(jìn)液，可作如下選擇如果設(shè)計(jì)的微噴嘴需要的毛 細(xì)管1較多,多根毛細(xì)管1平行排列后外徑總和較大(大于lmm)，其所嵌入塑料管2的 一端就需要較大內(nèi)徑，制作時(shí)塑料管2可直接用圓柱形內(nèi)腔的塑料管；如果設(shè)計(jì)的微噴 嘴需要的毛細(xì)管1數(shù)量較少，其所嵌入塑料管2的一端就只需要較小內(nèi)徑，為了獲得塑 料管較大的宏觀裝夾和進(jìn)液尺寸，制作時(shí)塑料管2可以選用內(nèi)徑逐漸減小的圓錐形管道 (如本例)或內(nèi)徑臺(tái)階變小的管道。在多于一根毛細(xì)管l的微噴嘴制作過(guò)程中，上下模 合模后，對(duì)于塑料管2未在磨具中的部分，其與軸線垂直的內(nèi)腔截面形狀會(huì)放生變化， 內(nèi)腔截面形狀由圓形逐漸過(guò)渡到扁圓形，見(jiàn)圖1和圖2。如圖3所示，將選取的三根等長(zhǎng)石英毛細(xì)管1 一端對(duì)齊排成一排，毛細(xì)管l軸線平行且在同一平面內(nèi)。將這一排毛細(xì)管1 一端密封，本例選用EVA熱熔膠3密封。毛細(xì)管1 一端密封的目的一方面是為了固定幾根毛細(xì)管1的平行排列方式，另一方面是為了在腐蝕加工過(guò)渡管道la時(shí)利用管內(nèi)密封氣體的氣壓阻止腐蝕液過(guò)度吸入毛細(xì)管。
如圖3所示，將塑料管2大端2b固定于微調(diào)裝置4上，通過(guò)微調(diào)裝置4微量進(jìn)給，將塑料管2小端2a放入下模具內(nèi)腔6a。放入的塑料管道長(zhǎng)度為設(shè)計(jì)毛細(xì)管1嵌入塑料管2的長(zhǎng)度b，本例設(shè)計(jì)毛細(xì)管1嵌入塑料管2的長(zhǎng)度b為3mm。圖4為本例所使用的上下模具截面圖，本例中由于石英玻璃毛細(xì)管外徑為300pm，下模內(nèi)腔6a深度d需大于300iam，這里取d為600nm，下模內(nèi)腔6a寬c取4mm。
如圖3所示，將毛細(xì)管1密封端固定于微調(diào)裝置5上，通過(guò)微調(diào)裝置5微量進(jìn)給將此排毛細(xì)管1未密封端穿過(guò)下模內(nèi)腔插入塑料管2小端2a內(nèi)腔， 一般插入深度為50(am 40mm，本例中插入深度為3mm，與毛細(xì)管1嵌入塑料管2的長(zhǎng)度b同。毛細(xì)管1插入深度應(yīng)大于等于模具合模后毛細(xì)管1嵌入塑料管2的長(zhǎng)度b。如果無(wú)需微噴嘴毛細(xì)管1有一定長(zhǎng)度懸于塑料管2腔內(nèi)，可以取插入深度與所設(shè)計(jì)嵌入長(zhǎng)度b相等。
如圖5所示，模具外設(shè)置加熱器8和加熱器9，分別加熱上模7和下模6。有兩種方式可用來(lái)判斷上下模合模的時(shí)間。第一種方法是觀測(cè)上模7和下模6間的塑料管2，當(dāng)觀測(cè)到放入上下模間的那段塑料管道有粘流態(tài)出現(xiàn)時(shí)，上下模邊緣對(duì)齊合模；第二種方法是當(dāng)上下模間溫度在低于所選熱塑性塑料粘流態(tài)溫度3(TC到高于熱塑性塑料粘流態(tài)溫度5"C的溫度范圍內(nèi)時(shí)，上下模邊緣對(duì)齊合模。常見(jiàn)的熱塑性塑料粘流態(tài)溫度如下低密度聚乙烯(108。C 126。C)、中密度聚乙烯(126。C 134。C)、高密度聚乙烯(126。C 137。C)、聚丙烯(164。C 176。C)、聚苯乙烯(120。C 180。C)、聚碳酸酯(220°C 23(TC)、聚氯乙烯(13(TC 15(TC)、聚甲基丙烯酸甲酯(16(rC 185r)、聚酰胺(18(rC 230°C)、 ABS塑料(160。C 21(TC)、聚四氟乙烯(327。C 360。C)等。對(duì)于本例來(lái)說(shuō)，塑料管2材料為聚丙烯，其粘流態(tài)溫度(熔點(diǎn))為170°C，當(dāng)模具6、 7間溫度達(dá)到156°C時(shí)，塑料管2已有部分呈現(xiàn)粘流狀態(tài)，此時(shí)將上下模邊緣對(duì)齊合模。在合模過(guò)程中流動(dòng)的塑料將毛細(xì)管間縫隙填充。
關(guān)閉加熱器8和加熱器9，冷卻上模6和下模7至室溫。在冷卻過(guò)程中，由于石英
8玻璃收縮率小于塑料，冷卻收縮的塑料將一排毛細(xì)管l間的縫隙壓緊密封，并將毛細(xì)管l壓緊固定于塑料管2的一端，從而將毛細(xì)管1緊密嵌入到塑料管2的一端。解除毛細(xì)管1和微調(diào)裝置5的連接，解除塑料管2和微調(diào)裝置4的連接，然后將塑料管2連同嵌入其一端的毛細(xì)管l取出。
