本技術(shù)涉及晶圓加工設(shè)備，具體為一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓電鍍設(shè)備用于在晶圓盤上鍍上一層鍍層，且在電鍍之后，需要將放入清洗設(shè)備內(nèi)，將其表面的多雜質(zhì)清洗掉，防止雜質(zhì)影響晶圓的使用。

2、目前所使用的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，經(jīng)檢索發(fā)現(xiàn)，比如授權(quán)公開號(hào)為cn217459643u的中國專利文獻(xiàn)中公開了晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，包括柜體，沖洗噴管固接在沖洗槽內(nèi)側(cè)壁上，沖洗噴頭端部面與沖洗槽內(nèi)側(cè)壁齊平，且沖洗噴頭的噴水方向傾斜向下設(shè)置；所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)用于將晶圓盤從電鍍槽取出，并下放入沖洗槽內(nèi)；通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)先將晶圓緩慢放置到電鍍槽內(nèi)，待其電鍍之后，通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)將晶圓盤緩慢上提，并緩慢放置在沖洗槽內(nèi)，使得晶圓電鍍之后就直接進(jìn)行沖洗清潔，及時(shí)將晶圓盤表面的雜質(zhì)清潔掉，接著在通過轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將其運(yùn)輸至指定地點(diǎn)；該晶圓電鍍設(shè)備使得電鍍之后的晶圓盤得以直接沖洗清潔，避免通過轉(zhuǎn)運(yùn)裝置運(yùn)輸時(shí)，發(fā)生摩擦現(xiàn)象的發(fā)生，保證晶圓盤質(zhì)量。

3、以上專利中雖然解決了上述背景技術(shù)中的問題，但是還是存在以下不足：1.其設(shè)備中僅依靠彈簧來實(shí)現(xiàn)對晶圓盤的緩沖保護(hù)，該緩沖方式過于簡單，因此在對晶圓盤進(jìn)行上移時(shí)，容易使晶圓盤出現(xiàn)晃動(dòng)并與雜質(zhì)發(fā)生摩擦，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓盤的加工質(zhì)量下降；2.其設(shè)備中依靠磁板間的磁吸配合以及卡槽與觸頭的接觸來實(shí)現(xiàn)晶圓盤放置板的安裝，該安裝方式所展現(xiàn)的緊固效果不佳，容易導(dǎo)致晶圓盤放置板與連接板出現(xiàn)脫離的情況，進(jìn)而不利于后續(xù)對晶圓盤進(jìn)行電鍍加工，影響了設(shè)備的實(shí)用效果。

4、綜上所述，本實(shí)用新型通過設(shè)計(jì)一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備來解決上述背景技術(shù)中的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備,包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的頂部分別設(shè)置有電鍍槽、沖洗槽和u形安裝柱，所述u形安裝柱的頂部固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述u形安裝柱的內(nèi)側(cè)活動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)螺桿，所述傳動(dòng)螺桿的外側(cè)套設(shè)有移動(dòng)支塊，所述移動(dòng)支塊的后側(cè)固定安裝有支撐板，所述支撐板的底部固定安裝有電動(dòng)滑軌，所述電動(dòng)滑軌的外側(cè)滑動(dòng)設(shè)置有電動(dòng)滑塊，所述電動(dòng)滑塊的底部設(shè)置有安裝塊，所述安裝塊與電動(dòng)滑塊之間設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)，所述安裝塊的前后兩端通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有梅花螺桿，所述梅花螺桿的外側(cè)螺紋套設(shè)有導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板靠近安裝塊的一側(cè)固定安裝有導(dǎo)向柱，所述安裝塊的底部表面開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的內(nèi)部設(shè)置有放置架，所述放置架的前后兩端表面均開設(shè)有導(dǎo)向孔；

4、所述緩沖機(jī)構(gòu)包括方形槽和緩沖塊，所述方形槽開設(shè)在電動(dòng)滑塊的底部表面，且其的頂端內(nèi)壁分別固定安裝有緩震器和緩沖支座，所述緩震器的外側(cè)匹配套設(shè)有緩震彈簧，所述緩沖支座的內(nèi)部開設(shè)有緩沖腔，所述緩沖腔的內(nèi)部分別設(shè)置有橡膠緩沖球和限位板，所述限位板的底端固定安裝緩沖支桿，所述緩沖塊固定安裝在安裝塊的頂部表面。

5、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端貫穿于u形安裝柱的頂部表面并與傳動(dòng)螺桿的頂端固定連接。

6、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述移動(dòng)支塊的前側(cè)表面與u形安裝柱的內(nèi)側(cè)表面相貼合，且其的內(nèi)壁與傳動(dòng)螺桿的外側(cè)表面螺紋連接。

7、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述電動(dòng)滑軌通過導(dǎo)線與電動(dòng)滑塊電性連接。

8、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述放置架的外側(cè)頂端表面與安裝槽的內(nèi)壁貼合接觸，所述導(dǎo)向柱的相向端活動(dòng)貫穿于安裝塊的前后兩端表面并延伸至安裝槽的內(nèi)部，且其與導(dǎo)向孔插接配合。

