專利名稱：開孔箔電解析出裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及經(jīng)由電解液對陰極鼓和陽極板通電，由此使金屬箔在陰極鼓的周面析出的金屬箔電解析出裝置，尤其是涉及析出開孔的金屬箔的開孔箔電解析出裝置。
背景技術：
公知的金屬箔電解析出裝置如下所述:具有能夠貯存電解液的電解槽、在電解槽內(nèi)被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的陰極鼓、在電解槽內(nèi)與陰極鼓的周面對置配置的陽極板、與陰極鼓滑動相接而對其周面進行研磨的研磨輥；通過經(jīng)由電解液對陰極鼓和陽極板之間通電，由此使金屬箔在陰極鼓的周面上析出，并將析出的金屬箔從陰極鼓的周面剝離且同時卷繞，從而連續(xù)地制造金屬箔。近年來，在鋰電池等二次電池中，為了實現(xiàn)電池的輕量化并且提高能量密度，而要求作為電極所使用的金屬箔的多孔化。為了滿足這樣的要求，例如在專利文獻I中提出了如下的開孔箔電解析出裝置:在陰極鼓的周面上以規(guī)定的圖案配置有埋設了絕緣性高的合成樹脂的非導體部。在該開孔箔電解析出裝置中，由于不在非導體部析出金屬箔，因此能夠制造具有所期望的排列圖案和開口率的開口箔。另外，在專利文獻2中提出了如下的開孔金屬箔的制造方法:在陰極鼓的周面上形成具有規(guī)定厚度的氧化膜，由此使析出的金屬箔多孔化。在該制造方法中，通過對氧化膜的厚度進行管理，能夠制造具有所期望的開口率的開孔箔。 專利文獻I JP特開平11-323593號公報專利文獻2 JP特開平8-236120號公報專利文獻3 JP特開2001-342589號公報專利文獻4 JP特開2003-213477號公報但是，在上述專利文獻記載的技術中，無法解決以下的問題。例如，在專利文獻I記載的開孔箔電解析出裝置中，雖然能夠按照非導體部的排列圖案制造開孔箔，但是，由于合成樹脂不與由鈦等金屬構成的陰極鼓牢固地接合，因此有時埋設的合成樹脂從陰極鼓的周面脫落。另外，在專利文獻2記載的開孔金屬箔的制造方法中，雖然能夠制造具有規(guī)定的開口率的開孔箔，但是，為了穩(wěn)定地制造具有所期望的開口率的開孔箔，需要在陰極鼓的整周上嚴格地管理氧化膜的厚度，因此難以確保穩(wěn)定的開口率。尤其是，所公知的是:氧化膜是通過暴露于從陽極板產(chǎn)生的氧氣或電解液飛散形成的氣氛中而自然地形成于陰極鼓的周面上，并且具有導電性且電阻隨著其厚度的增加而增大的物質(zhì)，該氧化膜具有阻礙兩極間的通電，妨礙金屬箔的析出，由此使金屬箔產(chǎn)生針孔的性質(zhì)(例如，參照專利文獻3)。由此，在金屬箔電解析出裝置中，設有對陰極鼓的周面進行研磨的研磨輥，氧化膜作為由該研磨輥從陰極鼓的周面定期地除去的物質(zhì)被進行處理。另一方面，所公知的是:氧化膜是雖然具有與陰極鼓的周面牢固地接合的接合性，但是由于具有阻礙金屬箔和陰極鼓的周面的接合性的性質(zhì)，因此是使金屬箔的剝離性提高的物質(zhì)(例如，參照專利文獻4)。這樣的氧化膜是具有阻礙金屬箔析出的性質(zhì)和提高金屬箔剝離性的性質(zhì)這兩面性的物質(zhì)，因此需要利用研磨輥定期地將其除去，管理為適當?shù)暮穸?。從如此的氧化膜的性質(zhì)來說，進而，如專利文獻2記載的開孔金屬箔的制造方法所述，為了形成為所期望的開口率的開孔金屬箔而在陰極鼓的整周上對氧化膜的厚度進行嚴格管理是極其困難的。