專利名稱：小型/微型超高真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于儀器與儀表技術(shù)領(lǐng)域中的分析與測(cè)量控制技術(shù)，具體涉及一種小體積 (< 1000CC)無焊連接裝置的超高真空實(shí)現(xiàn)裝置。
背景技術(shù)：
大型、超大型真空系統(tǒng)的極限真空可以通過大抽速的真空機(jī)組加以實(shí)現(xiàn)，比如，蘭 州重離子冷卻儲(chǔ)存環(huán)主環(huán)實(shí)現(xiàn)了周長(zhǎng)161米、內(nèi)表面積160平方米、容積7200升的大型超 高真空系統(tǒng)中獲得了 10E-10帕的極高真空。而目前現(xiàn)有技術(shù)中很少出現(xiàn)小型/微型超高 真空系統(tǒng)(容積< 1000CC)，這主要由于小型/微型超高真空系統(tǒng)(容積< 1000CC)的實(shí)現(xiàn) 需要考慮系統(tǒng)漏率與分子流導(dǎo)的影響，并且性能價(jià)格比也是考慮的重要因素。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種極限真空達(dá)到IOE-IOTorr的小型/微型超高真空裝置。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案予以實(shí)施的本發(fā)明的小型/微型超高真空裝置，其特征在于，包括構(gòu)件機(jī)械干泵、第一分子 泵、第二分子泵、離子泵、雜質(zhì)吸收器，第一四通管、第二四通管和三通管，通過連接管道所 述的機(jī)械干泵與三通管的一個(gè)端口相連，該三通管的另外兩個(gè)端口分別與第一分子泵和第 二分子泵相連，第一分子泵經(jīng)氣閥A與第一四通管的第一端口相連，第一外接管經(jīng)手動(dòng)閥F 與第一四通管的第二端口相連，第三端口經(jīng)氣閥B與離子泵相連，第四端口經(jīng)氣閥C與第 二四通管的第二端口相連，第二四通管的第一端口經(jīng)氣閥D與第二分子泵相連，第三端口 經(jīng)氣閥E與雜質(zhì)吸收器相連，第四端口經(jīng)手動(dòng)閥G與第二外接管相連，上述構(gòu)件與構(gòu)件之間 的連接管道外表面均裝有電加熱帶，上述構(gòu)件與連接管道之間的連接方式均采用金屬接口 相連。所述的構(gòu)件與構(gòu)件之間的連接管道優(yōu)選為VCR管道。所述的雜質(zhì)吸收器優(yōu)選為鋯鋁吸氣泵，進(jìn)一步優(yōu)選為在一“T”管內(nèi)裝有NPlO作為 吸收劑的鋯鋁吸氣泵。本發(fā)明的裝置是這樣運(yùn)行的，啟動(dòng)真空機(jī)組，對(duì)管路進(jìn)行抽真空，按照機(jī)械干 泵_分子泵_離子泵_吸氣泵順序開啟；抽取設(shè)定時(shí)間段真空之后，啟動(dòng)烘烤裝置_電加熱 帶，進(jìn)行管路200°C左右烘烤，烘烤設(shè)定時(shí)間段后，繼續(xù)抽取真空；重復(fù)上述步驟，直至達(dá)到 指定真空度檢測(cè)點(diǎn)的電離真空規(guī)讀數(shù)達(dá)到指定極限真空水平；維持真空一段時(shí)間，保持吸 氣泵工作狀態(tài)所需要的去氣。本發(fā)明的小型/微型超高真空裝置，真空系統(tǒng)體積小，全部采用無焊連接，構(gòu)件與 構(gòu)件，構(gòu)件與連接管道之間的連接方式均采用金屬接口相連，可降低整個(gè)系統(tǒng)的漏率，有利 于超高真空的產(chǎn)生和恢復(fù)；真空機(jī)組采取機(jī)械干泵+渦輪分子泵+濺射離子泵，輔助以鋯鋁 吸氣泵組成，再通過電加熱帶加熱烘烤管道系統(tǒng)，可獲得IOE-IOTorr的極高真空。該套裝 置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，對(duì)于向民用工業(yè)企業(yè)實(shí)現(xiàn)小型超高真空系統(tǒng)具有重要意義。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
具體實(shí)施例方式以下是對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，而不是對(duì)本發(fā)明的限制。