原申請的申請日：2012年03月15日

原申請的申請?zhí)枺?01210069120.8

原申請的發(fā)明名稱：鍍敷設備和鍍敷方法

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于諸如半導體晶片的工件(基板)的表面進行鍍敷的設備及鍍敷方法，特別涉及一種適于在基板的表面中限定的微細互通的溝槽、孔或阻抗開口中形成鍍敷薄膜，或者適于在基板的表面上形成與封裝體(package)等的電極電連接的凸塊(凸出電極)。對于用于半導體芯片等的三維外殼，需要在基板中形成多個被稱為插入器(interposer)或分隔件(spacer)的直通塞(through via plug)。為了形成這種直通插頭，根據(jù)本發(fā)明的鍍敷設備和鍍敷方法還可以用于填充通過孔以形成這樣的直通塞。更具體地說，本發(fā)明是涉及一種用于通過將基板浸在鍍敷槽中的鍍敷溶液中，對由基板保持器保持的基板進行鍍敷的浸沒型(dip-type)鍍敷設備和浸沒型鍍敷方法。

背景技術：

用于對基板鍍敷的設備大致分為面向下型(face-down type)鍍敷設備和浸沒型鍍敷設備。

面向下型鍍敷設備執(zhí)行對例如半導體晶片的基板的鍍敷時，基板被通過頭部被水平地保持，并且其將要被鍍敷的表面面向下。通常，基板被收容在例如前開式標準槽(Front Opening Unified Pod)等的承載容器(carrier receptacle)中，并且基板被水平地保持，其將要被鍍敷的表面面向上。因此，在基板被面向下型鍍敷設備鍍敷前，基板需要在面向下鍍敷設備中被轉動成上下翻轉。

另一方面，浸沒型設備通過使得基板豎直地進入鍍敷槽內的鍍敷溶液中對由基板保持器保持的基板進行鍍敷。因此，當基板保持在基板保持器中時，需要保持基板保持器水平，并且當要將基板浸沒在鍍敷溶液中時，必需要保持基板保持器豎直。因此，浸沒型鍍敷設備具有用于將基板從豎直狀態(tài)轉動成水平狀態(tài)并且將基板從水平狀態(tài)轉動成垂直狀態(tài)的機構。

如圖33所示，例如，常規(guī)的鍍敷設備具有可轉動地安裝在運送器300上的臂304，臂304能夠通過馬達302而被轉動。在臂304夾住基板保持器306的一端后，馬達302被通電，以將臂304豎直轉動90°，以將基板保持器306從豎直狀態(tài)轉動成水平狀態(tài)?；灞３制?06于是被水平地放置在臺308上。如圖34所示，另一個常規(guī)的鍍敷設備具有固定區(qū)域316，固定區(qū)域316包括可豎直旋轉的臺310和可旋轉的軸314，軸314夾住基板保持器312的一端并旋轉基板保持器312。旋轉的軸314圍繞它自己的軸線旋轉，以將基板保持器312從豎直狀態(tài)轉動成水平狀態(tài)。

近些年，由于基板的尺寸較大，用于旋轉這種基板的臂或臺的機構的尺寸也較大，并且將基板保持器從豎直狀態(tài)轉動到水平狀態(tài)所需的時間并將基板保持器從水平狀態(tài)轉動到豎直狀態(tài)所需的時間也較長。用于旋轉臂或臺的大型機構需要鍍敷設備內有較大的空間以旋轉臂或臺。因此，鍍敷設備自身的尺寸較大且制造成本較高。

傳統(tǒng)的鍍敷設備還包括基板保持器開啟和閉合機構，例如，用來將基板設置在基板保持器上的自動固定裝置(fixing robot)。基板保持器開啟和閉合機構具有以下問題：

已知一種鍍敷設備，包括用于豎直地保持基板并將基板浸沒在鍍敷溶液中的基板保持器。在這個鍍敷設備中，基板保持器通過將基板夾持在固定支撐構件和可動支撐構件之間來保持基板，該可動支撐構件能夠圍繞鉸合部打開和閉合?？蓜又螛嫾哂胁豢刹鹦兜目尚D支撐構件。當支撐構件被旋轉以其外圓周部分滑入固定支撐構件的夾緊裝置中時，可動支撐構件的密封環(huán)密封基板的外圓周邊緣和固定支撐構件的某些區(qū)域，使固定支撐構件的電力饋送接觸件能夠接觸基板的外圓周邊緣(參見日本專利No3979847、日本專利No3778282、日本專利No3940265和日本專利No4162440)。

根據(jù)上述鍍敷設備，當支撐構件旋轉時，其本身被磨損，并導致可動支撐構件旋轉，可能使基板偏移到無法與密封環(huán)對齊的位置并損壞密封環(huán)的密封能力。為了避免這種缺點，使用按壓桿來按壓可動支撐構件，并且按壓桿被旋轉且減少支撐構件與按壓桿的磨損。然而，為了在旋轉支撐構件時減少對支撐構件的磨損，鍍敷設備需要沿著豎直軸豎直地往復運動且能夠旋轉的復雜機構。復雜機構使得基板保持器開啟和閉合機構上比較復雜。復雜的基板保持器開啟和閉合機構占據(jù)鍍敷設備內的較大空間，使鍍敷設備尺寸較大且制造昂貴。

傳統(tǒng)的基板保持器開啟和閉合機構具有另一個問題：如果基板保持器具有不同的厚度，按壓桿按壓密封環(huán)并使密封環(huán)抵住基板保持器的按壓距離會變化。具體來說，如果基板保持器的厚度比常規(guī)厚度薄，因為密封環(huán)因此沒有被充分擠壓，支撐構件在旋轉的時候更容易被磨損。如果基板保持器的厚度大于常規(guī)厚度，密封環(huán)則會被過分地擠壓和受損。因此，沒有被適當?shù)刂谱鞒蓾M足厚度要求的基板保持器會降低密封環(huán)的密封能力。

傳統(tǒng)的基板保持器開口和閉合機構一般結合有位置偏移檢測單元，當基板被安裝到基板保持器中且當基板被偏移到未對齊的位置時，位置偏移檢測單元用于檢測該偏移。根據(jù)這個位置偏移檢測單元，基板引導被設置在固定支撐構件上且靠近基板的外周邊緣的位置上。例如光敏器件或激光傳感器的水平光傳感器，測量來自被水平地施加到基板保持器內的基板的上的光束的光線量。如果基板被放置在基板引導上，則基板被傾斜并阻擋光束。因此，與基板被適當?shù)乇辉O置在基板引導的基板保持器空隙中相比，則通過水平光傳感器檢測的光線量變得較小。用這樣的方式，基于被檢測到的光線量的減少，基板在基板保持器中的位置的偏移被檢測。當基板在基板保持器中偏移出對齊位置時，基板引導將基板保持在基板引導上并保持基板的傾斜，防止基板在水平截面中偏移出對齊位置。

然而，水平光傳感器的問題在于，當基板上有水滴、基板本身形狀變形、基板保持器本身形狀變形、放置基板保持器的臺的本身形狀也變形、或基板保持器由于放置基板保持器的臺上存在的紙粉或紙屑而傾斜時，基板可能被錯誤地檢測為在基板保持器中偏移出了對齊位置。水平光傳感器還具有關于檢測精確性的問題，因為基板引導的高度受到基板保持器的尺寸的限制，隨著傳感器的表面因時間流逝而由污跡引起的霧化，能夠被傳感器檢測到的光線量隨著時間流逝而減少。

在浸沒型鍍敷設備中，因此在工作前，基板保持器被存儲在貯藏部中。當浸沒型鍍敷設備開始工作，基板保持器被從貯藏部中取出，并且將要被處理的基板被從它的儲藏部中取出并被保持在基板保持器中。保持基板的基板保持器通過基板保持器運送器被運送到基板被相應地進行處理的鍍敷槽和其他與鍍敷處理有關的處理槽中。

當基板保持器被發(fā)現(xiàn)存在例如電力饋送故障等問題并要被維修以解決該問題時，傳統(tǒng)的浸沒型鍍敷設備必需被關閉并因此它的可操作性較低。被發(fā)現(xiàn)存在電力饋送故障的基板保持器被退回到貯藏部并直到起被維修都不能再使用。當浸沒型鍍敷設備在進行鍍敷處理時，通向浸沒型鍍敷設備的內部的入口為了安全起見而受到限制。因此，當基板保持器被維修時，至少需要等到在發(fā)生問題前剛剛開始的鍍敷處理結束。因為不能被使用的基板保持器不能用在鍍敷處理中，浸沒型鍍敷設備每個單位時間內的處理量減少。

在傳統(tǒng)的浸沒型鍍敷設備中，用于存儲基板保持器的貯藏部是被不可分地結合在設備中。當被放置在貯藏部中的基板保持器需要被維修時，基板保持器被手動地或通過專用起重機從貯藏部移去?？蛇x地，貯藏部被運送到可以從浸沒型鍍敷設備的外部碰觸的位于浸沒型鍍敷設備內的輸送槽或服務區(qū)，然后基板保持器被手動地或通過專用起重機從貯藏部移去。將基板保持器從浸沒型鍍敷設備移去或裝回浸沒型鍍敷設備是非常繁重和耗時的。因為將要被操作的基板的尺寸較大，所需要的人工勞力增加并且所需要的起重機的尺寸也較大，繁重的和耗時的維修過程變得更糟。

技術實現(xiàn)要素：

鑒于以上情形，提供了本發(fā)明。

本發(fā)明提供了一種鍍敷設備，包括：臺，基板保持器放置在該臺上，該基板保持器能夠可拆卸地保持基板；鍍敷部，該鍍敷部中保持鍍敷溶液，該鍍敷部用于通過將該基板在豎直面中浸沒在該鍍敷溶液中而對由該基板保持器保持的該基板進行鍍敷；和基板保持器運送器，該基板保持器運送器用于在該臺和該鍍敷部之間運送該基板保持器，該基板保持器運送器包括用于保持該基板保持器的保持部分；其中，該臺具有水平移動機構，當該水平移動機構支撐該基板保持器的下端時，該水平移動機構能夠水平地移動；并且其中，該基板保持器運送器包括上升下降機構，當該基板保持器的下端被該水平移動機構支撐時，隨著該水平移動機構水平移動，通過豎直移動該保持部分，該上升下降機構用于將該基板保持器的姿勢從豎直狀態(tài)轉換為水平狀態(tài)，或者從水平狀態(tài)轉換為豎直狀態(tài)。

進一步，本發(fā)明還提供了一種轉換用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿勢的方法，該方法包括：利用基板保持器運送器的保持部分保持該基板保持器的一個端部；通過該基板保持器運送器使該基板保持器移動至臺上方的位置；降低該保持部分以使得該基板保持器的另一個端部與該臺的水平移動機構接觸；和，為了將該基板保持器的該姿勢從豎直狀態(tài)轉換為水平狀態(tài)，進一步降低該保持部分以水平地移動該水平移動機構。

進一步，本發(fā)明還提供了一種鍍敷方法，該鍍敷方法包括：通過基板保持器運送器將基板保持器放置在臺上，該基板保持器運送器能夠保持該基板保持器；利用放置在該臺上的該基板保持器安裝并保持基板；利用該基板保持器運送器的保持部分保持該基板保持器的一個端部；當水平移動機構支撐該基板保持器的另一個端部時，抬升該保持部分并且水平地移動位于該臺上的該水平移動機構，以將該基板保持器的姿勢從水平狀態(tài)轉換為豎直狀態(tài)；通過該基板保持器運送器將該基板保持器移動到保持鍍敷溶液的鍍敷部的上方的位置；和，通過該基板保持器運送器降低該基板保持器，以將該基板浸沒在該鍍敷溶液中。

本發(fā)明的第一目標是提供一種鍍敷設備和鍍敷方法，其允許基板保持器被簡易地維修并且同時保證了基板在鍍敷設備中進行處理時能夠容易地觸碰基板保持器。

本發(fā)明的第二目標都是提供一種鍍敷設備、鍍敷方法和轉換使用在鍍敷設備中的基板保持器的姿勢的方法，其能夠轉換基板保持器的姿勢，用于可拆卸地保持基板使其從水平狀態(tài)變?yōu)樨Q直狀態(tài)或從豎直狀態(tài)變?yōu)樗綘顟B(tài)，而不需要大尺寸的旋轉機構。

本發(fā)明的第三目標是提供一種鍍敷設備，其能夠將基板放置在具有基板保持器開啟和閉合機構的基板保持器中，基板保持器開啟和閉合機構無需較大的尺寸，復雜的結構，并且能夠在基板被安裝在基板保持器中時基板偏移出對齊位置時進行檢測，同時允許基板保持器具有不同的厚度。

本發(fā)明提供了一種鍍敷設備，其包括：鍍敷部，鍍敷部用于鍍敷基板；基板保持器，基板保持器用于保持基板；基板保持器運送器，基板保持器運送器用于保持和運送基板保持器；貯藏部，貯藏部用于存儲基板保持器；和貯藏部安裝部分，貯藏部安裝部分用于將貯藏部存儲在貯藏部安裝部分中；其中，貯藏部包括移動機構，移動機構用于將貯藏部移入貯藏部安裝部分和從貯藏部安裝部分移出貯藏部。

