技術(shù)特征：

1.一種金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，將金屬微結(jié)構(gòu)模芯分為微結(jié)構(gòu)層、過(guò)渡層和基底層，并分別確定各電鑄層厚度，所述分段式電鑄方法包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，確定各電鑄層厚度的方式具體如下：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s3中，針對(duì)深寬比小于或等于1的所述微結(jié)構(gòu)層以及針對(duì)深寬比大于1的所述微結(jié)構(gòu)層，所述電鑄母模的轉(zhuǎn)速均為120r/min；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s4中，所述正向脈沖電流的頻率為800hz，平均電流密度為1a/dm2，占空比為0.5。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s1中，光刻并前處理電鑄母模包括以下步驟：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s12中，在真空度為5×10-2mpa和濺射電流為100-120ma的條件下鍍所述粘結(jié)層，濺射時(shí)間為100-200s；

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s6中，后處理電鑄后的金屬微結(jié)構(gòu)模芯包括以下步驟：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，其特征在于，步驟s61中，配制30wt%的氫氧化鈉溶液，加熱溫度為80℃，超聲功率為100w，攪拌時(shí)長(zhǎng)20min；

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)屬于微制造領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法，針對(duì)金屬微結(jié)構(gòu)電鑄模芯過(guò)程中易產(chǎn)生的微結(jié)構(gòu)復(fù)制質(zhì)量差、翹曲變形嚴(yán)重和厚度分布不均以及電鑄效率低的問(wèn)題，分別建立電源參數(shù)與微結(jié)構(gòu)成型，內(nèi)應(yīng)力以及電場(chǎng)屏蔽與厚度分布均勻性的關(guān)系，系統(tǒng)性地將電鑄過(guò)程分為三段，對(duì)應(yīng)于模芯的微結(jié)構(gòu)層、過(guò)渡層和基底層，每段使用合適的電鑄工藝參數(shù)，確定各層厚度和分段處電流切換方式，實(shí)現(xiàn)金屬微結(jié)構(gòu)電鑄模芯的高效高質(zhì)量成型。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣炳炎,張露,馬志高,強(qiáng)軍,董彥灼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中南大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2