專利名稱：泵抽系統(tǒng)及運行方法
泵抽系統(tǒng)及運行方法本發(fā)明涉及運行泵抽系統(tǒng)的方法。真空處理一般地用在半導(dǎo)體裝置以及平板顯示器制造中，以便 將薄膜積淀到基片上，同時用在冶金加工中。用于將相對較大的處理腔室比如載荷鎖定腔室(load lock chamber)抽空至所需要壓力的泵 抽系統(tǒng)通常地包括至少一個升壓泵，其與至少一個前級泵串聯(lián)。升壓泵典型地具有無油泵抽機構(gòu)，因為存在于該泵抽機構(gòu)內(nèi)的 任何潤滑劑都可能導(dǎo)致清潔環(huán)境的污染，在該清潔環(huán)境內(nèi)，執(zhí)行該 真空處理。這種"干燥，，真空泵一般地為具有泵抽機構(gòu)的單級或多 級正排量泵，該泵抽機構(gòu)采用位于定子內(nèi)的內(nèi)嚙合轉(zhuǎn)子。該轉(zhuǎn)子可 以在每級具有相同類型的外形，或者該外形可以從級到級變化。該構(gòu)。異步交流馬達典型地驅(qū)動升壓泵的該泵抽機構(gòu)。這種馬達必須 具有額定值，使得該泵能夠在泵入口與出口之間供應(yīng)充足的泵抽氣 體的壓縮，并且使得由此引起的泵抽速度對所需要的負載是足夠的。供應(yīng)給該升壓泵的馬達的一定比例的電源在排氣中產(chǎn)生壓縮熱 量，尤其是在中級及高級入口壓力等級，從而使得該泵體以及轉(zhuǎn)子 能夠熱起來。如果生成的壓縮量以及差壓量未能充分地得到控制， 那么可能存在該升壓泵過熱的風(fēng)險，最終引起潤滑失效、過量熱膨 脹以及卡死。因而常常選擇適合于該升壓泵的尺寸以及泵抽速度的標(biāo)準馬 達，使得它能夠以低級的入口壓力、在常規(guī)使用時供應(yīng)充分的壓縮， 但是如果該泵在沒有保護裝置的情況下，以中級以及高級入口壓力 等級運行，則留有過熱的風(fēng)險。為了驅(qū)動該馬達，可以在該馬達與 電源之間為該馬達提供變頻驅(qū)動單元。這種驅(qū)動單元通過將由該電 源供應(yīng)的交流電轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂兴枵穹约邦l率的交流電而得以運 行。供應(yīng)給馬達的電源通過控制供應(yīng)給馬達的電流而得以控制，該 供應(yīng)給馬達的電流又通過調(diào)節(jié)馬達內(nèi)的電壓頻率和/或振幅而得以控 制。供應(yīng)給馬達的電流決定了在馬達內(nèi)產(chǎn)生的扭矩量，并且因此而 決定了用于轉(zhuǎn)動泵抽機構(gòu)的可得扭矩。電源頻率決定了泵抽機構(gòu)的 轉(zhuǎn)動速度。通過改變電源頻率，即使在氣體載荷可以實質(zhì)性地改變 的情形下，升壓泵能夠維持恒定的系統(tǒng)壓力。為了防止升壓泵過載，驅(qū)動單元為電源頻率設(shè)定最大值(fmJ, 并且為供應(yīng)給馬達的電流設(shè)定最大值(Imax)。這種電流限制按照慣例 將適用于馬達的持續(xù)額定值，并且將限制由泵抽機構(gòu)產(chǎn)生的有效扭 矩，并且因此將限制由此產(chǎn)生的差壓量，從而限制了生成的排氣熱量。然而，如果上述控制不理想并且升壓泵在具有過量氣體熱量的 情形下運行時，則升壓泵的泵抽機構(gòu)將開始過熱，導(dǎo)致泵抽機構(gòu)的 轉(zhuǎn)子在其溫度增加時以均勻的方式膨脹。然而，泵抽機構(gòu)的定子將 以非均勻的方式膨脹。熱排氣典型地在泵的排出側(cè)導(dǎo)致強烈的加熱 效果，而在入口處的持續(xù)冷氣體輸入沒有導(dǎo)致這種加熱。因此，定 子的排出側(cè)熱起來并且膨脹，從而使得熱轉(zhuǎn)子與熱定子之間的運行 間隙在泵的這個區(qū)域損失很少。然而，在泵的入口側(cè)，定子的加熱 以及膨脹相當(dāng)少，并且如果允許轉(zhuǎn)子繼續(xù)膨脹，則轉(zhuǎn)子與定子之間 的運行間隙典型地消失，并且典型地在圍繞定子的相對4交冷入口喉 道的特別狹窄區(qū)域發(fā)生接觸?？紤]到這點，經(jīng)常采用相對復(fù)雜并且間的這種碰撞。本發(fā)明的至少 一 個優(yōu)選實施例的目的是力圖提供一種相對簡單 以及成本低廉的真空泵運行方法，以便減少真空泵的泵抽機構(gòu)的轉(zhuǎn) 子與定子之間碰撞的風(fēng)險。