利用這種結構，基板保持器能夠被從貯藏部中取出而不需要停止基板在鍍敷設備中的處理。因此，鍍敷設備的每單位時間內的處理量不會變低，并且基板保持器能夠被容易和快速地維護。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，該移動機構包括腳輪，腳輪用于從鍍敷設備移動和分離貯藏部。

該貯藏部安裝部分可以包括：門，門能夠選擇性地打開和閉合；和閘板，閘板能夠選擇性地打開和閉合，用于在門打開時，使貯藏部安裝部分中的空氣和鍍敷設備中的空氣彼此隔離。

該基板保持器運送器可以包括傳感器，傳感器用于檢測基板保持器當前是否位于貯藏部中，或者檢測基板保持器在貯藏部中的位置。

該鍍敷設備可以進一步包括：控制器，控制器用于監(jiān)測和控制基板保持器運送器和貯藏部安裝部分的狀態(tài)；和指示部分，指示部分用于向控制器指示貯藏部的移動。該貯藏部可以包括鎖銷把手，鎖銷把手用于將貯藏部鎖在貯藏部安裝部分中，并且貯藏部安裝部分包括用于與鎖銷把手接合的鎖銷接收部。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，該貯藏部安裝部分包括用于限制門的開啟的門開關和用于限制閘板的打開的閘板開關，其中，門開關和閘板開關彼此協(xié)同工作。

本發(fā)明提供了一種用于控制鍍敷設備自動地執(zhí)行步驟的鍍敷方法，其包括以下步驟：將基板保持器從貯藏部移出；使用基板保持器保持基板；使用基板保持器運送器將保持基板的基板保持器運送到鍍敷部；在鍍敷部中對基板進行鍍敷；和使用基板保持器運送器將基板保持器運送回貯藏部；其中，鍍敷方法包括：當鍍敷設備在自動地執(zhí)行上述步驟時，使用貯藏部的移動機構將貯藏部從鍍敷設備中移出。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，移動機構包括腳輪，腳輪用于從鍍敷設備移動和分離貯藏部。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，該鍍敷方法進一步包括：在鍍敷設備自動地執(zhí)行上述步驟時，在貯藏部被移動出鍍敷設備前，向鍍敷設備的控制器指示貯藏部移出鍍敷設備。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，該鍍敷方法進一步包括：在貯藏部被移出鍍敷設備前，閉合閘板以將鍍敷設備內部與外界空氣隔離；和在貯藏部已被移動進入鍍敷設備后，打開閘板，以允許基板保持器運送器觸碰貯藏部。

本發(fā)明提供了一種用于存儲在鍍敷設備中使用的基板保持器的貯藏部，該貯藏部包括：基板保持器存儲區(qū)，基板保持器存儲區(qū)用于在該基板保持器存儲區(qū)中存儲基板保持器；和移動機構；其中，貯藏部通過移動機構被從鍍敷設備移動和分離。

貯藏部可以包括設置在貯藏部底部的排水盤。

基板保持器存儲區(qū)能夠在該基板保持器存儲區(qū)中存儲陽極保持器。

本發(fā)明提供了另一種用于存儲鍍敷設備中使用的陽極保持器的貯藏部，該貯藏部包括：陽極保持器存儲區(qū)，陽極保持器存儲區(qū)用于在該陽極保持器存儲區(qū)中存儲陽極保持器；排水盤，排水盤設置在貯藏部的底部；和移動機構；其中，貯藏部通過移動機構被從鍍敷設備移動和分離。

本發(fā)明提供了另一種鍍敷設備，該鍍敷設備包括：基板保持器，基板保持器用于可拆卸地保持基板；臺，基板保持器被水平地放置在臺上；鍍敷部，鍍敷部具有鍍敷槽，鍍敷槽用于通過將基板在豎直面中浸沒在鍍敷溶液中而對被基板保持器保持的基板進行鍍敷；和基板保持器運送器，基板保持器運送器用于在臺和鍍敷部之間運送基板保持器，基板保持器運送器包括用于保持基板保持器的保持部分；其中，臺具有水平移動機構，當水平移動機構支撐基板保持器的下端時，水平移動機構能夠水平地移動；和其中，基板保持器運送器包括能夠豎直移動的臂，當基板保持器的下端被水平移動機構支撐并且通過豎直移動保持部分水平移動機構水平移動時，臂用于將基板保持器的姿勢從豎直狀態(tài)變成水平狀態(tài)，或者從水平狀態(tài)變成豎直狀態(tài)。

利用這種結構，基板保持器能夠穩(wěn)定地旋轉而無需大尺寸的旋轉機構，并且該鍍敷設備能夠節(jié)省空間并能夠以低成本制造。尤其是，因為用于將基板保持器傳送到鍍敷區(qū)的基板保持器運送器被用于旋轉基板保持器，不需要附加的動力機構來旋轉基板保持器。因此，鍍敷設備以很低的成本制造。

鍍敷設備可以進一步包括：傳感器，傳感器用于檢測基板保持器運送器是否保持基板保持器，或者檢測到被基板保持器運送器保持的基板保持器的距離

本發(fā)明的一個優(yōu)選方面，如果傳感器檢測到當基板保持器運送器沒有保持基板保持器或者到被基板保持器運送器保持的基板保持器的距離偏離參考值，能夠豎直移動的臂被停止運作。

基板保持器可以包括圓形手柄，并且保持部分保持圓形手柄。

保持部分可以具有可旋轉地支撐圓形手柄的形狀。

水平移動機構支撐的基板保持器的下端可以具有與水平移動機構接觸的半圓部分。

通過從水平移動機構懸掛的重物，水平移動機構在沿著降低保持部分的方向上正常地偏置。

基板保持器運送器可以包括用于在基板保持器被運送時防止基板保持器搖晃的夾持器。

本發(fā)明提供了一種轉換用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿勢的方法，該方法包括：使用基板保持器運送器的保持部分保持基板保持器的一個端部；在臺上方移動由保持部分保持的基板保持器；降低保持部分以使得基板保持器的另一個端部與臺上的水平移動機構接觸；和為了將基板保持器的姿勢從豎直狀態(tài)轉換為水平狀態(tài)，進一步降低保持部分以水平地移動水平移動機構。

該方法進一步包括：使用傳感器檢測基板保持器運送器是否保持基板保持器，或者檢測到被基板保持器運送器保持的基板保持器的距離；和如果傳感器檢測到當基板保持器運送器沒有保持基板保持器或者到被基板保持器運送器保持的基板保持器的距離偏離參考值，停止保持部分的運作。

該方法進一步包括：在基板的另一端與水平移動機構接觸后，水平地移動基板保持器運送器，以使得基板保持器傾斜預定角度。

本發(fā)明提供了另一種鍍敷方法，該鍍敷方法包括：將基板保持器放置在臺上；使用放置在臺上的基板保持器安裝和保持基板；使用基板保持器運送器的保持部分保持基板保持器的端部；抬升基板保持器運送器并且水平地移動位于臺上的水平移動機構，以將基板保持器的姿勢從水平狀態(tài)變成豎直狀態(tài)；使用基板保持器運送器將基板保持器移動到位于具有鍍敷溶液的鍍敷槽的上方的位置；和使用基板保持器運送器降低基板保持器，以將基板浸沒在鍍敷槽中的鍍敷溶液中。

本發(fā)明提供了另一種鍍敷設備，該鍍敷設備包括：基板保持器，基板保持器用于可拆卸地保持基板；臺，基板保持器被水平地放置在臺上；鍍敷部，鍍敷部具有鍍敷槽，鍍敷槽用于通過將由基板保持器保持的基板在豎直面中浸沒在鍍敷溶液中而對基板進行鍍敷；和基板保持器運送器，基板保持器運送器用于在臺和鍍敷部之間運送基板保持器，基板保持器運送器包括用于保持基板保持器的保持部分；基板保持器打開和閉合機構，基板保持器打開和閉合機構用于打開和閉合位于臺上的基板保持器；其中，基板保持器包括：可移動支撐構件，可移動支撐構件具有可旋轉支撐構件；和固定支撐構件，固定支撐構件用于與可移動支撐構件協(xié)同工作以夾持基板，可移動支撐構件被可移除地緊固到固定支撐構件；和其中，基板保持器打開和閉合機構包括：頭部分，頭部分用于按壓可移動支撐構件，頭部分至少具有將可移動支撐構件緊固到固定支撐構件和將可移動支撐構件從固定支撐構件釋放的可旋轉的部分，可移動支撐構件被頭部分可移除地保持；第一致動器，第一致動器用于豎直地移動頭部分；和第二致動器，第二致動器用于旋轉頭部分的至少一部分。

這能夠簡化用于開啟和關閉基板保持器的機構，以減少鍍敷設備的尺寸，以使得鍍敷設備的成本能夠被降低。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選的方面，該頭部分包括旋轉板和按壓片，按壓片具有用于保持可移動支撐構件的吊鉤，按壓片用于按壓可移動支撐構件；支撐構件包括突出部；固定支撐構件包括夾持器；旋轉板被連接到軸，并且當軸由第二致動器推壓時，旋轉板被旋轉以旋轉支撐構件；和隨著支撐構件旋轉，突出部與夾持器適配接合，以將移動支撐構件緊固到固定支撐構件，或將移動支撐構件移動到被吊鉤懸吊的位置。

頭部分可以包括基板位置檢測部分，基板位置檢測部分用于確定基板在基板保持器中的位置。

因此，在基板被放置在基板保持器中時基板的偏移位置能夠被精確地檢測，而無論例如基板和基板保持器的變形和施加到基板和基板保持器上的水滴。

按壓片可以具有按壓塊，按壓塊用于按壓可移動支撐構件，按壓塊包括設置在按壓塊中的預壓縮彈簧。

這能減少當基板保持器被打開和關閉時施加到組件上的摩擦阻力，并且即使基板保持器具有不同的厚度也能達到用于密封基板保持器的穩(wěn)定的密封能力

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的鍍敷設備的示意性側視圖；

圖2是圖1所示的鍍敷設備的平面圖；

圖3是顯示基板保持器的結構的示意圖；

圖4A是顯示基板保持器運送器的結構的示意性視圖；圖4B是顯示圖4A中顯示的基板保持器運送器保持基板保持器的方式的示意性視圖；并且圖4C是沿著圖4B的線Y-Y'的截面圖；

圖5A到5F是示意性地顯示用于水平移動臺的水平移動機構和基板保持器運送器的臂的操作順序的示意圖，用于將基板保持器水平地放置在臺上；

圖6A到6F是以圖5A到圖5F中的操作順序詳細地顯示基板保持器和水平移動機構的視圖；

圖7A到圖7D是顯示用于將基板保持器放置在水平移動機構上的基板保持器運送器的操作順序的視圖；

圖8A到8C是示意性地顯示，用于水平移動臺的水平移動機構和基板保持器傳送器的臂的另一個操作順序的示意圖，用于將基板保持器水平地放置在臺上；

圖9A到9C是示意性地顯示用于水平地移動臺的水平移動機構和基板保持器傳送器的臂的另一個操作順序的示意圖，用于將基板保持器水平地放置在臺上，

圖10是顯示另一個基板保持器的結構的示意性視圖；

圖11A是顯示圖10顯示的基板保持器的固定支撐構件的示意性視圖；并且圖11B是顯示圖10顯示的基板保持器的可動支撐構件的示意性視圖；

圖12是圖10中顯示的基板保持器的可動支撐構件和固定支撐構件的部分放大截面圖；

圖13是顯示基板保持器開啟和閉合機構的結構的示意性示圖；

圖14A是顯示基板保持器開口和閉合機構的頭部分的結構的平面圖；并且圖14B是顯示圖14A中的頭部分的正視圖；

圖15是頭部分上的按壓塊的截面圖；

圖16A和16B說明是使用傳感器檢測基板的位置偏移的過程的示意性視圖；

圖17是基板保持器的平面圖，該基板保持器具有在基板放置位置被限定在基板保持器內的凹進部分；

圖18A和18B說明是使用傳感器檢測基板的位置偏移的過程的示意性視圖；

圖19是顯示基板保持器開啟和閉合機構的工作的方式的立體圖；

圖20是顯示基板保持器開啟和閉合機構的工作的方式的立體圖；

圖21是顯示基板保持器開啟和閉合機構工作的方式的立體圖；

圖22是顯示基板保持器開啟和閉合機構工作的方式的立體圖；

圖23是顯示貨車式貯藏部的結構的示意圖；

圖24是顯示另一個貨車式貯藏部的結構的立體圖；

圖25是示意地顯示鍍敷設備內的貯藏部安裝部和貨車式貯藏部的側視圖；

圖26是示意地顯示鍍敷設備內的貯藏部安裝部和貨車型貯藏部的后視圖；

圖27是貯藏部安裝部中的導板和貨車式貯藏部中的豎直輥和水平輥的平面圖；

圖28是貯藏部安裝部中的導板和貨車式貯藏部中的豎直輥和水平輥的正視圖；

圖29A是顯示貨車式貯藏部上的鎖柄和貯藏部安裝部的門上的鎖引導之間關系的示意圖；圖29B是顯示鎖引導被安裝在其上的門的表面和鎖柄的關系的示意圖；和圖29C是安裝有鎖引導的門的側視圖；

