專利名稱：一種分離金屬掩膜板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于金屬掩膜板制造領(lǐng)域，具體地涉及一種改進(jìn)的分離金屬掩膜板的方法。
背景技術(shù)：
電鑄法是一種高精度的金屬掩膜板制作技術(shù)，其原理是在芯模板上通過電化學(xué)材料生長的方法而制備一層金屬薄板，即電鑄金屬掩膜板。此后，需要將所形成的電鑄金屬掩膜板從該芯模板上分離下來，并進(jìn)行后續(xù)工藝處理并形成最終的產(chǎn)品。由于電鑄金屬掩膜板是在芯模板上生長出來的，從而在二者之間存在一層結(jié)合力，傳統(tǒng)的分離設(shè)備和方法均為利用人工來進(jìn)行分離。在電鑄金屬掩膜板精度較低且厚度較大的情況下，可以采用傳統(tǒng)上的手工剝離方法。但是，隨著技術(shù)的進(jìn)步和工業(yè)要求的不斷提高，電鑄金屬掩膜板的厚度越來越薄，且精度越來越高，傳統(tǒng)的手工分離方法就會(huì)導(dǎo)致如下的缺點(diǎn)I、無法分離厚度較薄的電鑄金屬掩膜板。例如，在電鑄金屬掩膜板的尺寸達(dá)到30微米以下時(shí)，手工分離很容易導(dǎo)致金屬掩膜板產(chǎn)生永久變形，從而導(dǎo)致所述電鑄金屬掩膜板無法使用。當(dāng)電鑄金屬掩膜板的尺寸進(jìn)一步變薄時(shí)，電鑄金屬掩膜板甚至不能進(jìn)行手工握持，極小的握持力也容易導(dǎo)致承壓的部分出現(xiàn)永久的變形。2、傳統(tǒng)手工分離質(zhì)量不穩(wěn)定。傳統(tǒng)的手工分離工藝為人工操作。分離的質(zhì)量好壞與工人的工作熟練程度存在密切的關(guān)聯(lián)性，這就容易導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量的較大波動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明還需要提供一種金屬掩膜板剝離方法，所述金屬掩膜板剝離方法可以提高金屬掩膜板剝離的效率、提高所述金屬掩膜板的質(zhì)量以及降低所述金屬掩膜板的制造成本。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種分離金屬掩膜板的方法。所述方法可以包括如下步驟(1)將形成有金屬掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿著第一方向可滑動(dòng)；(2)將具有預(yù)定半徑的導(dǎo)引滾輪以預(yù)定的壓緊力施加在所述金屬掩膜板上；(3)將金屬掩膜板的一個(gè)自由端沿著第二方向繞所述導(dǎo)引滾輪朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向移動(dòng)，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。在本發(fā)明的上述方法中，通過控制沿著所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑和所述預(yù)定的壓緊力，從而可以控制金屬掩膜板剝離過程中金屬掩膜板的彎曲半徑以及由此進(jìn)一步地控制金屬掩膜板與芯模板之間的分離線，使分離線在分離過程始終在一條直線上，從而可以順利地分離金屬掩膜板，且由于此過程中采用了機(jī)械的方式進(jìn)行剝離，從而使得被剝離的金屬掩膜板的質(zhì)量非常穩(wěn)定。另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的分離金屬掩膜板的方法還具有如下附加技術(shù)特征
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第二方向垂直于所述第一方向。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述步驟(3)進(jìn)一步包括如下步驟(3. I)從所述金屬掩膜板的所述自由端形成引導(dǎo)邊，且將所述引導(dǎo)邊連接至沿著所述第二方向設(shè)置的第二滑板上；以及(3. 2)沿著所述第二方向朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述引導(dǎo)邊形成有引導(dǎo)孔，以掛在形成有掛鉤的第二滑板上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑為大于IOmm且小于100mm，從而可實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，以最優(yōu)地提高金屬掩膜板剝離的效率和金屬掩膜板 的質(zhì)量。由此，通過控制所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑，從而理想地將所述金屬掩膜板從所述芯模板上剝離。