1.一種超純氫的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）預(yù)熱：將軟化水罐中的軟化水進(jìn)行預(yù)熱；
（2）保壓：向步驟（1）預(yù)熱后的軟化水罐中通入高純氧氣保壓；
（3）電解：將步驟（2）中的軟化水經(jīng)冷卻后通入水電解系統(tǒng)進(jìn)行電解，產(chǎn)出電解氫；
（4）催化脫氧：將步驟（3）中產(chǎn)出的電解氫通過脫氧催化塔脫除氧等雜質(zhì)；
（5）脫水干燥：將步驟（4）除雜質(zhì)后的電解氫經(jīng)冷卻器冷卻后用汽水分離器脫除游離水，增壓，增壓后通過高壓汽水分離器，進(jìn)入分子篩塔除去水分和二氧化碳；
（6）過濾除塵：步驟（5）脫水干燥的電解氫經(jīng)過濾器過濾，除去雜質(zhì)，即得超純氫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）預(yù)熱是將軟化水加熱至95~100℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）預(yù)熱時(shí)間為10~30min。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）保壓壓力為0.02~0.04MPa。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）保壓軟化水冷卻溫度控制在0~40℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（4）脫氧催化塔所用催化劑為中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所研制的催化劑HC-1。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（4）脫氧催化塔工作溫度控制在30~70℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（5）電解氫增壓至15MPa。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（5）分子篩為13XAPG分子篩。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純氫的制備方法，其特征在于：所述步驟（6）獲得的超純氫在壓縮充瓶前，對(duì)鋼瓶進(jìn)行特殊烘干處理，抽真空灌裝。