圖30是顯示鍍敷設備的控制器、基板保持器運送器、貯藏部安裝部，貯藏部觸碰指示部和可觸碰/不可觸碰顯示部之間聯(lián)系的方塊圖；

圖31A到31E是示意地顯示用于將貨車式貯藏部放置到貨車式貯藏部的貯藏部安裝部和從貨車式貯藏部移除貯藏部安裝部的步驟的立體圖；

圖32是當鍍敷設備在工作時，用于將貨車式貯藏部放置到貨車式貯藏部的貯藏部安裝部和從貨車式貯藏部移除貯藏部安裝部的步驟的流程圖；

圖33是顯示用于將設置在傳統(tǒng)的鍍敷設備中的基板保持器進行旋轉的機構的示意圖；和

圖34是顯示用于將設置在另一個傳統(tǒng)的鍍敷設備中的基板保持器進行旋轉的另一個機構的示意圖。

具體實施方式

在下文中，將參考附圖來詳細描述本發(fā)明的較佳實施例。圖1是顯示根據(jù)本發(fā)明的實施例的鍍敷設備的側視圖，圖2是圖1顯示的鍍敷設備的平面圖。

如圖1和2所示，鍍敷設備包括設備框架100、用于支撐基板500的基板保持器110(參見圖3)、用于將存儲基板500的例如FOUP的承載容器放置在其上的一對裝載口170、基板自動運送器180、旋轉式沖洗干燥器(SRD)190、臺120、鍍敷部130、基板保持器運送器140、貨車式貯藏部150和校準器195。貨車式貯藏部150被放置在設備框架100中的貯藏部安裝部分160。上述實施例中，貨車式貯藏部150被用作貯藏部。

基板自動運送器180將基板500從放置在一個裝載口170上的承載容器中取出，并將基板500傳送到臺120?；遄詣舆\送器180還運送來自臺120的處理過的基板，并將處理過的基板存儲在被放置在一個裝載口170上的承載容器中。基板自動運送器180可旋轉并在裝載口170、臺120、旋轉式沖洗干燥器190和校準器195之間運送基板500。旋轉式沖洗干燥器190旋轉鍍敷完的基板500，同時沖洗鍍敷完的基板500，并最后通過以高速旋轉鍍敷完的基板500來使得基板500干燥。

校準器195與基板500在基板500的圓周方向上的特定位置角度對齊。具體來說，校準器195檢測基板500內限定的凹口或凹陷的位置，并將凹口導向為與標出的角位置對齊，從而將基板500轉動到標出的角位置。當基板500轉動時，校準器195還在預定位置與基板500的中心位置對齊。

鍍敷設備還包括運送軸101，該運送軸101用于將基板座運送器140沿著該運送軸101移動、基板保持器開啟和閉合機構102和控制器200，該控制器200包括基板保持器運送器控制器。

當基板500被鍍敷時，基板保持器110保持基板500，并將基板500的端部和反面密封并將待鍍敷的表面露出?；灞３制?10還具有電氣觸點，該電氣觸點用于電接觸基板500的待鍍敷的表面的外邊緣，并且該電氣觸點由外接電源供電。在鍍敷處理前，基板保持器110被存儲在貨車式貯藏部150中。在鍍敷處理中，基板保持器110通過基板保持器運送器140被在臺120和鍍敷部130之間移動。在鍍敷處理后，基板保持器110被存儲在貨車式貯藏部150的后部。

基板保持器110能夠被水平地放置在臺120上。基板自動運送器180將基板500放置到被水平地放置在臺120上的基板保持器110中，或將基板500從被水平地放置在臺120上的基板保持器110中取出。

鍍敷設備在其鍍敷處理中使用兩種鍍敷溶液。鍍敷部130包括按照鍍敷處理的順序被依次排列的預洗滌槽130a、預處理槽130b、沖洗槽130c、第一鍍敷槽130d、沖洗槽130e、第二鍍敷槽130f、沖洗槽130g和熔解槽130h。優(yōu)選地，處理槽130a到130h被以鍍敷處理的順序沿著從x朝向x'的方向依次地排列，排除其他額外的運送路徑。鍍敷設備中槽的類型、數(shù)目和布置能夠基于基板處理的目的而被自由選擇。

在圖1和2所述的鍍敷設備中，通過基板保持器110被保持的基板500通過鍍敷部130的處理槽130a到130h中的處理流體被處理。特別的，通過基板保持器110被保持的基板500被豎直地浸沒在鍍敷槽130f中的鍍敷溶液中，并被在鍍敷溶液中被鍍敷，同時鍍敷溶液被從下引入鍍敷槽130f并溢出鍍敷槽130f。在本實施例中，鍍敷槽130f被分成多個區(qū)域，通過基板保持器110被保持的一個基板500在每個區(qū)域被豎直地浸沒在鍍敷溶液中并被鍍敷。鍍敷槽130f的每個區(qū)域具有用于將基板保持器110從其中穿過的插入槽、用于供應電能到基板保持器110的電源單元、正極、攪拌裝置和屏蔽板。正極被安裝在正極保持器上，與基板500同軸并且具有面對基板500的露出表面。

基板保持器運送器140能夠通過傳送機構沿著運送軸101在臺120、鍍敷部130和貨車式貯藏部150之間移動，傳送機構例如是線性電機等等，但未在圖中顯示?；灞３制鬟\送器140運送基板保持器110并同時保持基板保持器110處于豎直姿勢。

貨車式貯藏部150能夠存儲多個基板保持器110，每個基板保持器110在豎直平面內延伸。在圖1中，貨車式貯藏部150被設置為靠近鍍敷設備的后表面。然而，貨車式貯藏部150可以被設置在其它位置，例如在臺120和鍍敷部130之間。

以下將通過舉例簡要說明鍍敷設備的操作順序。操作順序包括以下步驟(a)到步驟(h)。

(a)基板保持器運送器140移動到貨車式貯藏部150上方的位置，保持和取出存儲在貨車式貯藏部中的基板保持器110。

(b)然后，基板保持器運送器140移動到臺120上方的位置，同時保持基板保持器110，并將基板保持器110水平的放置在臺120上。

(c)基板500被安置到基板保持器110。

(d)基板保持器運送器140豎直地保持基板保持器110，并移動到鍍敷部130的預洗滌槽130a。此后，基板保持器運送器140在從x到x'的方向上依次通過鍍敷部130的處理槽130a到鍍敷部130的處理槽130h，同時通過基板保持器110被保持的基板500在處理槽130a到處理槽130h中被處理。

(e)基板500在鍍敷部130中的處理完成后，基板保持器運送器140移動到臺120，同時豎直地保持基板保持器110，然后將基板保持器110水平的放置在臺120上。

(f)基板500被從基板保持器110移去。

(g)如果多個待處理的基板500要被連續(xù)地處理，則下一個未被處理的基板500被安置在基板保持器110中，并重復以上從步驟(d)到步驟(f)的順序。

(h)當全部的鍍敷處理完成后，基板保持器運送器140豎直地保持已將基板500從其移除的基板保持器110，基板保持器運送器140移動到貨車式貯藏部150，并將基板保持器110豎直地存儲到貨車式貯藏部150中。

在上述操作順序中，在將基板500安置在基板保持器110中后，基板保持器運送器140將保持基板500的基板保持器110移動到鍍敷部130的預洗滌槽130a。然而，在將基板500安置在基板保持器110后，基板保持器運送器140可以將基板保持器110運送到貨車式貯藏部150，并可以暫時將基板保持器110放置在貨車式貯藏部150上。

以下將描述基板保持器110結構上的細節(jié)。圖3是顯示基板保持器110的結構的示意性視圖；

如圖3所示，基板保持器110在它的一端具有操縱柄111。操縱柄111通過基板保持器運送器140被保持。操縱柄111的形式為可以繞自身軸線旋轉的圓桿，該圓桿用于將基板保持器110的姿勢從豎直狀態(tài)轉換為水平狀態(tài)和從水平狀態(tài)轉換為豎直狀態(tài)。

操縱柄111希望是由耐腐蝕性的不銹鋼制成，以使其自身能夠抵抗可能施加到其上的鍍敷溶液。在操縱柄111由不銹鋼制成，但仍然因為與鍍敷溶液接觸而易受到腐蝕的情況下，操縱柄111的表面希望應當涂覆有鉻鍍敷層或碳化鈦(TiC)層，用于增加耐腐蝕性。操縱柄111可以由具有高度抗腐蝕性的鈦制成。在這種情況下，因為基板保持器運送器140的表面摩擦阻力的等級通常較高，需要將基板保持器運送器最后加工成能平穩(wěn)地旋轉滑動接觸基板保持器運送器140的升降器142，該升降器142將稍后描述。

基板保持器110具有一對吊架112，每個吊架112分別位于基板保持器110的相對的上端上。每一個吊架112是長方體或立方體形式。吊架112被分別地放置在吊架接收器中，吊架120的作用是在基板保持器110被放置在鍍敷部130的處理槽130a到130h中時吊起基板保持器110。吊架112中的一個具有電能饋送觸點114。如果鍍敷槽130d和130f是電鍍敷槽，則在吊架112上的電能饋送觸點114被保持與位于相應的吊架接收器上的電氣觸點接觸，該電氣觸點用于將電流從外部電源供應到基板500的待鍍敷表面。當基板保持器110被放置在吊架接收器上的吊架112吊起時，電能饋送觸點114位于不與鍍敷槽中的鍍敷溶液接觸的位置。當基板保持器110被存儲在貨車式貯藏部150中時，吊架112被支撐在貨車式貯藏部150的吊架接收器152上，該吊架接收器152將稍后描述。

每個吊架112的形式為長方體或立方體，每個吊架112被設計成當基板保持器110移動時防止基板保持器110搖晃，抵抗沿著圖3中的箭頭A表示的方向被施加到基板保持器運送器140上的力。當基板保持器110處于豎直狀態(tài)并且它的下端113面向下時，吊架112使它們的上表面水平布置。

基板保持器110的下端113具有半圓形的橫截面(參見圖6A到6F)，用于與臺120的水平移動機構121平滑地旋轉滑動接觸，該水平移動機構121將稍后描述。

圖4A是顯示基板保持器110的結構的示意性視圖。圖4B是顯示通過圖4A顯示的基板保持器運送器140保持基板保持器110的方式的示意性視圖。圖4C是沿著圖4B的線Y–Y'的截面圖。基板保持器運送器140包括結合在豎直支撐柱145中的上升下降機構，該上升下降機構沒有顯示。上升下降機構豎直地運行以抬升和降低基板保持器110。上升下降機構包括用于吊起基板保持器110的水平臂141。臂141具有作為保持部分的升降器142，用于通過從下方支撐操縱柄111來吊起和保持基板保持器110。為了從下方支撐操縱柄111，升降器或保持部分142具有用于與操縱柄111接合的一對半圓形指狀元件142a。半圓形指狀元件142具有略微大于操縱柄111的外側直徑的內側直徑。升降器142在半圓形指狀元件142a之間具有空隙，并還包括傳感器144，該傳感器144作為基板保持器檢測器，用于檢測操縱柄111目前是否出現(xiàn)在空間中，并且用于檢測到空間中的操縱柄111的距離。如果傳感器或基板保持器檢測器144檢測到反常狀態(tài)或沒有檢測到操縱柄111，即，基板保持器110，或檢測到當?shù)讲倏v柄111的距離偏離參考值，即，當基板保持器110偏移出相對于臂141的位置時，傳感器144將反常狀態(tài)顯示給上升下降機構控制器，該上升下降機構控制器停止抬升和降低臂141，該上升下降機構控制器在圖中未顯示。傳感器144還能夠檢測另一個反常狀態(tài)，在該另一個反常狀態(tài)中，當指狀元件142a想要從下方支撐操縱柄111時，因為基板保持器110的位置偏移，升降器142的指狀元件142a沒有適當?shù)刂尾倏v柄111。

優(yōu)選地，指狀元件142a在它們保持為與操縱柄111接觸的表面應當結合有例如PTFE等等的合成樹脂層，或被TUFRAM處理過或被覆蓋有PEEK的鋁層，以減少表面的摩擦系數(shù)，使操縱柄111相對于指狀元件142a平滑地轉動。

基板保持器運送器140包括一對夾持器143，用于防止基板保持器110搖晃。當基板保持器運送器140水平地移動，夾持器143對基板保持器110的吊架112的上水平面施加向下的力，以防止基板保持器110在沿著基板保持器運送器140移動的方向上搖晃。為了更有效地防止基板保持器110搖晃，吊架112可以被設計成具有與夾持器143適配接合的形狀。

在這個實施例中，夾持器143具有向下開放的C形，用于對基板保持器110的吊架112的上水平面施加向下的力，并支撐吊架112的相反的豎直表面，以防止基板保持器110搖晃。如果從夾持器143豎直地施加到吊架112的上水平面的力的程度能夠被設置成大于使基板保持器110趨向于搖晃的力，則夾持器143不需要支撐吊架的相反的豎直表面?；旧希驗榈跫?12的上水平面不具有較大的面積，優(yōu)選地，夾持器143應當支撐吊架112的相反的垂直表面。

