專利名稱：真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，特別涉及一種安裝在真空設(shè)備的兩個(gè)間隔的腔座 之間，并用來(lái)封閉及打開(kāi)所述腔座間通道的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
已知真空設(shè)備的閘閥裝置架設(shè)在二個(gè)相鄰腔座之間，并通過(guò)該閘閥裝置的一轉(zhuǎn)控 機(jī)構(gòu)在一開(kāi)啟位置及一封閉位置間轉(zhuǎn)換，以控制所述腔座通道互相連通，或者不連通。例如本發(fā)明申請(qǐng)人于先前提出的中國(guó)臺(tái)灣第095109638號(hào)專利案的閘閥裝置，主 要包括一基座以及安裝在該基座上的一轉(zhuǎn)控機(jī)構(gòu)、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及一輔助機(jī)構(gòu)。所述驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)可驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)控機(jī)構(gòu)的一閥控轉(zhuǎn)軸沿著一開(kāi)啟方向及一封閉方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使所述腔座間 的通道相連通或互不連通。而該輔助機(jī)構(gòu)可受驅(qū)動(dòng)而相對(duì)該基座左右移動(dòng)，進(jìn)而使其多個(gè) 輔壓輪可壓抵在該轉(zhuǎn)控機(jī)構(gòu)的一封閉板上，使該封閉板達(dá)到更好的密封及阻隔腔座通道的 效果。然而，上述轉(zhuǎn)控機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)作用及該輔助機(jī)構(gòu)的移動(dòng)作用各自獨(dú)立進(jìn)行，因此，上 述裝置設(shè)置兩個(gè)動(dòng)力源分別帶動(dòng)該轉(zhuǎn)控機(jī)構(gòu)及該輔助機(jī)構(gòu)動(dòng)作，由兩個(gè)動(dòng)力源分別運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū) 動(dòng)，將造成設(shè)備成本高的缺失。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可降低設(shè)備成本的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置。本發(fā)明真空設(shè)備的間閥驅(qū)動(dòng)裝置，架設(shè)在真空設(shè)備的一第一腔座及一第二腔座 間，并包括一基座、一閥門(mén)機(jī)構(gòu)、一定位機(jī)構(gòu)及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。該基座包括一片相鄰于該第一腔座并具有一第一閥口的第一閥壁、一相鄰于該 第二腔座并具有一第二閥口的第二閥壁以及二銜接在所述第一閥壁與所述第二閥壁間并 與所述第一閥壁與所述第二閥壁共同界定一安裝空間的側(cè)壁。該閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括一可轉(zhuǎn)動(dòng)地 架設(shè)于該安裝空間的閥板轉(zhuǎn)軸以及一與該閥板轉(zhuǎn)軸連動(dòng)地結(jié)合的閥板，該閥門(mén)機(jī)構(gòu)可受驅(qū) 動(dòng)而在一個(gè)使該閥板貼靠該第一閥壁而封閉該第一閥口的封閉位置以及一個(gè)使該閥板遠(yuǎn) 離該第一閥壁的開(kāi)啟位置間轉(zhuǎn)換。該定位機(jī)構(gòu)包括一個(gè)設(shè)置于該安裝空間并可相對(duì)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的推桿，該定位 機(jī)構(gòu)可將該閥門(mén)機(jī)構(gòu)固定在該封閉位置。