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決以上的問題，本申請的發(fā)明人進行了銳意研究而想到了本發(fā)明，具體來說，能夠如通常所述利用研磨輥將自然形成于陰極鼓的周面上的氧化物除去，且同時形成不能夠利用該研磨輥研磨的不可研磨區(qū)域，并利用具有與陰極鼓牢固接合的接合性且阻礙金屬箔析出的導電性物質(zhì)局部地覆蓋該不可研磨區(qū)域，由此能夠制造與不可研磨區(qū)域?qū)牟糠殖蔀榭椎慕饘俨Ｒ簿褪钦f，本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術所具有的問題而提出，其目的在于提供一種開孔箔電解析出裝置，該開孔箔電解析出裝置通過在陰極鼓的周面形成不能夠利用研磨輥研磨的不可研磨區(qū)域，并利用阻礙金屬箔析出的導電性物質(zhì)局部地覆蓋該不可研磨區(qū)域，由此析出與不可研磨區(qū)域?qū)牟糠殖蔀榭椎慕饘俨?。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的開孔箔電解析出裝置，具有能夠貯存規(guī)定的電解液的電解槽、在所述電解槽內(nèi)被 驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的陰極鼓、在所述電解槽內(nèi)與所述陰極鼓的周面對置配置的陽極板、與所述陰極鼓滑動相接而將形成于所述陰極鼓的周面上的規(guī)定的氧化物除去的研磨輥；通過經(jīng)由所述電解液對所述陰極鼓和所述陽極板之間通電，由此使開孔的金屬箔在所述陰極鼓的周面上析出，所述開孔箔電解析出裝置的特征在于，在所述陰極鼓的周面形成有多個不可研磨區(qū)域，該不可研磨區(qū)域是具有規(guī)定深度的孔且是不能夠由所述研磨輥研磨的區(qū)域，在所述不可研磨區(qū)域設有規(guī)定的導電性物質(zhì)，該導電性物質(zhì)具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加，所述導電性物質(zhì)不從所述陰極鼓的周面突出并且以規(guī)定厚度覆蓋所述孔的內(nèi)表面，從而析出與所述不可研磨區(qū)域?qū)牟糠殖蔀榭椎慕饘俨?發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明的開孔箔電解析出裝置，能夠在不對覆蓋不可研磨區(qū)域的導電性物質(zhì)的厚度進行管理，另外，導電性物質(zhì)不會從陰極鼓的周面脫落的情況下，制造形成有多個具有所期望的排列圖案和開口率的孔的金屬箔。


圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的開孔箔電解析出裝置的概略立體圖。圖2是示意性地表示本發(fā)明的一實施方式的開孔箔電解析出裝置的內(nèi)部構成的概略剖面圖。
具體實施例方式以下，參照圖1、圖2來說明本發(fā)明的開孔箔電解析出裝置的優(yōu)選實施方式。本實施方式的開孔箔電解析出裝置I如各圖所示具有能夠貯存電解液L的電解槽
10、在電解槽10內(nèi)被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的陰極鼓20、在電解槽10內(nèi)與陰極鼓20的周面20a對置配置的兩片陽極板30、與陰極鼓20滑動相接而將形成于其周面20a上的規(guī)定的氧化物除去的研磨輥80，使從在電解槽10的下部設置的供給管60流入的電解液L通過陰極鼓20和陽極板30之間且同時對陰極鼓20和陽極板30通電，由此使金屬箔S在陰極鼓20的周面20a上析出，并將析出的金屬箔S利用剝離輥70從陰極鼓20的周面20a剝離且同時進行卷繞，由此能夠連續(xù)制造金屬箔S。進而，在陰極 鼓20的周面20a上形成有多個不可研磨區(qū)域23，該不可研磨區(qū)域23是具有規(guī)定深度的孔231是不能夠由研磨輥80研磨的區(qū)域，在該不可研磨區(qū)域23設有規(guī)定的導電性物質(zhì)232，該導電性物質(zhì)232具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加，該導電性物質(zhì)232以不從陰極鼓20的周面20a突出的方式以規(guī)定厚度覆蓋孔231的內(nèi)表面，由此能夠制造與不可研磨區(qū)域23對應的部分成為孔的金屬箔S。