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述預(yù)定的壓緊力控制成使所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種分離金屬掩膜板的方法，所述方法在這樣的金屬掩膜板剝離裝置上進(jìn)行，所述金屬掩膜板剝離裝置包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的縱向可移動(dòng)地設(shè)置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板豎向可移動(dòng)地設(shè)置在所述基座上；固定板，所述固定板安裝在所述第二滑板的下端，用于固定從所述芯模板上分離的金屬掩膜板的自由端；以及導(dǎo)引單元，所述導(dǎo)引單元設(shè)置在所述基座上，將預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板上且導(dǎo)引從芯模板上剝離的金屬掩膜板，所述方法包括(I)將形成有金屬掩膜板的芯模板設(shè)置在所述第一滑板上；(2)將金屬掩膜板的自由端固定至所述固定板；(3)通過導(dǎo)引單元將所述預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板；以及(4)沿著所述豎向方向朝向遠(yuǎn)離所述基座的方向移動(dòng)所述第二滑板，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述預(yù)定的壓緊力控制成使所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述導(dǎo)引單元包括滾輪支座，所述滾輪支座設(shè)置在所述基座上；以及導(dǎo)引滾輪，所述導(dǎo)引滾輪可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述安裝在所述滾輪支座上，且將所述預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述導(dǎo)引滾輪具有預(yù)定的半徑，且所述預(yù)定半徑大于IOmm且小于100mm，從而可實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，以最優(yōu)地提高金屬掩膜板剝離的效率和金屬掩膜板的質(zhì)量。本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖I顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于分離金屬掩膜板的方法；
圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的金屬掩膜板剝離裝置的立體示意圖；圖3是圖2所示金屬掩膜板剝離裝置的俯視圖；圖4是圖2所示金屬掩膜板剝離裝置的主視圖；圖5是圖2所示金屬掩膜板剝離裝置的左視圖；以及圖6是圖2所示金屬掩膜板剝離裝置的后視圖。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí) 施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。 在本發(fā)明的描述中，術(shù)語“縱向”、“橫向”、“豎向”、“上”、“下”、“右”、“水平”、“頂”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明而不是要求本發(fā)明必須以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，主要的發(fā)明構(gòu)思在于，在金屬掩膜板的剝離過程中控制芯模板的彎曲半徑；且控制芯模板與金屬掩膜板的分離線，并使得分離線在分離過程中始終位于同一條直線上。下面將參照圖I來描述根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于分離金屬掩膜板的方法。如圖I中所示,所述方法包括如下步驟SlOO :將形成有金屬掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿著第一方向可滑動(dòng)。S200:將具有預(yù)定半徑的導(dǎo)引滾輪以預(yù)定的壓緊力施加在所述金屬掩膜板上。S300 :將金屬掩膜板的一個(gè)自由端沿著第二方向繞所述導(dǎo)引滾輪朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向移動(dòng)，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離，所述第二方向垂直于所述第
一方向。此處，可以將所述第二滑板作為主動(dòng)驅(qū)動(dòng)，以拉動(dòng)所述第一滑板沿著第一方向隨動(dòng)運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的上述方法中，通過控制沿著所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑和所述預(yù)定的壓緊力，從而可以控制金屬掩膜板剝離過程中金屬掩膜板的彎曲半徑以及由此進(jìn)一步地控制金屬掩膜板與芯模板之間的分離線，使分離線在分離過程始終在一條直線上，從而可以順利地分離金屬掩膜板，且由于此過程中采用了機(jī)械的方式進(jìn)行剝離，從而使得被剝離的金屬掩膜板的質(zhì)量非常穩(wěn)定。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述第一方向和所述第二方向相垂直，由此可以在相互垂直的方向上方便地將金屬掩膜板從芯模板分離。