本技術(shù)涉及電解拋光，尤其涉及為一種高純閥體電解拋光掛具。

背景技術(shù)：

1、高純閥體是指用于高純氣體系統(tǒng)中控制氣體流動(dòng)的閥門，為了提高表面光潔度，電解拋光能使閥體表面變得非常光滑平整，減少表面粗糙度，這有助于減少顆粒附著和積聚的機(jī)會(huì)，從而更好地保證高純流體的純凈度，同時(shí)去除表面雜質(zhì)和污染物，能有效去除閥體表面微小的雜質(zhì)、氧化物等，進(jìn)一步確保閥體不會(huì)引入新的污染，維持高純環(huán)境，增強(qiáng)耐腐蝕性，使表面形成更均勻、更致密的鈍化層，提升閥體在高純工況下的抗腐蝕能力，延長(zhǎng)使用壽命，改善流體流動(dòng)性，光滑的表面有利于高純流體更順暢地流動(dòng)，減少阻力和湍流的產(chǎn)生，對(duì)系統(tǒng)的性能和效率有積極影響。

2、為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，現(xiàn)有技術(shù)先是對(duì)閥體外面進(jìn)行電解拋光，然后再針對(duì)內(nèi)孔流道進(jìn)行單獨(dú)電解拋光，需要單獨(dú)的設(shè)備和掛具，去匹配內(nèi)孔，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，有些甚至需要人為手工操作完成，拋光效果也不穩(wěn)定。

3、本發(fā)明針對(duì)閥體的內(nèi)孔設(shè)計(jì)了四個(gè)鈦針，然后整合在一個(gè)掛具上，這樣可以同時(shí)對(duì)閥體的外表面和內(nèi)孔流道進(jìn)行電解拋光，該掛具作為一個(gè)整體放在自動(dòng)化電解拋光設(shè)備上，只需要設(shè)置好參數(shù)就可以做出符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的閥體，避免人為操作帶來的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種高純閥體電解拋光掛具，能夠通過適配的鈦針集成掛具，能夠減少設(shè)備和掛具的獨(dú)立操作步驟，以解決現(xiàn)有的電解拋光需要內(nèi)外表面分開操作的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種高純閥體電解拋光掛具，包括第一陽極板、絕緣板、陰極架，所述絕緣板設(shè)置在第一陽極板的頂部，所述陰極架安裝在絕緣板的頂部，所述陰極架的頂部設(shè)置有兩組第二鈦針，所述絕緣板的頂部且位于陰極架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有高純閥，所述第二鈦針與高純閥插接配合，所述第一陽極板遠(yuǎn)離絕緣板的一側(cè)固定安裝有銅掛扣，所述陰極架頂部的兩側(cè)均設(shè)置有側(cè)邊限位組件，所述側(cè)邊限位組件用于限制高純閥的兩側(cè)，所述陰極架兩側(cè)的頂部開設(shè)有第三安裝孔，所述陰極架的正面開設(shè)有位于第二鈦針一側(cè)的第六安裝孔，所述第六安裝孔的內(nèi)部螺紋連接有第三螺栓，所述第三螺栓與第二鈦針配合使用。

3、進(jìn)一步地，所述側(cè)邊限位組件包括安裝座和第一鈦針，所述第一鈦針滑動(dòng)插接在安裝座的內(nèi)部，所述安裝座安裝在陰極架頂部的兩側(cè)，所述第一鈦針與高純閥插接配合。

4、進(jìn)一步地，所述安裝座的頂部螺紋連接有用于鎖緊第一鈦針的第二螺栓，所述第二螺栓與第一鈦針配合使用。

5、進(jìn)一步地，所述第一陽極板頂部靠近絕緣板一側(cè)的兩側(cè)均開設(shè)有第一安裝孔，所述第一安裝孔的內(nèi)部螺紋連接有第一螺栓，所述絕緣板頂部的兩側(cè)均開設(shè)有第二安裝孔，所述第一陽極板通過第一螺栓貫穿第一安裝孔與所述第二安裝孔螺紋固定。

6、進(jìn)一步地，所述高純閥的頂部開設(shè)有兩組閥體第二內(nèi)孔，兩組所述閥體第二內(nèi)孔與第二鈦針插接配合，其中一組所述閥體第二內(nèi)孔位于高純閥的中心處，另一組所述閥體第二內(nèi)孔位于中心的一側(cè)，所述高純閥的兩側(cè)均開設(shè)有閥體第一內(nèi)孔，所述閥體第一內(nèi)孔與第一鈦針插接配合。

7、進(jìn)一步地，所述陰極架頂部的兩側(cè)開設(shè)有第四安裝孔，所述陰極架的頂部開設(shè)有位于第四安裝孔內(nèi)側(cè)的第五安裝孔，所述陰極架的頂部通過第四安裝孔與第五安裝孔均可配合外接螺栓與安裝座固定安裝。