以下，詳細敘述本實施方式的開孔箔電解析出裝置I。電解槽10具備形成為具有規(guī)定曲率的圓弧狀且與陰極鼓20的周面20a對置配置的底板部11和與陰極鼓20的旋轉(zhuǎn)軸方向正交配置的側板部12，并能夠在由底板部11和側板部12圍成的槽內(nèi)貯存電解液L(例如，硫酸銅)。底板部11是成為電解槽10的底面的部位，呈具有與陰極鼓20為同心圓的曲率的大致半圓筒形狀，且在與陰極鼓20的周面20a之間確保有等間隔的間隙。在該底板部11的兩個部位形成有大致矩形的窗部111，該窗部111具有除陽極板30的周緣部之外的開口面積(例如，800mmX800mm)且與槽外相通，陽極板30的一個面經(jīng)由該窗部111向槽外露出。側板部12是成為電解槽10的側壁面的部位，對通過焊接等而被接合的底板部11進行支承，且該側板部12的下端部與設置面抵接，由此對電解槽10的整體進行支承。如此構成的電解槽10設置為利用陽極板30將窗部111閉塞，由此在由底板部11和側板部12圍成的空間中貯存電解液L，并且使槽外不是浸潰于電解液L中而是暴露于大氣氛圍中。陰極鼓20是析出金屬箔S(例如，銅箔)的部位，具有在其外周卷繞有鈦制的金屬板21的圓筒形狀，其下半部分埋沒于電解槽10內(nèi)且能夠旋轉(zhuǎn)地軸支承于側板部12上。該陰極鼓20被規(guī)定的電動機驅(qū)動而向一個方向旋轉(zhuǎn)。另外，在陰極鼓20的周面20a上形成有多個不可研磨區(qū)域23(例如，縱X橫0.2mm間距的斜向排列等)，該不可研磨區(qū)域23是具有規(guī)定深度(例如，Imm)的孔231 (例如，圓孔00.1mm )且是不能夠由研磨輥80研磨的區(qū)域，在該不可研磨區(qū)域23設有規(guī)定的導電性物質(zhì)232，該導電性物質(zhì)232具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加。如圖2所示，該導電性物質(zhì)232形成為以不從陰極鼓20的周面20a突出的方式以規(guī)定厚度(例如，IOOnm以上)將孔231的內(nèi)表面完全覆蓋。導電性物質(zhì)232優(yōu)選是具有與構成陰極鼓20的周面20a的金屬板21牢固接合的接合性的導電性物質(zhì)，尤其優(yōu)選是構成周面20a的金屬板21的氮化物、氧化物，例如氮化鈦、氧化鈦。如此的導電性物質(zhì)232能夠通過眾所周知的薄膜形成方法、例如濺射法、離子噴鍍法、化學氣相沉積法(CVD)等來形成。另外，在將導電性物質(zhì)232形成為構成陰極鼓20的周面20a的金屬板21的氧化物(例如，氧化鈦)的情況下，可以采用在酸性溶液中對陰極鼓20的周面20a進行陽極氧化的方法。作為在此使用的溶液，可列舉硫酸溶液、硼酸溶液、磷酸溶液、鉻酸溶液等，優(yōu)選，陽極氧化時的電壓是0.01 小于10V，電解時間通常是5 30秒左右。進而，在由導電性物質(zhì)232覆蓋孔231時，在陰極鼓20的周面20a整體上形成所期望厚度的導電性膜之后，利用研磨輥80對陰極鼓20的周面20a進行研磨，由此能夠由導電性物質(zhì)232只覆蓋孔231。這是因為，除不可研磨區(qū)域23外的區(qū)域(以下，稱為可研磨區(qū)域22)與研磨輥80接觸，因此將該可研磨區(qū)域22覆蓋的導電性物質(zhì)232被研磨輥80除去，但是由于在孔231中無法研磨，因此孔231中的導電性物質(zhì)232不與研磨輥80接觸而保持被殘留的狀態(tài)。