本實(shí)用新型涉及電鍍工具技術(shù)領(lǐng)域，具體講的是一種用于深孔電鍍的電鍍制具。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體封裝行業(yè)中或者其它行業(yè)中，如圖1，常常需要在硅片樣品01上獲得深寬比(深度與寬度的比值)較大的金屬立柱02作為焊腳，一般的生產(chǎn)方法是：

1.在硅片樣品01上濺射鍍制一層金屬導(dǎo)電膜03(例如TiW/Au膜)；

2.如圖2，在金屬導(dǎo)電膜03上涂覆光膠層04；

3.在光膠04上光刻出深寬比較大的深孔05；

4.放入電鍍槽中電鍍，使其從深孔05的底表面逐漸析出金屬而形成的金屬立柱02；

5.除去其余光膠，得到深寬比較大的金屬立柱02。

而現(xiàn)有技術(shù)中，電鍍制具中的掛具一般是掛在陰極的掛桿上，在電鍍時(shí)，掛具是靜止在電鍍?nèi)芤翰蹆?nèi)的，這樣，在上述的步驟4中，由于深孔05的深孔05較大，電鍍?nèi)芤翰灰走M(jìn)入到深孔05的底部，因此，難以在深孔05的底部析出金屬，從而難以形成深寬比較大的金屬立柱。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種使電鍍?nèi)芤喝菀走M(jìn)入硅片樣品上的深孔底部，從而可以獲得深寬比較大的金屬立柱的用于深孔電鍍的電鍍制具。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的用于深孔電鍍的電鍍制具，其特征在于，包括分別固定在電鍍?nèi)芤翰鄣膬蓚?cè)第一支架和第二支架，第一支架上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)輪以及用以驅(qū)動(dòng)第一轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置，第二支架上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)輪以及用以驅(qū)動(dòng)第二轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，第一轉(zhuǎn)輪上設(shè)有第一銷軸，第一銷軸偏離第一轉(zhuǎn)輪的中心設(shè)置，第二轉(zhuǎn)輪上設(shè)有第二銷軸，第二銷軸偏離第二轉(zhuǎn)輪的中心設(shè)置，第一銷軸與第二銷軸之間設(shè)有連接桿，連接桿的兩端分別與第一銷軸和第二銷軸連接，連接桿上固定連接有掛具，掛具的底端設(shè)有用以固定樣品的樣品固定板，樣品固定板位于電鍍?nèi)芤翰蹆?nèi)并被電鍍?nèi)芤郝^，所述第一轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為同一軸線，并且第一轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為水平方向并平行于樣品表面；

采用上述結(jié)構(gòu)后，具有以下優(yōu)點(diǎn)：第一轉(zhuǎn)輪和第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)，使連接桿繞第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)，掛具掛在連接桿上從而使掛具跟著連接桿作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)，因此掛具上的樣品也作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)。這樣，在電鍍時(shí)，由于樣品上的深孔垂直于樣品表面，樣品的環(huán)繞運(yùn)動(dòng)可以分為兩個(gè)過程，其一是樣品將樣品表面的電鍍?nèi)芤合蚯巴苿?dòng)的過程即相對(duì)靠近的過程，其二是樣品與樣品表面的電鍍?nèi)芤合鄬?duì)遠(yuǎn)離的過程。在相對(duì)靠近的過程中，電鍍?nèi)芤涸谕屏Φ淖饔孟?，從而具有進(jìn)入深孔的趨勢，也就是說，在此過程中，電鍍?nèi)芤焊菀走M(jìn)入硅片樣品上的深孔底部，從而在深孔底部析出金屬；在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程中，樣品與樣品表面的電鍍?nèi)芤合鄬?duì)遠(yuǎn)離，從而使深孔內(nèi)的電鍍?nèi)芤弘x開深孔與電鍍?nèi)芤翰蹆?nèi)的電鍍?nèi)芤夯靹?，避免深孔?nèi)的電鍍?nèi)芤簝?nèi)的陽離子濃度由于析出金屬后處于陽離子濃度降低的狀態(tài)。因此，在相對(duì)靠近的過程中與在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程的交替狀態(tài)循環(huán)進(jìn)行電鍍的條件下，更易獲得深寬比較大的金屬立柱。另外，試樣的環(huán)繞運(yùn)動(dòng)一方面可以帶動(dòng)試樣周邊的電鍍?nèi)芤哼\(yùn)動(dòng)，相當(dāng)于給電鍍?nèi)芤阂欢ǖ臄嚢枳饔?，使電鍍?nèi)芤旱臐舛染鶆颉?/p>

