一種壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在汽車上已經(jīng)出現(xiàn)了越來越多的傳感器使用MEMS壓力傳感器芯片，包括機油壓力傳感器、MAP傳感器(即進氣歧管絕對壓力傳感器)和胎壓監(jiān)測等。傳統(tǒng)的MEMS壓力傳感器封裝主要有金屬封裝、陶瓷封裝和塑料封裝三種形式，隨著MEMS封裝技術(shù)取得很大進展，出現(xiàn)了眾多的MEMS封裝技術(shù)，包括金屬封裝、陶瓷封裝和塑料封裝。然而汽車電子的快速發(fā)展，對所用傳感器的需求是高質(zhì)量、低成本，所以就不太適用于金屬封裝和陶瓷封裝了。塑料封裝因工藝比較成熟、成本低、易大批量生產(chǎn)而受到芯片設(shè)計商及封裝廠的青睞。
[0003]然而塑料封裝也有缺點，塑料封裝硬度低、易變形，現(xiàn)在的塑料封裝MEMS壓力傳感器一般是SOP封裝(Small Out-Line Package，小外形封裝)或者QFN封裝(Quad FlatNo-lead Package，方形扁平無引腳封裝)，封裝之后的壓力傳感器芯片焊接在電路板上，電路板受壓力變形會引起傳感器封裝變形而影響測量結(jié)果。而使用金屬基底電路板或者陶瓷基底電路板又會大幅增加成本，同時也增加了焊接工序和成本，不利于大批量生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置，以在承載壓力傳感器的電路板變形時，吸收引起變形的應(yīng)力，使其不足以影響壓力傳感器的輸出結(jié)果。
[0005]本發(fā)明采用的技術(shù)手段如下:
[0006]一種壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置，包括:傳感器裝配部、與電路板連接的固定部以及連接所述傳感器裝配部和所述固定部的可形變部；
[0007]其中，所述傳感器裝配部用于固定已封裝的傳感器芯片，且所述傳感器裝配部設(shè)置有對應(yīng)已封裝的傳感器芯片引腳的連接點；
[0008]所述固定部包括與電路板電路連接的焊接點，所述焊接點與所述連接點通過形成于所述可形變部中的導(dǎo)線電連接；
[0009]所述可形變部用于在電路板受應(yīng)力變形時發(fā)生形變。
[0010]進一步，所述可形變部包括應(yīng)力釋放臂和溝槽。
[0011]進一步，所述應(yīng)力釋放臂連接所述固定部和傳感器裝配部，所述應(yīng)力釋放臂和溝槽延展于所述固定部和傳感器裝配部之間。
[0012]進一步，所述固定部包括分別設(shè)置于所述傳感器裝配部對應(yīng)兩側(cè)的第一固定部和第二固定部；所述第一固定部遠離所述傳感器裝配部的外側(cè)邊緣設(shè)置有與電路板電路電連接的第一焊點組，所述第二固定部遠離所述傳感器裝配部的外側(cè)邊緣設(shè)置有與電路板電路電連接的第二焊點組；
[0013]所述可形變部包括于所述傳感器裝配部臨近所述第一固定部一側(cè)延伸連接所述第一固定部的第一應(yīng)力釋放臂，以及于所述傳感器裝配部臨近所述第二固定部一側(cè)延伸連接所述第二固定部的第二應(yīng)力釋放臂；
[0014]所述可變形部還包括由第一固定部、第一應(yīng)力釋放臂和所述傳感器裝配部的臨近所述第一固定部一側(cè)構(gòu)成的第一溝槽，以及由第二固定部、第二應(yīng)力釋放臂和所述傳感器裝配部的臨近所述第二固定部一側(cè)構(gòu)成的第二溝槽。
[0015]進一步，所述第一溝槽于水平第一方向具有開口，并沿與第一方向相反的第二方向延伸，所述第二溝槽于水平第二方向具有開口，并沿第一方向延伸。
[0016]進一步，所述第一溝槽于水平第一方向具有開口，并沿與第一方向相反的第二方向衍生，所述第二溝槽于水平第一方向具有開口，并沿第二方向延伸。
[0017]進一步，所述固定部包括分別設(shè)置于所述傳感器裝配部對應(yīng)兩側(cè)的第一固定部和第二固定部；所述第一固定部遠離所述傳感器裝配部的外側(cè)邊緣設(shè)置有與電路板電路電連接的第一焊點組，所述第二固定部遠離所述傳感器裝配部的外側(cè)邊緣設(shè)置有與電路板電路電連接的第二焊點組；
[0018]所述可形變部包括于所述傳感器裝配部一側(cè)以所述傳感器裝配部為中心螺旋延伸連接第一固定部的第一應(yīng)力釋放臂，以及沿螺旋方向連接第一固定部和第二固定部的第二應(yīng)力釋放臂；
[0019]所述可形變部還包括由所述傳感器裝配部邊緣、第一應(yīng)力釋放臂、第一固定部、第二應(yīng)力釋放臂和第二固定部圍成的螺旋形溝槽。
[0020]進一步，溝槽具有底壁或底部暴露電路板。
[0021]本發(fā)明所提供的壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置，當電路板受到應(yīng)力發(fā)生形變時，可形變部發(fā)生形變，釋放了由電路板變形而產(chǎn)生的應(yīng)力，使得固定于傳感器裝配部的已封裝的傳感器芯片焊接處變形變小，從而減小了傳感器由變形引起的輸出誤差。