另外，構成陰極鼓20的周面20a的金屬板21的氮化物、氧化物雖然具有與陰極鼓20的周面20a牢固接合的接合性，但是電阻隨著其厚度變厚而增大。如此的電阻的增大會妨礙金屬箔S的析出，因此通過以超過一定厚度的導電性物質(zhì)232覆蓋孔231，能夠?qū)⒉豢裳心^(qū)域23形成為不析出金屬箔S的非析出區(qū)域。即，導電性物質(zhì)232在形成為一定以上的厚度時，厚度越進一步變厚，越向妨礙金屬箔S析出的方向作用，因此將孔231形成為能夠堆積該一定厚度的導電性物質(zhì)232的大小(孔徑及深度)、或者其以上的大小即可，從而能夠在不需要對覆蓋該孔231的導電性物質(zhì)232的厚度進行嚴格管理的 情況下，使與孔231即不可研磨區(qū)域23對應的部分成為孔且與可研磨區(qū)域22對應的部分成為箔的金屬箔S析出。另外，通過適當調(diào)整孔231的大小(孔徑)、數(shù)量、排列，能夠制造形成有多個具有所期望的排列圖案和開口率的孔的金屬箔S。進而，由于導電性物質(zhì)232存在于即使利用研磨輥80來研磨陰極鼓20的周面20a也不會被除去的孔231中，因此能夠減輕補充導電性物質(zhì)232等的維護處理。另外，尤其是，在將導電性物質(zhì)232形成為構成陰極鼓20的周面20a的金屬板21的氧化物(氧化鈦)的情況下，由于伴隨著金屬箔S的析出，在陰極鼓20的周面20a上形成的氧化物也向孔231中堆積，因此在孔231中適當補充氧化物。由此，不需要進行將導電性物質(zhì)232向孔231中補充的維護處理。另一方面，伴隨著如此的金屬箔S的析出而補充到孔231中的氧化物不久就會堆積到與在可研磨區(qū)域22上形成的氧化膜相同的高度，但是超過陰極鼓20的周面20a部分的氧化物會被研磨輥80除去。如上所述，在陰極鼓20的周面20a上形成的氧化膜隨著金屬箔S的剝離而一部分被剝離但一部分殘留，由此阻礙金屬箔S的析出而產(chǎn)生針孔，相反地，也發(fā)揮使金屬箔S的剝離性提高的效果，因此，以形成為具有適度均勻性的厚度的方式進行了利用研磨輥80來研磨的維護處理。但是，孔231不被研磨輥80研磨，進而，即使在金屬箔S的剝離時也不會與金屬箔S 一起被剝離，而是能夠殘留氧化物，因此，能夠相對于金屬箔S的析出區(qū)域即可研磨區(qū)域22進行通常的管理，且維持非析出區(qū)域即不可研磨區(qū)域23的功能。于是，陰極鼓20構成為如下結構:在其周面20a上形成有多個不能被研磨輥80研磨且能夠堆積氧化物、氮化物的孔231，由此，在不可研磨區(qū)域23能夠故意地誘導產(chǎn)生局部的針孔。接著，陽極板30是與規(guī)定的電源連接而被供電的構件，形成為具有與陰極鼓20為同心圓的曲率的圓弧狀，配置于底板部11和陰極鼓20之間，并且以閉塞窗部111的方式安裝于底板部11。在本實施方式中，兩片陽極板30安裝于底板部11，各陽極板30具有比窗部111大的外形(例如，1OOOmmX 1000mm),分別覆蓋各窗部111。在本實施方式中，如圖2所示，利用陽極板30和截面呈大致L字狀的墊板35來夾持底板部11的周緣，由此實現(xiàn)陽極板30向底板部11的安裝。具體來說，在陽極板30上沿著窗部111設有多個通過焊接等接合的陽螺紋件33，在這些陽螺紋件上插入墊板35并且使該墊板35與底板部11的周緣抵接，同時將陰螺紋件34與陽螺紋件33螺接，由此在陽極板30和截面呈大致L字狀的墊板35之間夾持底板部11的周緣，將陽極板30固定于底板部11。通過如此的安裝，窗部111由陽極板30閉塞，陽極板30具有暴露于電解液L且與陰極鼓20對置的電解面30a和不暴露于電解液L而向槽外露出的露出面30b。另外，在陽極板30的周緣部和窗部111的周緣之間設有環(huán)狀的密封機構。