在公開上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還具有如下技術(shù)特征：所述第一轉(zhuǎn)輪上設(shè)有第一穿槽，所述第一穿槽沿第一轉(zhuǎn)輪的徑向延伸，第一銷軸插接在第一穿槽上，第一銷軸的另一端通過第一螺母將第一銷軸擰緊在第一轉(zhuǎn)輪上；所述第二轉(zhuǎn)輪上設(shè)有第二穿槽，所述第二穿槽沿第二轉(zhuǎn)輪的徑向延伸，第二銷軸插接在第二穿槽上，第二銷軸的另一端通過第二螺母將第二銷軸擰緊在第二轉(zhuǎn)輪上，所述連接桿為可伸縮結(jié)構(gòu)，所述連接桿兩端通過萬向節(jié)分別與第一銷軸和第二銷軸連接。這樣，當(dāng)需要調(diào)節(jié)第一銷軸、第二銷軸到轉(zhuǎn)動(dòng)圓心之間的距離時(shí)，連接桿的長度可以適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)。

在公開上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還具有如下技術(shù)特征：所述連接桿為可伸縮結(jié)構(gòu)是指，所述連接桿包括第一桿體和第二桿體，第一桿體的端部設(shè)有容納第二桿體的軸向孔，第二桿體插接在軸向孔內(nèi)，軸向孔的底端固定有拉簧，拉簧與第二桿體的端部連接。

在公開上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還具有如下技術(shù)特征：所述用于深孔電鍍的電鍍制具還包括罩體，罩體兩側(cè)分別固定在第一支架和第二支架上，罩體內(nèi)設(shè)有驅(qū)使第一轉(zhuǎn)輪和第二轉(zhuǎn)輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的同步機(jī)構(gòu)，所述同步機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸，固定在轉(zhuǎn)軸上的第一齒輪和第二齒輪，第一齒輪和第二齒輪的結(jié)構(gòu)相同，第一轉(zhuǎn)輪和第二轉(zhuǎn)輪的外周面均設(shè)有輪齒，轉(zhuǎn)軸的兩端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在罩體兩側(cè)，第一齒輪與第一轉(zhuǎn)輪上的輪齒嚙合，第二齒輪與第二轉(zhuǎn)輪上的輪齒嚙合。

在公開上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還具有如下技術(shù)特征：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一伺服電機(jī)，第一伺服電機(jī)的輸出端連接有第一傳動(dòng)齒輪，第一轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第一從動(dòng)齒輪，第一傳動(dòng)齒輪與第一從動(dòng)齒輪嚙合；第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第二伺服電機(jī)，第二伺服電機(jī)的輸出端連接有第二傳動(dòng)齒輪，第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二從動(dòng)齒輪，第二傳動(dòng)齒輪與第二從動(dòng)齒輪嚙合。

附圖說明

圖1是硅片樣品的截面示意圖。

圖2是硅片樣品制造過程的截面示意圖。

圖3是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具的側(cè)面示意圖。

圖4是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具的第一轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)輪的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具的第一轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)輪的另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具的連接桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具的噴管的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本實(shí)用新型用于深孔電鍍的電鍍制具中連接桿為非水平位置時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

1、第一支架；2、第二支架；3、電鍍?nèi)芤翰郏?、第一轉(zhuǎn)輪；5、第二轉(zhuǎn)輪；6、連接桿；7、第一銷軸；8、第二銷軸；9、掛具；10、樣品；11、樣品固定板；12、液泵；13、水用電磁閥；14、噴液組件；15、噴液孔；16、噴管；17、第一穿槽；18、第二穿槽；19、萬向節(jié)；20、罩體；21、第一螺母；22、第二螺母；23、軸向孔；24、第一桿體；25、第二桿體；26、拉簧；27、第一齒輪；28、第二齒輪；29、轉(zhuǎn)軸；30、輪齒；31、第一伺服電機(jī)；32、第二伺服電機(jī)；33、第一傳動(dòng)齒輪；34、第一從動(dòng)齒輪；35、第二傳動(dòng)齒輪；36、第二從動(dòng)齒輪。

