專利名稱：微流閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種確保用于保護(hù)壓送液體的泵的最小流量的微流道 上設(shè)置的微流閥。
本申請(qǐng)基于日本專利申請(qǐng)No.2007-106369，其內(nèi)容作為參考援用 于此。
背景技術(shù)：
為了壓送水等液體多使用離心泵等泵。該泵在排出側(cè)關(guān)閉等不能 確保預(yù)定的排出流量的情況下，保持原狀繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的話，會(huì)產(chǎn)生液體 在泵中循環(huán)，溫度異常上升的問題。為了避開這種問題，在泵的排出 側(cè)和吸入側(cè)之間設(shè)置有微流道。微流道由連接泵的排出側(cè)和吸入側(cè)的 旁通配管和設(shè)置于該旁通配管上的微流閥構(gòu)成。通過設(shè)置這種微流道， 在泵的排出側(cè)的流量變?yōu)轭A(yù)定流量以下的情況下，微流閥打開，從泵 的排出側(cè)向吸入側(cè)分流液體，確保用于保護(hù)泵的最小流量(微流)。
采用這樣的微流道的發(fā)明有日本特開平7-208346號(hào)公報(bào)中公開的 最小流量分流閥的控制裝置。該文獻(xiàn)公開的最小流量分流閥被根據(jù)設(shè) 置于泵的排出側(cè)的流量計(jì)的輸出信號(hào)和驅(qū)動(dòng)泵的馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)電流的輸 出信號(hào)進(jìn)行計(jì)算的控制電路控制。
上述日本特開平7-208346號(hào)公報(bào)所述的最小流量分流閥的控制裝 置需要具有根據(jù)流量計(jì)的輸出信號(hào)等計(jì)算的控制電路，因此由于信號(hào) 布線等使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難以降低成本。并且，在用于較大規(guī)模的工 廠的情況下，導(dǎo)入這種控制電路是非常合算的，但是在采用小于 100mVh的小型泵的設(shè)備中，由于具有電路控制裝置的系統(tǒng)性能過剩，因此實(shí)際上導(dǎo)入是比較困難的。
因而，作為不具有電路控制裝置的微流道，采用在微流道上設(shè)置 流量固定的節(jié)流孔，無論泵的排出流量多少， 一直分流一部分流量的 結(jié)構(gòu)。然而，這樣的話，即使額定工作時(shí)也一直有無謂的流量流過分 流管線，因而增大了運(yùn)轉(zhuǎn)成本。進(jìn)而，由于不得不選用附加上分流流 量后的額定流量的泵，因此不能選擇小的泵，使得設(shè)備成本增加。
對(duì)此，考慮代替設(shè)置于微流道上的節(jié)流孔，采用在預(yù)定的排出壓 力以上動(dòng)作的安全閥或自動(dòng)調(diào)壓閥。然而，安全閥或者自動(dòng)調(diào)壓閥構(gòu) 成為根據(jù)液體的排出壓力直接打開，因而不能以較高精度設(shè)定開發(fā)時(shí)
間。例如，根據(jù)安全閥相關(guān)的JIS (Japanese Industrial Standard;日本 工業(yè)規(guī)格)，要求有±5%的以內(nèi)的精度，但是這種精度對(duì)于微流閥要 求的精度是不夠的。對(duì)該理由，通過圖6進(jìn)行說明。