該密封機構例如由將截面圓形的橡膠或硅等的彈性構件連接成環(huán)狀(矩形)的環(huán)37構成，在陽極板30的周緣部沿整周凹設形成有嵌入該環(huán)37的槽部36。由此，若將陽極板30固定于底板部11，則該環(huán)37被夾入陽極板30的周緣部和窗部111的周緣之間，陽極板30和窗部111之間的間隙消失，從而可防止電解液L從窗部111向槽外漏出。也就是說，能夠為了修復等而使陽極板30相對于電解槽10裝拆，且能夠防止電解液L從電解槽10漏出，因此能夠?qū)崿F(xiàn)電解槽10的單槽化。另外，在向槽外露出的陽極板30的露出面30b設有多個(例如，在一個陽極板30上設有9 20個)成為與規(guī)定的電源連接的電纜40的接點的供電端子31。各供電端子31由通過焊接等接合在陽極板30的露出面30b上的陽螺紋件構成，以在供電端子31和陰螺紋件32之間夾入電纜40的端子部41 (例如，O型端子、Y型端子)的狀態(tài)緊固陰螺紋件32，由此能夠?qū)㈦娎|40連接于供電端子31。由此，僅通過松開或緊固陰螺紋件32就能夠自如地裝拆電纜40，能夠從槽外簡單地進行將與規(guī)定部位的供電端子31連接的電纜40卸下，或者將與一個供電端子31連接的電纜40更換為與另一個供電端子31連接的電纜40的調(diào)整作業(yè)。進而，各供電端子31形成為能夠?qū)⒍鄠€(例如，最多三個)電纜40的端子部41夾入的長度(多電纜連接機構)。于是，通過使各供電端子31具有能夠夾入多個電纜40的長度，例如能夠?qū)呐c析出的金屬箔S的厚度厚的部分對應的供電端子31卸下的一個電纜40，連接于已經(jīng)與其他電纜40連接的與金屬箔S的厚度薄的部分對應的供電端子31，能夠進行調(diào)整以實現(xiàn)析出的金屬箔S的厚度均勻化。另外，各供電端子31以在露出面30b的整個面上大致成為等間隔的配置圖案進行配置。由此，能夠使在電解面30a上形成的電場的電流密度一樣。在陰極鼓20和陽極板30之間通過的電解液L從電解槽10的下部流入。具體來說，在電解槽10的下部配置有與規(guī)定的泵連接的兩條供給管60，電解液L從這些供給管60經(jīng)由電解液供給部13向電解槽10流入。電解液供給部13是設于電解槽10的下部，且從陰極鼓20的下方側向陰極鼓20和陽極板30之間供給電解液L的部位，該電解液供給部13具有使在陰極鼓20和陽極板30之間通過的電解液L的流速在陰極鼓20的軸向上保持為均勻的功能。具體來說，電解液供給部13具備:液體貯存室132，其在陰極鼓20的軸向上延伸設置，且具有能夠貯存從流入口 131流入的電解液L的規(guī)定的貯存容量；多個噴出口 133，其均勻地配置于液體貯存室132的上部，且將貯存于液體貯存室132的電解液L朝向陰極鼓20的下部噴出。噴出口 133由從液體貯存室132向上方延伸的規(guī)定長度的管路構成，液體貯存室132具備與供給管60連通的流入口 131來作為使電解液L從電解槽10外向該液體貯存室132流入的流入口。該流入口 131配置于不與噴出口 133直接對置的位置，例如，在本實施方式中，將流入口 131配置于與側板部12平行且與噴出口 133正交的位置。通過如此的結構，從供 給管60供給的電解液L經(jīng)由流入口 131流入液體貯存室132并暫時貯存，由此施加于電解液L的壓力沿著陰極鼓20的軸向被分散，并且電解液L從在液體貯存室132的上部均勻地配置的噴出口 133朝向陰極鼓20的下部噴出，從而在陰極鼓20和陽極板30之間流動的電解液L的流速在陰極鼓20的軸向上變得均勻。進而，通過將流入口 131配置于不與噴出口 133直接對置的位置，能夠在液體貯存室132內(nèi)形成沿著陰極鼓20的軸向的電解液L的液流。由此，施加于電解液L的壓力沿著陰極鼓20的軸向被分散，因此從噴出口 133噴出的電解液L的流速在陰極鼓20的軸向上變得更均勻。