向塑料管2中注入毛細(xì)管腐蝕液，使腐蝕液接觸毛細(xì)管l。本例中，采用47%的氫氟酸水溶液腐蝕石英毛細(xì)管l。腐蝕液由于毛細(xì)作用部分吸入毛細(xì)管l中，但由于毛細(xì)管1中密封氣體的壓力而只能進(jìn)入少量。腐蝕液將毛細(xì)管1加工成內(nèi)腔的內(nèi)徑由大徑逐漸過(guò)渡到微管道lb內(nèi)徑尺寸的過(guò)渡管道la，同時(shí)將微管道lb長(zhǎng)度腐蝕變短；
判斷腐蝕毛細(xì)管1的微管道lb剩余長(zhǎng)度是否達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度有兩種方法。第一
種方法若塑料管為可透光的塑料管，如塑料管材料為聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚
碳酸酯或聚甲基丙烯酸甲酯等，透過(guò)透光的塑料管2直接觀測(cè)毛細(xì)管1的腐蝕過(guò)程，當(dāng)微管道lb的剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，終止腐蝕過(guò)程，即進(jìn)行截?cái)喙艿?、清洗和干燥操作；第二種方法可先用第一種方法測(cè)定所用規(guī)格的毛細(xì)管在選定組分腐蝕液腐蝕作用下的腐蝕速度，然后在毛細(xì)管l腐蝕過(guò)程中計(jì)量腐蝕時(shí)間，將該時(shí)間與測(cè)定的腐蝕速度相乘得到腐蝕掉毛細(xì)管的長(zhǎng)度，用毛細(xì)管1插入塑料管2的長(zhǎng)度(本例即為b)減去腐蝕掉毛細(xì)管的長(zhǎng)度，可以得微管道lb的剩余長(zhǎng)度。當(dāng)微管道lb的剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，進(jìn)行截?cái)喙艿?、清洗和干燥操作?br> 具體到本例，由于聚丙烯塑料管可透光，可在顯微鏡下直接觀測(cè)嵌入塑料管2中的毛細(xì)管1的微管道lb被腐蝕的剩余長(zhǎng)度。本例所需的微管道lb長(zhǎng)度為1.5mm。當(dāng)微管道lb長(zhǎng)度達(dá)到此值時(shí)，將腐蝕過(guò)程終止。或先測(cè)得47%的氫氟酸水溶液腐蝕本例規(guī)格毛細(xì)管1的速度為每2小時(shí)lmm，本例中毛細(xì)管放入塑料管的長(zhǎng)度為3mm，由此腐蝕3小時(shí)后微管道lb剩余長(zhǎng)度達(dá)1.5mm，此時(shí)將腐蝕過(guò)程終止。對(duì)于本例來(lái)說(shuō)終止腐蝕的具體方法是:用陶瓷刀片沿毛細(xì)管1嵌入塑料管2的邊緣截去一排毛細(xì)管1的密封端，用去離子水清洗微噴嘴并干燥。
權(quán)利要求
1、一種微噴嘴，其特征在于毛細(xì)管(1)由微管道(1b)和過(guò)渡管道(1a)組成，該毛細(xì)管(1)嵌入到塑料管(2)的一端，該微管道(1b)與噴嘴外環(huán)境連通，該過(guò)渡管道(1a)與塑料管(2)的內(nèi)腔連通，所述的過(guò)渡管道(1a)的內(nèi)徑尺寸逐漸減小。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微噴嘴，其特征在于毛細(xì)管(1)為一根或者一根以上， 該一根以上的同外徑毛細(xì)管(1)軸線在同一平面內(nèi)平行排列成一排。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微噴嘴，其特征在于塑料管(2)為熱塑性塑料管道， 與塑料管(2)軸線垂直的內(nèi)腔截面形狀為圓形或由圓形逐漸過(guò)渡到扁圓形。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微噴嘴，其特征在于與毛細(xì)管(1)軸線垂直的毛細(xì)管內(nèi)腔截面形狀為圓形。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微噴嘴，其特征在于微管道(lb)的內(nèi)徑為lpm lmm。
