技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高純鎵的電解裝置,包括電解槽、陰極板和陽極板,所述電解槽內(nèi)用隔板分隔出陽極區(qū)和陰極區(qū),所述陽極區(qū)內(nèi)裝有不沒過所述隔板的原料鎵,所述陽極板置于所述陽極區(qū),所述陰極板置于所述陰極區(qū),所述陰極板具有中空結(jié)構(gòu),所述陰極板通過與所述中空結(jié)構(gòu)連通的進水口和出水口外接循環(huán)冷卻裝置,所述電解槽內(nèi)裝有沒過所述隔板的電解液。本發(fā)明所使用的電解單晶生長技術(shù)操作簡便,成本低廉,提高了生產(chǎn)效率;得到的單晶鎵純度高,對雜質(zhì)的去除效果好;通過設(shè)置隔板,可有效將原料鎵和電解液區(qū)分開,方便陽極區(qū)產(chǎn)生的電解廢液的集中收集和再處理提純。
技術(shù)研發(fā)人員:易德福;守建川;陳佳麗
受保護的技術(shù)使用者:江西德義半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.09.01
技術(shù)公布日:2017.11.10