該圖為表示典型的離心泵特性的圖表，橫軸為流量Q (m3/h)， 縱軸為揚(yáng)程H(m)。離心泵的特性如該圖所示，為橫向倒伏形狀的曲 線，特別是其特征為在小流量時(shí)，相對(duì)流量變化，揚(yáng)程的變化較小。 因而，在為用于保護(hù)泵的最小流量Q1時(shí)的揚(yáng)程H1時(shí)，為了切實(shí)地使 微流閥打開，需要在微流閥的上側(cè)最大誤差時(shí)設(shè)定微流閩的設(shè)定開度。 這樣的話，微流閥的下側(cè)最大誤差時(shí)變?yōu)檫h(yuǎn)遠(yuǎn)超過最小流量Q1的流量 Q2，在為該大流量Q2時(shí)微流閥打開。因而，離心泵的額定運(yùn)轉(zhuǎn)點(diǎn)不得 不為以較流量Q2大的流量Q3亦即較揚(yáng)程H2小的揚(yáng)程H3運(yùn)行。艮P ， 具有在精度低的微流闊中，不得不將額定運(yùn)轉(zhuǎn)點(diǎn)設(shè)定為較低的揚(yáng)程的 問題。
進(jìn)而，安全閥和自動(dòng)調(diào)壓閥由于僅根據(jù)泵的排出側(cè)壓力打開，因 而可以預(yù)想到到會(huì)有在排出側(cè)的壓力由于某種理由而較大變動(dòng)的情況 下，無意地將微流閥打開的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為鑒于以上情況做出的，目的在于提供一種構(gòu)成簡便，且 能夠以較高精度開關(guān)的微流閥。
為了解決上述問題，本發(fā)明的微流閥采用以下方式。
亦即，本發(fā)明提供一種微流閥，設(shè)置于連接于主配管的排出側(cè)和 吸入側(cè)之間的旁通配管上，由泵壓送的液體在所述主配管中流通，該 微流閥在該泵的揚(yáng)程達(dá)到預(yù)定值以上時(shí)打開，從而經(jīng)由上述旁通配管 將液體由排出側(cè)返送回吸入側(cè)，其中，具有基于上述液體的排出側(cè) 壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差開閉的先導(dǎo)閥；以及與該先導(dǎo)閥的開閉動(dòng) 作對(duì)應(yīng)地開閉的主閥。
由于是根據(jù)基于液體的排出側(cè)壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差開閉的 先導(dǎo)閥決定主閥的開閉，因此能夠以較高精度調(diào)整微流閥動(dòng)作的壓力 差。因而，與根據(jù)泵排出的流體的壓力直接驅(qū)動(dòng)的安全閥或自動(dòng)調(diào)壓 閥相比，能夠明顯地提高精度。
上述先導(dǎo)閥可以構(gòu)成為具有隔膜，該隔膜在上述壓力差達(dá)到預(yù)定 值以上時(shí)變形，使上述液體流向上述主閥側(cè)，上述主閥根據(jù)由上述隔 膜引導(dǎo)來的上述液體的壓力打開。
這樣，通過除了具有根據(jù)壓力差變形將液體引導(dǎo)到主閥側(cè)的隔膜 的先導(dǎo)閥之外，還使主閥構(gòu)成為根據(jù)由隔膜導(dǎo)入的液體的壓力打開， 從而構(gòu)成機(jī)械式的自行控制動(dòng)作的微流閥。因而，不必使用來自流量 傳感器或者壓力傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行電控制，能夠以簡便的構(gòu)成廉 價(jià)提供。
上述先導(dǎo)閥和上述主閥可以配置于共同的殼體內(nèi)。這樣，通過先導(dǎo)閥和主閥設(shè)置于共同的殼體內(nèi)，能夠緊湊地構(gòu)成 微流閥。
本發(fā)明的微流閥可以具有與上述隔膜的一側(cè)抵接的隔膜支撐部 件，該隔膜支撐部件通過彈性部件向上述隔膜側(cè)施加作用力。
該情況下，通過彈性部件對(duì)隔膜支撐部件向隔膜側(cè)施加作用力， 能夠設(shè)定隔膜動(dòng)作的壓力差。另外，彈性部件可以使用例如螺旋彈簧。