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述步驟(3)進(jìn)一步包括如下步驟(3. I)從所述金屬掩膜板的所述自由端形成引導(dǎo)邊，且將所述引導(dǎo)邊連接至沿著所述第二方向設(shè)置的第二滑板上；以及(3.2)沿著所述第二方向朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。所述引導(dǎo)邊可以形成有引導(dǎo)孔，以掛在形成有掛鉤的第二滑板上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑大于IOmm且小于100mm，從而可實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，以最優(yōu)地提高金屬掩膜板剝離的效率和金屬掩膜板的質(zhì)量。由此，通過控制所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑，從而理想地將所述金屬掩膜板從所述芯模板上剝離。此外，所述預(yù)定的壓緊カ需要控制成、使得所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。需要說明的是，此處的“第一方向”和“第二方向”只是出于示例說明的目的，普通技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際的需要，將所述第一方向和所述第二方向調(diào)整到合適的方位，只要其能夠?qū)崿F(xiàn)金屬掩膜板的順利分離即可。需要說明的是，采用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于分離金屬掩膜板的方法，可以設(shè)計(jì)相應(yīng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)，該機(jī)械結(jié)構(gòu)不僅可以用于簡單剝離工具，也可以用于自動(dòng)剝離設(shè)備，從而減少了人工的操作，既可以降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，又可以提高產(chǎn)品生產(chǎn)的自動(dòng)化程度，提
升產(chǎn)品質(zhì)量。
下面將提供一種實(shí)施上述分離金屬掩膜板方法的金屬掩膜板剝離裝置100，其中圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的金屬掩膜板剝離裝置100的立體示意圖，圖3是圖2中所示金屬掩膜板剝離裝置100的俯視圖，圖4是圖2中所示金屬掩膜板剝離裝置100的主視圖，圖5是圖I所示金屬掩膜板剝離裝置100的左視圖，圖6是圖2所示金屬掩膜板剝離裝置100的后視圖。下面結(jié)合圖3 圖5描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的金屬掩膜板剝離裝置100。如圖2中所示，金屬掩膜板剝離裝置100包括基座I ;第一滑板3，第一滑板3沿基座I的縱向可移動(dòng)地設(shè)置在基座I上；第二滑板7，第二滑板7豎向可移動(dòng)地設(shè)置在基座I上；固定板8，固定板8安裝在第二滑板7的下端，用于固定從芯模板(未示出)上分離的金屬掩膜板(未示出)的自由端；導(dǎo)引單元，導(dǎo)引單元設(shè)置在基座I上，將預(yù)定的壓緊カ施加至金屬掩膜板上且導(dǎo)引從芯模板上剝離的金屬掩膜板?；鵌可以為焊接基座，主要用于承載的目的。如上所述，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的金屬掩膜板剝離裝置100，通過將其上形成有金屬掩膜板的芯模板設(shè)置在第一滑板3上并進(jìn)行固定，且將金屬掩膜板的ー個(gè)自由端設(shè)置在固定板8上,從而可以通過第二滑板7朝向遠(yuǎn)離基座I的方向運(yùn)動(dòng)、從而帶動(dòng)第一滑板3運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，導(dǎo)引単元將預(yù)定的壓緊カ施加在金屬掩膜板上，從而可以順利地實(shí)現(xiàn)將金屬掩膜板與芯模板的剝離。由此，可以提高工業(yè)自動(dòng)化程度，同時(shí)降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。進(jìn)ー步地，可以實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，因此特別適于高精度金屬掩膜板的剝離，進(jìn)而提高被剝離的金屬掩膜板的產(chǎn)品質(zhì)量。下面結(jié)合圖2和圖5描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的導(dǎo)引單元。如圖2和圖5所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，導(dǎo)引單元可以包括滾輪支座9，滾輪支座9設(shè)置在基座I上；以及導(dǎo)引滾輪10，導(dǎo)引滾輪10可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在安裝在滾輪支座9上，且將預(yù)定的壓緊カ施加至金屬掩膜板上?？