專利名稱：工件表面處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將收容了工件的處理容器向一系列的裝置依次搬運(yùn)以提供給各 裝置進(jìn)行作業(yè)、從而獲得經(jīng)表面處理的工件的工件表面處理系統(tǒng)。作為工件，例如有0. 5 5000 μ m的粉末體、超小型電容器、二極管、連接器、簧片開關(guān)、釘子、螺栓、螺母、墊圈等小零 件(小型零件)。另外，作為表面處理，有(1)電鍍處理；( 非電解電鍍處理，例如浸鍍 處理、化學(xué)鍍處理；(3)復(fù)合鍍處理、化學(xué)復(fù)合鍍處理；(4)電沉積涂敷處理，例如陰離子電 沉積涂敷處理、陽離子電沉積涂敷處理；( 前處理，例如脫脂處理、電解脫脂處理、滾筒 拋光處理、堿浸漬清洗處理、酸洗處理、酸電解處理、化學(xué)拋光處理、電解拋光處理、中和處 理；(6)后處理，例如防脫水變色處理、水溶性樹脂處理、鉻酸鹽處理。
背景技術(shù)：
作為用于對工件進(jìn)行表面處理的表面處理裝置，已知有如專利文獻(xiàn)1、2所公開的 裝置。在這些裝置中，在將處理容器載放在托板上的狀態(tài)下進(jìn)行工件的表面處理和水洗或 進(jìn)行處理容器的清洗等。專利文獻(xiàn)1 日本專利特表平11-505295號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 美國專利第5，879，520號(hào)公報(bào)然而，在以往的上述裝置中，由于用一臺(tái)裝置進(jìn)行表面處理和水洗等各種處理，因 此效率低下，而且各處理本身很可能并不充分。因此，希望有可以用不同的裝置以流水作業(yè)方式來進(jìn)行各處理的表面處理系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本申請的第1發(fā)明是一種將收容了工件的處理容器依次向一系列的裝置搬運(yùn)并 提供給各裝置進(jìn)行作業(yè)、從而獲得經(jīng)表面處理的工件的工件表面處理系統(tǒng)，其特征在于，包 括將處理容器依次向系統(tǒng)內(nèi)的一系列裝置搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置；將處理容器搬入搬運(yùn)裝置并 將處理容器從搬運(yùn)裝置搬出的搬入搬出裝置；從搬運(yùn)裝置接納處理容器、在使處理容器旋 轉(zhuǎn)的同時(shí)向處理容器內(nèi)供給表面處理液、從而對工件進(jìn)行表面處理的表面處理裝置；以及 從搬運(yùn)裝置接納處理容器、使處理容器上下翻轉(zhuǎn)、并將水從下方噴向處理容器內(nèi)而使工件 流出、從而對工件進(jìn)行捕捉的工件回收裝置，搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)順序?yàn)楸砻嫣幚硌b置、接著 是工件回收裝置。上述第1發(fā)明最好還采用如下的結(jié)構(gòu)⑴、(ii)。(i)還包括從搬運(yùn)裝置接納處理容器、在使處理容器旋轉(zhuǎn)的同時(shí)向處理容器內(nèi) 供給剝離液、從而對處理容器的內(nèi)表面進(jìn)行剝離處理的剝離裝置；以及從搬運(yùn)裝置接納處 理容器、使處理容器上下翻轉(zhuǎn)、并將水從下方噴向處理容器內(nèi)來對處理容器內(nèi)進(jìn)行水洗的水洗裝置，搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)順序是表面處理裝置、工件回收裝置、剝離裝置、接著是水洗裝置。(ii)包括多個(gè)表面處理裝置。本申請的第2發(fā)明是搬運(yùn)裝置，其特征在于，包括水平的導(dǎo)軌部、以及在導(dǎo)軌部 上移動(dòng)的動(dòng)作部，動(dòng)作部包括在導(dǎo)軌部上滑動(dòng)的基座部、從基座部向上延伸的垂直的柱 部、以及沿著柱部上下移動(dòng)的把持部，把持部把持或離開處理容器。本申請的第3發(fā)明是工件回收裝置，其特征在于，包括載放處理容器的托板、從 上方將托板上的處理容器覆蓋的料斗、以及使覆蓋處理容器的料斗與托板和處理容器一起 上下翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，將水從設(shè)于料斗的噴出部朝著被上下翻轉(zhuǎn)后的處理容器內(nèi)噴射，將 處理容器內(nèi)的工件向料斗內(nèi)沖出并從料斗向回收槽排出，從而對工件進(jìn)行捕捉。本申請的第4發(fā)明是水洗裝置，其特征在于，包括載放處理容器的托板、在托板 上固定處理容器的固定機(jī)構(gòu)、使托板和處理容器一起上下翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、以及從下方將 被上下翻轉(zhuǎn)的處理容器覆蓋的料斗，將水從噴出部朝著被上下翻轉(zhuǎn)后的處理容器內(nèi)噴射， 對處理容器進(jìn)行水洗。若采用本申請的第1發(fā)明，則可用不同的裝置以流水作業(yè)方式來進(jìn)行工件的表面 處理和經(jīng)表面處理的工件的回收處理。因此，整體上可高效地獲得經(jīng)表面處理的工件，并可 對表面處理本身和回收處理本身充分地實(shí)施。另外，由于表面處理后的工件濕潤，因此會(huì)貼在處理容器的內(nèi)表面上而很難取出， 但采用本發(fā)明，由于利用工件回收裝置使處理容器上下翻轉(zhuǎn)后從下方對其噴水，因此可將 工件與水一起沖落，從而可高效地回收工件。若采用上述結(jié)構(gòu)(i)，則可獲得清洗后的處理容器。當(dāng)在不上下翻轉(zhuǎn)處理容器的情 況下進(jìn)行水洗時(shí)，水會(huì)積留在處理容器內(nèi)，但采用本發(fā)明，由于利用水洗裝置使處理容器上 下翻轉(zhuǎn)后從下方對其噴水，因此可將處理容器內(nèi)的垃圾等與水一起立即沖落。由此，可使將 水向處理容器的內(nèi)表面直接噴射的狀態(tài)持續(xù)，從而可提高水洗的清洗效果。若采用上述結(jié)構(gòu)(ii)，則可用各表面處理裝置來進(jìn)行不同的表面處理。因此，可在 工件的表面上形成兩層以上的處理膜。另外，由于可用多個(gè)表面處理裝置同時(shí)進(jìn)行處理，因此，與用一個(gè)表面處理裝置進(jìn) 行處理時(shí)相比，可處理大量的工件。若采用本申請的第2發(fā)明，則能以簡單的動(dòng)作來搬運(yùn)處理容器。采用本申請的第3發(fā)明，則能以簡單的動(dòng)作來回收經(jīng)表面處理的工件。另外，由于 用料斗來承接處理容器內(nèi)的工件，因此可防止工件飛散，從而能將工件可靠地捕捉到回收 槽內(nèi)。采用本申請的第4發(fā)明，則能以簡單的動(dòng)作來清洗在表面處理中使用過的處理容 器。另外，由于用料斗來承接從處理容器沖落的水，因此可防止水飛散，從而可防止水洗裝 置的周圍被污染。特別地，由于在從剝離裝置搬運(yùn)來的處理容器的內(nèi)表面上粘附著硝酸等 有害的剝離液，因此，通過防止含有剝離液的水飛散，可防止水洗裝置的周圍被剝離液污


圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的工件表面處理系統(tǒng)的立體圖。圖2是表示圖1的系統(tǒng)中的搬運(yùn)裝置的動(dòng)作路徑的圖。圖3是表示搬入搬出裝置的立體圖。圖4是圖3的IV向視縱向剖視圖。圖5是搬運(yùn)裝置的局部立體圖。圖6是沿圖5的VI-VI線的剖視圖。圖7是圖6的VII-VII截面的向視圖。圖8是保持部的立體圖。圖9是表示保持部的移動(dòng)路徑的立體圖。圖10是動(dòng)作前的表面處理裝置的縱向剖視圖。圖11是動(dòng)作時(shí)的表面處理裝置的縱向剖視圖。圖12是表示在托板上載放處理容器之前的狀態(tài)的縱向剖視圖。圖13是表示在托板上載放了處理容器后的狀態(tài)的縱向剖視圖。圖14是排水機(jī)構(gòu)的立體圖。圖15是覆蓋處理容器的蓋體的縱向剖視圖。圖16是工件回收裝置的立體圖。圖17是圖16的XVII向視圖。圖18是圖16的XVIII向視圖。圖19是水洗裝置的立體圖。圖20是圖19的XX向視圖。圖21是第1變形例的表面處理系統(tǒng)的立體圖。圖22表示圖21的系統(tǒng)中的搬運(yùn)裝置的動(dòng)作路徑的圖。圖23是表示第2變形例的表面處理系統(tǒng)中的搬運(yùn)裝置的動(dòng)作路徑的圖。圖M是第3變形例的表面處理系統(tǒng)的俯視圖。圖25是表示在圖M的系統(tǒng)中使用的搬運(yùn)裝置的立體圖。圖沈是第4變形例的水洗裝置的縱向剖視圖。圖27是第5變形例的水洗裝置的縱向剖視圖。圖觀是第6變形例的工件回收及水洗裝置的縱向剖視圖。圖四是第7變形例的工件回收裝置的、與圖17相當(dāng)?shù)膱D。圖30是第8變形例的搬入搬出裝置的、與圖4相當(dāng)?shù)膱D。
具體實(shí)施例方式[第1實(shí)施形態(tài)](1)整體結(jié)構(gòu)圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的工件表面處理系統(tǒng)的立體圖。該系統(tǒng)1包括搬 運(yùn)裝置2、搬入搬出裝置3、表面處理裝置4、工件回收裝置5、剝離裝置6和水洗裝置7。工 件例如是芯片電容器。表面處理例如是鍍鎳處理。搬運(yùn)裝置2將處理容器9依次向系統(tǒng)1內(nèi)的一系列裝置4、5、6、7搬運(yùn)。具體而言，如圖2所示，搬運(yùn)裝置2將處理容器9依次向表面處理裝置4、工件回收裝置5、剝離裝置6 和水洗裝置7搬運(yùn)。搬入搬出裝置3將處理容器9搬入搬運(yùn)裝置2中，并將處理容器9從搬運(yùn)裝置2 中搬出。搬入搬出裝置3包括搬運(yùn)車31。表面處理裝置4從搬運(yùn)裝置2接納處理容器9，在使處理容器9旋轉(zhuǎn)的同時(shí)向處理 容器9內(nèi)供給表面處理液，對工件進(jìn)行表面處理。工件回收裝置5從搬運(yùn)裝置2接納處理容器9，使處理容器9上下翻轉(zhuǎn)，并從下方 將水噴向處理容器9內(nèi)而使工件流出，對工件進(jìn)行捕捉。剝離裝置6從搬運(yùn)裝置2接納處理容器9，在使處理容器9旋轉(zhuǎn)的同時(shí)向處理容器 9內(nèi)供給剝離液，對處理容器9的內(nèi)表面進(jìn)行剝離處理。水洗裝置7從搬運(yùn)裝置2接納處理容器9，使處理容器9上下翻轉(zhuǎn)，并從下方將水 噴向處理容器9內(nèi)，對處理容器9內(nèi)進(jìn)行水洗。(2)搬入搬出裝置3圖3是表示搬入搬出裝置3的立體圖。搬入搬出裝置3包括設(shè)于搬運(yùn)裝置2 — 端的接納部32、以及可與接納部32連接的搬運(yùn)車31。接納部32包括豎立設(shè)置的支柱33、 可沿著支柱33上下移動(dòng)的載放部34、以及將搬運(yùn)車31向支柱33附近的規(guī)定位置引導(dǎo)的引 導(dǎo)部35。搬運(yùn)車31由裝配成大致長方體狀的框體311構(gòu)成，具有把手312。在搬運(yùn)車31上 表面的四個(gè)部位上設(shè)置有支撐處理容器9的支撐片313。支撐片313的上端部3131朝外側(cè) 折彎，處理容器9被四個(gè)支撐片313的上端部3131從下方支撐。在被四個(gè)支撐片313包圍 的部分的下方具有可供載放部34上下移動(dòng)地收容的空間314。引導(dǎo)部35具有從兩側(cè)與搬運(yùn)車31抵接的引導(dǎo)板351。引導(dǎo)部35對搬運(yùn)車31進(jìn) 行引導(dǎo)直至搬運(yùn)車31與限位件352抵接，使空間314位于載放部34上下移動(dòng)的范圍內(nèi)。載放部34包括一端與支柱33連接的水平臂341、從水平臂341的另一端朝上方 延伸的垂直臂342、以及從垂直臂342的上端緣水平地朝著十字方向延伸的棒343。棒343 延伸出可載放處理容器9的長度。如作為圖3的IV向視縱剖視圖的圖4所示，水平臂341 的端部344以在支柱33的導(dǎo)軌331上滑動(dòng)的同時(shí)上下移動(dòng)的形態(tài)與支柱33連接。另外， 由于在垂直臂342的上端形成有與處理容器9的凸部902嵌合的凹部，因此可將處理容器 9置于垂直臂342的中心。因此，可高精度地將處理容器9相對于搬運(yùn)裝置2進(jìn)行定位，從 而能利用搬運(yùn)裝置2可靠地把持處理容器9。在支柱33上上下架設(shè)有鏈條332。水平臂341的端部344與鏈條332連接。鏈條 332的驅(qū)動(dòng)齒輪3321通過齒輪3322、鏈條3323和齒輪33 與電動(dòng)機(jī)3325連接。由此，鏈 條332可被驅(qū)動(dòng)成與水平臂341的端部344 —起上下移動(dòng)。(3)搬運(yùn)裝置2圖5是搬運(yùn)裝置2的局部立體圖。搬運(yùn)裝置2包括動(dòng)作部21和導(dǎo)軌部22。導(dǎo)軌 部22具有水平的下導(dǎo)軌221和水平的上導(dǎo)軌222。動(dòng)作部21包括在下導(dǎo)軌221上滑動(dòng)的基座部23、從基座部23朝上方延伸的垂 直的柱部24、以及沿柱部M上下移動(dòng)的把持部26。把持部沈從柱部M橫向延伸，具有在 上導(dǎo)軌222上滑動(dòng)的支撐部25。
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圖6是沿圖5的VI-VI線的剖視圖?；?3為箱體?；?3在內(nèi)部具有驅(qū) 動(dòng)車輪231，該驅(qū)動(dòng)車輪231從上方與下導(dǎo)軌221的水平板部2211抵接。車輪231與從安 裝在基座部23外部的電動(dòng)機(jī)232延伸的驅(qū)動(dòng)軸233連接。驅(qū)動(dòng)軸233由兩個(gè)軸承234、234 來支撐。在基座部23的下表面上設(shè)置有從兩側(cè)與水平板部2211的兩邊抵接的滾子236、237 ； 以及與水平板部2211的下表面抵接的滾子238。在使電動(dòng)機(jī)232動(dòng)作時(shí)，基座部23在由滾子 236、237、238支撐在下導(dǎo)軌221上的狀態(tài)下隨著車輪231的旋轉(zhuǎn)而在下導(dǎo)軌221上滑動(dòng)。柱部M通過用頂板243將隔開間隔配置的兩個(gè)垂直的豎板241、242連接而構(gòu)成。 兩個(gè)豎板241、242沿著下導(dǎo)軌221隔開間隔地配置，相互平行并相對。在豎板Ml內(nèi)表面 的寬度方向中央具有縱向延伸的板狀導(dǎo)軌M4。同樣，豎板242也具有板狀導(dǎo)軌對5。導(dǎo)軌 244與導(dǎo)軌245相對。