具體實(shí)施方式

下文將使用本領(lǐng)域技術(shù)人員向本領(lǐng)域的其它技術(shù)人員傳達(dá)他們工作的實(shí)質(zhì)所通常使用的術(shù)語來描述本公開的實(shí)用新型概念。然而，這些實(shí)用新型概念可體現(xiàn)為許多不同的形式，因而不應(yīng)視為限于本文中所述的實(shí)施例。提供這些實(shí)施例是為了使本公開內(nèi)容更詳盡和完整，并且向本領(lǐng)域的技術(shù)人員完整傳達(dá)其包括的范圍。也應(yīng)注意這些實(shí)施例不相互排斥。來自一個(gè)實(shí)施例的組件、步驟或元素可假設(shè)成在另一實(shí)施例中可存在或使用。在不脫離本公開的實(shí)施例的范圍的情況下，可以用多種多樣的備選和/或等同實(shí)現(xiàn)方式替代所示出和描述的特定實(shí)施例。本申請旨在覆蓋本文論述的實(shí)施例的任何修改或變型。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言明顯可以僅使用所描述的方面中的一些方面來實(shí)踐備選實(shí)施例。本文出于說明的目的，在實(shí)施例中描述了特定的數(shù)字、材料和配置，然而，領(lǐng)域的技術(shù)人員在沒有這些特定細(xì)節(jié)的情況下，也可以實(shí)踐備選的實(shí)施例。在其它情況下，可能省略或簡化了眾所周知的特征，以便不使說明性的實(shí)施例難于理解。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“設(shè)有”、“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

如圖3-8，在一個(gè)實(shí)施例中，用于深孔電鍍的電鍍制具，包括分別固定在電鍍?nèi)芤翰?的兩側(cè)第一支架1和第二支架2，電鍍?nèi)芤翰?內(nèi)有電鍍?nèi)芤?，第一支?上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)輪4以及用以驅(qū)動(dòng)第一轉(zhuǎn)輪4轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置，第二支架2上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)輪5以及用以驅(qū)動(dòng)第二轉(zhuǎn)輪5轉(zhuǎn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，具體的，第一支架1和第二支架2上均設(shè)有軸承座，第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)軸分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在軸承座上，第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5半徑相等。

第一轉(zhuǎn)輪4上設(shè)有第一銷軸7，第一銷軸7偏離第一轉(zhuǎn)輪4的中心設(shè)置，第二轉(zhuǎn)輪5上設(shè)有第二銷軸8，第二銷軸8偏離第二轉(zhuǎn)輪8的中心設(shè)置，第一銷軸7與第二銷軸8之間設(shè)有連接桿6，連接桿6的兩端分別與第一銷軸7和第二銷軸8連接，連接桿6上固定連接有掛具9，掛具9的底端設(shè)有用以固定樣品10的樣品固定板11，樣品固定板11位于電鍍?nèi)芤翰?內(nèi)并被電鍍?nèi)芤郝^，所述第一轉(zhuǎn)輪4與第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為同一軸線，并且第一轉(zhuǎn)輪4與第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為水平方向并平行于樣品10表面。

