一種吸氣劑電加熱激活裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種吸氣劑電加熱激活裝置，包括采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面，所述支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲進行加熱激活，所述電加熱金屬絲與導電橋墩電連接，形成供電通路。本實用新型使用時，在高真空環(huán)境下將電加熱金屬絲通電加熱，利用其“熱電阻效應”間歇性檢測電阻值，實現(xiàn)閉環(huán)檢測溫度，保障其準確的溫度控制，充分激活吸氣材料，提高吸氣效率，保障相關(guān)真空器件的性能和壽命。
【專利說明】
一種吸氣劑電加熱激活裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種吸氣劑加熱激活裝置，具體涉及一種吸氣劑電加熱激活裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]采用MEMS工藝制造的智能傳感器，如:加速度、陀螺儀、諧振壓力、光電圖像等，這些智能傳感器需要工作在高真空、高潔凈的環(huán)境下，才能保障其指標Q值和壽命。為了滿足智能傳感器工作環(huán)境需求，通常將智能傳感器封裝于密閉腔體內(nèi)并在密閉腔體內(nèi)設置雜質(zhì)吸附器件，例如吸氣劑，用來吸收封裝腔體內(nèi)部緩慢釋放的氣體、水分等污染物，維持內(nèi)部尚真空環(huán)境。
[0003]目前，吸氣劑普遍采用薄膜、柱狀、片狀等形態(tài)，在使用前需要將吸氣劑加熱到300?900°C，充分激活后才能夠正常使用。例如本公司在申請?zhí)枮?015107877841中所公開的，其中，柱狀及片狀吸氣劑通常采用內(nèi)置金屬絲進行電加熱激活，而薄膜狀吸氣劑則通常采用金屬板加熱激活。采用上述吸氣劑加熱激活裝置，其溫度無法精確控制，不能確保充分激活吸氣劑，無法滿足市場對高性能吸氣劑激活裝置的需求。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種新型吸氣劑電加熱激活裝置，對傳統(tǒng)吸氣劑加熱激活裝置進行了突破性的改進，顯著提高激活效果。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案為:一種吸氣劑電加熱激活裝置，包括采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面，所述支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲加熱激活，所述電加熱金屬絲與導電橋墩電連接，形成供電通路。
[0006]優(yōu)選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結(jié)構(gòu)，所述支撐橋面的個數(shù)為I，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
[0007]優(yōu)選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結(jié)構(gòu)，所述支撐橋面的個數(shù)為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。
[0008]優(yōu)選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結(jié)構(gòu)，每一層中支撐橋面的個數(shù)為I，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
[0009]優(yōu)選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結(jié)構(gòu)，每一層中支撐橋面?zhèn)€數(shù)為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。
[0010]優(yōu)選地，所述電加熱金屬絲為彎折狀或圓環(huán)狀。
[0011]優(yōu)選地，所述導電橋墩采用金屬或合金制成。
[0012]優(yōu)選地，所述吸氣材料層是合金或石墨烯。
[0013]優(yōu)選地，所述支撐橋面的形狀為方形、多邊形或圓形。
[0014]優(yōu)選地，所述支撐橋面采用氮化硅或氧化硅制作而成。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果在于:
[0016]本實用新型對傳統(tǒng)吸氣劑加熱激活裝置進行了突破性的改進，將采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面通過橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲進行加熱激活。使用時，在高真空環(huán)境下將電加熱金屬絲通電加熱，利用其“熱電阻效應”間歇性檢測電阻值，實現(xiàn)閉環(huán)檢測溫度，準確控制溫度，充分激活吸氣材料，提高吸氣效率，全面保障相關(guān)真空器件的性能和壽命;另外，將本實用新型設計成多層結(jié)構(gòu)能夠為吸氣材料提供更多安置空間，在有限的空間內(nèi)顯著增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，延長相關(guān)真空器件使用壽命。
【附圖說明】
[0017]圖1是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖1;
[0018]圖2是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖2;
[0019]圖3是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖3;
[0020]圖4是本實用新型吸氣劑電加熱激活裝置俯視圖1;
[0021 ]圖5是本實用新型吸氣劑電加熱激活裝置俯視圖2;
[0022]圖6是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖4;
[0023]圖7是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖5;
[0024]圖8是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結(jié)構(gòu)示意圖6。
【具體實施方式】
[0025]以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步描述。
[0026]實施例1:參見圖1至3，一種吸氣劑電加熱激活裝置，包括采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面10，所述支撐橋面10通過導電橋墩20搭建起來，在支撐橋面10上設置有吸氣材料層30，所述吸氣材料層30是通過電加熱金屬絲40進行加熱激活，所述電加熱金屬絲與導電橋墩電連接，形成供電通路。在本實用新型中，所述電連接可以是直接連接或者通過導電金屬實現(xiàn)電連接均可。