在兩個(gè)豎板Ml、242之間設(shè)置有沿縱向轉(zhuǎn)動(dòng)的鏈條對6。鏈條M6 架設(shè)在上側(cè)的驅(qū)動(dòng)軸247與下側(cè)的從動(dòng)軸248之間。驅(qū)動(dòng)軸247與安裝在柱部M外部的 電動(dòng)機(jī)249連接。把持部沈包括與柱部M連接的連接部27 ；從連接部27水平延伸的臂28 ；設(shè)于 臂觀前端的、用于保持處理容器9的保持部四。連接部27位于柱部M的內(nèi)部空間內(nèi)，由箱體271和許多滾子構(gòu)成。圖7是圖6的 VII-VII截面的向視圖。在箱體271的底板2711上形成有固定有鏈條246的固定部M61、 以及供鏈條246穿過的貫穿孔M62。在箱體271的頂板2712上形成有兩個(gè)供鏈條246穿 過的貫穿孔(未圖示)。在箱體271的兩側(cè)板2713、2714上分別設(shè)置有六個(gè)滾子。在側(cè)板 2713上，在上部設(shè)置有滾子27A、27B、27C，在下部設(shè)置有滾子27D、27E、27F。滾子27A、27B 從兩側(cè)與導(dǎo)軌244抵接。滾子27C設(shè)置在箱體271的凸緣2715上，與豎板Ml的內(nèi)表面 2411抵接。滾子27D、27E從兩側(cè)與導(dǎo)軌244抵接。滾子27F設(shè)置在箱體271的凸緣2715 上，與豎板Ml的內(nèi)表面Mll抵接。在側(cè)板2714上也同樣設(shè)置有六個(gè)滾子27A、27B、27C、 27D、27E、27F。即，滾子27A、27B從兩側(cè)與導(dǎo)軌245抵接。滾子27C設(shè)置在箱體271的凸緣 2716上，與豎板242的內(nèi)表面對21抵接。滾子27D、27E從兩側(cè)與導(dǎo)軌245抵接。滾子27F 設(shè)置在箱體271的凸緣2716上，與豎板M2的內(nèi)表面M21抵接。圖8是保持部四的立體圖。保持部四包括從臂28的前端垂下的兩個(gè)臂四1、 292 ；以及分別設(shè)于兩個(gè)臂291、292下端的把持件四3、四4。兩個(gè)臂四1、四2以隔開比處理 容器9的直徑稍大的間隔的形態(tài)設(shè)置。把持件四3、294在兩個(gè)臂四1、四2的下端相對地 設(shè)置。把持件293包括水平的支撐板四31以及在支撐板四31的兩邊豎起的引導(dǎo)板四32、 四33。把持件294也由水平的支撐板四41以及在支撐板四41的兩邊豎起的引導(dǎo)板2942、 2943構(gòu)成。如圖9所示，保持部四使把持件293、294從處理容器9的下方接近處理容器 9而將處理容器9載放到支撐板四31和支撐板四41上，并用引導(dǎo)板四32、2933和引導(dǎo)板 2942,2943的端緣來支撐處理容器9的周面。(4)表面處理裝置4圖10是動(dòng)作前的表面處理裝置4的縱向剖視圖。表面處理裝置4包括用于像 圖11所示的那樣載放處理容器9的水平托板411、使托板411在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)42、位于托板411下方并承接表面處理液和清洗水的承接槽412、用于從上方覆蓋托板 411上的處理容器9的蓋體413、使蓋體413如圖11所示地相對于處理容器9開閉的開閉 機(jī)構(gòu)43、將表面處理液和清洗水分開向托板411上的處理容器9供給的供給機(jī)構(gòu)44、以及與承接槽412連通的排水機(jī)構(gòu)45。圖12和圖13是表示托板411與處理容器9之間的關(guān)系的縱向剖視圖。處理容器 9是通過將導(dǎo)電基板93、非導(dǎo)電底板94、電極環(huán)91、蓋子95從下面起依次重疊后利用貫穿 電極環(huán)91的螺栓96進(jìn)行一體化而構(gòu)成的，并具有使表面處理液從處理容器9內(nèi)向外流出 的流出機(jī)構(gòu)。電極環(huán)91可經(jīng)由垂直轉(zhuǎn)軸421、基板93和螺栓96進(jìn)行通電。S卩，由垂直轉(zhuǎn) 軸421、基板93和螺栓96構(gòu)成了向電極環(huán)91通電用的通電機(jī)構(gòu)。另外，在表面處理裝置4 中，使收容了工件的處理容器9旋轉(zhuǎn)而使工件接觸電極環(huán)91，并通過流出機(jī)構(gòu)使表面處理 液從處理容器9內(nèi)向外流出，同時(shí)從電極(未圖示)對處理容器9內(nèi)的表面處理液通電，從 而對工件進(jìn)行表面處理。作為流出機(jī)構(gòu)采用的是在底板94與電極環(huán)91之間構(gòu)成的間隙通 路。間隙通路是通過在底板94與電極環(huán)91之間沿圓周方向隔開適當(dāng)間隔地配置相同大小 的樹脂制的片材92并利用底板94和電極環(huán)91來夾持該片材92而在相鄰的片材92之間 形成的。作為處理容器9的流出機(jī)構(gòu)，也可采用下面的結(jié)構(gòu)(a)、(b)。(a)在底板94、電極環(huán)91或蓋子95上形成從處理容器9內(nèi)向外連通的槽。該槽 成為上述間隙通路。將槽深設(shè)定成比工件的直徑小。若這樣構(gòu)成，則可將處理容器9分解 后進(jìn)行清洗，因此，可簡化處理容器9的維護(hù)。(b)在電極環(huán)91與底板94之間或在電極環(huán)91與蓋子95之間夾持由多孔質(zhì)材料 形成的環(huán)。環(huán)的許多孔成為上述間隙通路。若這樣構(gòu)成，則即使間隙通路的尺寸為IOym 左右，表面處理液也可流出，從而可處理更小的工件。與此相對，在夾持上述片材92的場合 以及上述結(jié)構(gòu)(a)的場合，若間隙通路的大小為30μπι以下，則表面處理液流出得較少，沒 有流出機(jī)構(gòu)的作用。處理容器9通過裝拆機(jī)構(gòu)90載放在托板411上。裝拆機(jī)構(gòu)90是用于將處理容器 9可自由裝拆地固定在垂直轉(zhuǎn)軸421上的機(jī)構(gòu)。托板411固定于垂直轉(zhuǎn)軸421的上端。裝 拆機(jī)構(gòu)90包括在托板411的旋轉(zhuǎn)中心形成的凹部901、設(shè)在處理容器9的基板93下表面 的旋轉(zhuǎn)中心上的凸部902、設(shè)在托板411的多個(gè)部位上的突出部903、以及在處理容器9的 基板93和底板94上形成的孔部904。凹部901具有錐狀變窄的形狀。凸部902具有與凹 部901嵌合的形狀。突出部903設(shè)置成可從托板411的上表面突出。孔部904具有與從托 板411的上表面突出的突出部903嵌合的形狀。另外，最好突出部903在托板411上在圓 周方向上等間隔地配置，其數(shù)目例如為兩個(gè)、四個(gè)、五個(gè)、六個(gè)、八個(gè)等?？撞?04以與突出 部903相同的配置和相同的數(shù)目進(jìn)行設(shè)置。在此設(shè)置有四個(gè)孔部904。更具體而言，突出部903以被銷913所支撐的彈簧912向上勢力的狀態(tài)設(shè)置在托 板411上設(shè)有的凹部911內(nèi)。突出部903的上端面910為球面。當(dāng)基板93下表面的平坦 部分面朝凹部911時(shí)，突出部903被該平坦部分向下推壓而壓入凹部911內(nèi)。當(dāng)在基板93 和底板94上形成的孔部904面朝凹部911時(shí)，突出部903被彈簧912向上推壓而嵌合在孔 部904內(nèi)。利用上述裝拆機(jī)構(gòu)90，處理容器9在使凸部902與托板411的凹部901嵌合并使 托板411的突出部903與孔部904嵌合的狀態(tài)下通過托板411固定在垂直轉(zhuǎn)軸421上。垂 直轉(zhuǎn)軸421的旋轉(zhuǎn)力通過托板411傳遞給被固定的處理容器9。因此，處理容器9可在通過 托板411固定在垂直轉(zhuǎn)軸421上的狀態(tài)下與垂直轉(zhuǎn)軸421 —起旋轉(zhuǎn)。