所述用于深孔電鍍的電鍍制具還包括液泵12、水用電磁閥13和噴液組件14，所述液泵12的進(jìn)口通過管道與電鍍?nèi)芤翰?的內(nèi)側(cè)連通，液泵12的出口通過管道與噴液組件14連通，水用電磁閥13設(shè)在液泵12與噴液組件14之間，噴液組件14固定在電鍍?nèi)芤翰?內(nèi)并被電鍍?nèi)芤郝^且位于樣品10前方，噴液組件14上設(shè)有多個(gè)噴液孔15，多個(gè)所述噴液孔15朝向樣品10表面，電鍍?nèi)芤罕晃胍罕?2并從噴液孔15噴出噴向樣品10表面。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：多個(gè)所述噴液孔15的直徑大小滿足：沿著噴液組件14中液體流動(dòng)方向，多個(gè)所述噴液孔15的直徑依次變大。這樣，可以保證多個(gè)噴液孔的噴出電鍍?nèi)芤旱牧魉傧鄬?duì)均勻，保證電鍍在樣品表面的均勻性。因?yàn)槿羰嵌鄠€(gè)所述噴液孔15的直徑相等，上流位置處的噴液孔就把噴液組件的內(nèi)壓卸了，因此造成下流位置處的噴液孔壓力減小。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：所述噴液組件14包括多根噴管16，多根所述噴管16平行設(shè)置，多根所述噴管16的在樣品10表面上的投影面積大于樣品10的表面積，所述噴液孔15均勻分布在多根所述噴管16的側(cè)壁上。這樣，進(jìn)一步保證電鍍在樣品表面的均勻性，得到均勻性好的樣品。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：所述第一轉(zhuǎn)輪4上設(shè)有第一穿槽17，所述第一穿槽17沿第一轉(zhuǎn)輪4的徑向延伸，第一銷軸7插接在第一穿槽17上，第一銷軸7的另一端通過第一螺母21將第一銷軸7擰緊在第一轉(zhuǎn)輪4上；所述第二轉(zhuǎn)輪5上設(shè)有第二穿槽18，所述第二穿槽18沿第二轉(zhuǎn)輪5的徑向延伸，第二銷軸8插接在第二穿槽18上，第二銷軸8的另一端通過第二螺母22將第二銷軸8擰緊在第二轉(zhuǎn)輪5上，所述連接桿6為可伸縮結(jié)構(gòu)，所述連接桿6兩端通過萬向節(jié)19分別與第一銷軸7和第二銷軸8連接。這樣，一方面，可使第一銷軸到第一轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)圓心之間的距離可調(diào)，第二銷軸到第二轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)圓心之間的距離可調(diào)，從而可以調(diào)節(jié)連接桿的運(yùn)動(dòng)幅度，從而方便調(diào)整電鍍參數(shù)，適應(yīng)不同的電鍍產(chǎn)品。另一方面，如圖8，可以使第一銷軸7與第二銷軸8調(diào)節(jié)到非水平狀態(tài)時(shí)，在第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)的作用下，樣品10可以作類“∞”形運(yùn)動(dòng)，從而在鍍制大平面樣品薄膜時(shí)，大平面樣品表面的薄膜將以一定規(guī)律呈現(xiàn)在樣品表面，進(jìn)而方便實(shí)驗(yàn)人員研究電鍍薄膜的規(guī)律，也就是說，豐富了電鍍制具的使用功能，產(chǎn)生了一種新的電鍍方法。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：所述連接桿6為可伸縮結(jié)構(gòu)是指，所述連接桿6包括第一桿體24和第二桿體25，第一桿體24的端部設(shè)有容納第二桿體25的軸向孔23，第二桿體25插接在軸向孔23內(nèi)，軸向孔23的底端固定有拉簧26，拉簧26與第二桿體25的端部連接。當(dāng)需要調(diào)節(jié)第一銷軸、第二銷軸8到轉(zhuǎn)動(dòng)圓心之間的距離時(shí)，在第一轉(zhuǎn)輪4與第二轉(zhuǎn)輪5轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，連接桿的長度可以自動(dòng)適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：所述用于深孔電鍍的電鍍制具還包括罩體20，罩體20兩側(cè)分別固定在第一支架1和第二支架2上，罩體20內(nèi)設(shè)有驅(qū)使第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5同步轉(zhuǎn)動(dòng)的同步機(jī)構(gòu)，所述同步機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸29，固定在轉(zhuǎn)軸29上的第一齒輪27和第二齒輪28，第一齒輪27和第二齒輪28的結(jié)構(gòu)相同，第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5的外周面均設(shè)有輪齒30，轉(zhuǎn)軸29的兩端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在罩體20兩側(cè)，第一齒輪27與第一轉(zhuǎn)輪4上的輪齒30嚙合，第二齒輪28與第二轉(zhuǎn)輪5上的輪齒30嚙合。這樣，第一齒輪27和第二齒輪28的轉(zhuǎn)動(dòng)同步可以保證樣品的運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，從而保證電鍍制得更好的樣品。

在公開上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以具有如下技術(shù)特征：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一伺服電機(jī)31，第一伺服電機(jī)31的輸出端連接有第一傳動(dòng)齒輪33，第一轉(zhuǎn)輪4的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第一從動(dòng)齒輪34，第一傳動(dòng)齒輪33與第一從動(dòng)齒輪34嚙合；第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第二伺服電機(jī)32，第二伺服電機(jī)32的輸出端連接有第二傳動(dòng)齒輪35，第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二從動(dòng)齒輪36，第二傳動(dòng)齒輪35與第二從動(dòng)齒輪36嚙合。