實(shí)施例1 如圖1所示，本實(shí)施例的小型/微型超高真空裝置，包括構(gòu)件機(jī)械干泵1、第一分 子泵2、第二分子泵3、離子泵4、雜質(zhì)吸收器5，第一 VCR四通管11、第二 VCR四通管12和 VCR三通管21，所述的機(jī)械干泵1通過連接管道與三通管21的一個(gè)端口相連，該三通管21 的另外兩個(gè)端口通過連接管道分別與第一分子泵2和第二分子泵3相連，第一分子泵2通 過連接管道經(jīng)氣閥A與第一四通管11的第一端口 111相連，第一外接管6通過連接管道經(jīng) 手動(dòng)閥F與第一四通管11的第二端口 112相連，第三端口 113通過連接管道經(jīng)氣閥B與離 子泵4相連，第四端口 114通過連接管道經(jīng)氣閥C與第二四通管12的第二端口 122相連， 第二四通管12的第一端口 121通過連接管道經(jīng)氣閥D與第二分子泵3相連，第三端口 123 通過連接管道經(jīng)氣閥E與雜質(zhì)吸收器5相連，第四端口 124通過連接管道經(jīng)手動(dòng)閥G與第 二外接管7相連，上述構(gòu)件與構(gòu)件之間的連接管道外表面均裝有電加熱帶，上述構(gòu)件與連 接管道之間的連接方式均采用金屬接口相連，上述連接管道均為VCR管，所述的機(jī)械干泵、 第一分子泵、第二分子泵和離子泵均為美國Varian公司生產(chǎn)的，所述的雜質(zhì)吸收器為意大 利SAES公司的NEG鋯鋁吸氣泵。本實(shí)施例的第一外接管6和第二外接管7都可以作為進(jìn)氣口或者排氣口。本實(shí)施例是這樣運(yùn)行的，啟動(dòng)真空機(jī)組，對(duì)管路進(jìn)行抽真空，按照機(jī)械干泵_分子 泵_離子泵_吸氣泵順序開啟；抽取設(shè)定時(shí)間段真空之后，啟動(dòng)烘烤裝置_電加熱帶，進(jìn)行 管路200°C左右烘烤，烘烤設(shè)定時(shí)間段后，繼續(xù)抽取真空；上述步驟，直至達(dá)到指定真空度 檢測(cè)點(diǎn)的電離真空規(guī)讀數(shù)達(dá)到指定極限真空水平；維持真空一段時(shí)間，保持吸氣泵工作狀 態(tài)所需要的去氣。本實(shí)施例的小型/微型超高真空裝置可獲得IOE-IOTorr的極高真空。
權(quán)利要求
一種小型/微型超高真空裝置，其特征在于，包括構(gòu)件機(jī)械干泵(1)、第一分子泵(2)、第二分子泵(3)、離子泵(4)、雜質(zhì)吸收器(5)，第一四通管(11)、第二四通管(12)和三通管(21)，通過連接管道所述的機(jī)械干泵(1)與三通管(21)的一個(gè)端口相連，該三通管(21)的另外兩個(gè)端口分別與第一分子泵(2)和第二分子泵(3)相連，第一分子泵(2)經(jīng)氣閥A與第一四通管(11)的第一端口相連，第一外接管(6)經(jīng)手動(dòng)閥F與第一四通管(11)的第二端口相連，第三端口經(jīng)氣閥B與離子泵(4)相連，第四端口經(jīng)氣閥C與第二四通管(12)的第二端口相連，第二四通管的第一端口經(jīng)氣閥D與第二分子泵(3)相連，第三端口經(jīng)氣閥E與雜質(zhì)吸收器(5)相連，第四端口經(jīng)手動(dòng)閥G與第二外接管(7)相連，上述構(gòu)件與構(gòu)件之間的連接管道外表面均裝有電加熱帶，上述構(gòu)件與連接管道之間的連接方式均采用金屬接口相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型/微型超高真空裝置，其特征在于，所述的構(gòu)件與構(gòu)件之 間的連接管道為VCR管道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的小型/微型超高真空裝置，其特征在于，所述的雜質(zhì)吸收 器為鋯鋁吸氣泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的小型/微型超高真空裝置，其特征在于，所述的鋯鋁吸氣泵為 在一 “T”管內(nèi)裝有NPlO作為吸收劑的鋯鋁吸氣泵。
全文摘要
本發(fā)明公開一種小型/微型超高真空裝置。該裝置的機(jī)械干泵與三通管的一個(gè)端口相連，該三通管的另外兩端口分別與第一分子泵和第二分子泵相連，第一分子泵經(jīng)氣閥A與第一四通管的第一端口相連，外接管經(jīng)手動(dòng)閥F與第一四通管的第二端口相連，第三端口經(jīng)氣閥B與離子泵相連，第四端口經(jīng)氣閥C與第二四通管的第二端口相連，第二四通管的第一端口經(jīng)氣閥D與第二分子氣泵相連，第三端口經(jīng)氣閥E與雜質(zhì)吸收器相連，第四端口經(jīng)手動(dòng)閥G與外接管相連，在構(gòu)件與構(gòu)件間的連接管道外表面有電加熱帶，上述構(gòu)件與構(gòu)件，構(gòu)件與連接管道之間均采用金屬接口相連。本裝置能獲得極高真空，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，對(duì)于向民用工業(yè)實(shí)現(xiàn)小型超高真空系統(tǒng)具有重要意義。
文檔編號(hào)F04B37/14GK101982658SQ20101027252
公開日2011年3月2日 申請(qǐng)日期2010年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月1日
發(fā)明者劉順生, 周繼彬, 孫衛(wèi)東, 張曉東, 張紅, 龔革聯(lián) 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院廣州地球化學(xué)研究所