該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)架設(shè)在基座上，并包括一連結(jié)并驅(qū)動(dòng) 該定位機(jī)構(gòu)的推桿移動(dòng)的動(dòng)力單元以及一連結(jié)該動(dòng)力單元及該閥門(mén)機(jī)構(gòu)的連結(jié)單元，該連 結(jié)單元將該動(dòng)力單元的動(dòng)力傳遞給該閥門(mén)機(jī)構(gòu)的閥板轉(zhuǎn)軸，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)該閥板轉(zhuǎn)軸沿一封閉 方向及一開(kāi)啟方向轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力單元包括一個(gè)動(dòng)力 源、一個(gè)受該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)而繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力軸以及一個(gè)架設(shè)在該動(dòng)力軸上并相鄰于 該連結(jié)單元的抵推件，所述動(dòng)力軸為一支螺桿，該抵推件螺鎖在該動(dòng)力軸的外周并能受該 動(dòng)力軸的轉(zhuǎn)動(dòng)作用的驅(qū)動(dòng)而相對(duì)該連結(jié)單元左右移動(dòng)。
本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該動(dòng)力軸包括一個(gè)第一端部以及一個(gè) 與該第一端部反向間隔的第二端部，且該第一端部相對(duì)于該第二端部更鄰近該動(dòng)力源，該 動(dòng)力單元還包括一個(gè)連結(jié)該動(dòng)力軸的第二端部及該推桿的連結(jié)座，該連結(jié)座包括一個(gè)座圍 壁，該座圍壁界定出一個(gè)供該動(dòng)力軸的第二端部螺鎖于其中的螺接空間，所述連結(jié)座受該 動(dòng)力軸的轉(zhuǎn)動(dòng)作用的驅(qū)動(dòng)而帶動(dòng)該推桿左右移動(dòng)。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該連結(jié)單元包括一個(gè)相鄰于該抵推件的 受抵件，該受抵件能受該抵推件帶動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)并將轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳遞至該閥板轉(zhuǎn)軸。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括至少一個(gè)輔助將該抵 推件朝該受抵件的方向推動(dòng)的輔助壓缸。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該連結(jié)單元還包括一個(gè)與該受抵件連動(dòng) 地結(jié)合的第一齒輪、一個(gè)與該第一齒輪嚙合的第二齒輪、一個(gè)連動(dòng)地設(shè)置在該第二齒輪的 中心的輸出軸以及一個(gè)連接該輸出軸及該閥板轉(zhuǎn)軸的連結(jié)組件。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該定位機(jī)構(gòu)還包括至少一個(gè)固定安裝在 該第一閥壁上的固定座以及多個(gè)彼此間隔并連結(jié)該固定座與該推桿的樞接板，所述樞接板 都包括一個(gè)與該固定座樞接的第一樞接部以及一個(gè)與該推桿樞接的第二樞接部。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該定位機(jī)構(gòu)還包括多個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在 該推桿上并在該閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于該封閉位置時(shí)壓抵在該閥門(mén)機(jī)構(gòu)上的輔壓輪。本發(fā)明所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，該閥門(mén)機(jī)構(gòu)還包括多個(gè)架設(shè)在該第一閥 壁上并供該閥板轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地組裝的軸安裝座、多個(gè)彼此間隔地安裝在該閥板轉(zhuǎn)軸上的安 裝架板以及多個(gè)將所述安裝架板與該閥板固定結(jié)合的固定件，所述安裝架板都具有一個(gè)安 裝在該閥板轉(zhuǎn)軸上的固定端以及一個(gè)與該固定端間隔并受前述輔壓輪抵壓的受壓端。