在笫一方面，本發(fā)明提供一種泵抽系統(tǒng)，其包括泵抽機構(gòu)；用 于驅(qū)動該泵抽機構(gòu)的馬達；用于給馬達供應(yīng)變頻電源的裝置；用于 在馬達內(nèi)為電流以及頻率設(shè)定最大值的控制裝置；以及用于給控制 裝置供應(yīng)數(shù)據(jù)的裝置，該數(shù)據(jù)代表從泵抽機構(gòu)排出氣體的溫度以及 泵抽機構(gòu)定子的溫度，其中，該控制裝置配置為使用該接收到的數(shù) 據(jù)，以便在泵抽系統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)最大值中的至少 一個。通過監(jiān)測這些溫度，可以借助控制裝置而獲得泵抽機構(gòu)的轉(zhuǎn)子 與定子之間的間隙指示。通過這些，控制裝置能夠預(yù)測由于馬達過 熱引起的轉(zhuǎn)子與定子之間的接觸的出現(xiàn)。為了防止轉(zhuǎn)子與定子之間 的碰撞，控制裝置能夠自動地減小馬達內(nèi)的電流最大值。隨著這種 最大電流值的減小，變頻驅(qū)動裝置自動地減小供應(yīng)給馬達的電源的 頻率，其具有減慢轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動速度的效果并具有因此減小了跨越泵抽 機構(gòu)的差壓的效果。隨著差壓的減小，從泵抽機構(gòu)內(nèi)排出的氣體內(nèi) 所生成的壓縮熱量也得以減小，而這又將減小轉(zhuǎn)子的溫度，從而減 小了轉(zhuǎn)子與定子之間碰撞的風(fēng)險。這能夠提供更大的運行可靠性，尤其是在較大的、復(fù)雜的升壓泵內(nèi)的運行可靠性，并且能夠使泵抽 系統(tǒng)在最小或者無熱安全風(fēng)險的情況下、在不需要使用昂貴的熱交 換器或者其它冷卻機構(gòu)來應(yīng)付潛在熱漂移的情況下，以最高的實際 效率來使用。子溫度能夠通過利用從第一溫度傳感器輸出的信號來被監(jiān)測，該第 一溫度傳感器設(shè)置為監(jiān)測從泵抽機構(gòu)排出的氣體的溫度。包含于這 個信號內(nèi)的數(shù)據(jù)能夠在時間上積分，從而能夠決定實際的轉(zhuǎn)子溫度。 通過額外地使用增壓器入口壓力測量，這種決定能夠得到進一步的 增強。可以提供第二溫度傳感器，以便供應(yīng)信號，該信號代表定子 選定部分的溫度?？梢詫⑦m當(dāng)計算邏輯應(yīng)用于這些溫度，以便提供 轉(zhuǎn)子與定子選定部分之間的運行間隙的精確估計。作為 一種備選，使用接收到的信號來提供泵抽機構(gòu)的轉(zhuǎn)子與定
子之間的間隙指示和/或轉(zhuǎn)子溫度指示，信號強度本身可以被控制裝 置所使用，以便調(diào)節(jié)馬達內(nèi)的電流最大值。由于當(dāng)轉(zhuǎn)子與定子之間存在最大溫度差異時，更可能發(fā)生接觸， 至少一個，可選地為兩個或多個第二溫度傳感器優(yōu)選地鄰近泵抽機 構(gòu)的入口喉道而定位。這些第二溫度傳感器可以方便地定位于泵抽 機構(gòu)的定子的外表面上，該外表面能夠使這些傳感器的位置按照要 求容易地改動。通過對增壓器泵入口壓力進行測量，可以額外地對估計的運朽-間隙進行修改，該增壓器泵入口壓力測量可用于識別入口壓力區(qū)域， 跨越該入口壓力區(qū)域最可能有過度的熱量生成。通過監(jiān)測定子溫度 的任何突然增加，這種對間隙的估計可以進一步得到增強，定子溫 度的突然增加起因于間隙損耗以及在那點的摩擦局部加熱的第 一次 出現(xiàn)，進而檢測出轉(zhuǎn)子/定子接觸的開始。