專利名稱：電鍍陽極裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種電鍍陽極裝置，用于晶圓的電鍍。屬電鍍設備技術領域。
傳統(tǒng)的晶圓電鍍設備內陽極放置方法是直接將陽極裸露在電鍍槽液中，如圖2 、圖3和圖4所示。它是通過直接與導線、掛鉤、鈦籃等裝置相連，形成電鍍電流的陽極端口。這種方式放置陽極主要存在以下不足
1 、不適用于精細鍍層產(chǎn)品 在電鍍時，陽極會損耗，并產(chǎn)生陽極泥。陽極泥擴散到鍍液中，污染鍍液，電鍍液純凈度降低，電鍍液質量下降，不溶性的陽極泥在電鍍過程中被夾雜到鍍層中，影響鍍層表面質量和純凈度。 2、陽極導電結構不可靠 陽極與導線、掛鉤、鈦籃等裝置相連，沒有另外添加緊固裝置。在電鍍時，(銅、錫等)陽極會消耗，陽極經(jīng)過長時間損耗，會與導線、掛鉤、鈦籃等裝置脫離或松動，接觸不可靠，在電鍍過程中，出現(xiàn)電鍍中斷異常，影響電鍍操作的穩(wěn)定性和電鍍鍍層的質量。
3、陽極利用效率不高 目前，陽極須預留足夠的體積，配合導線、掛鉤等裝置的安裝。然而，在電鍍時，因陽極會消耗，陽極的尺寸逐漸減少，當陽極減損到一定程度，導線或掛鉤等裝置無法與陽極保持良好的接觸，不能滿足實際生產(chǎn)需要，必須得更換，陽極利用率很低。
4、陽極放置空間受到限制 陽極與掛鉤裝置相連，或安放在鈦籃中，陽極在電鍍槽的放置位置受到掛鉤及鈦籃的很大約束。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種能將陽極泥封閉其中、陽極導電結構
可靠、陽極利用效率高以及陽極放置空間不受限制的電鍍陽極裝置。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的一種電鍍陽極裝置，所述裝置包括一盒體，該盒體中
心豎直設置有一立柱，立柱上端制有外螺紋；該盒體底部開設有液體存儲槽和液體交流通
孔；該盒體內放置有鈦板，鈦板和一導線由鈦螺絲固定在盒體底部，鈦板上端面上設置觸
點，鈦板上放置一陽極，該陽極上覆蓋一陽極布，所述鈦板、陽極和陽極布均套裝在所述盒
體中心的立柱上，并用緊固螺母旋緊；在盒體頂部安裝一上蓋，形成封閉結構。 本發(fā)明電鍍陽極裝置，所述觸點呈長方形開口塊狀。 本發(fā)明的特點是 1、盒體底部開設液體存儲槽和液體交流通孔。盒體內的鍍液濃度會隨著陽極的消耗而逐漸增加，增加到一定程度，鍍液內金屬離子含量達到飽合，會形成結晶。液體存儲槽為高濃度鍍液的擴散提供了條件；液體交流通孔為盒體內、外液體交換提供了微小通道，防止盒體內的金屬離子含量過高達到飽合而析出。同時，因為液體交流通孔孔徑很小，所以基本不影響陽極泥的外漏進行到鍍液中。
2、鈦板上設置長方形開口塊狀的觸點，該長方形開口塊狀的觸點有一定翹起高度，具有一定彈力，開口大小及數(shù)量根據(jù)陽極大小設定。觸點翹起到一定高度后具有一定彈力，頂壓著上方的陽極，陽極上方加固緊固螺母。這樣，就形成了力相互壓制關系，陽極始終處于被鈦板受壓狀態(tài)，使陽極接觸可靠、穩(wěn)定。 3、鈦板上連著陽極導線，導線連接到電源陽極端口 (所用導線不受鍍液腐蝕)。這樣，陽極的損耗不會影響到接線的可靠性。 4、陽極裝入盒體中后，在陽極上覆蓋一層陽極布，然后加上上蓋，形成封閉結構。這樣，既不影響電鍍效果，又可將陽極泥基本封閉在盒體中。陽極泥增加到一定量后，再統(tǒng)
一清理。 5、陽極無須預留足夠的體積來配合導線、掛鉤等裝置的安裝。
采用本發(fā)明放置陽極的裝置，與傳統(tǒng)的陽極放置方式相比，具有以下的優(yōu)點 1、極大減小了鍍液受陽極泥的污染的可能，不僅增加了鍍液的使用壽命，而且提
高電鍍鍍層質量。 2、陽極導電結構變得可靠、穩(wěn)定，降低電鍍跳電中斷的可能。 3、陽極使用壽命得到很大程度提高。 4、陽極在鍍槽中的位置可根據(jù)需求合理安排。 5、電鍍過程更加穩(wěn)定。 6、陽極利用效率高。
(四)