當基板保持器110被從豎直狀態(tài)改變?yōu)樗綘顟B(tài)，夾持器143被向上移動以釋放基板保持器110。夾持器143通過被安裝在臂141上的獨立的致動器146，例如氣缸、電動執(zhí)行器等等被豎直地移動。在本實施例中，兩個致動器146被用于移動夾持器143，夾持器143在基板保持器110的相反端上支撐吊架112支撐。然而，單個致動器146可以被安裝在臂141上，并與基板保持器110的中心對準，附接件可以安裝在致動器146的可動部件上，并被連接到兩個夾持器146，該附接件沒有顯示。

通過從水平狀態(tài)轉變?yōu)榇怪睜顟B(tài)，臺120被用于在其上水平地放置基板保持器110。臺120包括用于支撐基板保持器110的下端113的水平移動機構121(參見圖5A到5F)。水平移動機構121能夠隨著引導物在沿著基板保持器運送器140的運送軸101的方向上滑動，例如線性運動(LM)引導來引導基板保持器110的下端113進行線性運動，引導物沒有在圖中顯示。

在本實施例中，水平移動機構121受到由重物123經由線122施加的外力，水平移動機構121趨向于將水平移動機構121返回到初始位置，即，當基板保持器運送器140被朝著臺120降低時，水平移動機構121總是與基板保持器110的下端113接觸的位置。重物123可以用螺旋彈簧代替。優(yōu)選地，水平移動機構121應當具有適合于與基板保持器110的下端113滑動接觸的形狀和材料。

以下將參考圖5A到5F，6A到6F，7A到7D描述用于將基板保持器110從豎直狀態(tài)改變成水平狀態(tài)和將基板保持器110水平地放置在臺120上的操作順序。

圖5A到5F是示意性地顯示為了將基板保持器110水平地放置在臺120上，用于水平移動臺120的水平移動機構121和基板保持器運送器140的上升下降機構的臂141的操作順序的視圖。圖6A到6F是詳細地顯示圖5A到5F的操作順序中的基板保持器110和水平移動機構121的視圖。圖7A到7D是顯示用于將基板保持器110放置在水平移動機構121上的基板保持器運送器140的操作順序的視圖。

隨著臂141的升降器142將基板保持器110吊起并且夾持器143夾緊基板保持器110以抵抗搖晃，基板保持器運送器140移動到臺120上方的位置。此時基板保持器110和水平移動機構121之間的空間關系顯示在圖7A和7B中。臺120包括在支撐基板保持器110的下端113的同時能夠水平移動的水平移動機構121。當基板保持器運送器140移動到臺120上方的位置時，豎直地保持基板保持器110的臂141開始下降。圖5A顯示了基板保持器110的下端113被降低到略微高于水平移動機構121的位置的狀態(tài)。此時基板保持器110和水平移動機構121之間的位置關系顯示在圖6A和7B中。

然后，如圖7C所示，夾持器143釋放基板保持器110。如5B、6B和7D所示，臂141被降低，直到基板保持器110的下端113接觸水平移動機構121。

在如圖5A和5B所示的基板保持器110的向下運動期間，優(yōu)選地，臂141應當被以高速降低，并且夾持器143支撐基板保持器110以抵抗搖晃運動，直到基板保持器110的下端113到達略微高于水平移動機構121的位置。然后，優(yōu)選地，夾持器143釋放基板保持器110并以低速度降低臂141，直到基板保持器110的下端113接觸水平移動機構121。用這樣的方式，基板保持器110在短時間段內被穩(wěn)定地降低。

當基板保持器110的下端113剛剛接觸到水平移動機構121時，基板保持器110位于它的旋轉圓周的底部死點并且不能平滑地旋轉。因此，在基板保持器110的下端113接觸到水平移動機構121后，如圖5C所示，臂141被稍微降低并被稍微地朝向鍍敷部130水平移動。因此，如圖6C所示，基板保持器110現(xiàn)在傾斜并開始平滑旋轉。

在基板保持器110被傾斜一定預定角度后，優(yōu)選地大約為15°，臂141被降低以使得基板保持器110的下端113在基板保持器110的重量下推動水平移動機構121，如圖6D所示。當基板保持器110的下端113被降低，臂141可以被略微地朝向基板自動運送器180移動。如圖5D和5E所示，基板保持器110的下端113通過水平移動機構121被支撐，臂141的下降使基板保持器110被旋轉并從豎直狀態(tài)傾斜成水平狀態(tài)。具體來說，如圖6E所示，當臂141從圖6D所示的位置降低，基板保持器110被傾斜成水平狀態(tài)，同時在點A被支撐。

當臂141被進一步降低時，基板保持器110水平布置，如圖5F和6F所示，基板保持器運送器140的向下運動和水平移動機構121的水平運動完成。水平基板保持器110的全部重量由臺120負擔。臂141進一步被降低，然后朝鍍敷部130退回，并此后被抬起。

如上所述，基板保持器110從豎直姿勢轉換為水平姿勢，而不需要具有用于旋轉基板保持器110的大扭矩的大尺寸旋轉機構。根據(jù)本發(fā)明，重要的是優(yōu)化以下設計：基板保持器運送器140初始移動以使基板保持器110傾斜的距離、臂141降低的速度、被施加以使得水平移動機構121回到初始位置的力、操縱柄111和升降器142的指狀元件142a之間的滑動阻力、基板保持器110的下端113和水平移動機構121之間的滑動阻力、基板保持器110的下端113和水平移動機構121的形狀。

根據(jù)本發(fā)明，基板保持器110的姿勢隨著水平移動機構121的水平運動被轉換。根據(jù)另一個姿勢轉換方案，如圖8A到8C所述，基板保持器110的下端113可以被保持為與臺120的左端接觸，臂141可以被弧形地移動，以使基板保持器110變?yōu)樗阶藙?。然而，如圖1所示，當基板自動運送器180將基板500運送到基板保持器110或從基板保持器110接收基板500時基板保持器開啟和閉合機構102能夠使基板保持器110釋放基板500，基板保持器開啟和閉合機構102被設置在臺120的上方，基板保持器運送器140和基板保持器開啟和閉合機構102易于相互干擾。

根據(jù)另一個姿勢轉換方案，如圖9A到9C所述，基板保持器110的下端113可以被保持為與臺120的右端接觸，臂141可以使基板保持器110朝向鍍敷部130傾斜，直至基板保持器110水平，并最終臂141將基板保持器110移動到臺120上。然而，如圖9B所示，因為基板保持器運送器140從臺120朝向鍍敷部130突出較大的距離，有可能干擾鍍敷部130的處理操作。

根據(jù)本發(fā)明改變基板保持器110的姿勢的過程，不同于以上其它的姿勢變換方案，基板保持器運送器140轉換基板保持器110的姿勢時，基板保持器運送器140沒有干擾基板保持器開啟和閉合機構102和鍍敷部130中的處理操作。因此，不用考慮基板保持器運送器140與基板保持器開啟和閉合機構102和鍍敷部130之間的距離。根據(jù)本發(fā)明的基板保持器110的姿勢改變的過程對于節(jié)省鍍敷設備的空間非常有效。

水平移動機構121可以包括用于通過其自身而不需要基板保持器110的重量就可水平移動的機構。然而，為了轉換基板保持器110的姿勢，這種機構需要它自己的電源并且必須與臂141配合工作，結果導致了復雜的控制過程。相應地，希望使得水平移動機構121能夠滑動，并且也希望控制一個機構以使水平移動機構121在重物123或螺旋彈簧施加的外力下水平移動，使得水平移動機構121返回到其初始位置。

隨著基板保持器110從豎直狀態(tài)改變成水平狀態(tài)，在本實施例中，操縱柄111和升降器142的指狀元件142、基板保持器110的下端113和水平移動機構121彼此滑動抵靠。如果不需要它們彼此相互滑動抵靠，則操縱柄111的相反端可以通過軸承支撐，輥可以被安裝在基板保持器110的下端113。然而，因為基板保持器110被浸沒在鍍敷溶液中，軸承和輥被設置在鍍敷溶液中或靠近鍍敷溶液的表面?？赡懿幌胍S承和輥被鍍敷溶液影響。因此，為了避免部件的滑動移動，輥可以被安裝在升降器142的指狀元件142a或水平移動機構121上，以使操縱柄111或基板保持器110的下端113可旋轉。

處理過的基板500被從放置在臺120上的基板保持器110移去或下一個待處理的基板500被基板保持器110保持后，基板保持器110將它的姿勢從水平狀態(tài)改變?yōu)樨Q直狀態(tài)。為了這種姿勢轉換，升降器142的指狀元件142a進入操縱柄111的下方，并與操縱柄111接合，隨著臂141上升，升降器142將基板保持器110吊起。水平移動機構121沒有與基板保持器110的下端113脫離接合，并回到它的初始位置，使得基板保持器110變成豎直姿勢。臂141被進一步升起，當臂141被升起時，夾持器143如上所述地工作，防止基板保持器110搖晃。

在本實施例中,為了將基板保持器110的姿勢在豎直姿勢和水平姿勢之間轉換，只要求動力水平地移動水平移動機構121并且抬升和降低臂141。用于產生水平和豎直移動的基板保持器運送器140的機構被要求將基板保持器110移動到處理槽并將基板500浸沒在處理槽中的處理溶液中。因此，不需要專用的動力來改變基板保持器110的姿勢。

本發(fā)明適用于很多使用基板保持器來保持基板、運輸基板保持器和鍍敷基板的設備。在本實施例中，通過實例來說明本發(fā)明的原則如何被用于鍍敷設備。然而，發(fā)明的原則也合適酸洗設備和無鍍敷敷設備等等。本發(fā)明的原則不但適用于將基板保持器完全浸沒在處理槽中的處理設備，也適用于包括這樣的處理槽的處理設備：開口被限定在該處理槽的豎直側壁上并水平地靠近被基板保持器保持的基板。在本實施例中，鍍敷設備包括單個基板保持器運送器，該基板保持器運送器通常被用來改變基板保持器的姿勢并且將基板保持器運送到包括鍍敷槽的處理槽。然而，本發(fā)明的原則適用于包括多個基板保持器運送器的鍍敷設備，例如，多個基板保持器運送器中的一個用于改變基板保持器的姿勢，另一個例如用于將基板保持器運送到鍍敷部130。

根據(jù)本發(fā)明，如上所述，因為基板保持器能夠穩(wěn)定地旋轉而不再需要大尺寸的旋轉機構，該鍍敷設備節(jié)省了空間并降低制造成本。特別地，因為被用來將基板保持器運送到鍍敷槽的基板保持器運送器又被用來旋轉基板保持器，不需要單獨的用于旋轉基板保持器的動力機構，該鍍敷設備的制造成本能夠被極大地降低。

以下將描述基板保持器打開和閉合機構102的操作順序?；灞３制鞔蜷_和閉合機構102的作用是安裝和移動基板保持器110的罩，即，以下將描述的可動支撐構件11，為了將基板500安裝到水平地放置在臺120上的基板保持器110，并從該基板保持器110移除。

圖10是顯示基板保持器110的結構的平面圖，在該基板保持器110中，可動支撐構件11被安裝在固定支撐構件15上，同時突出部(lobe)13被分別保持為與夾持器16適配接合。圖11A是顯示基板保持器110的固定支撐構件15的平面圖。圖11B說顯示基板保持器110的可動支撐構件11固定平面圖。圖12是基板保持器110的固定支撐構件15和可動支撐構件11的一部分的放大截面圖。

如圖10到12所示，基板保持器110具有作為罩的可動支撐構件11和被放置在臺120上的固定支撐構件15?；?00被夾緊在可動支撐構件11和固定支撐構件15之間?？蓜又螛嫾?1形成為大致圓環(huán)狀并具有支撐構件12和多個突出部13，多個突出部13與支撐構件12一體形成且從支撐構件12向外突出。可動支撐構件11能夠被固定到固定支撐構件15并且能夠從可動支撐構件11移除。如圖10所示，可動支撐構件11被固定到固定支撐構件15的上表面上。固定支撐構件15具有多個夾持器16，該多個夾持器16的位置分別與突出部13對應。夾持器16具有倒轉的L形狀，并具有向內彎曲的頂端。當突出部13被適配進夾持器16的向內彎曲的頂端時，夾持器16將可動支撐構件11緊固到固定支撐構件15。優(yōu)選地，突出部13和夾持器16應當具有用于使突出部13和夾持器16能夠方便地相互適配的錐形表面。

支撐構件12能夠相對于可動支撐構件11旋轉，并被分離防止構件(dislodgment prevention member)12b不可分地保持，支撐構件12和突出部13可一起圍繞可動支撐構件11的中心R在大致水平的平面上可旋轉。支撐構件12形成為例如大致圓環(huán)狀。支撐構件12具有設置在支撐構件12的圓周表面上并朝向基板保持器打開和閉合機構的頭部分1100突出的突起12a，該突起12a將稍后描述。支撐構件12通過分離防止構件12b被防止從可動支撐構件11中分離。