備選地或額外地，可以使 用安裝在定子外部的額外振動傳感器來檢測實際的轉(zhuǎn)子/定子接觸的 出現(xiàn)。在一個實施例中，控制裝置由單個控制器提供，該控制器接收 從溫度傳感器輸出的信號，并且作為對接收從溫度傳感器輸出的信 號的響應(yīng)，調(diào)節(jié)馬達內(nèi)的電流最大值。在另一個實施例中，控制裝 置由第 一控制器提供，該第 一控制器接收從溫度傳感器輸出的信號， 并且向第二控制器輸出命令信號，該命令信號指示該第二控制器根 據(jù)由第 一控制器使用所接收到的信號所確定的數(shù)量來調(diào)節(jié)馬達內(nèi)電 流的最大值。在笫二方面，本發(fā)明提供一種用于控制泵抽系統(tǒng)的方法，該泵 抽系統(tǒng)包括泵抽機構(gòu)、用于驅(qū)動該泵抽機構(gòu)的馬達以及用于給馬達供應(yīng)電源的變頻驅(qū)動單元。該方法包括以下步驟設(shè)定馬達內(nèi)的電 流最大值及頻率最大值；接收數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)代表從泵抽機構(gòu)排出的 氣體的溫度以及泵抽機構(gòu)定子的溫度；以及使用接收到的數(shù)據(jù)在泵 抽系統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)該最大值中的至少 一 個。
與本發(fā)明的系統(tǒng)方面相關(guān)的上述特征可以同等地應(yīng)用于本發(fā)明 的方法方面，反之亦然?，F(xiàn)在將結(jié)合附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選特征，圖中

圖1示意性地展示了用于對殼體抽空的泵抽系統(tǒng)的一個示例；圖2示意性地展示了驅(qū)動系統(tǒng)的一個示例，該驅(qū)動系統(tǒng)用于驅(qū) 動圖1中泵抽系統(tǒng)的升壓泵的馬達；圖3展示一種設(shè)置的第一個示例，該設(shè)置用于監(jiān)測并控制圖1 中泵抽系統(tǒng)的多個狀態(tài)；圖4展示了傳感器設(shè)置的第二個示例，該傳感器設(shè)置用于監(jiān)測 圖1中泵抽系統(tǒng)的多個狀態(tài)；以及圖5展示一種設(shè)置的第三個示例，該設(shè)置用于監(jiān)測并控制圖1 中泵抽系統(tǒng)的多個運行狀態(tài)。圖1展示了真空泵抽系統(tǒng)，用于對殼體10，比如載荷鎖定腔室 或者其它相對較大的腔室進行抽空。該系統(tǒng)包括與前級泵14串聯(lián)的 升壓泵12。該升壓泵12具有入口 16,該入口 16通過抽空通道18， 優(yōu)選地以管3各18的形式，而與該殼體10的出口 20連接。該升壓泵 12的排出口 22通過管路24而連接到該前級泵14的入口 26上。該 前級泵14具有排出口 28,該排出口 28把從該殼體10抽出的氣體排 出到大氣中。雖然所展示的泵抽系統(tǒng)包括單個升壓泵以及單個前級泵，可以 根據(jù)該殼體的泵抽要求，可以提供任何數(shù)量的升壓泵。當(dāng)提供多個 升壓泵時，這些升壓泵并聯(lián)連接，使得每個升壓泵可以暴露于相同 的運行情形下。當(dāng)提供數(shù)量相對較多的升壓泵時，兩個或更多前級 泵可以以并聯(lián)的方式提供。此外，根據(jù)要求，可以在第一排升壓泵 與前級泵之間提供額外一排或多排類似以并聯(lián)方式連接的升壓泵。參考圖2,該升壓泵12包括由變速馬達32驅(qū)動的泵抽機構(gòu)30。 升壓泵典型地包括基本上千燥(或無油)的泵抽機構(gòu)30,但通常地也包 括一些構(gòu)件，比如用于驅(qū)動該泵抽機構(gòu)30的軸承以及傳動齒輪，這 些軸承以及傳動齒輪要求潤滑，以便有效。干燥泵的例子包括Roots 泵、Northey(或"爪式，，)泵以及螺桿泵。