一種電沉積裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于電沉積的裝置，包括電沉積槽、陰極、陰極移動桿，還包括齒輪、齒輪安裝桿和攪拌槳。工作時，陰極移動桿在外力的作用下做水平往復(fù)運動，陰極移動桿上的齒條帶動齒輪做正反轉(zhuǎn)圓周遠動，齒輪帶動攪拌槳做正反圓周運動，這樣電解液就會在攪拌槳的攪拌作用下快速流動起來，加之攪拌槳外緣位置與陰極面較近，因此，電解液在陰極表面的流場相對比較均勻，從而對電沉積過程中陰極電沉積層厚度的均勻性起到改善作用。
【專利說明】
一種電沉積裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種電沉積裝置，特別涉及一種改善陰極電沉積層厚度均勻性的
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]目前，工業(yè)生產(chǎn)中，為增加電沉積速度和溶液中離子擴散速度，經(jīng)常增加電解液攪拌裝置。電沉積(包括電鍍、電鑄)電解液的攪拌大多使用空氣攪拌、液體循環(huán)攪拌或者陰極移動裝置?？諝鈹嚢桦m然可以使溶液混合均勻，但是對于電沉積過程中要求避免離子氧化的電沉積過程不宜使用，而且空氣攪拌不能保證陰極表面形成穩(wěn)定的流場，所以對電沉積成分和電沉積層厚度的均勻性都會產(chǎn)生影響；陰極移動攪拌裝置中，陰極移動攪拌更容易使陰極面獲得均勻的傳質(zhì)分布，但陰極移動攪拌的強度一般不高，且對整個電沉積槽的全局攪拌作用比較低，導(dǎo)致沉積速度普遍不高，主要原因是:常規(guī)的陰極移動攪拌只是借助工件(陰極)與電解液間的剪切作用來帶動電解液運動，如果工件陰極是平面薄片狀，其攪拌作用是非常弱的。盡管至今有多種陰極攪拌裝置被開發(fā)出來，但仍然未達到十分理想的效果O
[0003]因此，電沉積過程在既能充分實現(xiàn)電鍍液的混合、又能保證陰極表面流場均勻性的電沉積槽中進行，才能有效改善電沉積層厚度的均勻性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述問題，本實用新型的目的是提供一種改善電沉積層厚度均勻性的電沉積
目.ο
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種電沉積裝置，包括電沉積槽、陰極移動桿、陰極，其特征在于:其包括齒輪、齒輪安裝桿和攪拌槳。所述的陰極安裝在陰極移動桿一側(cè);所述的陰極移動桿上設(shè)有齒條;所述的齒條與齒輪嚙合;所述的齒輪可旋轉(zhuǎn)固定在齒輪安裝桿上;所述齒輪安裝桿固定在電沉積槽壁面上;所述攪拌槳同軸線安裝在齒輪軸上。
[0006]優(yōu)選地，所述的陰極移動桿平行設(shè)置在電沉積槽壁面上方。
[0007]優(yōu)選地，所述陰極移動桿可在外力作用下做往復(fù)運動。
[0008]優(yōu)選地，所述的齒輪軸可根據(jù)電沉積槽的尺寸和工藝要求對其數(shù)量進行增減。
[0009]優(yōu)選地，攪拌槳外緣與陰極面之間設(shè)有一定距離，其距離可調(diào)。
[0010]優(yōu)選地，所述的攪拌槳采用耐化學腐蝕的電絕緣材料。
[0011]本實用新型所涉及的機構(gòu)工作原理為:陰極移動桿在外力的作用下做水平往復(fù)運動時，陰極移動桿上的齒條帶動齒輪做正反轉(zhuǎn)圓周遠動，齒輪帶動攪拌槳做正反圓周運動，電解液在攪拌槳的攪拌作用下快速流動起來，加之攪拌槳外緣位置與陰極面較近，因此，電解液在陰極表面的流場相對比較均勻，從而使電沉積過程中陰極電沉積層厚度的均勻性起到改善作用。
[0012]工作時，攪拌槳的數(shù)量和尺寸可根據(jù)工藝需求進行更換，以獲得不同的攪拌強度和流場大小，以使陰極表面或(和)整個電沉積槽獲得不同的攪拌效果。攪拌槳自上而下非直線型分布以減小它對電沉積槽中的電力線的屏蔽作用。
