技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于差動(dòng)梳形驅(qū)動(dòng)MEMS的系統(tǒng)和方法。根據(jù)實(shí)施例，一種MEMS裝置包括：可偏轉(zhuǎn)薄膜，包括第一多個(gè)靜電梳齒；第一錨定結(jié)構(gòu)，包括與第一多個(gè)靜電梳齒的第一子集交錯(cuò)的第二多個(gè)靜電梳齒；和第二錨定結(jié)構(gòu)，包括與第一多個(gè)靜電梳齒的第二子集交錯(cuò)的第三多個(gè)靜電梳齒。第二多個(gè)靜電梳齒相對(duì)于第一多個(gè)靜電梳齒沿第一方向偏移，并且第三多個(gè)靜電梳齒相對(duì)于第一多個(gè)靜電梳齒沿第二方向偏移，其中第一方向不同于第二方向。

技術(shù)研發(fā)人員：W.克萊因
受保護(hù)的技術(shù)使用者：英飛凌科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.28
技術(shù)公布日：2017.08.11