[0027]具體地，所述支撐橋面可以但不限于選用氮化硅或氧化硅等耐高溫絕緣材料制成;所述導電橋墩可以但不限于采用金屬或合金制成;所述吸氣材料層可以選擇市場上通用的吸氣材料，例如鋯、釩、鐵、鋁、錸或鈦中的兩種或兩種以上元素形成的合金，采用化學沉積CVD或蒸鍍法沉積在支撐橋面上;或者石墨烯材料，采用納米工藝制作而成。
[0028]在本實施例中，所述吸氣劑電加熱激活裝置是單層結(jié)構(gòu)，所述吸氣材料層30和電加熱金屬絲40的設置方式的關(guān)鍵在于:電加熱金屬絲40需要設置在支撐橋面上相對吸氣材料層30的另一面上，間隔支撐橋面10實現(xiàn)絕緣。
[0029]示例的，所述支撐橋面10的個數(shù)為I，所述吸氣材料層30和電加熱金屬絲40可以分別設置在支撐橋面10的上表面或下表面上，所述電加熱金屬絲40可直接連接導電橋墩，實現(xiàn)供電，如圖1所示；
[0030]或者，所述支撐橋面10的個數(shù)為I，所述吸氣材料層30與所述電加熱金屬絲40分別設置在支撐橋面的下表面和上表面上，所述電加熱金屬絲40通過導電金屬連接導電橋墩實現(xiàn)供電，如圖2所示；
[0031]又或者，所述支撐橋面的個數(shù)為2，其中，第一支撐橋面11通過導電橋墩20搭建起來，第二支撐橋面12通過電加熱金屬絲40設置在第一支撐橋面11上，所述吸氣材料層30分別設置在第一支撐橋面11的下表面和第二支撐橋面12的上表面上，如圖3所示。很明顯地，采用此種方式能夠增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，同時降低激活能耗。需要注意的是，單層結(jié)構(gòu)的吸氣劑加熱激活裝置中支撐橋面的個數(shù)并不限定于I或2，還可以是3、4、5等其他情況，本實用新型不能窮舉。
[0032]這里，電加熱金屬絲40的形狀可以有多種選擇。
[0033]示例的，所述電加熱金屬絲40可以是為彎折狀，其兩端接口分別連接兩個導電橋墩，形成供電通路，如圖4所示;或者，所述電加熱金屬絲40為圓環(huán)狀，其兩端接口連接兩個導電橋墩，形成供電通路，如圖5所示。其中，電加熱金屬絲40優(yōu)選采用市場上通用的金屬材料，例如鎢、鉬、鎳中的一種，采用標準的MEMS工藝制造，將圖形化的金屬材料通過PVD、化學沉積CVD或蒸鍍法等方法沉積在支撐橋面上。當然，所述電加熱金屬絲的形狀和制造工藝還可以有其他選擇，并不限定于此。
[0034]使用時，在高真空環(huán)境下將電加熱金屬絲40通電加熱，利用其“熱電阻效應”間歇性檢測電阻值，實現(xiàn)閉環(huán)檢測溫度，保障其準確的溫度控制，充分激活吸氣材料，提高吸氣效率，全面保障智能傳感器的性能和壽命。
[0035]實施例2:在實施例1中，所述吸氣劑電加熱激活裝置是單層結(jié)構(gòu)。然而，在本實用新型中，所述裝置可以是多層結(jié)構(gòu)，其層數(shù)可以根據(jù)需要進行設定。因此，在本實施例中，所述吸氣劑電加熱激活裝置的具體層數(shù)為3，每一層的橋墩之間通過導電金屬進行連接，實現(xiàn)多層供電。
[0036]具體地，每一層中支撐橋面10的個數(shù)為I，通過導電橋墩20逐層搭建起來，所述吸氣材料層30和電加熱金屬絲40分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，如圖6所示；或者，所述吸氣材料層30和電加熱金屬絲40分別設置在支撐橋面的下表面和上表面上，如圖7所示。
[0037]又或者，所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結(jié)構(gòu)，具體層數(shù)為3，每一層中支撐橋面?zhèn)€數(shù)為2，其中，第一支撐橋面11通過導電橋墩20搭建起來，第二支撐橋面12通過電加熱金屬絲40設置在第一支撐橋面11上，所述吸氣材料層30分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上，如圖8所示。
[0038]很明顯地，多層結(jié)構(gòu)能夠為吸氣材料提供更多安置空間，在有限的空間內(nèi)顯著增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，延長相關(guān)真空器件使用壽命。
[0039]需要注意的是，在上述實施例中，所述支撐橋面和橋墩為方形，但所述支撐橋面和橋墩的形狀還可以是三角形、方形、多邊形或者圓形等等，本實用新型不做具體限定。
[0040]總之，以上僅為本實用新型較佳的實施例，并非用于限定本實用新型的保護范圍，在本實用新型的精神范圍之內(nèi)，對本實用新型所做的等同變換或修改均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:包括采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面，所述支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲加熱激活，所述電加熱金屬絲與導電橋墩電連接，形成供電通路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結(jié)構(gòu)，所述支撐橋面的個數(shù)為1，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結(jié)構(gòu)，所述支撐橋面的個數(shù)為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結(jié)構(gòu)，每一層中支撐橋面的個數(shù)為I，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結(jié)構(gòu)，每一層中支撐橋面?zhèn)€數(shù)為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述電加熱金屬絲為彎折狀或圓環(huán)狀。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述導電橋墩采用金屬或合金制成。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述吸氣材料層是合金或石墨烯。9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述支撐橋面的形狀為多邊形或圓形。10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種吸氣劑電加熱激活裝置，其特征在于:所述支撐橋面采用氮化硅或氧化硅制作而成。
【文檔編號】B81C1/00GK205527728SQ201620276266
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年4月6日
【發(fā)明人】趙照
【申請人】合肥芯福傳感器技術(shù)有限公司