專利名稱：一種微等離子體氧化處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于電子工程技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種微等離子體氧化處理裝黃
背景技術(shù)：
當(dāng)前電子元器件正朝著輕型化、薄型化和超小型化方向發(fā)展，提高電介質(zhì)
材料的室溫介電常數(shù)，減小介電損失和溫度系數(shù)成為科技界研究的熱點。BaTi(), 是一種強(qiáng)介電材料，被譽(yù)為"電子工業(yè)的支柱"。但由于分子結(jié)構(gòu)的原因，使 得仁偏高120°C，即在12(TC時才有最大介電常數(shù)值 10'而室溫下的介電常數(shù) 僅有居里點的1/5 2000，從而大大影響了它的使用性能。目前工業(yè)上的解決 辦法是在電子元器件的制造過程中，采用固相摻雜方法，于BaTiO,粉體屮摻入 適量鍶、鈣、鋯、錫和一些稀土元素的氧化物，以改善其性能。但由于同相摻 雜的不均勻性，對元器件的各項參數(shù)改善并不理想。前的方法多為溶膠凝膠法、 微波方法等工藝進(jìn)行離子摻雜。國外雖有用sol-gel法對BaTiO,進(jìn)行摻雜改性
的研究，但卻因為工藝設(shè)備復(fù)雜，原材料價格昂貴而無法在我國付諸生產(chǎn)， 發(fā)明內(nèi)
本實用新型的目的是為了改善生產(chǎn)的TiO/性能、工藝復(fù)雜和成本高的缺點， 提供種工藝設(shè)備簡單，適于大規(guī)模生產(chǎn)的實現(xiàn)金屬離子摻雜的(Ba， X)TiOJ膜層 的設(shè)備。
本實用新型解決其技術(shù)所采用的技術(shù)方案是， 一種微等離子體氧化處理裝 置，由脈沖電源l、負(fù)極2、正極3、電解質(zhì)溶液4、陽極電極5、陰極電極8、 氧化處理槽9組成，脈沖電源1的正極3和陽極電極5相連，負(fù)極2和陰極電 極8相連，陽極電極5和陰極電極8插入置有電解液4的微等離子體氧化處理 槽9中，微等離子體氧化處理槽9中設(shè)有冷卻管道6，微等離子體氧化處理槽9 內(nèi)的下端設(shè)有攪拌器7。電解質(zhì)溶液4為酸性介質(zhì)Ba(OHh或同時添加含有W0,2 ， M&OJ 、 SnO:廣酸根離子的鹽。本實用新型的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低，可直接在金屬 表面成膜。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)-步說明 圖l是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中1、脈沖電源，2、負(fù)極，3正極，4、電解質(zhì)溶液，5、陽極電極，6、 冷卻管道，7攪拌器，8、陰極電極，9、微等離子體氧化處理槽。
具體實施方式
如圖1，裝置包括脈沖電源1和微弧反應(yīng)槽9兩大部份，金屬表面微等離子 體氧化專用脈沖直流電源，電壓50(T600 V均可調(diào)節(jié)，陽極電極5為Ti片，陰 極電極8為不銹鋼板。將濃度為O. lmol/LBa(OH)2的溶液作為電解質(zhì)溶液4，以 攪拌速度120轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢?分鐘，在陽極5和陰極8之間施加直流脈沖電壓，則 陰極Ti表面形成為等離子體放電，放電時間為10 20min，在陽極5表面形成 厚度為10 15,厚的BaTi(X;膜層。
權(quán)利要求1、一種微等離子體氧化處理裝置，其特征在于，由脈沖電源(1)、負(fù)極(2)、正極(3)、電解質(zhì)溶液(4)、陽極電極(5)、陰極電極(8)、氧化處理槽(9)組成，脈沖電源(1)的正極(3)和陽極電極(5)相連，負(fù)極(2)和陰極電極(8)相連，陽極電極(5)和陰極電極(8)插入置有電解液(4)的微等離子體氧化處理槽(9)中，微等離子體氧化處理槽(9)中設(shè)有冷卻管道(6)，微等離子體氧化處理槽(9)內(nèi)的下端設(shè)有攪拌器(7)。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種微等離子體氧化處理裝置，其特征在于，所述 的電解質(zhì)溶液(4)為酸性介質(zhì)Ba(OH)2或同時添加含有W042'， Mo70242'、 Sn032 一酸根離子的鹽。
專利摘要本實用新型屬涉及一種微等離子體氧化處理裝置，由脈沖電源、負(fù)極、正極、電解質(zhì)液、陽極電極、陰極電極、氧化處理槽組成，脈沖電源的正極和陽極電極相連，負(fù)極和陰極電極相連，陽極電極和陰極電極插入置有電解液的微等離子體氧化處理槽中，微等離子體氧化處理槽中設(shè)有冷卻管道，微等離子體氧化處理槽內(nèi)的下端設(shè)有攪拌器。電解質(zhì)溶液為酸性介質(zhì)Ba(OH)<sub>2</sub>，同時添加含有WO<sub>4</sub><sup>2-</sup>，Mo<sub>7</sub>O<sub>24</sub><sup>2-</sup>、SnO<sub>3</sub><sup>2-</sup>酸根離子的鹽。本實用新型的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低，可直接在金屬表面成膜。
文檔編號C25D11/26GK201024219SQ20062016881
公開日2008年2月20日 申請日期2006年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月29日
發(fā)明者于志偉, 劉世永, 張會臣, 亮 王, 許曉磊, 高玉周 申請人:大連海事大學(xué)