另外，流入到電解槽10中的電解液L沿著陰極鼓20的周面20a上升并從底板部11的上緣部溢出，但是，在該底板部11的上緣部具有不使電解液L與露出面30b接觸而回收電解液L的回收機構50。本實施方式的回收機構50由對從電解槽10的上緣部溢出的電解液L進行接收的回收溝槽51和將回收溝槽51所接收的電解液L進行回收的回收管52構成?；厥諟喜?1以能夠接收從電解槽10的上緣部溢出的電解液L的方式沿著陰極鼓20的軸向使上方開口，并且具有使所接收的電解液L朝向回收管52流下的傾斜面。由此，由于從電解槽10的上緣部溢出的電解液L不會流到電解槽10的外側，因此露出面30b不會與電解液L接觸。回收管52對從回收溝槽51流入的電解液L進行回收，并且將回收的電解液L引導到電解液循環(huán)用的罐等。于是，能夠以不使從電解槽10溢出的電解液L與露出面30b接觸的方式對電解液L進行回收，因此能夠?qū)㈦娊獠?0設置為使其槽外不浸潰于電解液L中而是暴露于大氣氛圍中。另外，回收溝槽51具備容許接收溢出的電解液L且將上方的開口覆蓋的蓋和將蓋內(nèi)的空氣排出的管道(均未圖示)，從而能夠防止吸引氣化的硫酸銅而保護作業(yè)環(huán)境。于是，在本實施方式的開孔箔電解析出裝置I中，在陰極鼓20的周面20a上形成有多個不可研磨區(qū)域23，該不可研磨區(qū)域23是具有規(guī)定深度的孔231且是不能夠由研磨輥80研磨的區(qū)域，在該不可研磨區(qū)域23設有規(guī)定的導電性物質(zhì)232，該導電性物質(zhì)232具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加，由此，在不可研磨區(qū)域23中誘導產(chǎn)生局部的針孔，從而析出與不可研磨區(qū)域23對應的部分成為孔且與可研磨區(qū)域22對應的部分成為箔的金屬箔S。如此構成的開孔箔電解析出裝置I通過如下進行動作而析出金屬箔S。首先，從供給管60流入的電解液L從陰極鼓20的下部向電解槽10供給，通過陰極鼓20的周面20a和陽極板30的電解面30a之間。此時，電解液L在設置于電解液供給部13上的液體貯存室132和噴出口 133的作用下成為均勻的液流，通過陰極鼓20的周面20a和陽極板30的電解面30a之間。陽極板30形成為具有與陰極鼓20為同心圓的曲率的圓弧狀，因此在陰極鼓20的周面20a和陽極板30的電解面30a之間形成等間隔的間隙，并且設置于露出面30b的多個供電端子31大致均勻地配置，因此通過對陰極鼓20和陽極板30通電，能夠在兩極間形成電流密度一樣的電場。由此，在陰極鼓20的周面20a上析出均勻厚度的金屬箔S。另外，由于在陰極鼓20的周面20a上形成有多個由導電性物質(zhì)232覆蓋的不可研磨區(qū)域23，該導電性物質(zhì)2 32具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加，因此，析出與該不可研磨區(qū)域23對應的部分成為孔且與可研磨區(qū)域22對應的部分成為箔的金屬箔S。進而，通過適當調(diào)整孔231的大小(孔徑)、數(shù)量、排列，能夠析出形成有多個具有所期望的排列圖案和開口率的孔的金屬箔S。而且，析出的金屬箔S在剝離輥70的作用下從陰極鼓20的周面20a上被剝離，并卷繞于規(guī)定的卷繞輥上。另外，通過了陰極鼓20的周面20a和陽極板30的電解面30a之間的電解液L在配置于陽極板30的周緣部和窗部111的周緣之間的環(huán)狀的密封機構(環(huán)37)和回收機構50的作用下不與露出面30b接觸而被從電解槽10回收。由此，由于能夠?qū)㈦娊獠?0設置為使槽外不浸潰于電解液L中而是暴露于大氣氛圍中，因此在析出的金屬箔S的厚度產(chǎn)生了不均勻時，通過將與供電端子31連接的電纜40從槽外直接裝拆，能夠進行微調(diào)整而使金屬箔S的厚度變得均勻。