本發(fā)明的有益效果在于通過(guò)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置單一動(dòng)力單元，就可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)該 閥門(mén)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)及驅(qū)動(dòng)該定位機(jī)構(gòu)移動(dòng)，達(dá)到降低設(shè)備成本的優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置的一較佳實(shí)施例的俯視圖，同時(shí)顯示一閥 門(mén)機(jī)構(gòu)位于一封閉位置，一定位機(jī)構(gòu)位于一個(gè)定位位置；圖2是取自圖1的2-2線的剖視圖，同時(shí)示意一第一腔座、一第二腔座與該較佳實(shí) 施例的相對(duì)關(guān)系；圖3是該較佳實(shí)施例位于圖1狀態(tài)時(shí)的局部立體圖；圖4是該較佳實(shí)施例位于圖1狀態(tài)時(shí)的前視圖；圖5是該較佳實(shí)施例位于圖1狀態(tài)時(shí)的局部俯視剖視圖；圖6是一類似圖1的俯視圖，同時(shí)顯示該閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于一開(kāi)啟位置，該定位機(jī)構(gòu)位 于一個(gè)非定位位置；圖7是該較佳實(shí)施例位于圖6狀態(tài)時(shí)的前視圖；圖8是取自圖6的8-8線的剖視圖，同時(shí)示意出所述第一腔座及第二腔座；圖9是該較佳實(shí)施例位于圖6狀態(tài)時(shí)的局部俯視剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。參閱圖1、圖2、圖3，本發(fā)明真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置的較佳實(shí)施例，架設(shè)在一真 空設(shè)備的一第一腔座11及一第二腔座12間，并用來(lái)連通及關(guān)閉所述第一腔座11及所述第 二腔座12間的通道。上述間閥驅(qū)動(dòng)裝置包括一夾設(shè)在所述第一腔座11及所述第二腔座 12間的基座2、一個(gè)架設(shè)在該基座2內(nèi)的閥門(mén)機(jī)構(gòu)3、一個(gè)架設(shè)在該基座2內(nèi)并用于將該閥 門(mén)機(jī)構(gòu)3定位在一封閉位置的定位機(jī)構(gòu)4以及一可同時(shí)驅(qū)動(dòng)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3與該定位機(jī)構(gòu)4 動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5。該基座2約為長(zhǎng)方形，并包括一片鄰近該第一腔座11的第一閥壁21、一與該第 一閥壁21間隔并鄰近該第二腔座12的第二閥壁22以及二個(gè)分別連接在所述第一閥壁21 及所述第二閥壁22的左、右兩側(cè)的側(cè)壁23。所述第一閥壁21與第二閥壁22分別具有貫穿 其內(nèi)、外壁面的一第一閥口 211與一第二閥口 221，所述第一閥口 211及所述第二閥口 221 分別連通所述第一腔座11及所述第二腔座12的通道，而且第一閥壁21、第二閥壁22及側(cè) 壁23共同界定出一安裝空間20。本實(shí)施例的閥門(mén)機(jī)構(gòu)3安裝在該基座2的安裝空間20內(nèi)，并包括多個(gè)彼此間隔 并架設(shè)于該第一閥壁21的軸安裝座31、一可轉(zhuǎn)動(dòng)地組裝在所述軸安裝座31上的閥板轉(zhuǎn)軸 32、多個(gè)等距離地安裝在該閥板轉(zhuǎn)軸32上并徑向突出的安裝架板33、一橫條狀且面積大于 該第一閥口 211的閥板34以及多個(gè)將安裝架板33與該閥板34固定結(jié)合的固定件35。其中，該閥板轉(zhuǎn)軸32具有一個(gè)突出于左側(cè)的側(cè)壁23的受驅(qū)動(dòng)端321。而所述安裝 架板33都具有一個(gè)安裝在閥板轉(zhuǎn)軸32上的固定端331以及一個(gè)與該固定端331間隔的受 壓端332，該受壓端332具有一個(gè)自其左側(cè)端緣朝右凹陷的定位凹部333。而該閥板34具 有一個(gè)可貼靠在該第一閥壁21的內(nèi)壁面上的貼合面341以及一個(gè)朝向所述安裝架板33的 組裝面342。而所述固定件35分別由所述安裝架板33朝該閥板34穿伸固定。參閱圖1、圖3、圖4，所述定位機(jī)構(gòu)4包括一個(gè)位于該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3的前緣并可受 帶動(dòng)而左右移動(dòng)的推桿41、多個(gè)彼此間隔并固定安裝在該第一閥壁21上的固定座42、多個(gè) 分別連結(jié)所述固定座42與該推桿41的樞接板43以及多個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在該推桿41的內(nèi) 側(cè)并分別對(duì)應(yīng)所述安裝架板33的定位凹部333的輔壓輪44。