一種感測器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種感測器，包括：基板；感測元件，設(shè)置于所述的基板上；至少兩層柱墻，環(huán)繞感測元件設(shè)置于所述基板上，所述的柱墻通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻之間通過封裝膠體粘結(jié)；感測元件結(jié)構(gòu)層，覆蓋設(shè)置于最外層柱墻外圍；至少兩個封蓋，最內(nèi)層封蓋卡設(shè)于最內(nèi)層兩柱墻封裝膠體之間，外層封蓋設(shè)于柱墻上。該種感測器的包含有多層柱墻，能有效的防止感測器因撞擊而損壞，抗外界的沖擊能力大大增強(qiáng)，并且柱墻之間通過封裝膠體連接并且柱墻之間的封裝膠體內(nèi)設(shè)有氣穴，連接更牢固，由于設(shè)置了氣穴，形成了一定的緩沖空間，因此抗沖擊能力進(jìn)一步增加，不易損壞。感測元件還設(shè)有密封層，增加了支撐點(diǎn)，能進(jìn)一步保護(hù)感測元件。
【專利說明】一種感測器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種感測器，尤其是一種微機(jī)電感測器。
【背景技術(shù)】
[0002]感測器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將檢測感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
[0003]感測器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在工業(yè)和生活中，例如壓力計(jì)、加速度計(jì)以及陀螺儀等都屬于感測器的一種。就其原理分類，可以分為電容式、電阻式和熱感應(yīng)式等很多種。
[0004]隨著微機(jī)電制造技術(shù)的飛速發(fā)展，很多感測器都采用微機(jī)電制造，以大大縮小其體積。但是，同時如何對這類微機(jī)電感測器進(jìn)行封裝保護(hù)，就成為迫切需要解決的問題。如果保護(hù)過于脆弱就難以抵御外界環(huán)境等原因造成的沖擊，從而大大縮短了這類感測器的使用壽命，但是如果保護(hù)過于厚重，又可能影響其靈敏度，或者其體積也會增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種體積小，保護(hù)強(qiáng)度高的微機(jī)電感測器。
[0006]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種感測器，包括:
基板；
感測元件，設(shè)置于所述的基板上；
至少兩層柱墻，環(huán)繞感測元件設(shè)置于所述基板上，所述的柱墻通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻之間通過封裝膠體粘結(jié)；
感測元件結(jié)構(gòu)層，覆蓋設(shè)置于最外層柱墻外圍；
至少兩個封蓋，最內(nèi)層封蓋卡設(shè)于最內(nèi)層兩柱墻封裝膠體之間，外層封蓋設(shè)于柱墻上。
[0007]進(jìn)一步的，所述的柱墻之間的封裝膠體內(nèi)設(shè)有氣穴。
[0008]進(jìn)一步的，所述的感測元件上表面覆蓋有一層密封層。
[0009]進(jìn)一步的，所述的密封層由絕緣重量輕的材料制成。
[0010]進(jìn)一步的，所述的柱墻的厚度大于感測元件的厚度。
[0011 ] 進(jìn)一步的，所述的柱墻為氧化硅、銅或聚合物。
[0012]進(jìn)一步的，所述的柱墻為兩層，封裝膠體延伸至外層柱墻的上端與封蓋結(jié)合。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:該種感測器的包含有多層柱墻，能有效的防止感測器因撞擊而損壞，抗外界的沖擊能力大大增強(qiáng)，并且柱墻之間通過封裝膠體連接并且柱墻之間的封裝膠體內(nèi)設(shè)有氣穴，連接更牢固，由于設(shè)置了氣穴，形成了一定的緩沖空間，因此抗沖擊能力進(jìn)一步增加，不易損壞。感測元件還設(shè)有密封層，增加了支撐點(diǎn)，能進(jìn)一步保護(hù)感測元件。
[0014]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0017]如圖1所示是本實(shí)施例的剖視結(jié)構(gòu)示意圖，
一種感測器，包括:
基板1，最好是集成電路基板；感測元件4，設(shè)置于所述的基板I上，感測元件4通過焊接點(diǎn)6焊接與基板上I ;至少兩層柱墻21，環(huán)繞感測元件4設(shè)置于所述基板I上，所述的柱墻21通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻21之間通過封裝膠體32粘結(jié)；感測元件結(jié)構(gòu)層31，覆蓋設(shè)置于最外層柱墻21的外圍；至少兩個封蓋8、10，最內(nèi)層封蓋8卡設(shè)于最內(nèi)層兩柱墻22封裝膠體32之間，外層封蓋10設(shè)于柱墻21上。
[0018]所述的基板I可以是硅、砷化鎵等多種材料，這些材料已被廣泛的研發(fā)和使用。在基板I上預(yù)先制造集成電路，與感測元件共同實(shí)現(xiàn)感測功能，感測元件結(jié)構(gòu)層31通過基板I內(nèi)部的集成電路連接。
[0019]所述的柱墻21、22之間的封裝膠體32內(nèi)設(shè)有氣穴11，氣穴11相當(dāng)于設(shè)置一個緩沖區(qū)，增加沖擊的緩沖。
[0020]所述的感測元件4上表面覆蓋有一層密封層5，密封層5延伸到最內(nèi)層柱墻22。所述的密封層5由絕緣重量輕的材料制成。
[0021]所述的柱墻21、22的厚度大于感測元件4的厚度。
[0022]所述的柱墻21、22為氧化硅、銅或聚合物。
[0023]所述的柱墻最好為兩層，封裝膠體32延伸至外層柱墻21的上端與封蓋10結(jié)合。
[0024]需要說明的是，雖然該種感測器有多層柱墻，但是相比較一層柱墻不會占有更多的空間，因?yàn)?，柱墻的體積很小，兩層柱墻比一層柱墻沒有太明顯的體積上的變化，但是兩層柱墻的抗沖擊能力卻大大的增加，因此具有積極的意義。
[0025]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種感測器，其特征在于，包括: 基板； 感測元件，設(shè)置于所述的基板上； 至少兩層柱墻，環(huán)繞感測元件設(shè)置于所述基板上，所述的柱墻通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻之間通過封裝膠體粘結(jié)； 感測元件結(jié)構(gòu)層，覆蓋設(shè)置于最外層柱墻外圍； 至少兩個封蓋，最內(nèi)層封蓋卡設(shè)于最內(nèi)層兩柱墻封裝膠體之間，外層封蓋設(shè)于柱墻上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感測器，其特征是所述的柱墻之間的封裝膠體內(nèi)設(shè)有氣穴。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感測器，其特征是所述的感測元件上表面覆蓋有一層密封層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的感測器，其特征是所述的密封層由絕緣重量輕的材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的感測器，其特征是所述的柱墻的厚度大于感測元件的厚度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的感測器，其特征是所述的柱墻為氧化硅、銅或聚合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的感測器，其特征是所述的柱墻為兩層，封裝膠體延伸至外層柱墻的上端與封蓋結(jié)合。
【文檔編號】B81B7/00GK103803481SQ201410045658
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2014年2月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月9日
【發(fā)明者】孟繁茂 申請人:蘇州萃智新技術(shù)開發(fā)有限公司