技術特征：
技術總結
描述了一種包括預加載懸掛彈簧的MEMS傳感器和用于機械預加載MEMS傳感器的懸掛彈簧的方法。所述MEMS傳感器包括：MEMS支承結構；連接到所述支承結構的多個懸掛彈簧；以及由所述懸掛彈簧柔性地懸掛的檢驗質量塊；其中，所述懸掛彈簧中的至少一個被機械預加載有壓縮力，用于減小所述質量塊的自然頻率。
技術研發(fā)人員：E·赫尼斯;A·伯托里尼;J·F·萬德布蘭登
受保護的技術使用者：斯蒂廷VU-VUMC公司;弗姆尼克赫夫公司
技術研發(fā)日：2015.06.08
技術公布日：2017.08.18