專(zhuān)利名稱(chēng):用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種管殼,特別涉及一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)的管殼。
背景技術(shù):
傳統(tǒng)的電真空封裝已經(jīng)發(fā)展的比較成熟,微機(jī)電系統(tǒng) (Mirco-Electronic-Mechanic System簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS)真空封裝技術(shù)有很多來(lái)源于電真空的封裝工藝和技術(shù),但是由于受到制作微機(jī)電系統(tǒng)器件的材料不一(硅等半導(dǎo)體材料)、體積小 (電真空器件體積的1/10 1/100)以及工藝溫度低(小于400°C )等諸因素的限制,電真空技術(shù)常用的工藝方法很難直接移植到微機(jī)電系統(tǒng)真空封裝中,目前微機(jī)電系統(tǒng)的真空封裝是通過(guò)管殼來(lái)實(shí)現(xiàn)的,管殼是封帽和底座焊接在一起,芯片固定在底座內(nèi)部,底座端面上焊接有濾光片,吸氣劑固定裝置通過(guò)貼片的方式固定在封帽內(nèi)側(cè)底面上,而對(duì)于微光機(jī)電系統(tǒng)(Mirco-Optical-Electronic-Mechanic System 簡(jiǎn)稱(chēng) M0EMS)的封裝,由于需要提供不同波段的光傳感的窗口,故用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼與現(xiàn)有的微機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼也不相同。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述缺陷,本實(shí)用新型提供了一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)的管殼,該用于微光機(jī)電系統(tǒng)的管殼內(nèi)部無(wú)內(nèi)應(yīng)力,結(jié)構(gòu)強(qiáng)度大,密封性高。本實(shí)用新型為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,包括底座、封帽、濾光片和吸氣劑固定裝置,呈中空筒狀結(jié)構(gòu)的底座一端內(nèi)側(cè)設(shè)有環(huán)狀芯片固定槽,底座圓周外側(cè)壁上設(shè)有一圈環(huán)狀外擴(kuò)止擋,封帽覆蓋于底座一端外側(cè)并與底座上環(huán)狀外擴(kuò)止擋密封固連,底座另一端設(shè)有與內(nèi)部空間連通的開(kāi)口,濾光片密封固定覆蓋于該開(kāi)口外側(cè)端面上,所述封帽軸向端面上設(shè)有與底座內(nèi)部連通的透光窗口,還設(shè)有透光片,該透光片密封固定覆蓋位于封帽透光窗口外側(cè)端面上,柱狀的吸氣劑固定裝置固定設(shè)于封帽和底座之一的內(nèi)側(cè)壁上,增加透光窗口后,提供了可見(jiàn)光通道,便于光信號(hào)的讀取。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述底座一端外側(cè)徑向外擴(kuò)形成一圈環(huán)狀凸臺(tái)結(jié)構(gòu),增大了底座外側(cè)環(huán)狀外擴(kuò)止擋與芯片間熱容量,防止封帽與底座焊接時(shí)熱量過(guò)高而損壞芯片。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述透光片為藍(lán)寶石玻璃,藍(lán)寶石玻璃具有透光性好、密度大、結(jié)構(gòu)致密的優(yōu)點(diǎn),確保透光的同時(shí)確保密封性,防止漏氣。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述濾光片為鍍有增透膜的鍺玻璃。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型在底座和封帽上分別設(shè)置濾光片和透光片,能為微光機(jī)電系統(tǒng)提供不同波段的光,實(shí)現(xiàn)了微光機(jī)電系統(tǒng)光信號(hào)的讀取,同時(shí)該真空封裝的管殼設(shè)有環(huán)狀凸臺(tái)結(jié)構(gòu),增大了底座與芯片間熱容量,防止封帽與底座焊接時(shí)熱量過(guò)高而損壞芯片,保證了芯片的有效性,且該真空封裝的管殼內(nèi)部無(wú)內(nèi)應(yīng)力,結(jié)構(gòu)強(qiáng)度大,密封性高。