8、本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型通過兩組第二鈦針和側(cè)邊限位組件實(shí)現(xiàn)高純閥的內(nèi)部導(dǎo)流以及自身限位，整合在一個(gè)掛具上，這樣可以同時(shí)對(duì)閥體的外表面和內(nèi)孔流道進(jìn)行電解拋光，該掛具作為一個(gè)整體放在自動(dòng)化電解拋光設(shè)備上，只需要設(shè)置好參數(shù)就可以做出符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的閥體，提高了電解拋光效率。

技術(shù)特征：

1.一種高純閥體電解拋光掛具，包括第一陽極板(1)、絕緣板(2)、陰極架(3)，其特征在于：所述絕緣板(2)設(shè)置在第一陽極板(1)的頂部，所述陰極架(3)安裝在絕緣板(2)的頂部，所述陰極架(3)的頂部設(shè)置有兩組第二鈦針(6)，所述絕緣板(2)的頂部且位于陰極架(3)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有高純閥(7)，所述第二鈦針(6)與高純閥(7)插接配合，所述第一陽極板(1)遠(yuǎn)離絕緣板(2)的一側(cè)固定安裝有銅掛扣(102)，所述陰極架(3)頂部的兩側(cè)均設(shè)置有側(cè)邊限位組件，所述側(cè)邊限位組件用于限制高純閥(7)的兩側(cè)，所述陰極架(3)兩側(cè)的頂部開設(shè)有第三安裝孔(31)，所述陰極架(3)的正面開設(shè)有位于第二鈦針(6)一側(cè)的第六安裝孔(61)，所述第六安裝孔(61)的內(nèi)部螺紋連接有第三螺栓(611)，所述第三螺栓(611)與第二鈦針(6)配合使用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純閥體電解拋光掛具，其特征在于：所述側(cè)邊限位組件包括安裝座(4)和第一鈦針(5)，所述第一鈦針(5)滑動(dòng)插接在安裝座(4)的內(nèi)部，所述安裝座(4)安裝在陰極架(3)頂部的兩側(cè)，所述第一鈦針(5)與高純閥(7)插接配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高純閥體電解拋光掛具，其特征在于：所述安裝座(4)的頂部螺紋連接有用于鎖緊第一鈦針(5)的第二螺栓(401)，所述第二螺栓(401)與第一鈦針(5)配合使用。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純閥體電解拋光掛具，其特征在于：所述第一陽極板(1)頂部靠近絕緣板(2)一側(cè)的兩側(cè)均開設(shè)有第一安裝孔(101)，所述第一安裝孔(101)的內(nèi)部螺紋連接有第一螺栓(103)，所述絕緣板(2)頂部的兩側(cè)均開設(shè)有第二安裝孔(201)，所述第一陽極板(1)通過第一螺栓(103)貫穿第一安裝孔(101)與所述第二安裝孔(201)螺紋固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純閥體電解拋光掛具，其特征在于：所述高純閥(7)的頂部開設(shè)有兩組閥體第二內(nèi)孔(72)，兩組所述閥體第二內(nèi)孔(72)與第二鈦針(6)插接配合，其中一組所述閥體第二內(nèi)孔(72)位于高純閥(7)的中心處，另一組所述閥體第二內(nèi)孔(72)位于中心的一側(cè)，所述高純閥(7)的兩側(cè)均開設(shè)有閥體第一內(nèi)孔(71)，所述閥體第一內(nèi)孔(71)與第一鈦針(5)插接配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純閥體電解拋光掛具，其特征在于：所述陰極架(3)頂部的兩側(cè)開設(shè)有第四安裝孔(41)，所述陰極架(3)的頂部開設(shè)有位于第四安裝孔(41)內(nèi)側(cè)的第五安裝孔(42)，所述陰極架(3)的頂部通過第四安裝孔(41)與第五安裝孔(42)均可配合外接螺栓與安裝座(4)固定安裝。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種高純閥體電解拋光掛具，包括第一陽極板、絕緣板、陰極架，所述絕緣板設(shè)置在第一陽極板的頂部，所述陰極架安裝在絕緣板的頂部，所述陰極架的頂部設(shè)置有兩組第二鈦針，所述絕緣板的頂部且位于陰極架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有高純閥，所述第二鈦針與高純閥插接配合，所述第一陽極板遠(yuǎn)離絕緣板的一側(cè)固定安裝有銅掛扣，所述陰極架頂部的兩側(cè)均設(shè)置有側(cè)邊限位組件，所述側(cè)邊限位組件用于限制高純閥的兩側(cè)，所述陰極架兩側(cè)的頂部開設(shè)有第三安裝孔，所述陰極架的正面開設(shè)有位于第二鈦針一側(cè)的第六安裝孔。本技術(shù)能夠通過適配的鈦針集成掛具，能夠減少設(shè)備和掛具的獨(dú)立操作步驟，以解決現(xiàn)有的電解拋光需要內(nèi)外表面分開操作的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：段如鎖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆世（上海）流體控制有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240521
技術(shù)公布日：2025/1/9