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旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42用電動(dòng)機(jī)422使垂直轉(zhuǎn)軸421旋轉(zhuǎn)。在蓋體413的中央具有開口 4131。開閉機(jī)構(gòu)43包括從蓋體413的側(cè)部延伸的臂 431以及使臂431移動(dòng)的缸機(jī)構(gòu)432。臂431可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地與桿433連接。缸機(jī)構(gòu)432使 桿433上下移動(dòng)。在臂431的途中形成有從臂431朝垂直方向分支的臂434，在臂434的前 端設(shè)置有滾子435。滾子435可自由旋轉(zhuǎn)地固定于裝置本體40的凸緣401的前端部。在開 閉機(jī)構(gòu)43中，在圖10的狀態(tài)下，若桿433向上移動(dòng)，則臂431以滾子435為支點(diǎn)朝箭頭A 方向轉(zhuǎn)動(dòng)，其結(jié)果是，使蓋體413從圖10的垂直狀態(tài)轉(zhuǎn)變成圖11的水平狀態(tài)。即，開閉機(jī) 構(gòu)43將蓋體413關(guān)閉。在將蓋體413打開時(shí)，只需與上述情況相反地使桿433向下移動(dòng)即 可。如圖11所示，供給機(jī)構(gòu)44包括垂直柱441、從垂直柱441水平延伸的臂442、表 面處理液供給管443、以及清洗水供給管444。在臂442的前端具有頭部445。在頭部445 上設(shè)置有外殼4451和電極端子4452。表面處理液供給管443的供給口和清洗水供給管444 的供給口位于頭部445。臂442的基端部通過塊體4421相對于沿垂直柱441延伸的導(dǎo)軌 4411滑動(dòng)。因此，臂442可利用缸機(jī)構(gòu)446而沿垂直柱441上下移動(dòng)。垂直柱441可移動(dòng) 地設(shè)置在沿圖11的紙面的內(nèi)外方向延伸的水平導(dǎo)軌447上。在從垂直柱441朝垂直方向 分支的臂4412的前端設(shè)置有兩個(gè)滾子4413、4414。兩個(gè)滾子4413、4414從兩側(cè)與裝置本體 40的水平導(dǎo)軌448抵接，由此，垂直柱441在裝置本體40上得到支撐。水平導(dǎo)軌448與水 平導(dǎo)軌447平行。排水機(jī)構(gòu)45與承接槽412的排出口 4121連通設(shè)置。圖14是排水機(jī)構(gòu)45的立體 圖。排水機(jī)構(gòu)45包括與排出口 4121連通的承接容器451、與承接容器451連通并向下延 伸的可撓的軟管452、被軟管452的前端部4521插入的分離槽453、以及使軟管452的前端 部4521在水平面內(nèi)的規(guī)定范圍內(nèi)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)454。在分離槽453的上表面具有供軟管 452的前端部4521插入的長孔4531。分離槽453的內(nèi)部被分隔壁4532分成兩個(gè)室4533、 4534。移動(dòng)機(jī)構(gòu)妨4包括電動(dòng)機(jī)4541和臂4542。臂4542的一端與軟管452的前端部4521 連接，另一端與電動(dòng)機(jī)4541的驅(qū)動(dòng)軸4543連接。移動(dòng)機(jī)構(gòu)妨4可通過使電動(dòng)機(jī)4541動(dòng)作 來使臂4542以驅(qū)動(dòng)軸4543為支點(diǎn)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，軟管452的前端部4521在長孔4531 的兩端之間移動(dòng)。在排水機(jī)構(gòu)45中，當(dāng)軟管452的前端部4521位于長孔4531的一端時(shí)， 前端部4521位于分離槽453的一個(gè)室4533上方，當(dāng)軟管452的前端部4521位于長孔4531 的另一端時(shí)，前端部4521位于分離槽453的另一個(gè)室4534上方。從兩個(gè)室4533、4534的 底面分別延伸出配管4551、4552。如圖15所示，蓋體413包括清洗機(jī)構(gòu)47和吸氣機(jī)構(gòu)48。清洗機(jī)構(gòu)47由環(huán)狀地設(shè) 于蓋體413內(nèi)表面的供水管471構(gòu)成。供水管471具有面向蓋體413內(nèi)表面的許多噴出 口 472、以及面向處理容器9的蓋子95外表面的許多噴出口 473。吸氣機(jī)構(gòu)48由沿著蓋體 413的開口 4131的周緣設(shè)置的吸氣通路481構(gòu)成。吸氣通路481具有面向開口 4131的中 心開口的許多吸氣口 482。(5)工件回收裝置5圖16是工件回收裝置5的立體圖，圖17是圖16的XVII向視圖，圖18是圖16的 XVIII向視圖。工件回收裝置5包括載放處理容器9的水平托板51、料斗52、使托板51上 的處理容器9和料斗52 —起上下翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53、以及用于回收工件的回收槽M。另外，由于在托板51上形成有與處理容器9凸部902嵌合的凹部，因此可將處理容器9置于 托板51的中心。因此，可高精度地將處理容器9相對于搬運(yùn)裝置2進(jìn)行定位，從而能利用 搬運(yùn)裝置2可靠地把持處理容器9。料斗52具有張開的接納部521、筒狀的本體部522、傾斜的排出部526、排出口 523、以及噴水器525。排出口 523被蓋5M從外側(cè)可自由開閉地封閉。蓋5M通過以設(shè)于 排出部526的軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)來開閉。蓋5M被張?jiān)O(shè)在蓋5M與本體部522之間的彈簧 529勢力以始終成為關(guān)閉狀態(tài)。由于蓋5M受到使其始終成為關(guān)閉狀態(tài)的勢力，因此，在打 開蓋5M之前，工件不會(huì)從料斗52中出來，因此，能將所有的工件可靠地回收在回收槽M 內(nèi)。噴水器525設(shè)置成從本體部522側(cè)朝接納部521側(cè)噴出清洗水。料斗52具有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī) 構(gòu)55，該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)55用于使料斗52如箭頭(參照圖17)所示地轉(zhuǎn)動(dòng)90度而安裝到處理容 器9上。圖17表示的是非安裝狀態(tài)下的料斗52，圖18表示的是安裝狀態(tài)下的料斗52。料 斗52在安裝狀態(tài)下從上方對載放在托板51上的處理容器9輕輕按壓。