1.一種微機電系統(tǒng)裝置，包括：
載體；
粒子過濾器結(jié)構(gòu)，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)耦合至所述載體，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)包括網(wǎng)格，其中所述網(wǎng)格包括多個網(wǎng)格單元，每個網(wǎng)格單元包括至少一個通孔；以及
微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)的與載體相對之側(cè)；
其中所述多個網(wǎng)格單元的高度大于對應的所述網(wǎng)格單元的寬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約0.3μm至大約2μm的范圍內(nèi)的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約3μm至大約20μm的范圍內(nèi)的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括第一網(wǎng)格層和第二網(wǎng)格層，所述第二網(wǎng)格層設(shè)置在所述第一網(wǎng)格層之上；
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在相對于所述第一網(wǎng)格層的與所述第二網(wǎng)格層相同之側(cè)；
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層是導電的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更小的網(wǎng)眼寬度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)被配置為麥克風或者揚聲器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)形成所述麥克風或者揚聲器的背板的至少部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括硅。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏水層。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏油層。
12.一種微機電系統(tǒng)裝置，包括：
第一襯底；
第二襯底，所述第二襯底鍵合至所述第一襯底；
其中所述第二襯底包括粒子過濾器結(jié)構(gòu)，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)包括網(wǎng)格，其中所述網(wǎng)格包括多個網(wǎng)格單元，每個網(wǎng)格單元包括至少一個通孔；以及
微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在與所述第二襯底相對的所述第一襯底之上；
其中所述多個網(wǎng)格單元的高度大于對應的所述網(wǎng)格單元的寬度。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約0.3μm至大約2μm的范圍內(nèi)的寬度。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約3μm至大約20μm的范圍內(nèi)的高度。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括第一網(wǎng)格層和第二網(wǎng)格層，所述第二網(wǎng)格層設(shè)置在所述第一網(wǎng)格層之上；
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在相對于所述第一網(wǎng)格層的與所述第二網(wǎng)格層相同之側(cè)；
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的寬度。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更小的網(wǎng)眼寬度。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的網(wǎng)眼寬度。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)被配置為麥克風或者揚聲器。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)形成所述麥克風或者揚聲器的背板的至少部分。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括硅。
21.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏水層。
22.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏油層。
23.一種微機電系統(tǒng)裝置，包括：
載體；
粒子過濾器結(jié)構(gòu)，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)耦合至所述載體，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)包括硅網(wǎng)格，其中所述硅網(wǎng)格包括多個網(wǎng)格單元，每個網(wǎng)格單元包括至少一個通孔；以及
微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)之上，其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)包括多個電極和耦合至所述多個電極的膜；
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約0.3μm至大約1μm的范圍內(nèi)的寬度；以及
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在大約3μm至大約20μm的范圍內(nèi)的高度。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括第一網(wǎng)格層和設(shè)置在所述第一網(wǎng)格層之上的第二網(wǎng)格層；
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在相對于所述第一網(wǎng)格層的與所述第二網(wǎng)格層相同之側(cè)；
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的寬度。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第一網(wǎng)格層具有在大約0.3μm至大約1μm的范圍內(nèi)的寬度。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有在大約1μm至大約3μm的范圍內(nèi)的寬度。
27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有在大約0.5μm至大約5μm的范圍內(nèi)的高度。
28.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分的高度是所述網(wǎng)格單元的所述至少部分寬度的至少2倍。
29.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)被配置為麥克風或者揚聲器。
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)形成所述麥克風或者揚聲器的背板的至少部分。
30.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括多晶硅。
31.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏水層。
32.根據(jù)權(quán)利要求23所述的微機電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏油層。