梢酝ㄟ^其他機(jī)構(gòu)來給導(dǎo)引滾輪10施加預(yù)定的力，從而可以將カ傳遞給金屬掩膜板。但是，需要說明的是，上述的導(dǎo)引單元僅示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，導(dǎo)引單元并不限于此，只要導(dǎo)引單元的結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)將預(yù)定的壓緊力施加在金屬掩膜板上，且預(yù)定的壓緊カ被控制成使得金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上即可。根 據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，導(dǎo)引滾輪10具有預(yù)定的半徑，且預(yù)定的半徑落入IOmm至IOOmm之間，從而可以最優(yōu)地實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，以提高金屬掩膜板剝離的效率和被剝離之后的金屬掩膜板的質(zhì)量。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括豎向基板5，豎向基板5安裝在基座I上；以及第ニ導(dǎo)軌6，第二導(dǎo)軌6分別安裝在豎向基板5上用于導(dǎo)引第二滑板7沿豎向移動(dòng)。豎向基板5和第二導(dǎo)軌6主要用于實(shí)現(xiàn)第二滑板7的豎向運(yùn)動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括橫梁12，橫梁12沿基座I、橫向設(shè)置在豎向基板5之間；以及支撐桿13，支撐桿13沿豎向設(shè)置在橫梁12上，且與第二滑板7相連用于拉動(dòng)第二滑板7沿豎向移動(dòng)。橫梁12和支撐桿13主要用于增強(qiáng)第二滑板7在豎向的剛度。支撐桿13沿著豎向可以形成有槽，其中第二滑板7可以通過在槽內(nèi)的滑塊而進(jìn)行滑動(dòng)的方式連接至支撐桿13。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括第一驅(qū)動(dòng)裝置11。第一驅(qū)動(dòng)裝置11設(shè)置在支撐桿13上，且通過支撐桿13與第二滑板7相連，用于驅(qū)動(dòng)第二滑板7沿豎向移動(dòng)，從而拉動(dòng)從芯模板上分離的金屬掩膜板的自由端沿豎向移動(dòng)。此處，通過設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)裝置11，從而可以實(shí)現(xiàn)第二滑板7沿著豎向的主動(dòng)驅(qū)動(dòng)，并帶動(dòng)第一滑板3沿著縱向隨動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)金屬掩膜板的剝離。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第一驅(qū)動(dòng)裝置11可以包括氣缸、液壓缸或電機(jī)。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，第一驅(qū)動(dòng)裝置11不限于此，其他任何能夠驅(qū)動(dòng)第二滑板7沿豎向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器都可以用作第一驅(qū)動(dòng)裝置11。如圖2和圖5所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100可以進(jìn)ー步包括第三導(dǎo)軌15，第三導(dǎo)軌15安裝在豎向基板5上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括第二驅(qū)動(dòng)裝置14，第二驅(qū)動(dòng)裝置14用于驅(qū)動(dòng)導(dǎo)引滾輪10沿著第三導(dǎo)軌15可移動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)裝置14控制成使得導(dǎo)引滾輪10將預(yù)定的壓緊カ施加至金屬掩膜板上，從而金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上，由此，極大地提高了金屬掩膜板的剝離速度以及被剝離的金屬掩膜板的質(zhì)量。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第二驅(qū)動(dòng)裝置14可以為氣缸、液壓缸或電機(jī)。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，第二驅(qū)動(dòng)裝置14不限于此，其他任何能夠控制導(dǎo)引滾輪10所施加的預(yù)定的壓緊カ的大小的驅(qū)動(dòng)裝置均可以用作第二驅(qū)動(dòng)裝置14。