由于接納部521、本 體部522和排出部526的內(nèi)表面進(jìn)行了鏡面研磨，因此可使所有的工件從料斗52內(nèi)平滑地 滑落，因此，能將所有的工件可靠地回收在回收槽M內(nèi)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)55包括L形臂551、水平轉(zhuǎn)動(dòng)軸552、以及使轉(zhuǎn)動(dòng)軸552轉(zhuǎn)動(dòng)的缸機(jī)構(gòu) 553。L形臂551的一端從側(cè)方與料斗52連接，另一端與轉(zhuǎn)動(dòng)軸552固定。轉(zhuǎn)動(dòng)軸552通過 臂5M與缸機(jī)構(gòu)553的桿5531的前端連接。臂5M可自由轉(zhuǎn)動(dòng)與桿5531連接。在圖17 中，桿5531處于后退后的狀態(tài)。轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)55使桿5531前進(jìn)，從而通過臂5M使轉(zhuǎn)動(dòng)軸552 轉(zhuǎn)動(dòng)，與此同時(shí)，使料斗52如箭頭所示地轉(zhuǎn)動(dòng)。在料斗52轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，料斗52的接納部521與 處理容器9的開口 951緊貼。因此，在處理容器9和料斗52翻轉(zhuǎn)時(shí)，可防止工件漏出，從而 能將所有的工件可靠地回收在回收槽M內(nèi)。翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸531和驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸531的電動(dòng)機(jī)(未圖示)。上述料斗 52和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)55、托板51固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸531上。翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53通過使轉(zhuǎn)動(dòng)軸531轉(zhuǎn)動(dòng)來使 托板51、處理容器9和處于安裝狀態(tài)的料斗52如箭頭(參照圖18)所示地翻轉(zhuǎn)?；厥詹跰具有在與翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53的轉(zhuǎn)動(dòng)軸531正交的方向(Y方向)上較長的形 狀。在回收槽M內(nèi)設(shè)置有用于捕捉工件的筐56?？?6被車561支撐成可在Y方向上移 動(dòng)。車561利用滾子562在回收槽M的邊541上移動(dòng)。筐56位于回收槽M內(nèi)的水中。因 此，可防止回收后的工件與空氣接觸，從而可防止經(jīng)表面處理形成的膜被氧化，使表面處理 后的工件保持高品質(zhì)?；厥詹跰的一端側(cè)位于翻轉(zhuǎn)后的料斗52的排出口 523的下方。在 回收槽討的一端側(cè)設(shè)置有缸機(jī)構(gòu)57。如圖18所示，缸機(jī)構(gòu)57使桿571在水平方向上移 動(dòng)，從而利用桿571的前端使封閉料斗52的排出口 523的蓋5M克服彈簧529的作用力而 打開。(6)剝離裝置剝離裝置6只有一部分與表面處理裝置4不同。S卩，剝離裝置6具有剝離液供給 管443來代替表面處理液供給管443。(7)水洗裝置圖19是水洗裝置7的立體圖，圖20是圖19的XX向視圖。水洗裝置7包括載放 處理容器9的水平托板71、在托板71上固定處理容器9的固定機(jī)構(gòu)72、使處理容器9與托 板71 —起翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)73、以及料斗74。由于在托板71上形成有與處理容器9的凸部902嵌合的凹部，因此可將處理容器9置于托板71的中心。因此，可高精度地將處理容器9 相對于搬運(yùn)裝置2進(jìn)行定位，從而能利用搬運(yùn)裝置2可靠地把持處理容器9。翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)73包括水平的轉(zhuǎn)動(dòng)軸731和使轉(zhuǎn)動(dòng)軸731轉(zhuǎn)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)(未圖示)。托板71固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸731上。固定機(jī)構(gòu)72由固定于托板71下表面的兩個(gè)缸機(jī) 構(gòu)721、722構(gòu)成。缸機(jī)構(gòu)721、722在托板71的直徑方向上并列設(shè)置，設(shè)置成使桿7211、 7221朝外地進(jìn)退。在桿7211、7221的前端具有把持板7212、7222。固定機(jī)構(gòu)72通過使缸 機(jī)構(gòu)721、722的桿7211、7221進(jìn)退來使把持板7212、7222的間隔擴(kuò)大、縮小，在縮小了把持 板7212、7222的間隔時(shí)，從兩側(cè)夾持處理容器9。把持板7212、7222的前端緣7213、7223呈 圓弧狀。由于把持板7212、7222的前端緣7213、7223與處理容器9的比最大直徑小的直徑 部分抵接，因此具有將處理容器9按壓在托板71上的作用。料斗74與下方的承接槽76連通。料斗74的入口 741從下方與翻轉(zhuǎn)后的處理容 器9的蓋子95的開口 951相對。在料斗74內(nèi)設(shè)置有將清洗水向上噴出的噴水器742。噴 水器742經(jīng)由可撓的軟管743與清洗水供給源(未圖示)連接。料斗74具有升降機(jī)構(gòu)75。升降機(jī)構(gòu)75包括臂751和缸機(jī)構(gòu)752。臂751的一端 與料斗74連接，另一端與缸機(jī)構(gòu)752的桿7521的前端連接。升降機(jī)構(gòu)75通過使桿7521 上下移動(dòng)來使料斗74上下移動(dòng)。在料斗74上升時(shí)，料斗74的入口 741與處理容器9的開 口 951緊貼。因此，可防止水向水洗裝置7的周圍飛散，從而可防止水洗裝置7的周圍被污