本發(fā)明的微流閥的特征在于，通過改變上述彈性部件的設(shè)置長度， 能夠調(diào)整該彈性部件施加的作用力。
例如，通過調(diào)整螺釘?shù)雀淖冎巫鳛閺椥圆考穆菪龔椈傻囊欢?的彈簧座的設(shè)置位置，能夠改變螺旋彈簧的設(shè)置長度。這樣，通過改 變彈性部件的設(shè)置長度，可以調(diào)整彈性部件產(chǎn)生的作用力，因而能夠 細(xì)致地調(diào)整先導(dǎo)閥的動(dòng)作壓力差。
本發(fā)明的微流閥中，上述彈性部件可更換。
通過使彈性部件可更換，能夠改變?yōu)榫哂胁煌瑥椓Φ膹椥圆考?由此，由于能夠改變對(duì)隔膜施加的力，因而能夠較寬范圍地設(shè)置先導(dǎo) 閥的動(dòng)作壓力差。
本發(fā)明的微流閥可以采用通過設(shè)在上述旁通配管上的凸緣從兩側(cè) 夾持而連接的夾持連接(々工八接続)構(gòu)造。
通過采用在由旁通配管的凸緣從兩側(cè)夾持的狀態(tài)下連接的夾持連 接構(gòu)造，能夠不依賴于旁通配管的凸緣的規(guī)格而連接微流閥。
并且，由于不必在微流閥上形成凸緣，因而能夠減輕主體重量，并能夠廉價(jià)提供。
進(jìn)而，本發(fā)明的微流閥中，液體接觸部可以由不銹鋼制成。
這樣，由于液體接觸部由不銹鋼構(gòu)成，能夠不依賴于液體的種類 使用。
根據(jù)本發(fā)明，通過根據(jù)液體的排出側(cè)壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差 開閉的先導(dǎo)閥決定主閥的開閉，因此能夠提供以較高精度控制開閉的 微流閥。
并且，在本發(fā)明中，采用具有根據(jù)壓力差變形而將液體引導(dǎo)到主 閥側(cè)的隔膜的先導(dǎo)閥，且主閥構(gòu)成為根據(jù)由隔膜導(dǎo)入的液體的壓力打 開，從而構(gòu)成機(jī)械式的自行控制動(dòng)作的微流閥，能夠以簡便的構(gòu)成提 供廉價(jià)的微流閥。


圖1為表示設(shè)置有本發(fā)明的一實(shí)施方式的微流闊的給水設(shè)備的概 要圖。
圖2為表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的微流閥的主視圖。 圖3為表示圖2中的微流閥關(guān)閉時(shí)的縱向截面圖。 圖4為表示圖2中的微流閥打開時(shí)的縱向截面圖。 圖5為表示圖2中的微流閥的夾持連接縱向截面圖。 圖6為表示離心泵的特性的圖表。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖1為表示設(shè)置有本發(fā)明的一實(shí)施方式相關(guān)的微流閥1的給水設(shè) 備3的概要圖。給水設(shè)備3具有儲(chǔ)存水(液體)的給水箱5，設(shè)置于從給水箱5 到給水目標(biāo)(未圖示)之間的給水配管(主配管)7，以及設(shè)置于給水 配管7上，將給水箱5內(nèi)的水汲出并壓送到給水目標(biāo)的離心泵9.
離心泵9通過未圖示的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
離心泵9的排出側(cè)的給水配管7和給水箱5之間設(shè)置有微流配管 (旁通配管)10。該微流配管10上設(shè)置有微流閥1。
微流閥1具有先導(dǎo)閥部12和主閥部14。在先導(dǎo)閥部12上連接引 導(dǎo)離心泵9的排出側(cè)的液體的排出流體導(dǎo)入管16和引導(dǎo)離心泵9的吸 入側(cè)流體的吸入流體導(dǎo)入管18?；谠搶?dǎo)入管16、 18所引導(dǎo)的流體的 壓力差，先導(dǎo)閥部12的閥開閉，與此對(duì)應(yīng)地主閥部14也開閉。另外， 在圖1中，微流閥1的先導(dǎo)閥部12與主閥部14是分開表示的，其目 的是為了示意性地表示各自的功能，如后面所述，先導(dǎo)閥部12和主閥 部14由一體的殼體構(gòu)成。
