一種微蝕刻液回收設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種微蝕刻液回收設備，包括回收機構、儲存槽和循環(huán)水泵；回收機構包括電解槽、電極組件以及旋轉裝置，電解槽包括底板及同心設置的內管和外管，旋轉裝置包括導電棒和電機，導電棒設于電解槽的軸心，導電棒由電機驅動旋轉，電極組件包括同心設置的鈦陽極和鈦陰極，鈦陽極的內表面覆有氧化釕層，鈦陽極設于外管的內壁，鈦陰極套設于內管之外，鈦陽極與鈦陰極的半徑之比為4:1，鈦陰極的頂部與導電棒固定；電解槽通過循環(huán)水泵連通儲存槽。循環(huán)水泵帶動蝕刻液循環(huán)電解、導電棒帶動鈦陰極旋轉，能使銅離子充分獲得電子而還原；鈦陽極面積較大因而電流密度小，可提高氧化釕層的壽命，鈦陰極面積較小而電流密度大，可提高電解效率。
【專利說明】一種微蝕刻液回收設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及蝕刻液回收設備，具體是指一種通過電解方法實現微蝕刻液回收的設備。
【背景技術】
[0002]蝕刻過程中會產生大量含有銅離子的蝕刻液，這些蝕刻液具有毒性大、腐蝕性強的特點，而且含有很多重金屬，對人體、動植物及環(huán)境存在很大的危害，屬于禁止隨意排放的一類危險排放物。目前，對這種蝕刻液一般采用置換法或還原法回收銅等金屬，再將處理后的廢液排放出去。然而這種方法只能處理高濃度的蝕刻液，處理后的廢液實際上仍有相當量的銅離子存在，回收得到的銅離子金屬松散粗糙、容易散裂，在不再經處理的情況下利用價值不高，這主要是由于技術仍不完善造成的。這些廢液排放出去后仍然會對環(huán)境造成污染，另外也浪費了大量具有極高經濟價值的金屬銅。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種回收效率高的微蝕刻液回收設備。
[0004]為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案如下:
[0005]一種微蝕刻液回收設備，包括回收機構、儲存槽和循環(huán)水泵；
[0006]所述回收機構包括電解槽、置于所述電解槽內的電極組件、以及旋轉裝置，
[0007]所述電解槽為圓環(huán)形容器，包括底板及同心設置的內管和外管，
[0008]所述旋轉裝置包括導電棒和電機，所述導電棒設于所述電解槽的軸心處，所述導電棒由所述電機驅動繞軸旋轉，
[0009]所述電極組件包括呈圓筒狀且同心設置的鈦陽極和鈦陰極，所述鈦陽極的內表面覆有氧化釕層，所述鈦陽極設于所述外管的內壁，所述鈦陰極套設于所述內管之外，所述鈦陽極與所述鈦陰極的半徑之比為4:1，所述鈦陰極的頂部與所述導電棒固定；
[0010]所述電解槽通過所述循環(huán)水泵與所述儲存槽連通。
[0011]進一步，所述鈦陰極上設有若干絕緣的軸向分割線。
[0012]進一步，所述外管上設有與所述儲存槽連通的溢流口，所述溢流口的底部低于所述內管的頂部。
[0013]本實用新型的有益效果在于:在電解過程中，通過循環(huán)水泵帶動微蝕刻液循環(huán)電解，同時導電棒帶動鈦陰極旋轉，能使微蝕刻液中的銅離子充分獲得電子而還原；氧化釕層具有良好的電催化性能，而鈦陽極面積較大，可保證其電流密度較小，可提高氧化釕層的使用壽命，而鈦陰極面積較小，其電流密度較大，可大大提高電解及銅回收效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面結合附圖對本實用新型做進一步說明:
[0015]圖1為本實用新型實施例中微蝕刻液回收設備的結構示意圖；[0016]圖2為本實用新型實施例中鈦陰極結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]參考圖1和圖2，一種微蝕刻液回收設備，包括回收機構1、儲存槽2和循環(huán)水泵3。
[0018]所述回收機構I包括電解槽、置于所述電解槽內的電極組件、以及旋轉裝置。
[0019]所述電解槽為圓環(huán)形容器，包括底板111及同心設置的內管112和外管113。
[0020]所述旋轉裝置包括導電棒121和電機122，所述導電棒121設于所述電解槽的軸心處，所述導電棒121通過軸承123穿設于所述電解槽的所述底板111的中心；所述導電棒121由所述電機122驅動繞軸旋轉，可以通過皮帶驅動、或通過齒輪傳動、或電機122輸出端直接帶動。
[0021]所述電極組件包括呈圓筒狀且同心設置的鈦陽極131和鈦陰極132，所述鈦陽極131的內表面覆有氧化釕層，所述鈦陽極131設于所述外管113的內壁，所述鈦陰極132套設于所述內管112之外，所述鈦陽極131與所述鈦陰極132的半徑之比為4:1，所述鈦陰極132的頂部與所述導電棒121固定，具體是鈦陰極132的形狀為倒置的杯狀，而導電棒121穿過鈦陰極132的杯底部中心，并通過螺母和墊片固定，鈦陰極132與導電棒121可分拆。導電棒121通過電刷或水銀杯的方式與外部電源的陰極動態(tài)電連接。
[0022]所述電解槽通過所述循環(huán)水泵3與所述儲存槽2連通。
[0023]所述鈦陰極132上設有若干絕緣的軸向分割線132a。分割線132a使得沉積在鈦陰極132上面的銅容易脫落，使得鈦陰極132能循環(huán)利用，降低了損耗。
[0024]所述外管113上設有與所述儲存槽2連通的溢流口 114，所述溢流口 114的底部低于所述內管112的頂部。溢流口 114使得蝕刻液不至于流出電解槽。
[0025]以上的實施例只是在于說明而不是限制本實用新型，故凡依本實用新型專利申請范圍所述的方法所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利申請范圍內。
【權利要求】
1.一種微蝕刻液回收設備，其特征在于:包括回收機構、儲存槽和循環(huán)水泵； 所述回收機構包括電解槽、置于所述電解槽內的電極組件、以及旋轉裝置， 所述電解槽為圓環(huán)形容器，包括底板及同心設置的內管和外管， 所述旋轉裝置包括導電棒和電機，所述導電棒設于所述電解槽的軸心處，所述導電棒由所述電機驅動繞軸旋轉， 所述電極組件包括呈圓筒狀且同心設置的鈦陽極和鈦陰極，所述鈦陽極的內表面覆有氧化釕層，所述鈦陽極設于所述外管的內壁，所述鈦陰極套設于所述內管之外，所述鈦陽極與所述鈦陰極的半徑之比為4:1，所述鈦陰極的頂部與所述導電棒固定； 所述電解槽通過所述循環(huán)水泵與所述儲存槽連通。
2.根據權利要求1所述的一種微蝕刻液回收設備，其特征在于:所述鈦陰極上設有若干絕緣的軸向分割線。
3.根據權利要求1所述的一種微蝕刻液回收設備，其特征在于:所述外管上設有與所述儲存槽連通的溢流口，所述溢流口的底部低于所述內管的頂部。
【文檔編號】C25C7/00GK203653712SQ201420018546
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年1月13日 優(yōu)先權日:2014年1月13日
【發(fā)明者】匡思鵬 申請人:廣東臺盛環(huán)?？萍加邢薰?br>