^fe ο(8)下面對上述結(jié)構(gòu)的表面處理系統(tǒng)1的動(dòng)作進(jìn)行說明。(A)搬入工序首先，在搬運(yùn)車31的四個(gè)支撐片313上載放處理容器9。接著，在處理容器9內(nèi)放 入工件。然后，使搬運(yùn)車31移動(dòng)，與接納部32連接。之后，按下系統(tǒng)的動(dòng)作開始按鈕。由 此，接納部32首先動(dòng)作。在接納部32動(dòng)作時(shí)，載放部34從下方支撐被載放在搬運(yùn)車31上的處理容器9，如 圖4中箭頭C所示地上升。此時(shí)，由于處理容器9的凸部902與垂直臂342上端的凹部嵌 合，因此被引導(dǎo)至垂直臂342的中央。接著，載放部34停止于搬運(yùn)裝置2的保持部四的高 度位置。(B)搬運(yùn)工序[1]接著，搬運(yùn)裝置2開始動(dòng)作。首先，保持部四把持載放部34上的處理容器9。然 后，動(dòng)作部21如圖2的路徑[1-1]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向移動(dòng)。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[1-2]所示地下降，在將處理容器9載 放到表面處理裝置4的托板411上后，下降至低于處理容器9的位置停止。該停止位置是 當(dāng)把持部沈的把持件四3、294水平移動(dòng)時(shí)引導(dǎo)板四32、2933、四42、2943不與處理容器9 碰撞的高度位置。之后，動(dòng)作部21如圖2的路徑[1-3]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向地稍作移 動(dòng)，由此，把持部沈成為待機(jī)位置。(C)表面處理工序(C-I)蓋體關(guān)閉工序把持部沈一旦成為待機(jī)位置，表面處理裝置4便開始動(dòng)作。首先，開閉機(jī)構(gòu)43動(dòng) 作，使蓋體413關(guān)閉。S卩，蓋體413將托板411上的處理容器9覆蓋。
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(C-2)排水動(dòng)作工序[1]接著，排水機(jī)構(gòu)45動(dòng)作，使軟管452的前端部4521位于分離槽453的回收清洗水 的室4534上方。(C-3)清洗工序[1]接著，在供給機(jī)構(gòu)44中，在垂直柱441水平移動(dòng)后，臂442下降，使頭部445位于 托板411上的處理容器9的開口 951中。接著，在從供給機(jī)構(gòu)44的清洗水供給管444向處理容器9內(nèi)注入清洗水的同時(shí)， 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42動(dòng)作，使處理容器9旋轉(zhuǎn)。由此對處理容器9內(nèi)進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后， 停止清洗水的供給，但處理容器9繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此進(jìn)行脫水處理。接著，蓋體413的清洗機(jī)構(gòu)47動(dòng)作。由此，對蓋體413的內(nèi)表面和處理容器9的 蓋子95的外表面進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后，清洗機(jī)構(gòu)47停止，處理容器9的旋轉(zhuǎn)也停止。(C-4)排水動(dòng)作工序[2]接著，排水機(jī)構(gòu)45動(dòng)作，使軟管452的前端部4521位于分離槽453的回收表面處 理液的室4533上方。(C-5)處理工序接著，在從供給機(jī)構(gòu)44的表面處理液供給管443向處理容器9內(nèi)注入表面處理液 的同時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42動(dòng)作，使處理容器9旋轉(zhuǎn)。另外，蓋體413的吸氣機(jī)構(gòu)48動(dòng)作，從 吸氣口 482進(jìn)行吸氣。此時(shí)，由于含有表面處理液成分的霧氣被吸氣口 482吸引，因此可防 止表面處理裝置4周圍的空氣被污染。當(dāng)表面處理為電解處理時(shí)，對處理容器9的電極環(huán) 91進(jìn)行通電。接著，在一定時(shí)間后，停止注入表面處理液，再在一定時(shí)間后，停止處理容器9 的旋轉(zhuǎn)。由此進(jìn)行脫液處理。(C-6)排水動(dòng)作工序[3]接著，排水機(jī)構(gòu)45動(dòng)作，使軟管452的前端部4521位于分離槽453的回收清洗水 的室4534上方。(C-7)清洗工序[2]接著，在從供給機(jī)構(gòu)44的清洗水供給管444向處理容器9內(nèi)注入清洗水的同時(shí)， 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42動(dòng)作，使處理容器9旋轉(zhuǎn)。由此對處理容器9內(nèi)進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后， 停止清洗水的供給，但處理容器9繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此進(jìn)行脫水處理。接著，蓋體413的清洗機(jī)構(gòu)47動(dòng)作。由此，對蓋體413的內(nèi)表面和處理容器9的 蓋子95的外表面進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后，清洗機(jī)構(gòu)47停止，處理容器9的旋轉(zhuǎn)也停止。接著，吸氣機(jī)構(gòu)48也停止。(C-8)蓋體打開工序接著，開閉機(jī)構(gòu)43動(dòng)作，使蓋體413打開。(D)搬運(yùn)工序[2]接著，搬運(yùn)裝置2動(dòng)作。首先，動(dòng)作部21如圖2的路徑[2-1]所示地沿導(dǎo)軌部22 橫向地稍作移動(dòng)。即，把持部沈從待機(jī)位置移動(dòng)至托板411上的處理容器9的位置。然后， 把持部沈保持處理容器9。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[2-2]所示地上升。然后，動(dòng)作部21 如圖2的路徑[2-3]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向移動(dòng)，并停止于工件回收裝置5的位置。
接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[2-4]所示地下降，在使處理容器9載 放到工件回收裝置5的托板51上后，下降至低于處理容器9的位置停止。該停止位置是當(dāng) 把持部沈的把持件四3、294水平移動(dòng)時(shí)引導(dǎo)板四32、2933、四42、2943與處理容器9不碰 撞的高度位置。此時(shí)，處理容器9由于凸部902與托板51的凹部嵌合而被引導(dǎo)至托板51 的中央。之后，動(dòng)作部21如圖2的路徑[2-5]所示地沿導(dǎo)軌部22稍作橫向移動(dòng)，由此，把 持部26成為待機(jī)位置。(E)工件回收工序當(dāng)傳感器(未圖示)檢測到處理容器9被載放在托板51上且桶56位于規(guī)定的回 收位置時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)55動(dòng)作，將料斗52安裝在處理容器9上，并響起鈴聲。接著，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53動(dòng)作，將處理容器9和料斗52翻轉(zhuǎn)。接著，將水從噴水器525噴出，緊接著使缸機(jī)構(gòu)57動(dòng)作，使蓋5M打開。此時(shí)，由 于水從噴水器525噴出，因此可將水噴向處理容器9的整個(gè)內(nèi)表面，因此，能將處理容器9 內(nèi)的工件可靠地沖落。