專利名稱：真空器件用嵌入式小鈦泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空鈦泵技術(shù)，主要是一種真空器件用嵌入式小鈦泵。
背景技術(shù)：
目前真空鈦泵采用常規(guī)方法，即中心高壓正電極、兩邊鈦板高壓負電極，放置在一 定磁場中。鈦泵工作時，氣體分子電離后在強電場和強磁場聯(lián)合作用下，高速撞擊鈦板并被 埋沒，從而達到抽真空的作用。傳統(tǒng)鈦泵是獨立的一個系統(tǒng)，其高壓電極、磁鋼都是專用的， 組成一個矩形或圓盤形的獨立結(jié)構(gòu)，有一定的重量和大小，這樣給絕緣、結(jié)構(gòu)和可靠性等問 題帶來極大不便，直接影響穩(wěn)定性和可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，公開一種真空器件用嵌入式小鈦泵，真空器件用嵌入式小鈦泵 技術(shù)是借用真空器件的外殼和電極，或?qū)㈦姌O嵌入器件內(nèi)部，以替代鈦泵的電極，外加磁場 或利用真空器件的剩磁，從而組成鈦泵，鈦泵和真空器件融為一體，減少了重量，提高了穩(wěn) 定性和可靠性。為達到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種真空器件用嵌入式小鈦泵，其真空器件的外殼設(shè)有一通孔，將小鈦泵嵌入真 空器件，固接于真空器件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)上，且小鈦泵伸出于該通孔；將磁鋼固定在真空器件外殼上，位于通孔周緣，罩于小鈦泵上，使磁鋼與真空器件 外殼成為一體；利用真空器件的外殼做負極，固接小鈦泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)做正極，構(gòu)成小鈦泵的兩電 極。所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其如果真空器件在小鈦泵處有足夠的剩磁，則 不要磁鋼，小鈦泵也能正常工作，可靠性大大加強。所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其所述足夠的剩磁，為大于1500高斯的磁場， 否則需另加磁場補償。所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其將小鈦泵嵌入真空器件，利用真空器件的外 殼做負極，固接小鈦泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)做正極，構(gòu)成小鈦泵的兩電極。本發(fā)明沒有獨立的鈦泵系統(tǒng)，全部鈦泵電極都是借用器件外殼和固有的電極或嵌 入器件內(nèi)部，降低了重量、大小，提高了可靠性。該鈦泵可以伴隨真空系統(tǒng)永久性工作，能夠 提高或長期保持真空系統(tǒng)的真空度，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和壽命。


圖1為本發(fā)明的一種真空器件用嵌入式小鈦泵正視圖；圖2為本發(fā)明的一種真空器件用嵌入式小鈦泵側(cè)視圖。
具體實施例方式本發(fā)明的一種真空器件用嵌入式小鈦泵，是借用真空器件的外殼和內(nèi)部電極，或 將電極嵌入器件內(nèi)部，以替代鈦泵的電極；外加磁場或利用真空器件的剩磁，從而組成鈦 泵，鈦泵和真空器件融為一體。實施例如圖1、2所示，真空器件的外殼1設(shè)有一通孔2，將小鈦泵3嵌入真空器件，固接于 真空器件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)上，且小鈦泵3伸出于該通孔2 ；將磁鋼5固定在真空器件外殼1上，位于通孔2周緣，罩于小鈦泵3上，使磁鋼5 與真空器件外殼1成為一體；利用真空器件的外殼1做負極，固接小鈦泵3的內(nèi)部結(jié)構(gòu)4做正極，構(gòu)成小鈦泵的 兩電極。借用真空器件的外殼1做小鈦泵負極，真空器件的內(nèi)部電極作為小鈦泵正極，外 加磁場與真空器件外殼1緊密連接，減少了占用空間和保證了連接強度。工作時只要給鈦 泵提供一定的電壓，鈦泵就能正常工作，其極限真空度可以優(yōu)于5*10_6!^。在大型電真空器件中，比如大型“速調(diào)管”采用一次倒向聚焦磁場，其剩磁峰值往 往大于1500高斯，如果將小鈦泵置于該處，則可以實現(xiàn)剩磁利用，減少了附加磁場帶來的 不便。
權(quán)利要求
1.一種真空器件用嵌入式小鈦泵，其特征在于真空器件的外殼設(shè)有一通孔，將小鈦 泵嵌入真空器件，固接于真空器件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)上，且小鈦泵伸出于該通孔；將磁鋼固定在真空器件外殼上，位于通孔周緣，罩于小鈦泵上，使磁鋼與真空器件外殼 成為一體；利用真空器件的外殼做負極，固接小鈦泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)做正極，構(gòu)成小鈦泵的兩電極。
2.如權(quán)利要求1所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其特征在于如果真空器件在小鈦 泵處有足夠的剩磁，則不要磁鋼，小鈦泵也能正常工作，可靠性大大加強。
3.如權(quán)利要求1所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其特征在于所述足夠的剩磁，為大 于1500高斯的磁場。
4.如權(quán)利要求2或3所述的真空器件用嵌入式小鈦泵，其特征在于將小鈦泵嵌入真 空器件，利用真空器件的外殼做負極，固接小鈦泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)做正極，構(gòu)成小鈦泵的兩電 極。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空器件用嵌入式小鈦泵，涉及真空鈦泵技術(shù)，是借用真空器件的外殼和內(nèi)部電極，或?qū)㈦姌O嵌入器件內(nèi)部，以替代鈦泵的電極；外加磁場或利用真空器件的剩磁，從而組成鈦泵，鈦泵和真空器件融為一體。本發(fā)明沒有獨立的鈦泵系統(tǒng)，部分鈦泵電極是借用器件固有的電極或嵌入器件內(nèi)部，降低了重量、結(jié)構(gòu)簡單、提高了絕緣和可靠性。該鈦泵可以隨真空系統(tǒng)永久工作，提高了真空系統(tǒng)的真空度，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和壽命。
文檔編號F04B37/02GK102102652SQ20091024275
公開日2011年6月22日 申請日期2009年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月16日
發(fā)明者李實 , 李穎, 賀鑫 申請人:中國科學(xué)院電子學(xué)研究所