基板500被夾持在可動支撐構件11和固定支撐構件15之間，當支撐構件12被旋轉以使突出部13與夾持器16適配接合時，可動支撐構件11和固定支撐構件15被緊固在一起。為了安裝和移除基板500，支撐構件12被旋轉以使突出部13從與夾持器16的適配接合中脫離?；?00被放置在固定支撐構件15的基板放置區(qū)域14中。

可動支撐構件11具有第一密封環(huán)18a和第二密封環(huán)18b，用于密封基板500的不需要被鍍敷的部分，例如基板500邊緣和反面，從而不與鍍敷溶液接觸。第一密封環(huán)18a被保持與基板500的外周邊緣接觸，第二密封環(huán)18b被保持與固定支撐構件15的表面接觸?；灞３制?10被用在鍍敷設備中。因此，基板保持器110具有電觸點20，該電觸點20用于接觸通過被第一密封環(huán)18a密封的基板500的邊緣區(qū)域并將電力提供到基板500。電觸點20被電氣連接到外部電源，且基板500被夾持在可動支撐構件11和固定支撐構件15之間。第一密封環(huán)18a和第二密封環(huán)18b由密封環(huán)保持19保持。為了簡明而要，第一密封環(huán)18a和第二密封環(huán)18b可以被籠統(tǒng)地認為是密封環(huán)18。

為了將基板500從基板保持器110移去，可動支撐構件11被移動遠離固定支撐構件13。此時，第一密封環(huán)18a可以和基板500緊固在一起，基板500可能被附著到可動支撐構件11并同可動支撐構件11一起升起。為了防止基板500被附著到可動支撐構件11，優(yōu)選地，可動支撐構件11具有剝落彈簧，用于當基板500被移動遠離第一密封環(huán)18a時將基板500朝向固定支撐構件15偏置，并將基板500從第一密封環(huán)18a剝落。剝落彈簧被專利號為No4162440的日本專利公開。

然而，即使可動支撐構件11具有彈簧構件，根據(jù)被施加到基板500的保護層的性質和特性，例如材料和厚度，因為在可動支撐構件11被移除時密封環(huán)18a和基板500被緊固在一起，基板500可以從基板放置區(qū)域14被位置偏移。特別地，基板500的邊緣的一部分可以被緊固到第一密封環(huán)18a，基板500可以被傾斜地升起并落入固定支撐構件15的未對齊位置。

如后所描述，當基板保持器打開和閉合機構102的傳感器1140檢測到基板500的位置未對齊時，通過阻止鍍敷設備繼續(xù)對偏移的基板500的操作來解決了這個問題。

圖13是顯示基板保持器打開和閉合機構102的結構的示意性視圖。如圖13所示，基板保持器打開和閉合機構102包括頭部分1100、第一致動器1200和第二致動器1300。

被放置在臺120上方的頭部分1100能夠保持被放置在臺120上的基板保持器110的可動支撐構件11。頭部分1100能夠旋轉可動支撐構件11的支撐構件12以旋轉突出部13，用于將可動支撐構件11緊固到固定支撐構件15或從固定支撐構件15釋放可動支撐構件11，并保持可動支撐構件11，。

第一致動器1200通過頭部分1100的連接凸起1170被連接到頭部分1100。當操作時，第一致動器1200豎直地移動頭部分1100。在本實施例中，第一致動器1200具有致動器單元1210和軸1220，該軸1220具有連接到頭部分1100的端部。隨著軸1220被延伸和縮短，第一致動器1200豎直地移動頭部分1100。

第二致動器1300具有單軸移動的致動器單元1310和固定到致動器單元1310的移動板1320的軸鉤1330。通過用于使軸1130在被推動時能夠滑動的輥軸1350，兩個輥1340在該兩個輥1340之間相互間隔的位置上被旋轉地安裝到軸鉤1330。當?shù)诙聞悠?300被運作時，軸鉤1330被水平地往復移動，以推動從頭部分1100延伸的軸1130，以旋轉頭部分1100的旋轉板1150。第二致動器1300可以包含球形螺釘。

圖14A和14B顯示頭部分1100的結構上的詳情。如圖14A和14B，頭部分1100包括按壓片1110和被安裝在按壓片1100的旋轉板1150。按壓片1110包括吊鉤1111、旋轉板引導1112、引導輥1113和按壓塊1114。傳感器1140被沿著它的外周以一定間隔被穩(wěn)固地支撐在按壓片1110上。

旋轉板1150具有緊固鉤1151并被連接到軸1130的端部。旋轉板1150為大致的圓環(huán)狀并被按壓片圓盤1110上的旋轉板引導1112夾持。旋轉板1150能夠圍繞其中心軸線在大致水平平面中旋轉并與引導輥1113接合。

軸1130例如包括桿。當?shù)诙聞悠?300運轉以水平地移動軸鉤1330時，軸1130也被水平地移動，旋轉板1150被旋轉。具體地，旋轉板1150的旋轉能夠通過控制第二致動器1300的運轉來控制。用于檢測軸1130的位置的傳感器1131被安裝到按壓片1110上。

當旋轉板1150圍繞其中心軸線旋轉時，旋轉板1150旋轉支撐構件12和突出部13。在本實施例中，兩個緊固鉤1151在各自的兩個周向位置從旋轉板1150向下延伸。當旋轉板1150通過第二致動器1300被旋轉時，緊固鉤1151中一個推動支撐構件12的突起12a，旋轉支撐構件12。

按壓塊1114被安裝在按壓片1110的底面上。當?shù)谝恢聞悠?120降低頭部分1100時，例如，按壓塊1114在圖12中的點P與可動支撐構件11接觸，向下按壓可動支撐構件11。當可動支撐構件11被這樣按壓時，密封環(huán)18變形，且變形距離為可動支撐構件11被向下按壓的距離。隨著可動支撐構件11被下降,在突出部13和夾持器16之間產生了空隙。因此，施加以旋轉支撐構件12的力，即，通過第二致動器1300產生的驅動力可以較小，以使得夾持器16和突出部13上的磨損最小化。

按壓塊1114向下按壓可動支撐構件11的距離通過頭部分1100被下降到的位置確定。如果基板保持器110具有不同的厚度，則密封環(huán)18被變形或被壓縮的距離會不同。具體地，如果基板保持器110比正常厚度薄，則因為密封環(huán)18沒有被充分地壓縮，支撐構件12在旋轉時易于被更多地磨損。如果基板保持器110比正常厚度厚，則密封環(huán)18被過度地壓縮和破壞，相反地，密封環(huán)18的密封能力就會被影響。

如圖15所示，上述問題能夠通過使用具有彈性構件30的活塞解決，該彈性構件30例如為如每個按壓塊1114一樣被設置在活塞內部的彈簧?；钊€容納保持抵靠彈性構件30并且突出活塞之外的銷31。具有彈力的彈性構件30被預先壓縮一定程度并被容納在活塞中，以便彈性構件30常態(tài)地偏置銷31，以使銷31從活塞中伸出并與基板保持器110接觸。按壓塊1114因此被構造成能夠減小密封環(huán)18因為各個基板保持器110的幾何特性導致的距離上的差別。因此，可以容許基板保持器110具有厚度差別，穩(wěn)定地減小產生在基板保持器110被打開和關閉時在元件之間的摩擦力，并且穩(wěn)定了密封環(huán)18的密封能力。

按壓片1110在其外邊緣具有多個吊鉤1111。當可動支撐構件11的突出部13被旋轉到多個吊鉤1111的各個吊掛件的正上方的位置時，頭部分1100被升起?？蓜又螛嫾?1的突出部13現(xiàn)在通過吊鉤1111被吊掛，以使可動支撐構件11隨著頭部分1100同步上升。此時，在可動支撐構件11和固定支撐構件15之間產生空隙，允許基板500被放置在固定支撐構件15上或被從固定支撐構件15上移除。

如上所述，可動支撐構件11的支撐構件12被旋轉以將可動支撐構件11緊固到固定支撐構件15，可動支撐構件11通過分離致動器被抬升和下降，每個步驟通過頭部分1100在單個動作中運行。因此，在此不需要傳統(tǒng)鍍敷設備所需要的復雜的往復和旋轉機構，鍍敷設備的尺寸較小并且結構簡單，制造成本低。包括通過鉸鏈被彼此連接的移動支撐構件11和固定支撐構件15的傳統(tǒng)的基板保持器，其需要用于抬升可動支撐構件11到低于臺的位置的機構。根據(jù)本發(fā)明的基板保持器110不需要專門的致動器用于打開和關閉基板保持器110。

傳感器1140被安裝在按壓片110的外周邊緣，傳感器1140作為用于檢測被放置在臺120上的基板保持器110中的基板500的位置的位置檢測器。以下將參考圖16A和16B描述檢測基板500的位置的過程。

如圖16A和16B，基板保持器打開和關閉機構102的每個傳感器1140被放置在基板保持器110的上方。傳感器1140可以是例如激光傳感器，但并不局限于此?；灞３制鞔蜷_和關閉機構102的至少一個傳感器1140能夠精確地檢測基板500的位置不對齊。基板保持器110的固定支撐構件15具有被限定在固定支撐構件15的外周邊緣的凹部17，凹部17與傳感器1140施加激光束的位置對齊。例如，如圖17所示，基板保持器打開和關閉機構102具有三個傳感器1140，固定支撐構件15在基板安置區(qū)域14的外周邊緣具有三個凹部17。優(yōu)選地，每個凹部17具有傾斜的底面，該底面與來自傳感器1140的激光束的軸線基本垂直，并允許鍍敷溶液流出凹部17，以便在傳感器1140和凹部17的傾斜底面之間保持有恒定距離。

傳感器1140測量到對象的距離，并確定測得的距離是否在預先確定的范圍中。例如，如果被設置在與凹部17的傾斜底面相隔距離A的特定高度處的傳感器1140，如圖16A所示，傳感器1140檢測距離A作為到傾斜底面的距離，然后，判斷出傳感器1140檢測到了到傾斜底面的正確距離，而不是到固定支撐構件15上的基板500的距離。因此，發(fā)現(xiàn)基板500不是位于傳感器1140和傾斜底面，即凹部17，之間。

另一方面，如果所述傳感器1140檢測到小于距離A的距離W₁，如圖16B所示，則判斷出傳感器1140測量到了到基板500的距離，并且基板500處于的位置不對齊。

如果距離多個凹部17的傾斜底面的正確距離是由對應的傳感器1140檢測出的，則發(fā)現(xiàn)基板500在任何凹處17的方向上的位置沒有出現(xiàn)不對齊。因此基板500的位置不對齊能夠被更精確地檢測。

可以通過調節(jié)傳感器1140與基板500法線的傾斜度R和距離A和來設定用于確定基板500的位置不對齊的閾值D為適當?shù)闹怠?yōu)選地，閾值D應當處于05毫米到15毫米的范圍內。

當基板500沒有位于傳感器1140和凹部17之間的位置時，基板500可能不位于固定支撐構件15上。例如，基板500可能附著在可動支撐構件11，并可能同可動支撐構件11一起被抬升。為了防止這個情況發(fā)生，如圖18A和18B所示，傳感器1140可以隨著頭部分1100上升，并可以再次測量從傳感器1140之前測量到凹部17的傾斜底面的距離時所處的高度到凹部17的傾斜底面的距離。

具體地，如圖18A所示，當傳感器1140從傳感器1140之前測量到凹部17的傾斜底面的距離時所處的高度上升高度H，傳感器1140與基板500間隔距離W₂。

如果傳感器1140測量距離基板500的距離W₂，則判斷出傳感器1140已測量了到基板500的正確距離，并發(fā)現(xiàn)基板500被放置在固定支撐構件15上。

如圖18B所示，另一方面，如果傳感器1140測量小于距離W₂的距離B，則判斷出傳感器1140已測量到凹部17的傾斜底面的距離，并發(fā)現(xiàn)基板500不位于固定支撐構件15上。

以下將參照圖19到22描述用于將基板500放置在基板保持器110內和將基板500從基板保持器110移除的基板保持器打開和關閉機構102的運轉順序。

圖19是顯示通過基板保持器運送器140被水平地放置在臺120上的基板保持器110的立體圖。在該狀態(tài)下，通過連接凸起1170被連接到第一致動器1200的頭部分1100被與基板保持器110向上地間隔。軸1130從頭部分1100延伸到第二致動器1300上方的位置?；灞３制?10沒有保持基板500，可動支撐構件11通過突出部13被暫時地緊固到固定支撐構件15，該突出部13與夾持器16輕微地接合保持。

然后，頭部分1100通過第一致動器1200被降低，從而使軸1130位于兩個輥1340之間的位置。

其后，如圖20所示，第二致動器1300被運轉以將可動支撐構件11從固定支撐構件15釋放，即，從夾持器16釋放突出部13。如圖20所示，軸鉤1330在由箭頭X'指示出的方向上通過第二致動器1300被移動，將旋轉板1150反時針方向轉動。因此，如上所述，緊固鉤1151中的一個推動支撐構件12的突起12a，將突出部13移動到吊鉤1111。

