專利名稱：晶圓電鍍夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種晶圓電鍍夾具。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制造過程中，器件上的金屬凸塊被作為接觸點來連接各條線路、各個驅(qū)動IC或柔性線路板(FPC)。所述金屬凸塊的形成過程包括沉積金屬薄膜、光刻、刻蝕、 電鍍等工藝步驟。其中，電鍍過程的好壞直接影響最終形成的金屬凸塊的品質(zhì)。在電鍍工藝過程中，常需要將晶圓放置于晶圓電鍍夾具上，晶圓電鍍夾具上設(shè)置有多個導(dǎo)電彈片，這些導(dǎo)電彈片與晶圓電鍍夾具上的晶圓相接觸。又因為導(dǎo)電彈片可通過與其相連的導(dǎo)線與外部電源相連，因此，晶圓電鍍夾具上的晶圓在電鍍工藝中可與外部電源相連，進而通過電鍍液的分解可在其表面形成所需鍍層。由于晶圓電鍍夾具上的晶圓與導(dǎo)電彈片之間為電連接，故兩者之間接觸是否良好直接影響晶圓上鍍層的品質(zhì)，進而影響后續(xù)所形成的金屬凸塊的品質(zhì)。參考圖1，圖1為現(xiàn)有的晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖，當(dāng)將晶圓置于晶圓電鍍夾具上后，晶圓側(cè)邊將與導(dǎo)電彈片的側(cè)面1相接觸，且接觸點靠近導(dǎo)電彈片側(cè)面1和側(cè)面2所構(gòu)成的拐角3 位置處，由于晶圓側(cè)邊呈圓弧狀結(jié)構(gòu)，故晶圓與導(dǎo)電彈片之間的接觸僅為線接觸。在電鍍工藝過程中，由于導(dǎo)電彈片使用時間較長或電鍍液的振動等因素，常使得導(dǎo)電彈片發(fā)生松動， 這就使得晶圓與導(dǎo)電彈片之間極易發(fā)生接觸不良現(xiàn)象，進而影響電鍍效果。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具能使得晶圓與導(dǎo)電彈片之間具有良好的接觸，進而保證電鍍工藝的正常進行。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具包括晶圓電鍍夾具側(cè)板和位于其上的導(dǎo)電彈片；其中，所述導(dǎo)電彈片包括依次相連的固定面、側(cè)面、底面、接觸面和延伸面；所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述外凸的弧面結(jié)構(gòu)的弧度為120°。優(yōu)選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述外凸的弧面結(jié)構(gòu)的半徑為0. 3mm。優(yōu)選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述接觸面與延伸面之間的夾角為120°。優(yōu)選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述導(dǎo)電彈片為不銹鋼導(dǎo)電彈片。從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，其上的導(dǎo)電彈片包括依次相連的固定面、側(cè)面、底面、接觸面和延伸面；其中，所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結(jié)構(gòu)。當(dāng)將晶圓置于晶圓電鍍夾具上后，晶圓的側(cè)邊與導(dǎo)電彈片的接觸面相接觸，晶圓的上表面被導(dǎo)電彈片上接觸面與延伸面連接處所形成的外凸的弧面結(jié)構(gòu)所壓住，這就使得晶圓的上表面與導(dǎo)電彈片上的弧面結(jié)構(gòu)相接觸，從而極大地增加了晶圓與導(dǎo)電彈片的接觸面積。因此，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，通過改變導(dǎo)電彈片上接觸面與延伸面連接處的形狀，可極大地增加導(dǎo)電彈片與晶圓的接觸面積，從而在電鍍過程中保證導(dǎo)電彈片與晶圓之間具有良好的接觸，為后續(xù)在晶圓上形成質(zhì)量較高的鍍層提供了保證。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有的晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的俯視圖；圖4為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的正視圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。電鍍工藝中所用的晶圓電鍍夾具一般包括晶圓電鍍夾具中板；位于晶圓電鍍夾具中板上的晶圓電鍍夾具側(cè)板；位于晶圓電鍍夾具側(cè)板上的多個(一般為6個)導(dǎo)電彈片和多個(一般為2個)上蓋定位銷。所述導(dǎo)電彈片上連接導(dǎo)線，導(dǎo)電彈片可通過所述導(dǎo)線與外部電源相連，當(dāng)將晶圓置于所述晶圓電鍍夾具側(cè)板上時，晶圓側(cè)邊將與導(dǎo)電彈片相接觸， 故所述晶圓可通過導(dǎo)電彈片與外部電源相連；當(dāng)將晶圓置于所述晶圓電鍍夾具側(cè)板上后， 所述上蓋定位銷起到定位電鍍夾具上蓋的作用。當(dāng)然，所述晶圓電鍍夾具側(cè)板上還設(shè)置有晶圓缺口(Notch)定位銷。參考圖2、圖3和圖4，圖2為本實用新型實施例所提供的一種晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖，圖3和圖4分別為圖2中導(dǎo)電彈片的俯視圖和正視圖。