一梳狀電極10與第二梳狀電極20之間施加電壓。此外，梳狀驅(qū)動(dòng)裝置I具有另一第一梳狀電極10，其相對(duì)于第一梳狀電極10沿著偏移方向設(shè)置。
[0032]在圖2中示出了在由現(xiàn)有技術(shù)已知的實(shí)施方式中的具有經(jīng)偏轉(zhuǎn)的鏡元件30的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置1，所述梳狀驅(qū)動(dòng)裝置具有可偏轉(zhuǎn)的鏡元件30。雖然設(shè)置，第一梳狀電極10和第二梳狀電極20沿著偏移方向交錯(cuò)地行進(jìn)，但是一一通過(guò)第二梳狀電極20經(jīng)由杠桿臂25鉸接到偏轉(zhuǎn)軸22引起地一一通過(guò)第二梳狀電極20的有針對(duì)性地引起的偏移運(yùn)動(dòng)(相對(duì)于第一梳狀電極)開始第二梳狀電極20相對(duì)于第一梳狀電極10的旋轉(zhuǎn)。作為該旋轉(zhuǎn)的結(jié)果第二梳狀電極20的部件15從與第一梳狀電極10的重疊區(qū)域滑出，而第一梳狀電極的部件15從與第二梳狀電極的重疊區(qū)域滑出。由此產(chǎn)生的結(jié)果在圖3中示出。在圖3的左側(cè)上示出七個(gè)不同的偏轉(zhuǎn)位置，它們的相互區(qū)別在于第二梳狀電極20相對(duì)于第一梳狀電極10的傾斜角 A = -6°、B = -4°、C = -2°、D = 0°、E = 2°、F = 4° 以及 G = 6°。在圖 3的右側(cè)上在上面記錄了對(duì)于相應(yīng)的偏轉(zhuǎn)計(jì)算的以UN為單位的靜電力201，其中，不僅在第一力變化曲線110中而且在第二力變化曲線中可以確定靜電力隨著增加的偏轉(zhuǎn)而減小。在圖3的右側(cè)上在下面示出了根據(jù)傾斜角100的以pF單位的電容變化曲線301。尤其可以確定，靜電力201不是線性地隨著在第一與第二梳狀電極10和20之間施加的電壓而增加或減小。換言之:對(duì)于大的偏轉(zhuǎn)而言對(duì)于進(jìn)一步的或附加的偏轉(zhuǎn)相比于在沒有重疊損失的情況下需要更大的電壓。在G = 6°處的增加應(yīng)歸因于，第二梳狀電極20幾乎接觸第一梳狀電極10。這樣強(qiáng)的非線性效應(yīng)可以通過(guò)第一與第二梳狀電極11和21之間的相應(yīng)間距避免。
[0033]在圖4中示出了梳狀驅(qū)動(dòng)裝置I的透視圖和側(cè)視圖。在此，第一梳狀電極10沿著第一延伸方向包括第一梳狀齒11，而第二梳狀電極20沿著第二延伸方向包括第二梳狀齒21。典型地，第一梳狀電極10和第二梳狀電極20如此設(shè)置，使得第一和第二梳狀電極10和20彼此嵌接地設(shè)置。優(yōu)選地，第一梳狀齒11和第二梳狀21如此設(shè)置，使得在第一和第二梳狀電極10和20彼此嵌接的情況下第一和第二梳狀齒11和21交替相鄰地沿著基本上于偏移方向垂直的投影方向設(shè)置。尤其第一梳狀齒11沿著第一延伸方向具有第一延伸長(zhǎng)度，而第二梳狀齒沿著第二延伸方向具有第二延伸長(zhǎng)度。尤其第一延伸長(zhǎng)度和第二延伸長(zhǎng)度確定，第一梳狀電極10能夠進(jìn)入到第二梳狀電極20中多大程度。
[0034]在圖5中示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性的第一實(shí)施方式的具有可偏轉(zhuǎn)的鏡元件30的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置1，其中，可偏轉(zhuǎn)的鏡元件30設(shè)置在零位置。在此設(shè)置，沿著通過(guò)杠桿臂25的一般走向預(yù)給定的方向，偏轉(zhuǎn)軸22與第二梳狀電極20之間的間距大于第二梳狀電極20沿著相同方向的延伸、優(yōu)選大于第二梳狀電極20沿著相同方向的延伸的兩倍。尤其第二梳狀電極20設(shè)置在杠桿臂25的端部處。該設(shè)置相比于在圖1中示出的設(shè)置具有的優(yōu)點(diǎn)在于，對(duì)于第一或第二梳狀電極的制造方法可能的是，實(shí)現(xiàn)第一或第二梳狀齒11或21之間的盡可能小的間距。所述間距的減小造成了可以提高靜電力。此外，可以在相同的結(jié)構(gòu)空間要求下實(shí)現(xiàn)梳狀驅(qū)動(dòng)裝置I中的、尤其第二梳狀電極20中的更多的梳狀齒，由此進(jìn)一步提高由梳狀驅(qū)動(dòng)裝置I可加載的力。