9、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述方形槽的橫截面形狀與緩沖塊相匹配。

10、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述緩震器和緩沖支座關(guān)于安裝槽的內(nèi)部中軸線呈前后對稱分布，所述限位板的外側(cè)表面與緩沖腔的內(nèi)壁貼合接觸，所述緩沖支桿的底端貫穿于緩沖腔的底端內(nèi)壁并與緩沖塊的頂部表面固定連接，所述緩震器的底端與緩沖塊的頂部表面固定連接。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

12、1.本實(shí)用新型中，通過設(shè)置的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，從而利用緩沖機(jī)構(gòu)中結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了緩震器的伸縮以及緩沖支桿的移動(dòng)，致使緩震彈簧產(chǎn)生彈性支撐力以及限位板對橡膠緩沖球的擠壓，進(jìn)而提高了對放置架的緩沖效果，有效的減少了晶圓盤與雜質(zhì)發(fā)生摩擦的情況，保證了晶圓盤的加工質(zhì)量。

13、2.本實(shí)用新型中，通過設(shè)置的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，從而利用安裝槽、導(dǎo)向孔、梅花螺桿、導(dǎo)向板和導(dǎo)向柱的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了梅花螺桿與導(dǎo)向板間的旋合連接，致使導(dǎo)向柱與導(dǎo)向孔形成插接，進(jìn)而起到了對放置架進(jìn)行緊固安裝的目的，保證了放置架與安裝塊間的固定效果，有利于后續(xù)對晶圓盤進(jìn)行電鍍加工，保證了設(shè)備的實(shí)用效果。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備,包括工作臺(tái)（1），其特征在于：所述工作臺(tái)（1）的頂部分別設(shè)置有電鍍槽（101）、沖洗槽（102）和u形安裝柱（103），所述u形安裝柱（103）的頂部固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)（1031），所述u形安裝柱（103）的內(nèi)側(cè)活動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)螺桿（1032），所述傳動(dòng)螺桿（1032）的外側(cè)套設(shè)有移動(dòng)支塊（1033），所述移動(dòng)支塊（1033）的后側(cè)固定安裝有支撐板（104），所述支撐板（104）的底部固定安裝有電動(dòng)滑軌（105），所述電動(dòng)滑軌（105）的外側(cè)滑動(dòng)設(shè)置有電動(dòng)滑塊（106），所述電動(dòng)滑塊（106）的底部設(shè)置有安裝塊（107），所述安裝塊（107）與電動(dòng)滑塊（106）之間設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)（2），所述安裝塊（107）的前后兩端通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有梅花螺桿（1071），所述梅花螺桿（1071）的外側(cè)螺紋套設(shè)有導(dǎo)向板（1072），所述導(dǎo)向板（1072）靠近安裝塊（107）的一側(cè)固定安裝有導(dǎo)向柱（1073），所述安裝塊（107）的底部表面開設(shè)有安裝槽（108），所述安裝槽（108）的內(nèi)部設(shè)置有放置架（109），所述放置架（109）的前后兩端表面均開設(shè)有導(dǎo)向孔（1091）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（1031）的輸出端貫穿于u形安裝柱（103）的頂部表面并與傳動(dòng)螺桿（1032）的頂端固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述移動(dòng)支塊（1033）的前側(cè)表面與u形安裝柱（103）的內(nèi)側(cè)表面相貼合，且其的內(nèi)壁與傳動(dòng)螺桿（1032）的外側(cè)表面螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述電動(dòng)滑軌（105）通過導(dǎo)線與電動(dòng)滑塊（106）電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述放置架（109）的外側(cè)頂端表面與安裝槽（108）的內(nèi)壁貼合接觸，所述導(dǎo)向柱（1073）的相向端活動(dòng)貫穿于安裝塊（107）的前后兩端表面并延伸至安裝槽（108）的內(nèi)部，且其與導(dǎo)向孔（1091）插接配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述方形槽（201）的橫截面形狀與緩沖塊（202）相匹配。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，其特征在于：所述緩震器（203）和緩沖支座（204）關(guān)于安裝槽（108）的內(nèi)部中軸線呈前后對稱分布，所述限位板（208）的外側(cè)表面與緩沖腔（206）的內(nèi)壁貼合接觸，所述緩沖支桿（209）的底端貫穿于緩沖腔（206）的底端內(nèi)壁并與緩沖塊（202）的頂部表面固定連接，所述緩震器（203）的底端與緩沖塊（202）的頂部表面固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的頂部分別設(shè)置有電鍍槽、沖洗槽和U形安裝柱，所述U形安裝柱的內(nèi)側(cè)活動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)螺桿，所述傳動(dòng)螺桿的外側(cè)套設(shè)有移動(dòng)支塊，所述移動(dòng)支塊的后側(cè)固定安裝有支撐板，所述支撐板的底部固定安裝有電動(dòng)滑軌，所述電動(dòng)滑軌的外側(cè)滑動(dòng)設(shè)置有電動(dòng)滑塊，所述電動(dòng)滑塊的底部設(shè)置有安裝塊，所述安裝塊與電動(dòng)滑塊之間設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)，所述安裝塊的底部表面開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的內(nèi)部設(shè)置有放置架，通過設(shè)置的一種晶圓可沖洗的晶圓電鍍設(shè)備，進(jìn)而提高了對放置架的緩沖效果，有效的減少了晶圓盤與雜質(zhì)發(fā)生摩擦的情況，保證了晶圓盤的加工質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：黃雷,姚吉豪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇矽智半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2025/1/2