上述結(jié)構(gòu)的電鍍制具的工作原理：第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)動(dòng)，使連接桿6繞第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)動(dòng)軸作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)，掛具掛在連接桿上從而使掛具跟著連接桿作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)，因此掛具上的樣品也作環(huán)繞運(yùn)動(dòng)，并且噴液孔15朝向樣品10表面。這樣，在電鍍時(shí)，由于樣品上的深孔垂直于樣品表面，樣品的環(huán)繞運(yùn)動(dòng)可以分為兩個(gè)過程，其一是樣品將樣品表面的電鍍?nèi)芤合蚯巴苿?dòng)的過程即相對(duì)靠近的過程，其二是樣品與樣品表面的電鍍?nèi)芤合鄬?duì)遠(yuǎn)離的過程。在相對(duì)靠近的過程中，噴液孔15朝向樣品10表面噴液，電鍍?nèi)芤涸谕屏Φ淖饔孟?，從而具有進(jìn)入深孔的趨勢，也就是說，在此過程中，電鍍?nèi)芤焊菀走M(jìn)入硅片樣品上的深孔底部，從而在深孔底部析出金屬；在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程中，樣品與樣品表面的電鍍?nèi)芤合鄬?duì)遠(yuǎn)離，從而使深孔內(nèi)的電鍍?nèi)芤弘x開深孔與電鍍?nèi)芤翰?內(nèi)的電鍍?nèi)芤夯靹?，避免深孔?nèi)的電鍍?nèi)芤簝?nèi)的陽離子濃度由于析出金屬后處于陽離子濃度降低的狀態(tài)。因此，在相對(duì)靠近的過程中與在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程的交替狀態(tài)循環(huán)進(jìn)行電鍍的條件下，更易獲得深寬比較大的金屬立柱。另外，試樣的環(huán)繞運(yùn)動(dòng)一方面可以帶動(dòng)試樣周邊的電鍍?nèi)芤哼\(yùn)動(dòng)，相當(dāng)于給電鍍?nèi)芤阂欢ǖ臄嚢枳饔?，使電鍍?nèi)芤旱臐舛染鶆颉?/p>

另外本實(shí)用新型還公開了一種用于深孔電鍍的電鍍制具的電鍍方法，它包括以下步驟：

a.將樣品固定在樣品固定板11上；

b.啟動(dòng)電鍍制具的電源，并設(shè)定第一伺服電機(jī)31，第二伺服電機(jī)32和水用電磁閥13的參數(shù)，使其滿足：第一伺服電機(jī)31與第二伺服電機(jī)32的轉(zhuǎn)速相同以使第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)速相同；當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5帶動(dòng)樣品10朝向噴液組件14方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，水用電磁閥13的狀態(tài)為開啟，當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5帶動(dòng)樣品10朝遠(yuǎn)離噴液組件14方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，水用電磁閥13的狀態(tài)為關(guān)閉；并設(shè)置鍍膜時(shí)間。

c.第一伺服電機(jī)31，第二伺服電機(jī)32和水用電磁閥13開始工作，鍍膜開始；

d.當(dāng)達(dá)到鍍膜設(shè)置時(shí)間時(shí)，鍍膜完成。

優(yōu)選的，所述第一轉(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5的轉(zhuǎn)動(dòng)頻率P與樣品10的深孔的深寬比A滿足：A＝10P。在這規(guī)律下，鍍制的效果更好。

采用上述電鍍方法后具有如下優(yōu)點(diǎn)：由于當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5帶動(dòng)樣品10朝向噴液組件14方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，水用電磁閥13的狀態(tài)為開啟，當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)輪4和第二轉(zhuǎn)輪5帶動(dòng)樣品10朝遠(yuǎn)離噴液組件14方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，水用電磁閥13的狀態(tài)為關(guān)閉。也就是說，在相對(duì)靠近的過程中，噴液孔15朝向樣品10表面噴液，電鍍?nèi)芤涸谕屏Φ淖饔孟?，從而具有進(jìn)入深孔的趨勢，即在此過程中，電鍍?nèi)芤焊菀走M(jìn)入硅片樣品上的深孔底部，從而在深孔底部析出金屬；在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程中，噴液孔15停止向樣品10表面噴液，樣品與樣品表面的電鍍?nèi)芤合鄬?duì)遠(yuǎn)離，從而使深孔內(nèi)的電鍍?nèi)芤弘x開深孔與電鍍?nèi)芤翰?內(nèi)的電鍍?nèi)芤夯靹颍苊馍羁變?nèi)的電鍍?nèi)芤簝?nèi)的陽離子濃度由于析出金屬后處于陽離子濃度降低的狀態(tài)。因此，在相對(duì)靠近的過程中與在相對(duì)遠(yuǎn)離的過程的交替狀態(tài)循環(huán)進(jìn)行電鍍的條件下，更易獲得深寬比較大的金屬立柱。

以上所述，僅是本實(shí)用新型較佳可行的實(shí)施示例，不能因此即局限本實(shí)用新型的權(quán)利范圍，對(duì)熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，凡運(yùn)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思做出的其他各種相應(yīng)的改變都應(yīng)屬于在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。