由此，處理容器9內(nèi)的工件與水一起從處理容器9流出，并從料斗52 的排出口 523排出。被排出的工件儲(chǔ)藏在桶56內(nèi)。一定時(shí)間后，噴水器525停止，之后，缸機(jī)構(gòu)57動(dòng)作，使蓋5M關(guān)閉。接著，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53動(dòng)作，使處理容器9和料斗52再次翻轉(zhuǎn)而恢復(fù)原狀。然后，轉(zhuǎn) 動(dòng)機(jī)構(gòu)55動(dòng)作，使料斗52成為非安裝狀態(tài)，并響起鈴聲。在利用車561使桶56向跟前移動(dòng)后，將桶56取出，從而回收工件。(F)搬運(yùn)工序[3]接著，搬運(yùn)裝置2動(dòng)作。首先，動(dòng)作部21如圖2的路徑[3-1]所示地沿導(dǎo)軌部22 橫向地稍作移動(dòng)。即，把持部沈從待機(jī)位置移動(dòng)至托板51上的處理容器9的位置。然后， 把持部沈保持處理容器9。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[3-2]所示地上升。然后，動(dòng)作部21 如圖2的路徑[3-3]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向移動(dòng)并停止于剝離裝置6的位置。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[3-4]所示地下降，在將處理容器9載 放到剝離裝置6的托板411上后，下降至低于處理容器9的位置停止。該停止位置是當(dāng)把 持部沈的把持件四3、294水平移動(dòng)時(shí)引導(dǎo)板四32、2933、四42、2943與處理容器9不碰撞 的高度位置。之后，動(dòng)作部21如圖2的路徑[3-5]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向地稍作移動(dòng)，由 此，把持部沈成為待機(jī)位置。(G)剝離處理工序(G-I)蓋體關(guān)閉工序把持部沈一旦成為待機(jī)位置，剝離裝置6便開始動(dòng)作。首先，開閉機(jī)構(gòu)43動(dòng)作， 使蓋體413關(guān)閉。S卩，蓋體413將托板411上的處理容器9覆蓋。(G-2)排水動(dòng)作工序[1]接著，排水機(jī)構(gòu)45動(dòng)作，使軟管452的前端部4521位于分離槽453的回收剝離液 的室(未圖示)上方。(G-3)處理工序接著，在供給機(jī)構(gòu)44中，在垂直柱441水平移動(dòng)后，臂442下降，使頭部445位于 托板411上的處理容器9的開口 951中。
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接著，在從供給機(jī)構(gòu)44的剝離液供給管443向處理容器9內(nèi)注入剝離液的同時(shí)， 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42動(dòng)作，使處理容器9旋轉(zhuǎn)。另外，蓋體413的吸氣機(jī)構(gòu)48動(dòng)作，從吸氣口 482進(jìn)行吸氣。由此，將處理容器9內(nèi)表面上的附著物(例如鍍膜)剝離。一定時(shí)間后，停 止剝離液的供給，但處理容器9繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此進(jìn)行脫液處理。然后，處理容器9的旋轉(zhuǎn)停止。(G-4)排水動(dòng)作工序[2]接著，排水機(jī)構(gòu)45動(dòng)作，使軟管452的前端部4521位于分離槽453的回收清洗水 的室4534上方。(G-5)清洗工序接著，在從供給機(jī)構(gòu)44的清洗水供給管444向處理容器9內(nèi)注入清洗水的同時(shí)， 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42動(dòng)作，使處理容器9旋轉(zhuǎn)。由此對處理容器9內(nèi)進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后， 停止清洗水的供給，但處理容器9繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此進(jìn)行脫水處理。接著，蓋體413的清洗機(jī)構(gòu)47動(dòng)作。由此，對蓋體413的內(nèi)表面和處理容器9的 蓋子95的外表面進(jìn)行清洗。一定時(shí)間后，清洗機(jī)構(gòu)47停止，處理容器9的旋轉(zhuǎn)也停止。接著，吸氣機(jī)構(gòu)48也停止。(G-6)蓋體打開工序接著，開閉機(jī)構(gòu)43動(dòng)作，使蓋體413打開。(H)搬運(yùn)工序W]接著，搬運(yùn)裝置2動(dòng)作。首先，動(dòng)作部21如圖2的路徑所示地沿導(dǎo)軌部22 橫向地稍作移動(dòng)。即，把持部沈從待機(jī)位置移動(dòng)至托板411上的處理容器9的位置。然后， 把持部沈保持處理容器9。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[4-2]所示地上升。然后，動(dòng)作部21 如圖2的路徑[4-3]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向移動(dòng)，并停止于水洗裝置7的位置。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[4-4]所示地下降，在使處理容器9載 放到水洗裝置7的托板71上后，下降至低于處理容器9的位置停止。該停止位置是當(dāng)把持 部沈的把持件四3、294水平移動(dòng)時(shí)引導(dǎo)板四32、2933、四42、2943與處理容器9不碰撞的 高度位置。此時(shí)，處理容器9由于凸部902與托板71的凹部嵌合而被引導(dǎo)至托板71的中 央。之后，動(dòng)作部21如圖2的路徑[4-5]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向地稍作移動(dòng)，由此，把持 部沈成為待機(jī)位置。(I)水洗工序把持部沈一旦成為待機(jī)位置，水洗裝置7便開始動(dòng)作。首先，固定機(jī)構(gòu)72動(dòng)作， 使處理容器9固定在托板71上。接著，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)73動(dòng)作，使處理容器9與托板71 一起翻轉(zhuǎn)。接著，升降機(jī)構(gòu)75動(dòng)作，料斗74上升至貼近處理容器9的位置。接著，將水從噴水器742噴出。由此，可將水噴向處理容器9的整個(gè)內(nèi)表面，殘留 在處理容器9內(nèi)的剝離液和附著物全部從處理容器9可靠地流出，經(jīng)由料斗74向承接槽76 回收。一定時(shí)間后，噴水器742停止。接著，升降機(jī)構(gòu)75動(dòng)作，料斗74下降。