在箭頭X，X'所示的方向上，第二致動器1300移動到其初始位置，以將軸鉤1330從圖20所示的位置返回到其中間位置。然后，第一致動器1200被運轉以提升頭部分1100，提升可動支撐構件11。如圖21所示，基板自動運送器180將基板500放置在固定支撐構件15的基板放置區(qū)域14。

然后，第一致動器1200被運轉以將頭部分1100從圖21所示的位置降低。如上所述，當位于按壓片1110的下表面上的按壓塊1114按壓可動支撐構件11時，因為按壓塊1114各自在其中包括彈性構件30，彈性構件30能夠減小密封環(huán)18因為基板保持器110的不同厚度而被壓縮的距離上的差別。

當?shù)谝恢聞悠?200降低頭部分1100并且第二致動器1300在箭頭X指示的方向上從圖21所示的位置移動軸鉤1330時，軸鉤1330在箭頭X指示的方向上推動軸1130，順時針方向轉動旋轉板1150，如圖22所示。緊固鉤1151推動支撐構件12的突起12a，該突起12a也順時針轉動。突出部13現(xiàn)在與夾持器16適配接合。移動支撐構件11現(xiàn)在被固定到固定支撐構件15，以將基板500夾持在移動支撐構件11和固定支撐構件15之間。

圖22顯示被保持為彼此適配接合的突出部13和夾持器16，基板500被夾持在移動支撐構件11和固定支撐構件15之間。如果移動支撐構件11將被暫時地緊固到固定支撐構件15，而基板500沒有被夾緊在移動支撐構件11和固定支撐構件15之間，軸鉤1330可能被停止在比圖22所示的位置稍微靠前的位置上。

如圖22所示，在突出部13和夾持器16被保持為相互適配接合時，第二致動器1300移動到其初始位置，以將軸鉤1330在箭頭X，X'指示的方向上返回到其中間位置。保持基板500的基板保持器110然后由基板保持器運送器140運送到基板500將被處理的鍍敷部130。

在基板500被處理后，保持已被處理的基板500的基板保持器110被放置在臺120上，并且基板500通過基板保持器打開和關閉機構102和基板自動運送器180被從基板保持器110移除。為了將基板500從基板保持器110移除，將固定支撐構件15從移動支撐構件11分離的過程通過第一致動器1200第二致動器1300以與上述方法相同的方式進行。圖21也顯示了在保持已被處理基板500的基板保持器110被放置在臺120上后，頭部分1100抬升的可動支撐構件11。如果基板500被緊固到第一密封環(huán)18a并被第一密封環(huán)18a抬起，然后落入固定支撐構件15上的不對齊位置，或如果基板500繼續(xù)附著在可動支撐構件11，則當傳感器1140如上所述測量到固定支撐構件15和到基板500的距離時，這樣的問題被位于頭部分1100上的傳感器1140檢測。

如上所述，因為基板保持器打開和關閉機構102以簡單的組件組合而成，其尺寸相對較小，并且成本較低。因為本實施例中的基板保持器打開和關閉機構102包括位于可豎直移動的頭部分1100上的傳感器1140，該傳感器1140用于檢測基板500的位置不對齊，基板保持器打開和關閉機構102能夠比現(xiàn)有的設備更精確地檢測基板500的位置不對齊，而無論基板500和基板保持器110是否變形以及基板500上是否有水滴。另外，因為用于按壓基板保持器1100的按壓塊1114分別在其中包括各自的彈性構件30，彈性構件30能夠減小密封環(huán)18因為基板保持器110的不同厚度而被壓縮的距離上的差別，并穩(wěn)定密封環(huán)18相對于基板500的密封能力。

在這本實施例中，第二致動器1300被沿著臺120設置。然而，因為第二致動器1300起到相對于按壓片1110旋轉旋轉板1150的作用，第二致動器1300可以被安裝在按壓片1110上，用于旋轉旋轉板1150的。在本實施例中，分別包括彈性構件30的按壓塊114減小密封環(huán)18因為基板保持器110的不同厚度而被壓縮的距離上的差別。然而，用于豎直地移動頭部分1100的第一致動器1200可以包含具有扭矩監(jiān)測能力的伺服電機，可以控制伺服電機以控制頭部分1100的下降，以使得壓縮密封環(huán)18的力為恒定。以此方法，密封環(huán)18被壓縮的距離可以為恒定，而不論基板保持器110的不同厚度。本實施例中的貨車型貯藏部150(參見圖1和2)適用于存儲每個在豎直平面內延伸的基板保持器110。貨車型貯藏部150能夠存儲至少與鍍敷部130中的鍍敷槽130f中的隔室的數(shù)目相同的基板保持器110。優(yōu)選地，貨車型貯藏部150應該存儲額外的一組基板保持器110，作為被發(fā)現(xiàn)因為電力饋送故障等而出現(xiàn)問題的基板保持器110的備用。

貨車型貯藏部150位于貯藏部安裝部分160。如圖1所示，貯藏部安裝部分160設置為靠近鍍敷設備的后表面，在鍍敷設備的前表面上具有裝載口170。貯藏部安裝部分160和貨車型貯藏部150可以被放置在其他位置，例如，在臺120和鍍敷部130之間。然而，臺120、鍍敷部130和貯藏部安裝部分160應當被以如圖1的順序依次排列，以提高效率，因為這樣的布局可以在每單位時間里產生較高的吞吐量。具體地,當鍍敷設備在連續(xù)運轉中，在基板保持器110運送已經在鍍敷部130處理過的基板500后，基板保持器110接收下一個待處理基板500。因此，除非基板保持器110遇到例如電力饋送故障等問題時，貨車型貯藏部150中的相應隔室變空，并會導致用于基板保持器110從空的貨車型貯藏部150上方經過的運送時間損耗。換句話說，當鍍敷設備處于連續(xù)運轉時，基板保持器110不會被向右運送超出圖1中的X表示的點。

如果貨車型貯藏部150和貯藏部安裝部分160設置在臺120和鍍敷部130之間，面對圖1的觀察者的鍍敷設備的側壁需要具有開口，并且貨車型貯藏部150必須通過該開口被放入貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160中取出。然而，鍍敷設備通常與鄰近的設備間隔開大約1米，提供了有限空間，其中操作者將貨車型貯藏部150放進貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160中取出，并繼續(xù)在貨車型貯藏部150上工作。很難制造在這樣的有限空間里可移動且能存儲多個基板保持器的貨車型貯藏部。根據(jù)本實施例，貯藏部安裝部分160被設置在靠近鍍敷設備的后表面，因為在鍍敷設備的后表面后面具有較大的空間，可以自由地接近貯藏部安裝部分160。

接著，以下將描述貨車型貯藏部150的結構上的細節(jié)。當鍍敷設備斷電時，即，當沒有基板500被處理時，貨車型貯藏部150在其中存儲所有的基板保持器110。當鍍敷設備處于工作中時，即，當基板500被處理時，必需的基板保持器110被從貨車型貯藏部150中取出，并且沒有被使用的基板保持器110或者遇到例如電力饋送故障等問題的基板保持器110被儲存在貨車型貯藏部150中。

圖23是顯示貨車型貯藏部150的結構的示意性視圖。如圖23所示，貨車型貯藏部150包括作為用于移動貨車型貯藏部150的多個腳輪151、用于支撐基板保持器110的吊架112以吊起基板保持器110的多個吊架接收器152、和用于防止通過吊架接收器152吊起的基板保持器110搖晃的基板保持器搖晃防止構件153。貨車型貯藏部150包括例如鎖銷等的用于將貨車型貯藏部150鎖在貯藏部安裝部分160中的一對貯藏部鎖159、框架155、豎直輥156、水平輥157、排水盤158和手柄154。這些部件的細節(jié)將在下文中描述。貨車型貯藏部150具有限定在框架155內的基板保持器存儲區(qū)，作為用于在其中儲存多個基板保持器110的空間。

因為貨車型貯藏部150具有作為移動機構的腳輪151，貨車型貯藏部150能夠被移進貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160移出，即，移進鍍敷設備和從鍍敷設備移出。在這本實施例中，腳輪151被用作移動機構。然而，貨車型貯藏部150可以具有另一個移動機構以代替腳輪151。例如，可以設置軌道以滑動地將貨車型貯藏部150引導進貯藏部安裝部分160或者從貯藏部安裝部分160移出。因為貨車型貯藏部150能夠從鍍敷設備內的貯藏部安裝部分160拉出，基板保持器110能夠被放入位于鍍敷設備外的貨車型貯藏部150并從該貨車型貯藏部150取出，操作者的負擔相比于基板保持器110被手動地或通過位于鍍敷設備內的升降機被放入貨車型貯藏部150和從貨車型貯藏部150中取出。

因為貨車型貯藏部150由于腳輪151而可以移動，貨車型貯藏部150能夠被完全地從鍍敷設備分離。從吊鉤接收器152懸掛的基板保持器110能夠經由凹陷155a從貨車型貯藏部150容易地被取出，基板保持器110能夠被容易地引導進貨車型貯藏部150并經由凹陷155a從吊鉤接收器152懸掛。凹陷155a使基板保持器110能夠被容易地經由凹陷凹處放進和取出貨車型貯藏部150，不需要將貨車型貯藏部150臺升出基板保持器110。圖24是顯示另一個貨車型貯藏部150的結構的立體圖。如圖24所示，貨車型貯藏部150的框架155具有被限定在框架155的側壁的凹陷155a。從吊鉤接收器152懸掛的基板保持器110能夠經由凹陷155a從貨車型貯藏部150容易地被取出，基板保持器110能夠被容易地引導進貨車型貯藏部150并經由凹陷155a從吊鉤接收器152懸掛。凹陷155a使基板保持器110能夠被容易地經由凹陷155a放進和取出貨車型貯藏部150，不需要將貨車型貯藏部150臺升出基板保持器110。

圖25是位于鍍敷設備中的貯藏部安裝部分160和貨車型貯藏部150的示意性側視圖。圖26是位于鍍敷設備中的貯藏部安裝部分160和貨車型貯藏部150的示意性后視圖。

優(yōu)選地，貯藏部安裝部分160被放置在基板保持器運送器140的運送軸101的延伸方向上接近鍍敷設備的后表面的位置上，因為基板保持器110不經過空的貨車型貯藏部150的上方并且應答時間被減小，不會有運送時間的損耗。例如，如圖1和2所示，貯藏部安裝部分160可以被設置在臺120和溶解槽130h之間，而不是接近鍍敷設備的后表面。然而，當貨車型貯藏部150被從位于臺120和溶解槽130h之間的貯藏部安裝部分160拉出時，貨車型貯藏部150被放置在鍍敷設備的側部。因為在鍍敷設備的側部的空間被鄰近的設備限制，從而不能使貨車型貯藏部150可以被自由觸碰，貯藏部安裝部分160希望被設置在接近鍍敷設備的后表面的位置。

如圖25和26所示，貯藏部安裝部分160包括門161，經由該門161貨車型貯藏部150被放入貯藏部安裝部分160和貯藏部安裝部分160取出，該門161被設置在被限定在鍍敷設備的后表面的開口中，閘板162作為打開和關閉裝置，用于在門161打開時將可使周圍空氣流入鍍敷設備的空隙最小化。在本實施例中，門161包括和閘板162一起工作的鎖定機構。當閘板162打開時，鎖定機構將門161鎖在關閉位置。

本實施例中的鎖定機構包括用于鎖住閘板162的閘板開關165a和用于鎖住門161的門開關165b。閘板開關165a和門開關165b被設置在貯藏部安裝部分160。每個閘板開關165a和門開關165b優(yōu)選地為致動器組合開關。當被安裝在閘板162或門161上的致動器被插入閘板開關165a或門開關165b中時，閘板開關165a或門開關165b檢測閘板162或門161被關閉，閘板開關165a或門開關165b鎖住致動器防止其被移除。當解鎖信號被傳送給閘板開關165a或門開關165b時，閘板開關165a或者門開關165b將致動器解鎖。當閘板開關165a鎖住了致動器時，閘板162不能被打開，當門開關165b鎖住致動器時，門162不能被打開。閘板開關165a和門開關165b彼此協(xié)同工作，從而門開關165b不能被解鎖，除非閘板開關165a被鎖住，并且閘板開關165a不能解鎖，除非門開關165b被鎖住。因此，只要閘板開關165a和門開關165b中的一個打開，另一個必須被關閉，以使流入諸如鍍敷部130和基板保持器運送器140的區(qū)域的環(huán)境空氣最小化。

閘板開關165a中和門開關165b中的每一個可以包含電磁控制的安全開關。鍍敷設備的后面板可以被用作貨車型貯藏部150的并與貨車型貯藏部150一體的門，而不用貯藏部安裝部分160的門。閘板162包括樞軸旋轉的閘板，為了節(jié)省空間，該閘板通過閘板旋轉機構162a在打開位置和關閉位置之間能夠角度移動。貯藏部安裝部分160通過閘板開關165a檢測閘板162何時被打開或關閉。