圖2中表示微流閥1的主視圖，圖3和圖4中表示微流閥1的縱 向截面圖。并且，圖3表示微流閥l關(guān)閉時(shí)的情況，圖4表示微流閥1 打開時(shí)的情況。
如圖2至圖4的任意一個(gè)所示，微流閥1具有與微流配管10連接 的主閥部14，以及連接于主閥部14上方的先導(dǎo)閥部12。
如圖3所示，形成主閥部14的外形的主閥部主體(殼體)19上設(shè) 置有水從微流配管10流入的入口部20，以及水流出到微流配管10的 出口部22。入口部20及出口部22在圖3中以沿平行方向并列的狀態(tài) 設(shè)置。在入口部20處形成有入口室20a，在出口部22處形成有出口室 22a。另外，需要注意的是在圖3和圖4中，入口部20表示在左側(cè)，出口部22表示在右側(cè)，與圖1相反。
主閥部主體19內(nèi)，在與并排設(shè)有入口部20和出口部22的水平方 向正交的中心軸線上設(shè)置有閥桿24。在閥桿24的上端(一端)固定有 活塞26，在閥桿24的下端(另一端)固定有主閥體28。
活塞26設(shè)置于形成在主閥部主體19上方的活塞室27內(nèi)，且在中 心軸向方向上可滑動(dòng)。
主閥體28為有底圓筒形，以使其底部28a朝向上方(閥桿24偵lJ) 的狀態(tài)配置。主閥體28的凹部28b側(cè)的一部分容納于螺合在主閥部主 體19的底部19a上的蓋體30的上部所形成的凹部30a內(nèi)。主閥體28 在蓋體30的凹部30a內(nèi)，沿凹部30a的內(nèi)面一邊滑動(dòng)一邊往復(fù)移動(dòng)。 主閥體28的凹部28b和蓋體30的凹部30a形成的空間中設(shè)置有主閥體 彈簧32。主閥體彈簧32以與閩桿24具有同一軸線的狀態(tài)配置，對(duì)主 閥體28向上方(閥桿24頂U(kuò))施力。
主閥體28的上方(閥桿24側(cè))設(shè)置有閥座34。閥座34為有底圓 筒形，以使其底部34a朝向上方的狀態(tài)配置。閥座34的底部34a的中 央形成有孔34b，閥桿24穿過該孔34b。閥座34的開口端34c與隔開 入口室20a和出口室22a的隔壁36相嵌合。在閥座34的底部34a側(cè)的 側(cè)壁上沿周方向形成有多個(gè)流通孔34d，水經(jīng)由該流通孔34d流過。主 閥體28的底部28a側(cè)的端面相對(duì)閥座34的開口端34c側(cè)的端面抵接或 者分離。主閥體28與閥座34相抵接的狀態(tài)(圖3的狀態(tài))為閥關(guān)閉 狀態(tài)，主閥體28與閥座34相分離的狀態(tài)(圖4的狀態(tài))為閥打開狀 態(tài)。
先導(dǎo)閥部12由位于主閥部14側(cè)的第一先導(dǎo)閥部主體(殼體)40， 與該第一先導(dǎo)閥部主體40相連接的第二先導(dǎo)閥部主體(殼體)42構(gòu)成 其外形。第一先導(dǎo)閥部主體40設(shè)置于主閥部主體19和第二先導(dǎo)閥部主體42之間。主閥部主體19、第一先導(dǎo)閥部主體40以及第二先導(dǎo)閥 部主體42由多個(gè)螺栓固定為一體。由此，先導(dǎo)闊部12和主閥部14一 體構(gòu)成。
在第一先導(dǎo)閥部主體40的中央形成具有與閥桿24大致同一軸線 的中心孔40a。在中心孔40a的周圍形成有由突出部40c分隔的排出流 體導(dǎo)入室40b。突出部40c的上端可與后面所述的隔膜41相抵接。向 排出流體導(dǎo)入室40b中，經(jīng)由排出流體導(dǎo)入口 40d導(dǎo)入從排出流體導(dǎo) 入管16 (參照?qǐng)D2)引導(dǎo)來的排出流體。