例如，僅僅通過從槽外松開或緊固陰螺紋件32，就能夠?qū)⑴c規(guī)定部位的供電端子31連接的電纜40卸下，或者將與一個供電端子31連接的電纜40更換為與其他供電端子31連接的電纜40。另外，由于各供電端子31具有能夠夾入多個電纜40的長度，因此能夠?qū)呐c析出的金屬箔S的厚度厚的部分對應的供電端子31卸下的一個電纜40，連接于已經(jīng)與其他電纜40連接的與金屬箔S的厚度薄的部分對應的供電端子31，能夠進行析出的金屬箔S的厚度的微調(diào)整。
另外，伴隨著金屬箔S的析出而補充到孔231中的氧化物不久就會堆積到與在可研磨區(qū)域22上形成的氧化膜相同的高度，但是超過陰極鼓20的周面20a部分的氧化物會被研磨輥80除去。由此，能夠相對于金屬箔S的析出區(qū)域即可研磨區(qū)域22進行通常的研磨管理，且使不被研磨輥80研磨的孔231繼續(xù)維持作為非析出區(qū)域的功能。如以上說明所述，在本實施方式的開孔箔電解析出裝置I中，在陰極鼓20的周面20a上形成有多個孔231，該孔231是不能夠由研磨輥80研磨的不可研磨區(qū)域23且能夠堆積導電性物質(zhì)232，在不可研磨區(qū)域23誘導產(chǎn)生局部的針孔，由此，能夠在不對覆蓋不可研磨區(qū)域23的導電性物質(zhì)232的厚度進行管理，另外，導電性物質(zhì)232不會從陰極鼓20的周面20a脫落的情況下，制造形成有多個具有所期望的排列圖案和開口率的孔的金屬箔S。另外，使陽極板30的設有供電端子31的面?zhèn)让媾R槽外，且同時實現(xiàn)電解槽10的單槽化，由此能夠?qū)⑴c供電端子31連接的電纜40從槽外簡單地裝拆。由此，能夠進行對電纜40裝拆的調(diào)整，且同時從槽外進行析出的銅箔厚度的微調(diào)整。
另外，由于陽極板30的一個面向槽外露出，進而電解槽10具有單槽結構，因此能夠容易地從槽外對陽極板30進行維護作業(yè)或?qū)﹃枠O板30進行裝拆作業(yè)。以上，對本發(fā)明的開孔箔電解析出裝置I的優(yōu)選實施方式進行了說明，但本發(fā)明的開孔箔電解析出裝置并不限定于上述實施方式，當然能夠在本發(fā)明的范圍內(nèi)進行各種變更。例如，析出的金屬箔并不限定于銅箔，可以對應于電解液而制造例如鎳等其他金屬箔。另外，孔231可以從鍋狀、研缽狀等各種形狀中任意地選擇，不過優(yōu)選在孔231的內(nèi)表面(不可研磨區(qū)域23)和可研磨區(qū)域22的邊界形成明確的邊緣(優(yōu)選是銳角)。另外，也可以將孔231形成為孔徑不同的孔層疊而成的臺階孔。另外，本實施方式的密封機構使用了截面呈圓形的彈性構件，但是也可以使用截面呈矩形的彈性構件。另外，在本實施方式中，在單側各具有一片陽極板30，合計具有兩片陽極板30，但是，也可以在單側各具有兩片陽極板30，合計具有四片陽極板30。此時，需要在底板部11形成與各陽極板30對應的合計四個窗部111，并在各窗部111的周緣和各陽極板30的周緣部之間分別設置密封機構(環(huán)37)。另外，在本實施方式中，將供電端子31形成為能夠夾入多個電纜40的端子部41的長度，由此作為多電纜連接機構，不過多電纜連接機構并不限定于此，例如，也可以將電纜40的端子部41形成為夾子狀(例如，鱷口夾)，并且將供電端子31形成為多個夾子能夠夾住的形狀。另外，在電解液供給部13中，作為將流入口 131配置于不與噴出口 133直接對置的位置的例子，在本實施方式中，將流入口 131配置于與側板部12平行且與噴出口 133交的位置，但是，將流入口 131配置于不與噴出口 133直接對置的位置的結構并不限定于該例，只要不是流入口 131和噴出口 133直接對置而使電解液L流動的路徑為一直線，而是在液體貯存室132內(nèi)形成沿著陰極鼓20的軸向的電解液L的液流，則可以是任意的結構。