【附圖說明】
[0022]圖1為本發(fā)明第一實施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明第二實施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明第三實施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本發(fā)明第四實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0026]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0027]本發(fā)明提供了一種壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置，包括:傳感器裝配部、與電路板連接的固定部以及連接所述傳感器裝配部和所述固定部的可形變部；
[0028]其中，所述傳感器裝配部用于固定已封裝的傳感器芯片，且所述傳感器裝配部設(shè)置有對應(yīng)已封裝的傳感器芯片引腳的連接點；
[0029]所述固定部包括與電路板電路連接的焊接點，所述焊接點與所述連接點通過形成于所述可形變部中的導(dǎo)線電連接；
[0030]所述可形變部用于在電路板受應(yīng)力變形時發(fā)生形變。
[0031]由于電路板受到應(yīng)力發(fā)生形變時，可形變部發(fā)生形變，釋放了由電路板變形而產(chǎn)生的應(yīng)力，使得固定于傳感器裝配部的已封裝的傳感器芯片焊接處變形變小，從而減小了傳感器由變形引起的輸出誤差。
[0032]作為可形變部優(yōu)選結(jié)構(gòu)，可形變部包括應(yīng)力釋放臂和溝槽，應(yīng)力釋放臂連接固定部和傳感器裝配部，應(yīng)力釋放臂和溝槽延展于固定部和傳感器裝配部之間，由應(yīng)力釋放臂和溝槽的形變釋放電路板變形產(chǎn)生的壓力。
[0033]在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明提出了以下實施例:
[0034]實施例一，如圖1所示，壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置包括傳感器裝配部10，固定部包括分別設(shè)置于傳感器裝配部10對應(yīng)兩側(cè)的第一固定部11和第二固定部12 ;第一固定部11遠離傳感器裝配部10的外側(cè)邊緣Ila設(shè)置有與電路板電路(未示出)電連接的第一焊點組13，第二固定部12遠離傳感器裝配部10的外側(cè)邊緣12a設(shè)置有與電路板電路電連接的第二焊點組14 ；
[0035]可形變部包括于傳感器裝配部10臨近第一固定部11 一側(cè)1a延伸連接第一固定部11的第一應(yīng)力釋放臂15，以及于傳感器裝配部10臨近第二固定部12 —側(cè)1b延伸連接第二固定部12的第二應(yīng)力釋放臂16 ;在本實施例中，第一應(yīng)力釋放臂15、第二應(yīng)力釋放臂16分別有兩個，但本發(fā)明中不限制個數(shù)。
[0036]可變形部還包括由第一固定部11、第一應(yīng)力釋放臂15和傳感器裝配部10的臨近第一固定部11 一側(cè)1a構(gòu)成的第一溝槽17，以及由第二固定部12、第二應(yīng)力釋放臂16和傳感器裝配部10的臨近第二固定部12 —側(cè)1b構(gòu)成的第二溝槽18。
[0037]本實施例所示的壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置使用時，將已封裝的傳感器芯片I固定于傳感器裝配部10，通過固定部11、12的焊點組13、14將壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置與電路板的電路電連接固定，并由于傳感器裝配部10設(shè)置有對應(yīng)已封裝的傳感器芯片I引腳的連接點，通過可形變部的應(yīng)力釋放臂15、16中的導(dǎo)線連接固定部11、12的焊點組13、14，即可完成電連接。
[0038]當電路板受到應(yīng)力發(fā)生變形時，由于具有應(yīng)力釋放臂15、16及溝槽17、18的可形變部剛性低于傳感器裝配部10，因此，可形變部優(yōu)先發(fā)生形變，應(yīng)力釋放臂15、16發(fā)生彎曲，釋放了大部分應(yīng)力，由此，使得傳感器裝配部10受到的應(yīng)力減小，進而減小固定于傳感器裝配部10的壓力傳感器I所受到的應(yīng)力，從而減小了傳感器因封裝變形導(dǎo)致的輸出誤差。
[0039]實施例二，在實施例一的基礎(chǔ)上，進一步提出本實施例，如圖2所示，壓力傳感器應(yīng)力釋放裝置包括傳感器裝配部10’，固定部包括分別設(shè)置于傳感器裝配部10’對應(yīng)兩側(cè)的第一固定部11’和第二固定部12’ ；第一