該推桿41的左端向左穿過(guò)該 左側(cè)的側(cè)壁23而連結(jié)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5。所述樞接板43都包括一個(gè)與其對(duì)應(yīng)的固定座42樞接 的第一樞接部431以及一個(gè)與該推桿41樞接的第二樞接部432。參閱圖1、圖5，本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5包括一連結(jié)該定位機(jī)構(gòu)4的推桿41的動(dòng) 力單元6、多個(gè)輔助壓缸7以及一連結(jié)該動(dòng)力單元6及該閥板轉(zhuǎn)軸32的連結(jié)單元8。其中，該動(dòng)力單元6包括一動(dòng)力源61、一可受該動(dòng)力源61驅(qū)動(dòng)而繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的 動(dòng)力軸62、一連結(jié)該動(dòng)力軸62的右端及該推桿41的連結(jié)座63、一固定地設(shè)置在該連結(jié)座63 的外周的座體64以及一架設(shè)在該動(dòng)力軸62的外周并位于該連結(jié)座63的左側(cè)的抵推件65。該動(dòng)力源61為一馬達(dá)，其右側(cè)末端設(shè)有一聯(lián)軸器66連結(jié)該動(dòng)力軸62，進(jìn)而將該 動(dòng)力源61的一轉(zhuǎn)軸611的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳遞至該動(dòng)力軸62。該動(dòng)力軸62為一設(shè)有多個(gè)螺紋 的螺桿，并具有一個(gè)通過(guò)該聯(lián)軸器66而連結(jié)該轉(zhuǎn)軸611的第一端部621以及一與該連結(jié)座 63結(jié)合的第二端部622。該連結(jié)座63包括一個(gè)座圍壁631，該座圍壁631界定出一個(gè)開(kāi)口 朝左并供該動(dòng)力軸62的第二端部622螺鎖于其中的螺接空間632，所述座圍壁631對(duì)應(yīng)于該螺接空間632的部位設(shè)有用于與該動(dòng)力軸62螺鎖的內(nèi)螺紋。該抵推件65設(shè)有多個(gè)內(nèi)螺 紋而螺鎖在該動(dòng)力軸62的外圍。該連結(jié)座63及該抵推件65都可以受到該動(dòng)力軸62的轉(zhuǎn) 動(dòng)作用的帶動(dòng)，而相對(duì)該動(dòng)力軸62左右移動(dòng)。本實(shí)施例的輔助壓缸7都為氮?dú)飧?，并且都具有一個(gè)連結(jié)該抵推件65的缸體71 以及一自該缸體71朝該座體64突伸固接的缸軸72。該連結(jié)單元8包括一個(gè)環(huán)繞在該動(dòng)力 軸62的外周的受抵件81、一個(gè)連動(dòng)地結(jié)合在該受抵件81的外周并環(huán)繞該動(dòng)力軸62的第一 齒輪82、一個(gè)與該第一齒輪82嚙合并位于該第一齒輪82的后方的第二齒輪83、一個(gè)連動(dòng) 地設(shè)置在該第二齒輪83的中心的輸出軸84以及一個(gè)連接該輸出軸84及該閥板轉(zhuǎn)軸32的 受驅(qū)動(dòng)端321的連結(jié)組件85。其中，該受抵件81朝向該抵推件65的表面設(shè)有一個(gè)環(huán)形并且由橡膠制成的墊圈 811，該墊圈811可以受該抵推件65的左側(cè)端部緊抵，借以增加該受抵件81與該抵推件65 之間的摩擦力，使得該抵推件65向左緊抵該受抵件81時(shí)，該抵推件65可以帶動(dòng)該受抵件 81連動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)。該連結(jié)組件85包括一聯(lián)軸器851、一減速元件852等構(gòu)件，用于將該輸出 軸84的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳遞至該閥板轉(zhuǎn)軸32。本發(fā)明的閥門(mén)機(jī)構(gòu)3可在一個(gè)如圖1的封閉位置以及一個(gè)如圖6的開(kāi)啟位置間轉(zhuǎn) 換，而該定位機(jī)構(gòu)4可配合該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3而在一個(gè)定位位置以及一個(gè)非定位位置間轉(zhuǎn)換。參閱圖1、圖2、圖3、圖5，當(dāng)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3位于該封閉位置時(shí)，該閥板34靠向該第 一閥壁21，該閥板34的貼合面341貼靠該第一閥壁21的內(nèi)壁面而遮擋該第一閥口 211，使 所述第一腔座11及所述第二腔座12的通道互不連通。