如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括第一導(dǎo)軌2,第一導(dǎo)軌2安裝在基座I上用于導(dǎo)引第一滑板3沿縱向移動(dòng)。第一導(dǎo)軌可以為光軸，只要其允許第一滑板3在其上光滑地運(yùn)動(dòng)即可。金屬掩膜板剝離裝置100還可以進(jìn)ー步包括兩個(gè)壓條4。兩個(gè)壓條4分別沿縱向設(shè)置在第一滑板3上且在橫向上彼此間隔開，用于分別壓住放置到第一滑板3上的形成有金屬掩膜板的芯模板。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩膜板剝離裝置100進(jìn)ー步包括壓緊件16，壓緊件16分別設(shè)置在兩個(gè)壓條4上，用于將兩個(gè)壓條4的端部壓緊在第一滑板3上。如圖5中所示，壓緊件16可以為扣緊扳手。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，固定板8的、遠(yuǎn)離第二導(dǎo)軌6的ー側(cè)形成有掛鉤17，用于掛住被剝離下來的金屬掩膜板的自由端，從而在第一驅(qū)動(dòng)裝置11運(yùn)動(dòng)吋，拉動(dòng)從芯模板上分離的金屬掩膜板的自由端沿豎向移動(dòng)。下面結(jié)合圖3-圖6詳細(xì)描述本發(fā)明的金屬掩膜板剝離裝置100的操作過程。首先，將待剝離金屬掩膜板放在第一滑板3上，調(diào)節(jié)壓緊件16，使兩個(gè)壓條4的端部壓緊到第一滑板3上，從而固定待剝離金屬掩膜板。從待剝離金屬掩膜板上手動(dòng)剝離一小段金屬掩膜板，以形成引導(dǎo)邊(未示出)，引導(dǎo)邊上形成有ー排孔( 未示出)，且將孔固定在固定板8的掛鉤17上。此后，通過第二驅(qū)動(dòng)裝置14來調(diào)節(jié)預(yù)定壓緊力，以使得金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。接著，通過第一驅(qū)動(dòng)裝置11驅(qū)動(dòng)第二滑板7沿著豎向朝向遠(yuǎn)離基座I的方向運(yùn)動(dòng)，然后第二滑板7通過固定板8拉動(dòng)金屬掩膜板向上運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，第一滑板3被動(dòng)地向右運(yùn)動(dòng),直至金屬掩膜板完全從芯模板上剝離下來。與此相對應(yīng)地，本發(fā)明提供了ー種與所述金屬掩膜板剝離裝置100相對應(yīng)的分離金屬掩膜板的方法。所述分離金屬掩膜板的方法包括將形成有金屬掩膜板的芯模板設(shè)置在所述第一滑板3上；將金屬掩膜板的自由端固定至所述固定板8 ;通過導(dǎo)引單元將所述預(yù)定的壓緊カ施加至所述金屬掩膜板；以及沿著所述豎向方向朝向遠(yuǎn)離所述基座I的方向移動(dòng)所述第二滑板7，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。所述預(yù)定的壓緊カ控制成所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。優(yōu)選地，所述導(dǎo)引滾輪10具有預(yù)定的半徑，且所述預(yù)定半徑為大于IOmm且小于100mm，從而可實(shí)現(xiàn)對金屬掩膜板的自動(dòng)剝離，以最優(yōu)地提高金屬掩膜板剝離的效率和金屬掩膜板的質(zhì)量。需要說明的是，上述金屬掩膜板剝離裝置及其操作過程僅是本發(fā)明的ー些示例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，在實(shí)際應(yīng)用中，剝離后金屬掩膜板的運(yùn)動(dòng)方向可以是豎向、水平方向、或其他任何方向，相應(yīng)地芯模板的運(yùn)動(dòng)方向可以是水平方向、豎向、或其他任何方向。金屬掩膜板的運(yùn)動(dòng)方向和芯模板的運(yùn)動(dòng)方向既可以是正交的，也可以是非正交的。金屬掩膜板的運(yùn)動(dòng)和芯模板的運(yùn)動(dòng)既可以是電動(dòng)的，也可以是手動(dòng)的，既可以是主動(dòng)的，也可以是被動(dòng)的。此外，滾輪壓緊芯模板與金屬掩膜板的分離面的驅(qū)動(dòng)方式既可以是氣動(dòng)的、電動(dòng)的或其他方式?？傊?，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的金屬掩膜板剝離裝置可對高精度金屬掩膜板進(jìn)行自動(dòng)剝離，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高工業(yè)自動(dòng)化程度，同時(shí)降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“ー個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、或“ー些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少ー個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的ー個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗g的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種分離金屬掩膜板的方法，其特征在于，包括如下步驟 (1)將形成有金屬掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿著第一方向可滑動(dòng)； (2)將具有預(yù)定半徑的導(dǎo)引滾輪以預(yù)定的壓緊力施加在所述金屬掩膜板上；以及 (3)將金屬掩膜板的一個(gè)自由端沿著第二方向繞所述導(dǎo)引滾輪朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向移動(dòng)，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述第二方向垂直于所述第一方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述步驟(3)進(jìn)一步包括如下步驟 (3. I)從所述金屬掩膜板的所述自由端形成引導(dǎo)邊，且將所述引導(dǎo)邊連接至沿著所述第二方向設(shè)置的第二滑板上；以及 (3. 2)沿著所述第二方向朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述引導(dǎo)邊形成有引導(dǎo)孔，以掛在形成有掛鉤的第二滑板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)引滾輪的預(yù)定半徑大于IOmm且小于 10Omnin
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述預(yù)定的壓緊力控制成使所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。
8.一種分離金屬掩膜板的方法，所述方法在金屬掩膜板剝離裝置上進(jìn)行，所述金屬掩膜板剝離裝置包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的縱向可移動(dòng)地設(shè)置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板豎向可移動(dòng)地設(shè)置在所述基座上；固定板，所述固定板安裝在所述第二滑板的下端，用于固定從所述芯模板上分離的金屬掩膜板的自由端；以及導(dǎo)引單元，所述導(dǎo)引單元設(shè)置在所述基座上，將預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板上且導(dǎo)引從芯模板上剝離的金屬掩膜板，所述方法包括 (1)將形成有金屬掩膜板的芯模板設(shè)置在所述第一滑板上； (2)將金屬掩膜板的自由端固定至所述固定板； (3)通過導(dǎo)引單元將所述預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板； (4)沿著所述豎向方向朝向遠(yuǎn)離所述基座的方向移動(dòng)所述第二滑板，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述預(yù)定的壓緊力控制成使所述金屬掩膜板與芯模板的分離線位于同一條直線上。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)引單元包括 滾輪支座，所述滾輪支座設(shè)置在所述基座上；以及 導(dǎo)引滾輪，所述導(dǎo)引滾輪可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述安裝在所述滾輪支座上，且將所述預(yù)定的壓緊力施加至所述金屬掩膜板上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)引滾輪具有預(yù)定的半徑，且所述預(yù)定半徑大于IOmm且小于100mm。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種分離金屬掩膜板的方法，包括如下步驟(1)將形成有金屬掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿著第一方向可滑動(dòng)；(2)將具有預(yù)定半徑的導(dǎo)引滾輪以預(yù)定的壓緊力施加在所述金屬掩膜板上；以及(3)將金屬掩膜板的一個(gè)自由端沿著第二方向繞所述導(dǎo)引滾輪朝向遠(yuǎn)離所述第一滑板的方向移動(dòng)，以將所述金屬掩膜板從所述芯模板分離。根據(jù)本發(fā)明的方法，可實(shí)現(xiàn)對高精度金屬掩膜板進(jìn)行自動(dòng)剝離，從而提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和制造效率，同時(shí)降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，降低了成本。
文檔編號C25D1/20GK102719861SQ20111007927
公開日2012年10月10日 申請日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者程曄 申請人:昆山思拓機(jī)器有限公司