[0013]本實用新型相比現(xiàn)有的技術(shù)具有以下優(yōu)點:1、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉:僅需在現(xiàn)有的陰極移動攪拌裝置上加設(shè)齒輪、攪拌槳和齒輪安裝桿即可實現(xiàn)攪拌功能，且無需額外的動力源系統(tǒng)。2、獲得高強度均勻的攪拌效果:通過攪拌槳的近陰極正反圓周運動實現(xiàn)電解液的快速擴散，能使近陰極面和整個沉積槽中的電解液都能獲得高強度均勻的攪拌效果。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型一種電沉積裝置的示意圖。
[0015]圖中:1、陰極移動桿;2、齒輪;3、齒條;4、陰極;5、齒輪安裝桿;6、電沉積槽;7、攪拌槳;8、齒輪軸。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合圖1對本實用新型的實施做進一步的詳細說明。
[0017]—種電沉積裝置，包括電沉積槽6、陰極移動桿1、陰極4，其特征在于:其包括齒輪2、齒輪安裝桿5、攪拌槳7。所述的陰極4安裝在陰極移動桿I 一側(cè);所述的陰極移動桿I上設(shè)有齒條3;所述的齒條3與齒輪2嚙合;所述的齒輪2可旋轉(zhuǎn)固定在齒輪安裝桿5上;所述齒輪安裝桿5固定在電沉積槽6上;所述攪拌槳7同軸線安裝在齒輪軸8上。
[0018]所述的陰極移動桿I平行設(shè)置在電沉積槽6上。
[0019]所述的陰極移動桿I可在外力作用下做往復(fù)運動。
[0020]所述的齒輪軸8可根據(jù)電沉積槽6的尺寸和工藝要求對其數(shù)量進行增減，本案例采用的齒輪數(shù)為2個。
[0021]所述的攪拌槳7外緣與陰極4面之間設(shè)有一定距離，其距離可調(diào)，本案例采用距離在5?15mm。
[0022]所述的攪拌槳7為耐化學腐蝕的電絕緣材料，如聚丙烯、聚氯乙烯。
【主權(quán)項】
1.一種電沉積裝置，包括電沉積槽(6)、陰極移動桿(1)、陰極(4)，其特征在于:其包括齒輪(2)、齒輪安裝桿(5)、攪拌槳(7)，所述的陰極(4)安裝在陰極移動桿(I) 一側(cè);所述的陰極移動桿(I)上設(shè)有齒條(3);所述的齒條(3)與齒輪(2)嚙合;所述的齒輪(2)旋轉(zhuǎn)固定在齒輪安裝桿(5)上;所述齒輪安裝桿(5)固定在電沉積槽(6)壁面上;所述的攪拌槳(7)同軸線安裝在齒輪軸(8)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述的陰極移動桿(I)平行安裝在電沉積槽(6)壁面上方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述的陰極移動桿(I)可在外力作用下水平往復(fù)移動。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述的齒輪軸(8)可根據(jù)電沉積槽(6)的尺寸和工藝要求對其數(shù)量進行增減。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述的攪拌槳(7)外緣與陰極(4)面之間設(shè)有一定距離，其距離可調(diào)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述的攪拌槳(7)為耐化學腐蝕的電絕緣材料。
【文檔編號】C25D17/00GK205653533SQ201620343361
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年4月22日 公開號201620343361.0, CN 201620343361, CN 205653533 U, CN 205653533U, CN-U-205653533, CN201620343361, CN201620343361.0, CN205653533 U, CN205653533U
【發(fā)明人】秦歌, 程丹佛, 劉建慧
【申請人】河南理工大學