例如，雖然使流入口 131與噴出口 133對置，但是在它們之間平行地設置隔板這一方式，或者，使流入口 131和噴出口 133的位置錯開而對置這一方式都不是使流入口 131與噴出口133直接對置(面對)的位置關系，因此也包含于本申請的技術范圍內(nèi)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠利用于通過經(jīng)由電解液對陰極鼓和陽極板通電而使開孔的金屬箔在陰極鼓的周面上析出的開孔箔電解析出裝置中。(符號說明)I開孔箔電解析出裝置10電解槽11 底板部111 窗部12 偵販部13電解液供給部131 流入口132 液體貯存室133 噴出口

20陰極鼓20a 周面21 金屬板22 可研磨區(qū)域(析出區(qū)域)23 不可研磨區(qū)域(非析出區(qū)域)231 孔232 導電性物質(zhì)30陽極板30a 電解面30b 露出面31 供電端子37 環(huán)(密封機構)40電纜50回收機構51回收溝槽52回收管60 供給管70 剝離輥80 研磨輥
權利要求
1.一種開孔箔電解析出裝置，具有能夠貯存規(guī)定的電解液的電解槽、在所述電解槽內(nèi)被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的陰極鼓、在所述電解槽內(nèi)與所述陰極鼓的周面對置配置的陽極板、與所述陰極鼓滑動相接而將形成于所述陰極鼓的周面上的規(guī)定的氧化物除去的研磨輥；經(jīng)由所述電解液對所述陰極鼓和所述陽極板之間通電，由此在所述陰極鼓的周面上析出開孔的金屬箔， 所述開孔箔電解析出裝置的特征在于， 在所述陰極鼓的周面上形成有多個不可研磨區(qū)域，該不可研磨區(qū)域是具有規(guī)定深度的孔且是不能夠由所述研磨輥研磨的區(qū)域， 在所述不可研磨區(qū)域設有規(guī)定的導電性物質(zhì)，該導電性物質(zhì)具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加， 所述導電性物質(zhì)不從所述陰極鼓的周面突出并且以規(guī)定厚度覆蓋所述孔的內(nèi)表面， 由此析出與所述不可研磨區(qū)域?qū)牟糠殖蔀榭椎慕饘俨?br> 2.根據(jù)權利要求1所述的開孔箔電解析出裝置，其特征在于， 所述導電性物質(zhì)是伴隨著所述金屬箔的析出而形成在所述陰極鼓的周面上且被所述研磨輥除去的所述氧化 物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種開孔箔電解析出裝置，能夠在不對覆蓋不可研磨區(qū)域的導電性物質(zhì)的厚度進行管理，另外，導電性物質(zhì)不會從陰極鼓的周面脫落的情況下，制造形成有多個具有所期望的排列圖案和開口率的孔的金屬箔；在陰極鼓(20)的周面形成有多個不可研磨區(qū)域(23)，該不可研磨區(qū)域(23)是具有規(guī)定深度的孔(231)且是不能夠由研磨輥(80)研磨的區(qū)域，在不可研磨區(qū)域(23)設有規(guī)定的導電性物質(zhì)(232)，該導電性物質(zhì)(232)具有導電性且電阻隨著其厚度變厚而增加，導電性物質(zhì)(232)以不從陰極鼓(20)的周面突出的方式以規(guī)定厚度覆蓋孔(231)的內(nèi)表面，從而析出與不可研磨區(qū)域(23)對應的部分成為孔的金屬箔(S)。
文檔編號C25D1/10GK103097592SQ201180003818
公開日2013年5月8日 申請日期2011年8月30日 優(yōu)先權日2011年8月30日
發(fā)明者西禎造 申請人:西工業(yè)株式會社