[0035]在圖6中示出了根據(jù)示例性的第一實(shí)施方式的具有本發(fā)明的經(jīng)偏轉(zhuǎn)的鏡元件30的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置1，所述梳狀驅(qū)動(dòng)裝置具有可偏轉(zhuǎn)的鏡元件30。通過(guò)減小第二梳狀電極20沿著基本上通過(guò)杠桿臂25的一般走向預(yù)給定的方向的延伸，使得在第二梳狀電極20相對(duì)于第一梳狀電極10傾斜的情況下重疊的減小相比于在如圖1和2示出的設(shè)置中顯著更明顯O
[0036]在圖7中示出了根據(jù)示例性的第二、第三和第四實(shí)施方式的第一和第二梳狀齒11和21。在所有在圖7示出的實(shí)施方式中分別在左側(cè)示出了第一梳狀電極10并且在右側(cè)示出了第二梳狀電極20。在第二實(shí)施方式中(上方)，第二梳狀電極20的第二梳狀齒21沒有縮細(xì)，然而第一梳狀電極10如此構(gòu)型，使得在兩個(gè)梳狀齒11之間的間距沿著相反于偏移方向的方向增大。如果第二梳狀齒21沿著偏移方向并且由此沿著第二梳狀齒21的方向運(yùn)動(dòng)，則第一和分別第二梳狀齒11和21之間的平均間距減小。減小的間距引起，靜電力相比于以下情況增加:在該情況下在第一與第二梳狀齒11和12之間的平均間距不變。在第三實(shí)施方式(中間圖)中設(shè)置，附加地第二梳狀齒21沿第一梳狀電極10的方向、尤其是沿偏移方向縮細(xì)。在此根據(jù)第三實(shí)施方式設(shè)置，第二梳狀齒21如一個(gè)等腰三角形那樣成型。在第四實(shí)施方式(下方)中第二梳狀齒21的縮細(xì)如此構(gòu)型，使得第二梳狀齒21的側(cè)面或棱邊是彎曲的。通過(guò)彎曲的形狀可以如此調(diào)整靜電力的增加，使得可以盡可能實(shí)現(xiàn)線性驅(qū)動(dòng)特征。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)，其具有能夠偏轉(zhuǎn)的鏡元件(30)，其中，所述梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)具有第一梳狀電極(10)和第二梳狀電極(20)，其中，所述第二梳狀電極(20)沿著相對(duì)于所述第一梳狀電極(10)的偏移方向能夠由最小偏移位置轉(zhuǎn)變到最大偏移位置，其中，所述第二梳狀電極(20)經(jīng)由繞偏轉(zhuǎn)軸(22)能夠偏轉(zhuǎn)的杠桿臂(25)與所述鏡元件(30)連接，其中，所述第一梳狀電極(10)和所述第二梳狀電極(20)如此彼此嵌接地設(shè)置，使得所述第一梳狀電極(10)的第一梳狀齒(11)和所述第二梳狀電極(20)的第二梳狀齒(21)沿著與所述偏移方向垂直的投影方向相互相鄰地設(shè)置，其特征在于，所述第一梳狀齒(11)和/或所述第二梳狀齒(21)如此構(gòu)造，使得所述第一梳狀齒(11)與所述第二梳狀齒(21)之間的沿著與所述偏移方向垂直的投影方向的平均間距在所述第二梳狀電極(20)從最小偏移方向到最大偏移位置的轉(zhuǎn)變中減小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)，其中，所述第二梳狀齒(21)沿偏移方向和/或所述第一梳狀齒(11)相反于所述偏移方向地縮細(xì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)，其中， 所述第一梳狀齒(11)沿著與所述偏移方向相反的方向和/或 所述第二梳狀齒(21)沿著所述偏移方向具有超過(guò)8%的平均縮細(xì)。