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,包括底座1、封帽2、濾光片3和吸氣劑固定裝置4,呈中空筒狀結(jié)構(gòu)的底座1 一端內(nèi)側(cè)設(shè)有環(huán)狀芯片固定槽,底座圓周外側(cè)壁上設(shè)有一圈環(huán)狀外擴(kuò)止擋12,封帽2覆蓋于底座1 一端外側(cè)并與底座上環(huán)狀外擴(kuò)止擋12 密封固連,底座1另一端設(shè)有與內(nèi)部空間連通的開(kāi)口 13,濾光片3密封固定覆蓋于該開(kāi)口 13外側(cè)端面上,所述封帽2軸向端面上設(shè)有與底座1內(nèi)部連通的透光窗口 21,還設(shè)有透光片5,該透光片5密封固定覆蓋位于封帽透光窗口 21外側(cè)端面上,柱狀的吸氣劑固定裝置4 固定設(shè)于封帽2和底座1之一的內(nèi)側(cè)壁上,增加透光窗口后,提供了可見(jiàn)光通道,便于光信號(hào)的讀取。所述底座1 一端外側(cè)徑向外擴(kuò)形成一圈環(huán)狀凸臺(tái)結(jié)構(gòu)11,增大了底座外側(cè)環(huán)狀外擴(kuò)止擋與芯片間熱容量,防止封帽與底座焊接時(shí)熱量過(guò)高而損壞芯片。所述透光片5為藍(lán)寶石玻璃,藍(lán)寶石玻璃具有透光性好、密度大、結(jié)構(gòu)致密的優(yōu)點(diǎn),確保透光的同時(shí)確保密封性,防止漏氣。所述濾光片3為鍍有增透膜的鍺玻璃。
權(quán)利要求1.一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,包括底座(1)、封帽(2)、濾光片(3)和吸氣劑固定裝置G),呈中空筒狀結(jié)構(gòu)的底座(1) 一端內(nèi)側(cè)設(shè)有環(huán)狀芯片固定槽,底座圓周外側(cè)壁上設(shè)有一圈環(huán)狀外擴(kuò)止擋(12),封帽( 覆蓋于底座(1) 一端外側(cè)并與底座上環(huán)狀外擴(kuò)止擋(12)密封固連,底座⑴另一端設(shè)有與內(nèi)部空間連通的開(kāi)口(13),濾光片(3)密封固定覆蓋于該開(kāi)口(13)外側(cè)端面上,其特征在于所述封帽(2)軸向端面上設(shè)有與底座(1) 內(nèi)部連通的透光窗口(21),還設(shè)有透光片(5),該透光片(5)密封固定覆蓋位于封帽透光窗口 外側(cè)端面上,柱狀的吸氣劑固定裝置(4)固定設(shè)于封帽( 和底座(1)之一的內(nèi)側(cè)壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,其特征在于所述底座 (1) 一端外側(cè)徑向外擴(kuò)形成一圈環(huán)狀凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,其特征在于所述透光片(5)為藍(lán)寶石玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,其特征在于所述濾光片( 為鍍有增透膜的鍺玻璃。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼,底座內(nèi)有芯片固定槽,封帽密封固連于底座一端外側(cè)的環(huán)狀外擴(kuò)止擋,濾光片密封覆蓋于底座另一端的開(kāi)口外側(cè),透光片密封固定覆蓋于封帽軸向端面的透光窗口外側(cè),吸氣劑固定裝置固設(shè)于封帽和底座內(nèi),本實(shí)用新型用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝,同時(shí)保證芯片不因高溫失效,且該真空封裝的管殼內(nèi)部無(wú)內(nèi)應(yīng)力,結(jié)構(gòu)強(qiáng)度大,密封性高。
文檔編號(hào)B81B7/00GK202246042SQ20112031565
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月26日
發(fā)明者高杰 申請(qǐng)人:昆山光微電子有限公司