此時(shí)該定位機(jī)構(gòu)4位于該定位位 置，該推桿41遠(yuǎn)離該動(dòng)力軸62，所述樞接板43約呈斜向延伸，其第二樞接部432位于第一 樞接部431的右上方，所述輔壓輪44壓合在所述安裝架板33的定位凹部333上，以將該閥 門(mén)機(jī)構(gòu)3固定于該封閉位置。當(dāng)該馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該動(dòng)力軸62朝一第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，該動(dòng)力軸62的轉(zhuǎn)動(dòng)作用帶動(dòng)該連 結(jié)座63朝一非定位方向401 (圖5)移動(dòng)，本實(shí)施例是朝左移動(dòng)，連結(jié)座63移動(dòng)的同時(shí)也拉 動(dòng)該推桿41及與推桿41結(jié)合的輔壓輪44朝左移動(dòng)，使該定位機(jī)構(gòu)4最后移動(dòng)到圖6至圖 9的非定位位置，所述輔壓輪44不再壓抵在定位凹部333上。參閱圖6至圖9，動(dòng)力軸62朝該第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)該抵推件65也向左移 動(dòng)而逐漸靠向該受抵件81，在此同時(shí)，輔助壓缸7的缸軸72突伸出該缸體71的長(zhǎng)度逐漸 加長(zhǎng)，以推動(dòng)該缸體71也施予該抵推件65 —個(gè)朝左的推力，直到該抵推件65如圖9緊抵 該受抵件81右側(cè)的墊圈811時(shí)，由于此時(shí)該動(dòng)力軸62仍持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，該抵推件65沒(méi)有向左 移動(dòng)的空間，該抵推件65進(jìn)而隨著該動(dòng)力軸62連動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)并持續(xù)朝左緊抵該受抵件81，同 時(shí)因?yàn)樗鲚o助壓缸7的左推作用而加強(qiáng)此抵推力量，因此抵推件65轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)該受抵件 81轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而連動(dòng)所述第一齒輪82、所述第二齒輪83、輸出軸84都繞自身中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)， 并通過(guò)該連結(jié)組件85而帶動(dòng)該閥板轉(zhuǎn)軸32朝一如圖2的開(kāi)啟方向301轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)閥 板34以其固定端331為轉(zhuǎn)動(dòng)軸心而朝遠(yuǎn)離該第一閥壁21的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，并轉(zhuǎn)換到圖8的開(kāi) 啟位置，此時(shí)閥板34的貼合面341遠(yuǎn)離該第一閥壁21的內(nèi)壁面，該第一閥口 211不再受到 封閉，使所述第一腔座11及所述第二腔座12的通道相連通。相同道理，當(dāng)該馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該動(dòng)力軸62朝一第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)，由于此時(shí)該抵推件65仍 與該受抵件81緊抵結(jié)合，因此抵推件65受該動(dòng)力軸62帶動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力，可通過(guò)該連結(jié)單元8帶動(dòng)該閥板轉(zhuǎn)軸32朝一如圖8的封閉方向302轉(zhuǎn)動(dòng)，使該閥板34及相關(guān)構(gòu)件轉(zhuǎn)動(dòng)回 到圖2的封閉位置。接著所述輔助壓缸7的缸體71相對(duì)其缸軸72向右移動(dòng)，因此缸軸72 的突伸長(zhǎng)度逐漸縮短，輔助壓缸7不再向左緊抵該抵推件65，使抵推件65、連結(jié)座63都可 以受到該動(dòng)力軸62的轉(zhuǎn)動(dòng)作用而朝一個(gè)圖9的定位方向402移動(dòng)，本實(shí)施例為朝右移動(dòng)， 進(jìn)而通過(guò)該連結(jié)座63推動(dòng)該推桿41向右移動(dòng)，使該定位機(jī)構(gòu)4回到圖3、圖5的定位位置， 并再度通過(guò)輔壓輪44的抵壓作用，將該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3固定于該封閉位置。