第二先導(dǎo)閥部主體42具有下方的凸緣部42a和上方的筒狀部42b。
在凸緣部42a的下端(第一先導(dǎo)閩部40偵ij)設(shè)置有凸部42c，嵌 合在形成于第一先導(dǎo)閥部主體40的上端的凹處。這樣，使凸緣部42a 的凸部42c與第一先導(dǎo)閥部40相嵌合時(shí)，隔膜41的周圍被凸緣部42a 和第一先導(dǎo)閥部40按壓固定。
在凸緣部42a的下端中央形成有凹部，在該凹部內(nèi)容納有隔膜支 撐部件49。隔膜支撐部件49相對(duì)凸緣部42a的凹部內(nèi)表面一邊滑動(dòng)一 邊往復(fù)移動(dòng)。隔膜支撐部件49的下表面與隔膜41相抵接。
位于隔膜支撐部件49的上表面?zhèn)鹊牡诙葘?dǎo)閥部主體42上形成 有吸入流體導(dǎo)入室42d。吸入流體導(dǎo)入室42d經(jīng)由吸入流體導(dǎo)入口 42e 導(dǎo)入從吸入流體導(dǎo)入管18 (參照?qǐng)D2)引導(dǎo)來的吸入流體。
在隔膜支撐部件49的中央形成有向上方突出的凸部49a。該凸部 49a從下方收納于在凸緣部42a的中央形成的中央孔部42f內(nèi)。在該中 央孔部42f內(nèi)，從上方收納有形成于下方彈簧支撐部件51的下方的凸 部51a，該凸部51a的下端面與隔膜支撐部件49的凸部49a的上端面 相抵接。在第二先導(dǎo)閥部主體42的筒狀部42b內(nèi)收納有與隔膜支撐部件49 具有同一軸線的調(diào)整螺旋彈簧53。調(diào)整螺旋彈簧53的下方由下方彈簧 支撐部件51支撐，調(diào)整螺旋彈簧53的上方由上方彈簧支撐部件55支 撐。
在上方彈簧支撐部件55的上部形成有向上方突出的凸部55a，與 位于上方的調(diào)節(jié)螺釘57的下端抵接。調(diào)節(jié)螺釘57螺合在與筒狀部42b 的上端螺紋聯(lián)接的上部蓋體59的中央。通過使調(diào)節(jié)螺釘57旋轉(zhuǎn)來相 對(duì)上部蓋體59在上下方向上進(jìn)退，能夠改變調(diào)整螺旋彈簧53的設(shè)置 長度。這樣，通過改變調(diào)整螺旋彈簧53的設(shè)置長度，能夠改變調(diào)整螺 旋彈簧53的作用力。S卩，能夠調(diào)整通過下方彈簧支撐部件51以及隔 膜支撐部件49傳遞到隔膜41的作用力。因而，能夠細(xì)致地調(diào)整隔膜 41的動(dòng)作壓力，亦即先導(dǎo)閥的動(dòng)作壓力差。
調(diào)整螺旋彈簧53可以通過取下上部蓋體59來更換。由此，由于 能夠通過改變成具有不同彈力的調(diào)整螺旋彈簧而大幅地改變施加在隔 膜上的力，因而能夠以寬范圍設(shè)定先導(dǎo)閥動(dòng)作的壓力差。
上述的微流閥1的主閥部主體19、第二先導(dǎo)閥部主體42、隔膜41、 隔膜支撐部件49、活塞26、主閥體28以及閥座34這些液體接觸部由 不銹鋼構(gòu)成。由此，可以不依賴液體的種類使用微流閥。
圖5表示微流閥1夾持連接的狀態(tài)。如該圖所示，微流配管10上 設(shè)置有相對(duì)的兩個(gè)凸緣10a，在這些凸緣10a之間設(shè)置微流閥1。具體 來說，在微流配管10內(nèi)的流路與微流闊1的入口部20及出口部22的 流路配置成一致的狀態(tài)下，在相對(duì)的兩個(gè)凸緣10a之間穿過多個(gè)長螺栓 60，以另一端的螺母61固定。
這樣，微流閥1構(gòu)成以從兩側(cè)夾持的狀態(tài)進(jìn)行連接的夾持連接，因而能夠不依賴于微流配管的凸緣的規(guī)格而連接微流閥1.