在本實施例中,貯藏部鎖或貯藏部鎖銷159中的每個包括用于牢固地將貨車型貯藏部150固定到貯藏部安裝部分160的鎖銷手柄159a。當貨車型貯藏部150處于貯藏部安裝部分160中時，貯藏部鎖或貯藏部鎖銷159將貨車型貯藏部150不可移動地保持在貯藏部安裝部分160中。由橡膠等制成的彈性塊167被安裝在貨車型貯藏部150的一端，當貨車型貯藏部150移動進入貯藏部安裝部分160時，該端作為前端，或在貨車型貯藏部150進入貯藏部安裝部分160時貯藏部安裝部分160抵靠貨車型貯藏部150的后表面上。彈性塊167起到當貨車型貯藏部150和貯藏部安裝部分160的后表面彼此接觸時減小沖擊的作用。當貨車型貯藏部150被引導進貯藏部安裝部分160時，操作者推動貨車型貯藏部150進入貯藏部安裝部分160，直到貨車型貯藏部150擠壓彈性塊167，然后使用貯藏部鎖或貯藏部鎖銷159將貨車型貯藏部150緊固在貯藏部安裝部分160中的位置上。

在本實施例中,貯藏部安裝部分160具有設置在貯藏部安裝部分160中的水平導向板163，用于在貨車型貯藏部150被放入貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160中取出時調節(jié)貨車型貯藏部150的位置和高度。圖27是設置在貯藏部安裝部分160中的導向板163和位于貨車型貯藏部150上的豎直輥156和水平輥157的平面圖。圖28是被設置在貯藏部安裝部分160中的導向板163和位于貨車型貯藏部150上的豎直輥156和水平輥157的側視圖。

如圖27和28,貨車型貯藏部150包括位于腳輪150旁的豎直輥156，貯藏部安裝部分160包括導向板163。當貨車型貯藏部150被推進貯藏部安裝部分160中時，豎直輥156位于導向板163上。在這時候，腳輪151被抬離地板。

各個鍍敷設備通常具有不同的距離地板的高度。如果貯藏部安裝部分160沒有導向板，當貨車型貯藏部150被推入貯藏部安裝部分160時，腳輪151保持與地板的接觸，然后貨車型貯藏部150可以相對不同的鍍敷設備不能被適當?shù)刎Q直定位。已經相對一個鍍敷設備被豎直調整的貨車型貯藏部150，可能不能相對于另一個鍍敷設備適當?shù)刎Q直定位。這樣的缺點能夠通過導向板163而被避免，該導向板163被豎直定位且被作為在不同鍍敷設備中的部件的公共高度的參照。因為貨車型貯藏部150被支撐在導向板163上，當貨車型貯藏部150處于貯藏部安裝部分160中時，貨車型貯藏部150可以被不同的鍍敷設備公用。除非另有說明，多個貨車型貯藏部150可以被用在一個鍍敷設備中。

為了順暢地將貨車型貯藏部150放進貯藏部安裝部分160，在本實施例中，導向板163具有中心垂直導軌163a，在貨車型貯藏部150移動進入貯藏部安裝部分160時，位于貨車型貯藏部150上的水平輥157被保持為與導軌163a的側面滾動接觸。當水平輥157被保持為與導軌163a的側面滾動接觸時，水平輥限制腳輪151的側向移動，從而調節(jié)腳輪151的位置。

在這本實施例中，導向板163的上表面具有斜坡163b，該斜坡163b靠近上表面的前端，用于允許豎直輥156順暢地滾動到導向板163上。導軌163a具有一對斜坡163c，該對斜坡163c位于其相反側面上且靠近其前端，用于允許水平輥157順暢地滾動到導軌163a上。導軌163a可以具有寬度，該寬度在遠離斜坡163c的方向上逐漸地變大，以逐漸地減小水平輥157和導軌163a之間的空隙。水平輥157被順暢地移動并與導軌163a滾動接觸，將貨車型貯藏部150調節(jié)到貯藏部安裝部分160中更精確的位置。

除了貨車式貯藏部150上的豎直輥156，球形腳輪可以被安裝在導向板163上，并且當貨車式貯藏部150被推進貯藏部安裝部分160時，貨車式貯藏部150可以在導向板163上的球形腳輪上移動。貨車式貯藏部150可以具有輥，并且貯藏部安裝部分160可以具有用于調節(jié)貨車式貯藏部150在貯藏部安裝部分160中的位置的引導。

在本實施例中，支撐柱164被安裝在導向板163的下表面，用于承擔貨車式貯藏部150的重量。支撐柱164具有調節(jié)高度的功能。整個鍍敷設備的距離地板的高度通過位于鍍敷設備的下表面上的調節(jié)器168(參見圖25)調節(jié)。在圖25中，導向板163具有固定到鍍敷設備的左端，并且通過支撐柱164的高度調節(jié)功能被調節(jié)為與地板平行。

貯藏部安裝部分160可以具有貯藏部檢測器，該貯藏部檢測器沒有顯示，諸如紅外線傳感器或照相機，用于確定貨車式貯藏部150是否位于貯藏部安裝部分160中和貨車式貯藏部150是否被緊固在貯藏部安裝部分160中的適當位置。貯藏部安裝部分160還可以具有指示部，諸如燈泡等，用于向操作者指示貨車式貯藏部150是否位于貯藏部安裝部分160中。

除非貯藏部檢測器檢測到貨車式貯藏部150被緊固在貯藏部安裝部分160中的適當位置，并且除非門開關165b將門161鎖住，解鎖信號不會被發(fā)送到正鎖住閘板162的閘板開關165a，即閘板162保持關閉。這樣能夠防止基板保持器110在貨車式貯藏部150被安裝在貯藏部安裝部分160中的錯誤位置時導致的運送問題，或防止外界空氣被引入鍍敷部130和基板保持器運送器140的亂流。

如圖29A到29C所示，鎖銷手柄159a被安裝在貨車式貯藏部150面對門161的側壁上。貯藏部安裝部分160具有用于分別接收鎖銷手柄159a的鎖銷接收器159b。鎖銷手柄159a和鎖銷接收器159b聯(lián)結組成鎖銷或貯藏部鎖159，用于將貨車式貯藏部150鎖在貯藏部安裝部分160中。門161在該門161面對貨車式貯藏部150的表面上具有鎖銷引導169，鎖銷引導169用于引導各自的鎖銷手柄159a。

圖29A是顯示貨車式貯藏部150上的鎖銷手柄和貯藏部安裝部分160的門161的鎖銷引導169之間關系的示意圖；圖29B是顯示鎖銷引導169被安裝在其上的門161的表面和鎖銷手柄159a的關系的側視圖；和圖29C是安裝有鎖銷引導169的門161的側視圖。

當鎖銷手柄159a與鎖銷接收器159b接合時，貨車式貯藏部150被鎖在貯藏部安裝部分160中的適當位置。當鎖銷手柄159a通過鎖銷接收器159b在來自被擠壓的彈性塊的反作用力下，鎖銷手柄159a與鎖銷接收器159接合。

鎖銷引導169被設置在門161的內表面上，當貨車式貯藏部150被放置在貯藏部安裝部分160中時，該內表面面對貨車式貯藏部150。如圖29C所示，鎖銷引導169的形式是從門161突出的支架形式并基本水平地延伸，其形狀能夠將鎖銷手柄159a保持在其當中。為了將貨車式貯藏部150安裝在貯藏部安裝部分160中并且關閉門161，鎖銷手柄159a必需被定位為大致水平，以便鎖銷手柄159a被保持在鎖銷引導169之間。

為了將鎖銷手柄159a定位為大致水平，貨車式貯藏部150需要被推進貯藏部安裝部160中的的預定位置。當貨車式貯藏部150位于貯藏部安裝部分160中的預定位置時，貨車式貯藏部150通過由鎖銷手柄159a和鎖銷接收器159b組成的鎖銷159被鎖在貯藏部安裝部分160中。除非鎖銷手柄159a被定位成大致水平，鎖銷手柄159a和鎖銷接收器159b相互干涉，并防止門161被關閉。因此，門161不能被關閉，除非貨車式貯藏部150被推進貯藏部安裝部分160中的預定位置。

用這樣的方式，貨車式貯藏部150必需被安裝和鎖在貯藏部安裝部分160中的預定位置中。貨車式貯藏部150可以具有開關和致動器，該開關和致動器沒有顯示，該開關用于檢測鎖銷手柄159a與鎖銷接收器159在適當位置接合的時候，該致動器用于緊固鎖銷手柄159a防止不適當?shù)囊苿印?/p>

如圖23、25和26所示，排水盤158被設置在貨車式貯藏部150的較低部分上或貨車式貯藏部150的底部。如圖25所示，開口166被限定在貯藏部安裝部分160的上方，通過基板保持器運送器140保持的基板保持器110經過開口166進入和離開貯藏部安裝部分160。開口166被設置成小于貨車式貯藏部150中的排水盤158。相應地，閘板162打開時，液滴通過開口166墜落，液滴通過排水盤158被接收在貨車式貯藏部150中而不是墜落在地板上并弄臟地板。

貯藏部安裝部分160可以具有足夠大的尺寸，以將貨車式貯藏部150放置在其中。然而，優(yōu)選地，當貨車式貯藏部150被放入貯藏部安裝部分160中時，貨車式貯藏部150和貯藏部安裝部分160之間不應具有較大的空間，以防止當閘板162打開時，過多的外界空氣進入鍍敷部130。無論貨車式貯藏部150是否被放置在貯藏部安裝部分中，為了將讓外界空氣進入鍍敷設備的開口的面積的變化最小化并防止內部氣體和液滴從鍍敷設備排出，隔離物可以設置在貨車式貯藏部150的周圍，隔離物沒有在圖中顯示。

根據(jù)本實施例的鍍敷設備，即使當鍍敷設備正在操作中，貨車式貯藏部150能夠被從鍍敷設備中拉出，即，鍍敷設備的外面板的外側，而不需要中斷鍍敷設備的操作。因此，貨車式貯藏部150能夠被從鍍敷設備中取出，并且基板保持器110能夠被維護而不會降低鍍敷設備的可操作性。當鍍敷設備正在運轉中，為了將貨車式貯藏部150放入或離開鍍敷設備，需要考慮鍍敷設備的操作安全性，并盡量使因為觸碰貨車式貯藏部150而導致的干擾鍍敷設備的氣流最小化。若要在鍍敷設備未運轉時觸碰貨車式貯藏部150，以上用于鍍敷設備的操作安全和最小化干擾氣流的要求應當被符合，若要在鍍敷設備運轉時觸碰貨車式貯藏部150，以上要求要被更精確地滿足。

當基板保持器運送器140將基板保持器110放入到貨車式貯藏部150中或將基板保持器110從貨車式貯藏部150移除時，優(yōu)選地，應當控制鍍敷設備以鎖住貨車式貯藏部150，使其不能從鍍敷設備中移去。因此，鍍敷設備包括用于掌握和控制基板保持器運送器140的運轉狀態(tài)的基板保持器運送器控制器210(參見圖30)。

圖30是顯示鍍敷設備的控制器200、基板保持器運送器140、貯藏部安裝部分160、貯藏部觸碰指示部250和可觸碰/不觸碰顯示部260之間聯(lián)系的方框圖。如圖30所示，鍍敷設備包括控制器200，該控制器200包括基板保持器運送器控制器210、貯藏部安裝部分控制器220、指示部控制器230和顯示部控制器240。

基板保持器運送器控制器210監(jiān)測和控制基板保持器運送器140，并接收來自被安裝在基板保持器運送器140上的傳感器144的檢測信號(參見圖4A到4C)。貯藏部安裝部分控制器220監(jiān)測和控制貯藏部安裝部分160的各個組件，包括門161、用于鎖住門161的門開關165b、閘板162、和用于鎖住閘板162的閘板開關165a。

指示部控制器230接收來自貯藏部觸碰指示部250的觸碰指示。顯示部控制器240控制可觸碰/不可觸碰顯示部260，基于關于貯藏部安裝部分160是否能夠被觸碰的信息顯示貯藏部安裝部分160可觸碰或貯藏部安裝部分160不可觸碰。

貯藏部觸碰指示部250(以下簡稱“指示部”)向指示部控制器230指示將貨車式貯藏部150從貯藏部安裝部分160取出過程的操作開始和貨車式貯藏部150返回貯藏部安裝部分160的操作的過程的結束，并控制基板保持器運送器控制器210以限制基板保持器運送器140對貯藏部安裝部分160的觸碰。指示部250的形式可以是用于輸入處理指令的可觸面板或設置在靠近鍍敷設備的后表面的專用按鈕。指示部250向指示部控制器230指示貨車式貯藏部150可觸碰，指示部控制器230將指示傳送到基板保持器運送器控制器210?；灞３制鬟\送器控制器210限制通過基板保持器運送器140對貯藏部安裝部分160的觸碰。

當指示部250向指示部控制器230指示即將發(fā)生的對貨車式貯藏部150的觸碰，指示部控制器230發(fā)送該指示到貯藏部安裝部分控制器220。貯藏部安裝部分控制器220基于貯藏部安裝部分160的狀態(tài)和基板保持器運送器140的運轉狀態(tài)，確定對貯藏部安裝部分160的可觸碰性或不可觸碰性，其中基板保持器運送器140的運轉狀態(tài)由基板保持器運送器控制器210掌控?？捎|碰/不可觸碰顯示部260向操作者顯示經確定的可觸碰性或不可觸碰性。