本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，其上的導(dǎo)電彈片包括依次相連的固定面11、側(cè)面12、底面13、 接觸面14和延伸面15 ；其中，所述接觸面14與延伸面15的連接處16呈外凸的弧面結(jié)構(gòu) 16。導(dǎo)電彈片的固定面11上設(shè)置有兩個定位孔11a，在所述定位孔Ila內(nèi)安裝定位銷即可將導(dǎo)電彈片固定在晶圓電鍍夾具側(cè)板上。導(dǎo)電彈片上的接觸面14即是當(dāng)將晶圓置于所述晶圓電鍍夾具側(cè)板上后，晶圓側(cè)邊所接觸到導(dǎo)電彈片上的面，且晶圓側(cè)邊與導(dǎo)電彈片相接觸的位置靠近接觸面14與延伸面15的連接處16。本實用新型中由于將導(dǎo)電彈片上接觸面14與延伸面15的連接處16設(shè)置成具有一定弧度的外凸的弧面結(jié)構(gòu)16，因此，當(dāng)將晶圓置于所述晶圓電鍍夾具側(cè)板上后，所述具有一定弧度的外凸的弧面結(jié)構(gòu)16可將晶圓電鍍夾具側(cè)板上的晶圓壓住，這一方面可起到固定晶圓的作用，另一方面，由于所述外凸的弧面結(jié)構(gòu)16和晶圓上表面相接觸，故可使所述導(dǎo)電彈片和晶圓充分接觸，從而增大了導(dǎo)電彈片和晶圓的接觸面積，避免電鍍工藝過程中導(dǎo)電彈片和晶圓之間出現(xiàn)接觸不良的現(xiàn)象。本實用新型實施例中設(shè)置導(dǎo)電彈片上外凸的弧面結(jié)構(gòu)16的弧度為120°、半徑為 0. 3mm ；設(shè)置導(dǎo)電彈片上接觸面14與延伸面15之間的夾角為120°。本實用新型實施例所提供的晶圓電鍍夾角，其上的導(dǎo)電彈片的材質(zhì)為不銹鋼材料?，F(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)電彈片一般為銅材料，由于銅的抗氧化性能較差，而氧化后的銅的導(dǎo)電性變差，這將直接影響電鍍工藝中鍍層的品質(zhì)；為了使導(dǎo)電彈片正常工作，因此，必須及時更換氧化了的導(dǎo)電彈片，故采用銅材質(zhì)制作的導(dǎo)電彈片的使用壽命較短。本實用新型實施例中采用了不銹鋼材質(zhì)來制作導(dǎo)電彈片，而不銹鋼材質(zhì)的抗氧化性能較強，故不銹鋼的導(dǎo)電彈片能防止短時間內(nèi)表面被氧化，進而可延長導(dǎo)電彈片的使用時間。由上可知，本實用新型實施例所提供的晶圓電鍍夾具，通過設(shè)置導(dǎo)電彈片上接觸面與延伸面連接處呈外凸的弧面結(jié)構(gòu)，這使得當(dāng)將晶圓置于所述晶圓電鍍夾具上后，晶圓與導(dǎo)電彈片之間的接觸不僅包括晶圓側(cè)邊與導(dǎo)電彈片的接觸面的接觸，而且還包括晶圓上表面與導(dǎo)電彈片上外凸的弧面結(jié)構(gòu)的接觸，因此，相對現(xiàn)有技術(shù)來說，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，極大地增大了導(dǎo)電彈片與晶圓的接觸面積，避免導(dǎo)電彈片與晶圓之間出現(xiàn)接觸不良的現(xiàn)象，使晶圓在電鍍工藝過程中具有良好的導(dǎo)電性，為后續(xù)在晶圓上形成良好的鍍層奠定基礎(chǔ)，也為后續(xù)形成品質(zhì)良好的金屬凸塊提供了有力保證。除此之外，本實用新型實施例中設(shè)置晶圓電鍍夾具上導(dǎo)電彈片的材料為不銹鋼， 采用抗氧化性能較強的不銹鋼代替?zhèn)鹘y(tǒng)工藝中易于被氧化的銅材料，這樣可以增加所述導(dǎo)電彈片的使用壽命，避免了經(jīng)常更換導(dǎo)電彈片而導(dǎo)致成本較高的問題。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種晶圓電鍍夾具，包括晶圓電鍍夾具側(cè)板和位于其上的導(dǎo)電彈片，其特征在于， 所述導(dǎo)電彈片包括依次相連的固定面、側(cè)面、底面、接觸面和延伸面；其中，所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特征在于，所述外凸的弧面結(jié)構(gòu)的弧度為 120°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特征在于，所述外凸的弧面結(jié)構(gòu)的半徑為 0. 3mmο
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特征在于，所述接觸面與延伸面之間的夾角為120°。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特征在于，所述導(dǎo)電彈片為不銹鋼導(dǎo)電彈片。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具包括晶圓電鍍夾具側(cè)板和位于其上的導(dǎo)電彈片；其中，所述導(dǎo)電彈片包括依次相連的固定面、側(cè)面、底面、接觸面和延伸面；所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結(jié)構(gòu)。本實用新型所提供的晶圓導(dǎo)電夾具，通過設(shè)置導(dǎo)電彈片上接觸面與延伸面的連接處為外凸的弧面結(jié)構(gòu)，進而可增大導(dǎo)電彈片與晶圓之間的接觸面積，避免導(dǎo)電彈片與晶圓之間出現(xiàn)接觸不良的現(xiàn)象，增強了晶圓的導(dǎo)電性，為后續(xù)形成品質(zhì)良好的鍍層及金屬凸塊提供了有力保證。
文檔編號C25D17/06GK202072785SQ20112010891
公開日2011年12月14日 申請日期2011年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月14日
發(fā)明者劉建煒, 謝浩 申請人:頎中科技(蘇州)有限公司