結(jié)合有Roots和/或Northey 機構(gòu)的干燥泵一般地為多級正排量泵，其在每個泵抽腔室內(nèi)采用內(nèi) 嚙合轉(zhuǎn)子。該轉(zhuǎn)子定位于反轉(zhuǎn)軸上，并且可以在每個腔室內(nèi)具有相 同類型的外形或者該外形可以從腔室到腔室變化。該前級泵14可以具有與該升壓泵12類似的泵抽機構(gòu)，或者不 同的泵抽機構(gòu)。比如，該前級泵14可以為旋轉(zhuǎn)葉片泵、旋轉(zhuǎn)活塞泵、 Northey或者"爪式"泵或者螺桿泵。該升壓泵12的馬達32可以為任何適當(dāng)?shù)鸟R達，用于驅(qū)動該升 壓泵12的泵抽^/L構(gòu)30。在該優(yōu)選實施例中，該馬達32包括異步交 流馬達。用于驅(qū)動該馬達32的控制系統(tǒng)包括變頻驅(qū)動單元36，用于 接收由電源38供應(yīng)的交流電源，并且將該接收到的交流電源轉(zhuǎn)化為 用于該馬達32的電源供應(yīng)。該驅(qū)動單元36包括逆變器40以及逆變器控制器42。如所知道 的，該逆變器40包括用于將來自該電源38的交流電源轉(zhuǎn)化為脈沖 直流電源的整流電路、用于將該脈沖直流電源過濾成直流電源的中 間直流電流、以及逆變器電路，其用于將該直流電源轉(zhuǎn)化為交流電 源，以^便驅(qū)動該馬達32。該逆變器控制器42控制該逆變器40的運行，使得該電源具有 所需要的振幅和頻率。該逆變器控制器42根據(jù)該泵抽系統(tǒng)的運行狀 態(tài)而調(diào)節(jié)該電源的振幅以及頻率。當(dāng)從該逆變器40輸出的電源頻率 變化時，該馬達32的轉(zhuǎn)動速度4艮據(jù)頻率的改變而變化。該驅(qū)動單元 36因此能夠在對該殼體10進行抽空時改變該升壓泵12的速度，從 而優(yōu)化該升壓泵12的性能。該逆變器控制器42對該驅(qū)動單元36的兩個或者多個運行極限 設(shè)定數(shù)值，特別是供應(yīng)給該馬達32的電源最大頻率(f自J以及可供應(yīng) 給該馬達32的最大電流(ImJ。如上面所提到的，該值Im^通常纟皮i殳 定，從而使得它適用于馬達32的持續(xù)額定值，即功率，該馬達可以
以該功率長時間地運行，而不達到過載情形。對供應(yīng)給該馬達的功率設(shè)定最大值具有限制該泵抽機構(gòu)30可獲得的有效扭矩的效果。這 又將限制由此產(chǎn)生的跨越該升壓泵12的差壓，并且因此限制在該升 壓泵12內(nèi)生成的熱量。該逆變器控制器42同時監(jiān)測供應(yīng)給該馬達32的電流。該供應(yīng) 給該馬達32的電流，依賴于通過該驅(qū)動單元36而供應(yīng)給該馬達32 的交流電源頻率及振幅的數(shù)值。在該供應(yīng)給該馬達32的電流超過1 ^ 的情況下，該逆變器控制器42控制該逆變器40,以便減小供應(yīng)給該 馬達32的電源頻率，從而同時減小了低于1 ^的電流以及該升壓泵 12的速度。如上面所提到的，該逆變器控制器42預(yù)先給Im虹以及4^設(shè)定 數(shù)值，該數(shù)值適用于馬達32的持續(xù)額定值，即，功率，該馬達可以 以該功率不確定地運行，而沒有達到過載情形。為了防止該泵抽枳』 構(gòu)30的轉(zhuǎn)子過熱，該過熱可能導(dǎo)致該泵抽機構(gòu)30的轉(zhuǎn)子與定子之 間的碰撞，該逆變器控制器42配置為在該泵抽系統(tǒng)10的使用過程中調(diào)節(jié)1 ^的數(shù)值。通過在該升壓泵12的運行過程中減小L肌的數(shù)值，該逆變器40促成迅速地減小供應(yīng)給該馬達32的電源頻率。這 又導(dǎo)致該轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動速度變慢，從而減小了跨越該泵抽機構(gòu)30的差 壓。