可觸碰/不可觸碰顯示部260可以包括燈泡、GUI屏幕圖像或警報器，以向操作者或設備使用者指示可觸碰或不可觸碰?？捎|碰/不可觸碰顯示部260可以顯示關于貨車式貯藏部150是否被安裝在貯藏部安裝部分160中的信息，以允許操作者容易地確認貯藏部安裝部分160是否可觸碰以及貯藏部安裝部分160的狀態(tài)。

當基板保持器運送器140被操作以將基板保持器110存儲在貨車式貯藏部150中時，對貨車式貯藏部150的觸碰被禁止，貯藏部安裝部分控制器220判斷出貨車式貯藏部150為不可觸碰。當貯藏部安裝部分控制器220判斷貨車式貯藏部150為不可觸碰時，門161被牢固地鎖住，以防止門161被意外地打開。

門161通過由開關165鎖住，開關165由用于鎖住閘板162的閘板開關165a和用于鎖住門161的門開關165b組成。

門161可以包括打開和關閉傳感器，以防止以下這種情況：即盡管閘板162被打開，但由于用于鎖住門161的門開關165發(fā)生故障的某些原因，門161也被打開。該打開和關閉傳感器沒有顯示。還可以包括聯(lián)鎖機構，當門161被打開時，聯(lián)鎖機構可以被用于檢測并基于來自開口和關閉傳感器的信號產生出錯信號。

在本實施例中，被安裝在基板保持器運送器140上的傳感器144(參見圖4A到4C)還被用于檢測存儲在貨車式貯藏部15中的基板保持器110的數(shù)量和位置。當鍍敷設備被啟動和初始化時，傳感器144檢測存儲在貨車式貯藏部150中的基板保持器110的數(shù)量和位置。隨后，根據(jù)用于開始鍍敷處理的指令，基板保持器運送器140將基板保持器110從貨車式貯藏部150中移去。鍍敷設備的控制器200總是掌握哪個基板保持器110已經被從貨車式貯藏部150中取出。因此，在貨車式貯藏部150被從貯藏部安裝部分160移去之前，鍍敷設備的控制器200能夠知道多少基板保持器110被存儲在貨車式貯藏部150中。另外，在貨車式貯藏部150被從貯藏部安裝部分160移去之前，基板保持器110可以被再次檢測和檢查。

然后，貨車式貯藏部150被從鍍敷設備中移去，存儲在貨車式貯藏部150中的基板保持器110被維護，貨車式貯藏部150被放回鍍敷設備中。當貨車式貯藏部150被放回貯藏部安裝部分160時，傳感器144檢測貨車式貯藏部150中的基板保持器110。此時，如果在貨車式貯藏部150被放回到貯藏部安裝部分160之后檢測到的基板保持器110的數(shù)量大于在貨車式貯藏部150被從貯藏部安裝部分160移去之前檢測到的基板保持器110的數(shù)量，傳感器144可以發(fā)送報警信號。因為基板保持器110的數(shù)量增加意味著貨車式貯藏部150將沒有可供鍍敷設備中的基板保持器110被放回的空間，所以傳感器144要發(fā)生報警信號。

當貨車式貯藏部150被從鍍敷設備移去，貯藏在其中的基板保持器110被維護，然后已被維護的基板保持器110被放回到貨車式貯藏部150中，已被維護的基板保持器110可以貯藏在貨車式貯藏部150中與其被移去的原位置不同的位置上。此時，當已被維護的基板保持器110被放回到貨車式貯藏部150時，基板保持器110被如上所述地檢測，基板保持器110在貨車式貯藏部150中的的位置信息被更新。因此，當基板保持器運送器140將基板保持器110放回到貨車式貯藏部150時，如果基板保持器110要被貯藏的位置已經被另一個基板保持器110占據(jù)，傳感器144將檢測到另一個基板保持器110已經占據(jù)了該位置，并產生用于停止基板保持器運送器140將基板保持器110放回的信號。傳感器144不是一定要被安裝在基板保持器運送器140內，而是可以被安裝在能夠檢測被貯藏在貨車式貯藏部150中的基板保持器110的數(shù)量和位置的任何位置上。

為了將貨車式貯藏部150可靠地放入貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160取出，當貨車式貯藏部150被放入貯藏部安裝部分160和從貯藏部安裝部分160中取出時，基板保持器運送器140被防止移動到貯藏部安裝部分160上方的位置?；灞３制鬟\送器140被防止通過例如移動基板保持器運送器140的伺服電機的驅動部而被移動到貯藏部安裝部分160上方的位置。

以下將參考圖31A到31E描述用于將貨車式貯藏部150放入貯藏部安裝部分160和將貨車式貯藏部150從貯藏部安裝部分160移去的操作。圖31A到31E是示意地顯示用于的將貨車式貯藏部150放入貯藏部安裝部分160和將貨車式貯藏部150從貯藏部安裝部分160移去的操作過程的立體圖。

首先，如圖31A所示，貨車型貯藏部150被移動到靠近貯藏部安裝部分160的門161的位置。然后，如圖31B所示，門161打開。當傳感器檢測到正在接近的貨車型貯藏部150時，門161可以被手動地打開或可以被自動地打開。然后，如圖31C所示，貨車型貯藏部150被移入貯藏部安裝部分160的預定位置。如圖31D所示，在門161被關閉后，確認貨車型貯藏部150被放到貯藏部安裝部分160的預定位置。然后，如圖31E所示，在確認貨車型貯藏部150被放入到貯藏部安裝部分160中的預定位置后，門161被關閉，貯藏部安裝部分160中的閘板162被打開。貯藏部安裝部分160可能具有用于指示閘板162被打開并且貨車型貯藏部150可以被進行鍍敷處理的顯示部。

貨車型貯藏部150以如下步驟從貯藏部安裝部分160中移去：

首先，如圖31D所示，確認門161被關閉，然后閘板162被關閉。然后，如圖31C所示，門161被打開。貨車型貯藏部150現(xiàn)在開始從貯藏部安裝部分160中移去。如圖31B所示，貨車型貯藏部150從貯藏部安裝部分160移出，直到貨車型貯藏部150完全地與貯藏部安裝部分160分離。在確認貨車型貯藏部150完全地與貯藏部安裝部分160分離后，門161被關閉，如圖31A所示。

以下將參考附圖32描述當鍍敷設備在運轉時，用于將貨車型貯藏部150放入貯藏部安裝部分160和將貨車型貯藏部150從貯藏部安裝部分160移去的操作。圖32是該操作過程的流程圖，其中連續(xù)的步驟通過標識的參考標號標識，并且之前加有前綴“S”。

當鍍敷設備在正常運轉時，貨車型貯藏部150被放入貯藏部安裝部分160，門161被關閉和鎖住，閘板162被打開(步驟S101)。

當為了對貨車型貯藏部150中的基板保持器110進行維護而必需將貨車型貯藏部150從貯藏部安裝部分160移去時，例如，指示部250發(fā)送將貨車型貯藏部150從貯藏部安裝部分160移出操作開始的指示，指示部控制器230接收來自指示部250的指示(步驟S102)。當指示部控制器230接收來自指示部250的指示時，基板保持器運送器控制器210確認基板保持器運送器140的狀態(tài)。基于被基板保持器運送器210確認的基板保持器140的狀態(tài)，貯藏部安裝部分控制器220確定貨車型貯藏部150是否可觸碰或不可觸碰，例如，基板保持器運送器140是否將基板保持器110從貨車型貯藏部150移去或基板保持器運送器140是否將基板保持器110放進貨車型貯藏部150(步驟S103)。

如果貯藏部安裝部分控制器220判斷貨車型貯藏部150為不可觸碰，顯示部控制器240控制可觸碰/不可觸碰顯示部260以指示貨車型貯藏部150是不可觸碰的(步驟S104)。此時，門161保持鎖定且不能打開。隨后，如果基板保持器運送器140的狀態(tài)不久后被改變，貯藏部安裝部分控制器220判斷貨車型貯藏部150為可觸碰，控制進行到步驟S105

如果貯藏部安裝部分控制器220判斷貨車型貯藏部150為可觸碰，顯示部控制器240控制可觸碰/不可觸碰顯示部260，以顯示貨車型貯藏部150是可觸碰的(步驟S105)。閘板162通過開關165a被關閉和鎖住，門161通過開關165b被釋放，并釋放聯(lián)鎖機構。貯藏部安裝部分控制器220現(xiàn)在允許門161被打開(步驟S106)。

當門161被打開以允許觸碰貨車型貯藏部150時，貯藏部鎖或鎖銷159可以被手動地釋放。貯藏部安裝部分控制器220使用安裝在貯藏部安裝部分160上的傳感器等檢測到貨車型貯藏部150從貯藏部安裝部分160被移去(步驟S107)。

在貨車型貯藏部150被從貯藏部安裝部分160移去后，門161被關閉，貯藏部安裝部分控制器220檢測到門161被關閉(步驟S108)。從貯藏部安裝部分160中被移去的貨車型貯藏部150中的基板保持器110被從貨車型貯藏部150中取出并被維護(步驟S109)。當基板保持器110的維護完成后，門161被打開并將貨車型貯藏部150放回貯藏部安裝部分160。門161的打開通過貯藏部安裝部分控制器220被檢測(步驟S110)。

貨車型貯藏部150被放置在貯藏部安裝部分160中，然后通過貯藏部鎖或鎖銷159被鎖住。通過貯藏部安裝部分控制器220檢測到貨車型貯藏部150在貯藏部安裝部分160中通過貯藏部鎖或鎖銷159被鎖住(步驟S111)。在貨車型貯藏部150被放置在貯藏部安裝部分160中并通過貯藏部鎖或鎖銷159被鎖住后，門161被關閉。門161的關閉通過貯藏部安裝部分控制器220被檢測(步驟S112)。

當指示部250發(fā)送貨車型貯藏部150的安裝完成的指示后，指示部控制器230接收來自指示部250的指示(步驟S113)。貯藏部安裝部分控制器220控制開關165b，以鎖住門161，并且貯藏部安裝部分控制器220控制開關165a以釋放和打開閘板162(步驟S114)。在閘板162在步驟S105中被關閉后，直至步驟S114，閘板162被保持關閉以阻擋外界空氣進入。

在本實施例中，貨車型貯藏部150將基板保持器110貯藏在其中。如果鍍敷設備為執(zhí)行電子鍍敷的鍍敷設備，貨車型貯藏部150可以存儲陽極保持器以在鍍敷槽中使用，或者可以存儲基板保持器110和陽極保持器兩者。在基板保持器110和陽極保持器被存儲在貨車型貯藏部150中的情況下，用于將基板保持器110存儲在貨車型貯藏部150中的基板保持器儲存區(qū)還起到陽極保持器儲存區(qū)的作用。

保持陽極的陽極保持器被放置在鍍敷槽中的鍍敷溶液中。在鍍敷槽中，陽極通過陽極保持器被保持，基板500通過基板保持器110被設置成與陽極相對，陽極和基板500的表面相互平行。當鍍敷電源在陽極和基板500之間提供電流時，從基板保持器110露出的基板500的將要被鍍敷的表面被電子鍍敷。陽極保持器的外形與顯示在圖3中的基板保持器110的外輪廓相似，例如，陽極保持器包括主體、吊架和手柄，陽極保持器把陽極保持在主體上。通過陽極保持器保持的陽極被電連接到位于吊架上的電源饋送觸點，該連接方法與圖3所示的大致相同。

陽極保持器以如下方法被放置在貨車型貯藏部中：首先，陽極保持器被從鍍敷槽中向上拉出。陽極保持器通常的具有陽極后部，用于防止陽極殘渣擴散。因此，當陽極保持器被從鍍敷槽向上拉出后，在短時間內，鍍敷溶液仍繼續(xù)從陽極后部滴下。在鍍敷溶液液滴開始以足夠長的間隔滴落，陽極保持器在沖洗槽中被沖洗。當大部分沖洗水被從陽極保持器去除時，陽極保持器被放回到貨車型貯藏部150中。因為即使在陽極保持器被貯藏在貨車型貯藏部150中后鍍敷溶液仍然繼續(xù)從陽極保持器滴落，位于貨車型貯藏部150的下部分或底部的排水盤158接收和保持滴落的鍍敷溶液。

存儲有陽極保持器的貨車型貯藏部150具有與存儲有基板保持器110的貨車型貯藏部150相同的優(yōu)點。具體來說，因為貨車型貯藏部150能夠被從鍍敷設備中拉出，以及陽極保持器能夠被放入在鍍敷設備外的貨車型貯藏部和從在鍍敷設備外的貨車型貯藏部取出，與如果陽極保持器是通過在鍍敷設備中的升降機人工地放入貨車型貯藏部和從貨車型貯藏部拿出相比，操作者的負擔較小。

在本實施例中，貨車型貯藏部150被用作貯藏部。也可以使用被構造成沿著軌道移進貯藏部安裝部分和從貯藏部安裝部分移出的貯藏部，而不使用貨車型貯藏部150。

雖然已經詳細描述了本發(fā)明的某些優(yōu)選實施例，本發(fā)明不局限于上述實施例，并且應該理解的是可以在不脫離附加的權利要求的范圍里在其中做出各種變化和修改。