6、 一種制作權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的微噴嘴的方法，包括以下步驟 第一步，將一個(gè)或者排成一排的毛細(xì)管(1) 一端密封，該毛細(xì)管(1)的材料為玻璃或石英；第二步，將內(nèi)腔為圓柱形、圓錐形或者內(nèi)徑臺(tái)階變化的塑料管(2)放入模具內(nèi)腔，放入的塑料管(2)的管道長(zhǎng)度為所設(shè)計(jì)的毛細(xì)管嵌入塑料管的長(zhǎng)度b;第三步，將毛細(xì)管(1)的未密封端穿過(guò)模具內(nèi)腔插入塑料管(2)放入模具的一端； 第四步，加熱模具，上下模合模，流動(dòng)的塑料將毛細(xì)管(1)間縫隙密封； 第五步，冷卻模具至室溫，塑料固化將毛細(xì)管(1)嵌入到塑料管(2)的一端，然后將塑料管(2)連同嵌入其一端的毛細(xì)管(1)取出；第六步，向塑料管(2)中注入毛細(xì)管腐蝕液，腐蝕液由于毛細(xì)作用吸入毛細(xì)管(1)的一端，將毛細(xì)管(1) 一端腐蝕加工成內(nèi)徑尺寸逐漸減小到微管道(lb)內(nèi)徑尺寸的過(guò)渡管道(la)，同時(shí)將微管道(lb)的長(zhǎng)度腐蝕變短；第七步，當(dāng)毛細(xì)管(1)的微管道(lb)剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，截去一排毛細(xì)管的密封端，清洗并干燥制備出的微噴嘴。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的微噴嘴制作方法，其特征在于 一排毛細(xì)管(l)插入塑料管(2)中的長(zhǎng)度大于或等于所設(shè)計(jì)毛細(xì)管(1)嵌入塑料管(2)的長(zhǎng)度。
8、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的微噴嘴制作方法，其特征在于當(dāng)上下模間溫度在低于所用熱塑性塑料粘流態(tài)溫度30'C到高于熱塑性塑料粘流態(tài)溫度5'C的溫度范圍內(nèi)時(shí)，上 下模合模；或者當(dāng)觀測(cè)到放入上下模間的那段塑料管有粘流態(tài)出現(xiàn)時(shí)，上下模合模。
9、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的微噴嘴制作方法，其特征在于腐蝕液為含氫氟酸的腐 蝕液。
10、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的微噴嘴制作方法，其特征在于在腐蝕過(guò)程中，若塑料管為可透光的塑料管，當(dāng)直接透過(guò)塑料管觀測(cè)到微管道(lb)的剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，進(jìn)行截?cái)喙艿?、清洗和干燥操作；或者根?jù)腐蝕液腐蝕毛細(xì)管的速度，當(dāng)計(jì)量 腐蝕時(shí)間并換算，由此判斷出微管道(lb)的剩余長(zhǎng)度達(dá)到所設(shè)計(jì)的長(zhǎng)度時(shí)，進(jìn)行截?cái)?管道、清洗和干燥操作。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種微噴嘴及其制作方法。本發(fā)明微噴嘴的毛細(xì)管由微管道和過(guò)渡管道組成，該毛細(xì)管嵌入到塑料管的一端，該微管道與噴嘴外環(huán)境連通，該過(guò)渡管道與塑料管的內(nèi)腔連通，所述的過(guò)渡管道的內(nèi)徑尺寸逐漸減小。本發(fā)明微噴嘴制作方法不需采用微機(jī)電加工工藝，具體操作步驟少，模具壓鑄和腐蝕等工藝普通機(jī)械工藝人員都能操作，因此方法簡(jiǎn)單可靠，操作人員易于學(xué)習(xí)掌握；微噴嘴圓形截面的塑料管形成了向微管道進(jìn)送液體的進(jìn)液池，同時(shí)也形成了進(jìn)液系統(tǒng)與毛細(xì)管間的宏觀連接，可以方便的與常見(jiàn)的圓截面宏觀進(jìn)液管道密封連接。微噴嘴內(nèi)的流體通道無(wú)彎角直線連通，易于進(jìn)樣、清洗和干燥。
文檔編號(hào)B81B1/00GK101486437SQ20081001925
公開(kāi)日2009年7月22日 申請(qǐng)日期2008年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月18日
發(fā)明者侯麗雅, 張曉樂(lè), 章維一 申請(qǐng)人:南京理工大學(xué)