接著，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)73動(dòng)作，使處理容器9與托板71再次一起翻轉(zhuǎn)而恢復(fù)原狀。接著，固定機(jī)構(gòu)72動(dòng)作，使處理容器9的固定解除。(J)搬運(yùn)工序[5]接著，搬運(yùn)裝置2動(dòng)作。首先，動(dòng)作部21如圖2的路徑[5-1]所示地沿導(dǎo)軌部22 橫向地稍作移動(dòng)。即，把持部沈從待機(jī)位置移動(dòng)至托板71上的處理容器9的位置。然后， 把持部沈保持處理容器9。接著，動(dòng)作部21的把持部沈如圖2的路徑[5-2]所示地上升。然后，動(dòng)作部21 如圖2的路徑[5-3]所示地沿導(dǎo)軌部22橫向移動(dòng)，并停止于接納部32的位置。(K)搬出工序接著，接納部32動(dòng)作。首先，載放部34上升以從下方支撐搬運(yùn)裝置2的保持部四 的處理容器9。接著，搬運(yùn)裝置2的動(dòng)作部21稍作橫向移動(dòng)，使保持部四從載放部34退避。接著，載放部34以載放著處理容器9的狀態(tài)下降。在此途中，處理容器9載放在 搬運(yùn)車31的四個(gè)支撐片313上。接著，使搬運(yùn)車31從接納部32移動(dòng)，將處理容器9從搬運(yùn)車31上拆下并將新的 處理容器9載放到搬運(yùn)車31上。接著進(jìn)行與上述內(nèi)容相同的動(dòng)作。通過上面的動(dòng)作，采用上述結(jié)構(gòu)的表面處理系統(tǒng)，則可將收容有工件的處理容器9 自動(dòng)地依次向表面處理裝置4、工件回收裝置5、剝離裝置6和水洗裝置7供給，因此，能以 高作業(yè)效率來獲得經(jīng)表面處理的工件，還可獲得清洗后的處理容器9。[其它實(shí)施形態(tài)]本發(fā)明也可采用如下的變形結(jié)構(gòu)。(1)如圖21所示，在第1實(shí)施形態(tài)中也可省略剝離裝置6和水洗裝置7。圖22表 示的是此時(shí)的處理容器9的搬運(yùn)路徑。采用該系統(tǒng)也可獲得經(jīng)表面處理的工件。(2)如圖23所示，在第1實(shí)施形態(tài)中，也可在不向剝離裝置6和水洗裝置7搬運(yùn)處 理容器9的情況下結(jié)束處理。(3)如圖對所示，也可將第1實(shí)施形態(tài)的各裝置3、4、5、6、7配置成俯視呈圓形。 如圖25所示，此時(shí)的搬運(yùn)裝置2包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿、臂四2、臂四2的升降機(jī)構(gòu)四3、以及設(shè) 于臂292前端并用于保持處理容器9的保持部四。搬運(yùn)裝置2通過使轉(zhuǎn)動(dòng)桿291轉(zhuǎn)動(dòng)來 使臂292轉(zhuǎn)動(dòng)，從而將保持于保持部四的處理容器9向各裝置3、4、5、6、7搬運(yùn)。升降機(jī)構(gòu) 293通過使臂292升降來使保持于保持部四的處理容器9升降。(4)如圖沈所示，在第1實(shí)施形態(tài)的水洗裝置7中，也可將噴水器742固定地設(shè)置 在承接槽76內(nèi)。具體而言，使管7421從噴水器742鉛垂延伸，并以用環(huán)7422和支柱7423 支撐的方式沿著橫向延伸。(5)如圖27所示，也可將料斗74做成大徑的大型件，使其兼作承接槽76。(6)如圖觀所示，也可將第1實(shí)施形態(tài)的工件回收裝置5和水洗裝置7設(shè)置成一 體。這種情況下，在第1實(shí)施形態(tài)的工件回收裝置5中，回收槽M與承接槽76并列設(shè)置。 在料斗52中，排出部5 可通過旋轉(zhuǎn)接頭5261而相對于本體部522轉(zhuǎn)動(dòng)。缸機(jī)構(gòu)57與排 出部5 設(shè)置成一體。該裝置中，在工件回收工序中，排出部5 朝著回收槽M側(cè)動(dòng)作，在水洗工序中，排出部5 朝著承接槽76側(cè)動(dòng)作。(7)也可設(shè)置多個(gè)表面處理裝置4。采用該結(jié)構(gòu)，則可用各表面處理裝置4來進(jìn)行 不同的表面處理，因此，可在工件的表面上形成兩層以上的處理膜。(8)如圖四所示，也可在回收槽M的上方設(shè)置大口的料斗520來代替第1實(shí)施形 態(tài)的工件回收裝置5的料斗52。采用該結(jié)構(gòu)，則可將工件回收裝置5的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53作為與 水洗裝置7的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)73通用的零件構(gòu)成，從而可減少零件的種類，提高生成效率。(9)如圖30所示，也可在第1實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)車31的各個(gè)支撐片313上設(shè)置朝內(nèi) 的水平板315。處理容器9載放在水平板315上。采用該結(jié)構(gòu)，則支撐片313與載放在水平 板315上的處理容器9的側(cè)面接觸，因此能可靠地防止處理容器9在水平方向上移動(dòng)。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的表面處理系統(tǒng)能以流水作業(yè)方式高效地進(jìn)行工件的表面處理、工件的回 收、處理容器的清洗等，因此，在工業(yè)上具有很大的利用價(jià)值。
1權(quán)利要求
1. 一種工件回收裝置，其特征在于，包括 載放處理容器的托板、從上方將托板上的處理容器覆蓋的料斗、以及 使覆蓋處理容器的料斗與托板和處理容器一起上下翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)， 將水從設(shè)于料斗的噴出部朝著被上下翻轉(zhuǎn)的處理容器內(nèi)噴射，將處理容器內(nèi)的工件向 料斗內(nèi)沖出后從料斗向回收槽排出，從而對工件進(jìn)行捕捉。
全文摘要
一種工件的表面處理系統(tǒng)(1)，將收容了工件的處理容器(9)依次向一系列的裝置搬運(yùn)并提供給各裝置進(jìn)行作業(yè)，從而獲得經(jīng)表面處理的工件，其特征在于，包括將處理容器(9)依次向系統(tǒng)內(nèi)的一系列裝置搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置(2)；將處理容器搬入、搬出搬運(yùn)裝置的搬入搬出裝置(3)；從搬運(yùn)裝置接納處理容器、在使處理容器旋轉(zhuǎn)的同時(shí)向處理容器內(nèi)供給表面處理液、從而對工件進(jìn)行表面處理的表面處理裝置(4)；以及從搬運(yùn)裝置接納處理容器、使處理容器上下翻轉(zhuǎn)、并將水從下方噴向處理容器內(nèi)而使工件流出、從而對工件進(jìn)行捕捉的工件回收裝置(5)，搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)順序?yàn)楸砻嫣幚硌b置、接著是工件回收裝置。
文檔編號(hào)C25D19/00GK102127796SQ201110041398
公開日2011年7月20日 申請日期2008年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月6日
發(fā)明者中田英樹, 杉浦裕, 植村哲朗, 濱田良介 申請人:上村工業(yè)株式會(huì)社