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一種MEMS傳感器低應力封裝管殼及封裝系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12389467閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種MEMS傳感器低應力封裝管殼,其特征在于,所述封裝管殼用于封裝MEMS芯片,所述封裝管殼底端內部設有孤島結構和應力隔離槽,其中;

孤島結構,所述孤島結構位于所述MEMS芯片中心下方,用于支撐所述MEMS芯片;

應力隔離槽,所述應力隔離槽位于所述孤島結構周側,用于隔離封裝管殼形變對MEMS芯片的影響。

2.根據(jù)權利要求1所述的封裝管殼,其特征在于,所述孤島結構包括點膠孤島、鏤空凹槽和封閉支撐,所述點膠孤島位于所述鏤空凹槽內,所述封閉支撐位于所述鏤空凹槽周側,所述點膠孤島通過鏤空凹槽連接封閉支撐。

3.根據(jù)權利要求2所述的封裝管殼,其特征在于,所述封閉支撐為方形或圓形凸起,所述封閉支撐與所述點膠孤島高度相同。

4.根據(jù)權利要求2所述的封裝管殼,其特征在于,所述應力隔離槽連接在所述封閉支撐外側,所述應力隔離槽為方形或圓形的環(huán)狀凹槽,所述應力隔離槽位于所述MEMS芯片周側下方。

5.根據(jù)權利要求1所述的封裝管殼,其特征在于,所述封裝管殼內還設有溫度傳感器,所述溫度傳感器位于封裝管殼內的MEMS芯片旁側,孤島結構外側,用于測量MEMS芯片貼片區(qū)域的溫度,作為溫度補償?shù)囊罁?jù)。

6.根據(jù)權利要求1所述的封裝管殼,其特征在于,所述封裝管殼為氮化鋁材料。

7.一種MEMS傳感器低應力封裝系統(tǒng),基于上述權利要求1-6之一所述的封裝管殼,其特征在于,所述封裝系統(tǒng)包括封裝管殼、電路板和勾形引腳,所述封裝管殼通過勾形引腳連接所述電路板。

8.根據(jù)權利要求7所述封裝系統(tǒng),其特征在于,所述勾形引腳為可伐合金。

9.根據(jù)權利要求7所述封裝系統(tǒng),其特征在于,所述電路板為陶瓷材質,所述電路板位于封裝管殼下方。

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