并且，由于不必在微流閥1上形成凸緣，因而能夠減輕主體重量， 并能夠廉價(jià)提供。
接著，對(duì)使用上述構(gòu)成的微流閥的給水設(shè)備的動(dòng)作進(jìn)行說明。
如圖1所示，給水箱5內(nèi)儲(chǔ)存的水由離心泵9經(jīng)由給水配管7供 給至給水目標(biāo)。
離心泵9的揚(yáng)程在微流閥1的設(shè)定值以下的情況下，即離心泵9 的排出流體的壓力與吸入流體的壓力的壓力差在設(shè)定壓力差以下的情 況下，微流閥1關(guān)閉，水不會(huì)流到微流配管10中。離心泵9的排出流 體的壓力和吸入壓力的壓力差，由排出流體導(dǎo)入管16和吸入流體導(dǎo)入 管18所引導(dǎo)來的流體在微流閥1的先導(dǎo)閥部12處得到。
具體來說，如圖3所示，來自排出流體導(dǎo)入管16的流體經(jīng)由排出 流體導(dǎo)入口 40d導(dǎo)入排出流體導(dǎo)入室40b。來自吸入流體導(dǎo)入管18的 流體經(jīng)由吸入流體導(dǎo)入口 42e導(dǎo)入吸入流體導(dǎo)入室42d。此時(shí)，隔膜41 上施加有由排出流體導(dǎo)入室40b內(nèi)的壓力產(chǎn)生的向上的力。另一方面， 隔膜41上施加有吸入流體導(dǎo)入室42內(nèi)的壓力產(chǎn)生的向下的力和來自 調(diào)整螺旋彈簧53的向下的力的合力。離心泵9的揚(yáng)程在預(yù)定值以下的 情況下，隔膜41上施加的向下的力大于向上的力，因此隔膜41被隔 膜支撐部件49向下方壓下，與突出部40c的上端抵接。亦即，由隔膜 41和突出部40c構(gòu)成的先導(dǎo)閥關(guān)閉。該情況下，由于排出流體導(dǎo)入室 40b內(nèi)的流體不會(huì)通過中心孔40a流入活塞室27，因此不會(huì)對(duì)活塞26 施加向下按壓的力。另一方面，固定有活塞26的閥桿24的另一端(下 端)上固定有主閥體28，該主閥體28由主閥體彈簧32向上施力。因 而，主閥體28與閥座34相抵接，切斷流路，入口室20a內(nèi)的流體不會(huì) 向出口室22a流動(dòng)。接著，對(duì)離心泵9的揚(yáng)程增大的情況進(jìn)行說明。
給水目標(biāo)被切斷的情況下，離心泵9的運(yùn)轉(zhuǎn)保持原狀繼續(xù)的話， 在流量減少的同時(shí)離心泵9的揚(yáng)程增大。離心泵9的揚(yáng)程超過微流閥1 的設(shè)定值的情況下，亦即離心泵9的排出流體和吸入流體的壓力差超 過設(shè)定壓力差的情況下，微流閥1打開，水流過微流配管IO返回到給 水箱5。由此，能夠確保用于保護(hù)離心泵9的最小流量。
此時(shí)，微流閥l進(jìn)行如下動(dòng)作。如圖4所示，揚(yáng)程增大的話，排 出流體的壓力增大，排出流體導(dǎo)入室40b內(nèi)的壓力上升。由此，將隔 膜41向上推壓的力增大，最終超過吸入流體導(dǎo)入室42d內(nèi)的壓力產(chǎn)生 的向下的力和來自調(diào)整螺旋彈簧53的向下的力的合力，隔膜41離開 突出部40c的上端。亦即，由隔膜41和突出部40c構(gòu)成的先導(dǎo)閥打開。 這樣，由于排出流體導(dǎo)入室40b內(nèi)的流體通過中心孔40a流入活塞室 27，對(duì)活塞26施加向下按壓的力。由該排出流體產(chǎn)生的壓力而將活塞 26向下按壓的力超過主閥體彈簧32經(jīng)由主閥體28和闊桿24向上推壓 活塞26的力，將活塞26向下方壓下。由此，主閥體28離閥座34形 成流路，入口室20a內(nèi)的流體向出口室22a流動(dòng)。
并且，在離心泵9的揚(yáng)程減小到小于微流閥1的閥打開設(shè)定值的 情況下，施加于隔膜41上的向上的力小于向下的力，隔膜41與突出 部40c相抵接。由此，排出流體導(dǎo)入室40b內(nèi)的流體不會(huì)通過中心孔 40a流入活塞室27，因此對(duì)活塞26向下方按壓的力減弱，活塞26被主 閥體彈簧32的力向上方推壓，主閥體28與閥座34抵接而關(guān)閉。
如以上所說明，根據(jù)本實(shí)施方式能夠產(chǎn)生以下效果。
通過根據(jù)離心泵9的排出側(cè)壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差變形的隔 膜41構(gòu)成先導(dǎo)閥，通過該先導(dǎo)閥的開閉決定主閥體28的開閉，因此能夠高精度地調(diào)整微流閥1動(dòng)作的壓力差。因而，與根據(jù)離心泵1排 出的流體的壓力直接驅(qū)動(dòng)的安全閥或自動(dòng)調(diào)壓閥相比，能夠明顯地提 高精度。