隨著該差壓的減小，生成于從該泵抽機構(gòu)30排出的氣體內(nèi)的壓 縮熱量也得以減小，并且這又減小的該轉(zhuǎn)子的溫度，從而減小了該 轉(zhuǎn)子與該定子之間的碰撞風(fēng)險。根據(jù)情況，另外減小4n也可能合適。 圖3展示了傳感器設(shè)置的笫一個示例，用于監(jiān)測該泵抽系統(tǒng)10 的一個或者多個運行狀態(tài)，并且用于給控制器43提供代表運行狀態(tài) 的信號，以便用于調(diào)節(jié)1 ^的數(shù)值。該設(shè)置包括第一溫度傳感器44， 用于監(jiān)測從該泵抽機構(gòu)30排出的氣體的溫度。在這個設(shè)置中，該傳 感器44水平地穿過該升壓泵12的排出凸緣而插入到從該泵12排出 的熱氣流中。該傳感器44將代表排氣溫度的信號輸出到該控制器43。 該接收到的信號通過該控制器43而在時間上進行積分，以便提供該 泵抽機構(gòu)32的轉(zhuǎn)子溫度指示。該設(shè)置進一步包括至少一個(雖然在圖3中顯示了兩個，但是可 以提供任何適當(dāng)?shù)臄?shù)量)第二溫度傳感器46,其安裝于該泵抽機構(gòu)30 的定子外表面上。由于該轉(zhuǎn)子與該定子之間的接觸最可能發(fā)生在一 定區(qū)域，該區(qū)域圍繞該定子的相對較冷入口喉道，該第二溫度傳感 器46圍繞著該區(qū)域而安裝，以便將代表在該區(qū)域定子溫度的信號輸 出給該控制器43。通過使用接收自該第一以及第二溫度傳感器44、 46的信號，可 以借助該控制器43而決定該泵抽機構(gòu)32的轉(zhuǎn)子與定子之間的當(dāng)前 間隙的精確估計。依據(jù)該間隙的數(shù)值，該控制器43可以命令該逆變 器控制器42在該升壓泵12的運行過程中減小ImM的數(shù)值，用于減小 該泵抽機構(gòu)30的轉(zhuǎn)子加熱，并且用于防止該定子與該轉(zhuǎn)子之間的碰 撞。此外，依據(jù)該間隙的數(shù)值，該控制器43也可以命令該逆變器42 在該升壓泵12的運行過程中減小4虹的數(shù)值，以便減小該泵抽機構(gòu) 30的轉(zhuǎn)子加熱，并防止該定子與該轉(zhuǎn)子之間的碰撞。該升壓泵入口壓力的測量可用于識別入口壓力區(qū)域，跨越該入 口壓力區(qū)域最可能有過度增壓器熱量生成?？紤]到這點，如圖3所 示，該傳感器設(shè)置可以包括壓力傳感器48,其設(shè)置為監(jiān)測在該泵抽 機構(gòu)30的入口處的氣體壓力。通過監(jiān)測從該第二溫度傳感器46接收的任何溫度突然增加而引 起的信號，這種對間隙的估計可以進一步得到修正，溫度的突然增 加會起因于間隙損耗以及在接觸點的因摩擦產(chǎn)生的局部加熱的第一 次出現(xiàn)。備選地，如圖4所示，該傳感器設(shè)置可以被修改，以便包 括振動傳感器50，其安裝在該定子入口喉道的外表面上，用于檢測 轉(zhuǎn)子/定子接觸的出現(xiàn)。在圖3和圖4所展示的示例中，該逆變器控制器42以及該控制 器43 —起提供控制裝置52，用于對該馬達內(nèi)的電流以及頻率設(shè)定最 大值，用于接收數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)代表從該泵抽機構(gòu)排出的氣體的溫度 以及該泵抽機構(gòu)的定子溫度，并且使用該接收到的數(shù)據(jù)在該泵抽系 統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)該最大值中的至少一個。在圖5所展示的示例中，從傳感器44、 46以及48輸出的信號直接地反饋到該逆變器控制器 42,該逆變器控制器42依據(jù)由這些傳感器所監(jiān)測的參數(shù)，調(diào)節(jié)該最 大值當(dāng)中的至少一個。這可以提供簡化的控制裝置，用于調(diào)節(jié)這些 最大值。
權(quán)利要求