綜上所述，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3及該定位機(jī)構(gòu)4動(dòng)作，改 善現(xiàn)有分開(kāi)驅(qū)動(dòng)的設(shè)計(jì)，因此本發(fā)明只須設(shè)置一組動(dòng)力源61，進(jìn)而降低設(shè)備成本。本發(fā)明不 僅區(qū)別于以往閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，并且使該閥門(mén)機(jī)構(gòu)3的封閉或開(kāi)啟動(dòng)作以及該定位機(jī)構(gòu)4的 定位或解除定位的動(dòng)作彼此連貫配合，確實(shí)為創(chuàng)新發(fā)明。
權(quán)利要求
一種真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，架設(shè)在真空設(shè)備的一個(gè)第一腔座以及一個(gè)第二腔座之間，并包括一個(gè)基座以及架設(shè)在該基座上的一個(gè)閥門(mén)機(jī)構(gòu)、一個(gè)定位機(jī)構(gòu)與一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；該基座包括一片相鄰于該第一腔座并具有一個(gè)第一閥口的第一閥壁、一個(gè)相鄰于該第二腔座并具有一個(gè)第二閥口的第二閥壁以及二個(gè)銜接在所述第一閥壁與所述第二閥壁之間并與所述第一閥壁及所述第二閥壁共同界定一個(gè)安裝空間的側(cè)壁；該閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括一支可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)于該安裝空間的閥板轉(zhuǎn)軸以及一片與該閥板轉(zhuǎn)軸連動(dòng)地結(jié)合的閥板，該閥門(mén)機(jī)構(gòu)受驅(qū)動(dòng)而在一個(gè)使該閥板貼靠該第一閥壁而封閉該第一閥口的封閉位置以及一個(gè)使該閥板遠(yuǎn)離該第一閥壁的開(kāi)啟位置之間轉(zhuǎn)換；該定位機(jī)構(gòu)包括一支設(shè)置于該安裝空間并能相對(duì)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的推桿，該定位機(jī)構(gòu)將該閥門(mén)機(jī)構(gòu)固定在該封閉位置；其特征在于，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)連結(jié)并驅(qū)動(dòng)該定位機(jī)構(gòu)的推桿移動(dòng)的動(dòng)力單元以及一個(gè)連結(jié)該動(dòng)力單元及該閥門(mén)機(jī)構(gòu)的連結(jié)單元，該連結(jié)單元將該動(dòng)力單元的動(dòng)力傳遞給該閥門(mén)機(jī)構(gòu)的閥板轉(zhuǎn)軸，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)該閥板轉(zhuǎn)軸沿一個(gè)封閉方向及一個(gè)開(kāi)啟方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力 單元包括一個(gè)動(dòng)力源、一個(gè)受該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)而繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力軸以及一個(gè)架設(shè)在該 動(dòng)力軸上并相鄰于該連結(jié)單元的抵推件，所述動(dòng)力軸為一支螺桿，該抵推件螺鎖在該動(dòng)力 軸的外周并能受該動(dòng)力軸的轉(zhuǎn)動(dòng)作用的驅(qū)動(dòng)而相對(duì)該連結(jié)單元左右移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的間閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該動(dòng)力軸包括一個(gè) 第一端部以及一個(gè)與該第一端部反向間隔的第二端部，且該第一端部相對(duì)于該第二端部更 鄰近該動(dòng)力源，該動(dòng)力單元還包括一個(gè)連結(jié)該動(dòng)力軸的第二端部及該推桿的連結(jié)座，該連 結(jié)座包括一個(gè)座圍壁，該座圍壁界定出一個(gè)供該動(dòng)力軸的第二端部螺鎖于其中的螺接空 