圖1為本發(fā)明電鍍陽極裝置的結構示意圖。 圖2為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖一。 圖3為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖二。 圖4為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖三。 圖中 上蓋1 陽極2 緊固螺母3 陽極布4 盒體5、立柱51、外螺紋511、液體存儲槽52、液體交流通孔53 ; 鈦板6、觸點61; 鈦螺絲7 導線8 掛鉤9 鈦籃IO。
(五)
具體實施例方式
參見圖l，圖l為本發(fā)明電鍍陽極裝置的結構示意圖。由圖l可以看出，本發(fā)明電鍍陽極裝置，主要由盒體5、鈦板6、導線8、陽極2、陽極布4和緊固螺母3組成。盒體5中心豎直設置有一立柱51，立柱51上端制有外螺紋511 ;盒體5底部開設液體存儲槽52和液體交流通孔53 ;盒體5內放置鈦板6，鈦板6和導線8由鈦螺絲7固定在盒體5底部，導線8連接到電源陽極端口。鈦板6上端面上設置長方形開口塊狀的觸點61，鈦板6上放置陽極2，該陽極2上覆蓋陽極布4，所述鈦板6、陽極2和陽極布4均套裝在所述盒體5中心的立柱51上，并用緊固螺母3旋緊，這樣就將陽極2夾緊在鈦板6上；在盒體5頂部安裝一上蓋l，形成封閉結構。這樣，既不影響電鍍效果，又可將陽極泥基本封閉在盒體中。陽極泥增加到一定量后，再統(tǒng)一清理。 所述盒體5是根據(jù)陽極的外形特征，采用PP(聚丙烯)或Teflon(聚四氟乙烯)等防腐材質制作而成。陽極布4采用丙綸等防腐纖維制作而成。
權利要求
一種電鍍陽極裝置，其特征在于所述裝置包括一盒體(5)，該盒體(5)中心豎直設置有一立柱(51)，立柱(51)上端制有外螺紋(511)；該盒體(5)底部開設有液體存儲槽(52)和液體交流通孔(53)；該盒體(5)內放置有鈦板(6)，鈦板(6)和一導線(8)由鈦螺絲(7)固定在盒體(5)底部，鈦板(6)上端面上設置觸點(61)，鈦板(6)上放置一陽極(2)，該陽極(2)上覆蓋一陽極布(4)，所述鈦板(6)、陽極(2)和陽極布(4)均套裝在所述盒體(5)中心的立柱(51)上，并用緊固螺母(3)旋緊；在盒體(5)頂部安裝一上蓋(1)，形成封閉結構。
2. 根據(jù)權利要求l所述的一種電鍍陽極裝置，其特征在于所述觸點(61)呈長方形開口 塊狀。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種電鍍陽極裝置，其特征在于所述盒體(5)采用聚丙 烯或聚四氟乙烯制作而成。
4. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種電鍍陽極裝置，其特征在于所述陽極布(4)采用丙 綸制作而成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電鍍陽極裝置，用于晶圓的電鍍。所述裝置包括一盒體(5)，該盒體(5)中心豎直設置有一立柱(51)，立柱(51)上端制有外螺紋(511)；該盒體(5)底部開設有液體存儲槽(52)和液體交流通孔(53)；該盒體(5)內放置有鈦板(6)，鈦板(6)和一導線(8)由鈦螺絲(7)固定在盒體(5)底部，鈦板(6)上端面上設置觸點(61)，鈦板(6)上放置一陽極(2)，該陽極(2)上覆蓋一陽極布(4)，所述鈦板(6)、陽極(2)和陽極布(4)均套裝在所述盒體(5)中心的立柱(51)上，并用緊固螺母(3)旋緊；在盒體(5)頂部安裝一上蓋(1)，形成封閉結構。本發(fā)明電鍍陽極裝置具有能將陽極泥封閉其中、陽極導電結構可靠，陽極利用效率高以及陽極放置空間不受限制等特點。
文檔編號C25D17/10GK101694006SQ20091018487
公開日2010年4月14日 申請日期2009年10月19日 優(yōu)先權日2009年10月19日
發(fā)明者何明, 章力, 賴志明, 陳錦輝, 龍欣江 申請人:江陰長電先進封裝有限公司;