1.一種泵抽系統(tǒng)，包括泵抽機構(gòu)；用于驅(qū)動所述泵抽機構(gòu)的馬達；用于給所述馬達供應(yīng)變頻電源的裝置；用于在所述馬達內(nèi)為電流以及頻率設(shè)定最大值的控制裝置；以及用于給所述控制裝置供應(yīng)數(shù)據(jù)的裝置，所述數(shù)據(jù)代表從所述泵抽機構(gòu)排出的氣體的溫度以及所述泵抽機構(gòu)的定子的溫度，其中，所述控制裝置配置為使用所接收到的數(shù)據(jù)，以便在所述泵抽系統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)所述最大值中的至少一個。
2. 如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置配置 為在所述泵抽系統(tǒng)運行過程中，通過所述驅(qū)動裝置而調(diào)節(jié)供應(yīng)給所 述馬達的所述電源的振幅以及頻率。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)供應(yīng) 裝置包括第一溫度傳感器，用于供應(yīng)代表從所述泵抽機構(gòu)排出的氣 體溫度的信號，以及第二溫度傳感器，用于供應(yīng)代表所迷定子的選 定部分的溫度的信號。
4. 如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一溫度傳感 器鄰近所述泵抽機構(gòu)的排出口而定位。
5. 如權(quán)利要求3或4所迷的系統(tǒng)，其特征在于，所迷控制裝置 配置為至少依據(jù)從所述第一溫度傳感器接收的所述信號隨時間的變 化而調(diào)節(jié)所述最大值當(dāng)中的至少一個。
6. 如權(quán)利要求3至5中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述
7. 如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第二溫度傳感 器鄰近所述泵抽^L構(gòu)的入口而定位。
8. 如權(quán)利要求3至7中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述 控制裝置配置為至少依據(jù)從所述第二溫度傳感器接收的所述信號隨 時間的變化而調(diào)節(jié)所述最大值當(dāng)中的至少 一 個。
9. 如權(quán)利要求3至8中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，包括 多個所述第二溫度傳感器，各個所述第二溫度傳感器定位于所述泵 抽機構(gòu)的所述定子的外表面上的不同位置。
10. 如權(quán)利要求3至9中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，振 動傳感器配置為供應(yīng)代表所述泵抽機構(gòu)的振動的信號，并且其中所 述控制裝置配置為使用從所述振動傳感器接收的信號，來調(diào)節(jié)所述 最大值當(dāng)中的至少一個。
11. 如權(quán)利要求3至10中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所 迷控制裝置配置為根據(jù)所述被監(jiān)測的溫度之間的預(yù)定關(guān)系而調(diào)節(jié)所 迷最大值當(dāng)中的至少一個。
12. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，包括并且其中所述控制裝置配置為使用從所述壓力傳感器接收的信號， 來調(diào)節(jié)所述最大值當(dāng)中的至少一個。
13. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述 控制裝置包括第一控制器，用于設(shè)定所述最大值，并包括第二控制 器，用于接收所述數(shù)據(jù)，并且作為對接收的所述數(shù)椐的響應(yīng)而指示 所述第 一控制器調(diào)節(jié)所述最大值當(dāng)中的至少一個。
14. 一種用于控制泵抽系統(tǒng)的方法，所述泵抽系統(tǒng)包括泵抽機 構(gòu)、用于驅(qū)動所述泵抽機構(gòu)的馬達、以及用于給所述馬達供應(yīng)電源 的變頻驅(qū)動單元，所述方法包括以下步驟為所述馬達內(nèi)的電流及 頻率設(shè)定最大值；接收數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)代表從所述泵抽機構(gòu)排出的 氣體的溫度以及所述泵抽機構(gòu)的定子的溫度；以及使用所接收到的 數(shù)據(jù)在所述泵抽系統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)所述最大值當(dāng)中的至少一個。
15. 如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，供應(yīng)給所述馬達 的電源的振幅以及頻率在所述泵抽系統(tǒng)運行過程中進行調(diào)節(jié)。
16. 如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所迷最大值當(dāng)中 的至少 一個依據(jù)所接收到的信號而進行調(diào)節(jié)，所述信號代表從所述泵抽機構(gòu)排出的氣體溫度以及所述定子的選定部分的溫度。
17. 如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述最大值當(dāng)中的至少 一 個至少依據(jù)所述信號隨時間的變化而進行調(diào)節(jié)，所述信號 代表從所述泵抽機構(gòu)排出的氣體溫度。
18. 如權(quán)利要求16或17所述的方法，其特征在于，所述信號 從在所述泵抽機構(gòu)的所述定子的外表面上定位的傳感器而獲得，所 述信號代表所述定子的溫度。
19. 如權(quán)利要求18所述的方法，其特征在于，所述最大值當(dāng)中 的至少一個至少依據(jù)從所述傳感器接收的所述信號隨時間的變化而 進行調(diào)節(jié)。
20. 如權(quán)利要求14至19中任一項所述的方法，其特征在于， 所述最大值當(dāng)中的至少 一個是在所述泵抽系統(tǒng)的使用過程中，利用 代表所述泵抽機構(gòu)振動的信號而進行調(diào)節(jié)的。
21. 如權(quán)利要求14至20中任一項所迷的方法，其特征在于， 所述最大值當(dāng)中的至少 一個是利用代表進入所述泵抽機構(gòu)的氣體壓 力信號而進行調(diào)節(jié)的。
全文摘要
一種泵抽系統(tǒng)，包括泵抽機構(gòu)(30)；用于驅(qū)動該泵抽機構(gòu)的馬達(32)；用于給該馬達供應(yīng)變頻電源的裝置(40)；用于在該馬達內(nèi)為電流設(shè)定最大值的控制裝置(42；52)；以及用于給該控制裝置供應(yīng)數(shù)據(jù)的裝置(44，46)，該數(shù)據(jù)代表從該泵抽機構(gòu)排出的氣體的溫度以及該泵抽機構(gòu)的該定子的溫度。其中該控制裝置(42；52)配置為使用該接收到的數(shù)據(jù)，以便在該泵抽系統(tǒng)運行過程中調(diào)節(jié)該最大值。這可以防止在該泵抽系統(tǒng)運行過程中該泵抽機構(gòu)的轉(zhuǎn)子與定子之間的碰撞。
文檔編號F04C18/12GK101166902SQ200680014635
公開日2008年4月23日 申請日期2006年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月29日
發(fā)明者S·H·布魯斯 申請人:愛德華茲有限公司