間，所述連結(jié)座受該動(dòng)力軸的轉(zhuǎn)動(dòng)作用的驅(qū)動(dòng)而帶動(dòng)該推桿左右移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該連結(jié)單元包括一 個(gè)相鄰于該抵推件的受抵件，該受抵件能受該抵推件帶動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)并將轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳遞至該閥 板轉(zhuǎn)軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括 至少一個(gè)輔助將該抵推件朝該受抵件的方向推動(dòng)的輔助壓缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該連結(jié)單元還包括 一個(gè)與該受抵件連動(dòng)地結(jié)合的第一齒輪、一個(gè)與該第一齒輪嚙合的第二齒輪、一個(gè)連動(dòng)地 設(shè)置在該第二齒輪的中心的輸出軸以及一個(gè)連接該輸出軸及該閥板轉(zhuǎn)軸的連結(jié)組件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該定位機(jī)構(gòu)還包括 至少一個(gè)固定安裝在該第一閥壁上的固定座以及多個(gè)彼此間隔并連結(jié)該固定座與該推桿 的樞接板，所述樞接板都包括一個(gè)與該固定座樞接的第一樞接部以及一個(gè)與該推桿樞接的 第二樞接部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該定位機(jī)構(gòu)還包括 多個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在該推桿上并在該閥門(mén)機(jī)構(gòu)位于該封閉位置時(shí)壓抵在該閥門(mén)機(jī)構(gòu)上的 輔壓輪。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，該閥門(mén)機(jī)構(gòu)還包括多個(gè)架設(shè)在該第一閥壁上并供該閥板轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地組裝的軸安裝座、多個(gè)彼此間隔地安裝 在該閥板轉(zhuǎn)軸上的安裝架板以及多個(gè)將所述安裝架板與該閥板固定結(jié)合的固定件，所述安 裝架板都具有一個(gè)安裝在該閥板轉(zhuǎn)軸上的固定端以及一個(gè)與該固定端間隔并受前述輔壓 輪抵壓的受壓端。
全文摘要
一種真空設(shè)備的閘閥驅(qū)動(dòng)裝置，架設(shè)在一第一腔座及一第二腔座間，并控制所述第一腔座及所述第二腔座間通道的連通與否，該閘閥驅(qū)動(dòng)裝置包括一基座、一閥門(mén)機(jī)構(gòu)、一定位機(jī)構(gòu)及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。該閥門(mén)機(jī)構(gòu)包括一可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在該基座上的閥板轉(zhuǎn)軸以及一與該閥板轉(zhuǎn)軸連動(dòng)地結(jié)合的閥板，該閥門(mén)機(jī)構(gòu)可受驅(qū)動(dòng)而在一個(gè)封閉所述第一腔座及所述第二腔座間通道的封閉位置以及一個(gè)使所述第一腔座及所述第二腔座間通道相連通的開(kāi)啟位置間轉(zhuǎn)換。該定位機(jī)構(gòu)可將該閥門(mén)機(jī)構(gòu)固定在該封閉位置。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置單一動(dòng)力單元，就可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)該閥門(mén)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)及驅(qū)動(dòng)該定位機(jī)構(gòu)移動(dòng)，達(dá)到降低設(shè)備成本的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F04B49/22GK101994687SQ20091016176
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2009年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月14日
發(fā)明者張念慈, 許三益, 鄭博仁, 黃泳釗 申請(qǐng)人:北儒精密股份有限公司