4.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)， 其中，沿著通過(guò)所述杠桿臂(25)的一般走向預(yù)給定的方向偏轉(zhuǎn)軸(22)與第一和/或第二梳狀電極(10、20)之間的間距大于所述第一梳狀電極(10)的延伸的兩倍；和/或 其中，偏轉(zhuǎn)軸(22)與第一和/或第二梳狀電極(10、20)之間的間距大于所述第二梳狀電極(10、20)沿著通過(guò)所述杠桿臂(25)的一般走向預(yù)給定的方向的延伸的兩倍。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置，其中，所述第一梳狀齒(11)和/或所述第二梳狀齒(21)如此構(gòu)型，使得所述第一梳狀齒(11)與所述第二梳狀齒(21)之間的平均間距在所述第二梳狀電極(20)由所述最小偏移方向到所述最大偏移位置的轉(zhuǎn)變中減小超過(guò)5%。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)， 其中，所述第一梳狀電極(10)的沿著平行于所述杠桿臂(25)的一般走向的第一側(cè)與所述杠桿臂(25)的平行于所述杠桿臂(25)的一般走向的側(cè)的第一側(cè)比例大于以弧度為單位的最大偏轉(zhuǎn)角度的平方的四倍；和/或 其中，所述第二梳狀電極(20)的沿著平行于所述杠桿臂(25)的一般走向的第二側(cè)與所述杠桿臂(25)的平行于所述杠桿臂(25)的一般走向的側(cè)的第二側(cè)比例大于所述以弧度為單位的最大偏轉(zhuǎn)角度的平方的四倍。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)，其中，扭轉(zhuǎn)彈簧沿著所述偏轉(zhuǎn)軸(22)設(shè)置。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)，其中，所述第一梳狀電極(10)與所述第二梳狀電極(20)之間的電壓是能夠調(diào)節(jié)的。
9.一種微鏡，其具有根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)的具有能夠偏轉(zhuǎn)的鏡元件(30)的梳狀驅(qū)動(dòng)裝置(I)。
【專利摘要】本發(fā)明提出一種梳狀驅(qū)動(dòng)裝置，其具有能夠偏轉(zhuǎn)的鏡元件，其中，所述梳狀驅(qū)動(dòng)裝置具有第一梳狀電極和第二梳狀電極，其中，所述第二梳狀電極沿著相對(duì)于所述第一梳狀電極的偏移方向能夠由最小偏移位置轉(zhuǎn)變到最大偏移位置，其中，所述第二梳狀電極經(jīng)由繞偏轉(zhuǎn)軸能夠偏轉(zhuǎn)的杠桿臂與所述鏡元件連接，其中，所述第一梳狀電極和所述第二梳狀電極如此彼此嵌接地設(shè)置，使得所述第一梳狀電極的第一梳狀齒和所述第二梳狀電極的第二梳狀齒沿著與所述偏移方向垂直的投影方向相互相鄰地設(shè)置，其特征在于，所述第一梳狀齒和/或所述第二梳狀齒如此構(gòu)造，使得所述第一梳狀齒與所述第二梳狀齒之間的沿著與所述偏移方向垂直的投影方向的平均間距在所述第二梳狀電極從最小偏移方向到最大偏移位置的轉(zhuǎn)變中減小。
【IPC分類】G02B26-10, B81B3-00, B81B7-02, G02B5-08
【公開號(hào)】CN104692317
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410742366
【發(fā)明人】H·阿特曼, J·賴因穆特, P·蘇迪
【申請(qǐng)人】羅伯特·博世有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月8日
【公告號(hào)】DE102013225364A1, US20150160455