并且，在本實(shí)施方式的微流閥1中，采用了具有根據(jù)壓力差變形
以將流體導(dǎo)向活塞室27的隔膜41的先導(dǎo)閥，并且主閥體28構(gòu)成為利 用隔膜41引導(dǎo)來的流體的壓力下壓活塞26而打開閥，從而構(gòu)成為機(jī) 械式自行控制動(dòng)作的構(gòu)成。因而，不必使用來自流量傳感器或者壓力 傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行電控制，能夠以簡便的構(gòu)成廉價(jià)提供。
并且，通過連接先導(dǎo)閥部12和主閥部14，將先導(dǎo)閥和主閥配置于 共同的殼體內(nèi)，因而能夠緊湊地構(gòu)成微流閥1。
另外，在本實(shí)施方式中，作為流體的一個(gè)例子用水作說明，即使 是其他液體，也能夠適用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1. 一種微流閥，設(shè)置在連接于主配管的排出側(cè)和吸入側(cè)之間的旁通配管上，由泵壓送的液體在所述主配管中流通，該微流閥在該泵的揚(yáng)程達(dá)到預(yù)定值以上時(shí)打開，從而經(jīng)由上述旁通配管將液體由排出側(cè)返送回吸入側(cè)，其中，具有基于上述液體的排出側(cè)壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差開閉的先導(dǎo)閥；以及與該先導(dǎo)閥的開閉動(dòng)作對(duì)應(yīng)地開閉的主閥。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流閥，其中，上述先導(dǎo)閥具有隔膜，該隔膜在上述壓力差達(dá)到預(yù)定值以上時(shí)變形而使上述液體流向上述主 閥側(cè)，上述主閥根據(jù)由上述隔膜引導(dǎo)來的上述液體的壓力打開。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流閥，其中，上述先導(dǎo)閥和上述主閥 配置于共同的殼體內(nèi)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的微流閥，其特征在于，具有與上述隔膜 的一側(cè)抵接的隔膜支撐部件，該隔膜支撐部件通過彈性部件向上述隔膜側(cè)施加作用力。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的微流閥，其特征在于，通過改變上述彈 性部件的設(shè)置長度，能夠調(diào)整該彈性部件施加的作用力。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的微流閥，其特征在于，上述彈性部件可 更換。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流闊，其特征在于，采用由設(shè)置于上 述旁通配管的凸緣從兩側(cè)夾持而連接的夾持連接構(gòu)造。
8.根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流閥，其特征在于，液體接觸部由不 銹鋼制成
全文摘要
本發(fā)明提供一種構(gòu)成簡便，且能夠以較高精度開閉的微流閥。該微流閥，設(shè)置在連接于主配管的排出側(cè)和吸入側(cè)之間的旁通配管上，由泵壓送的液體在所述主配管中流通，該微流閥通過在該泵的揚(yáng)程達(dá)到預(yù)定值以上時(shí)打開，經(jīng)由上述旁通配管將液體由排出側(cè)返送回吸入側(cè)，其中，具有基于上述液體的排出側(cè)壓力和吸入側(cè)壓力的壓力差開閉的先導(dǎo)閥；以及與該先導(dǎo)閥的開閉動(dòng)作對(duì)應(yīng)地開閉的主閥。
文檔編號(hào)F04D29/00GK101285474SQ20081009191
公開日2008年10月15日 申請(qǐng)日期2008年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
發(fā)明者濱本武志, 荻野信二 申請(qǐng)人:三菱重工業(yè)株式會(huì)社