專利名稱：一種多級干式真空泵機(jī)組的水冷系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種水冷技術(shù)，具體說是一種多級干式真空泵的水循環(huán)冷卻系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
多級干式真空泵具有工作腔內(nèi)無油，可以獲得潔凈真空，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化 學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。隨著半導(dǎo)體工業(yè)、電 子工業(yè)的蓬勃興起，對于真空環(huán)境的要求越來越多、越來越嚴(yán)格。干式真空泵不需要潤滑油 來潤滑密封，做到了無油蒸汽污染，而且對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感。所以， 由干式真空泵組成的真空系統(tǒng)得到了廣泛的應(yīng)用，并在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的發(fā)展過程 中起到了推動的作用。由于在半導(dǎo)體和光伏等產(chǎn)業(yè)的工藝中，產(chǎn)生的氣體溫度都比較高。高溫氣體進(jìn)入 泵體內(nèi)部，后氣體將部分熱量傳給了干泵，同時由于多級干泵自身也不斷壓縮氣體，產(chǎn)生大 量熱量，這些熱量也有很大一部分傳導(dǎo)到泵體上。經(jīng)過多方面的熱量傳導(dǎo)干泵自身的溫度 就比較高，使得泵體內(nèi)部的零部件由于高溫而變形，不能達(dá)到良好的抽氣效果，不能保證泵 正常運行和人員安全，因此通過對泵體的冷卻從而達(dá)到保護(hù)泵自身及使用人員的安全成為 亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容為了解決干式真空泵冷卻的問題，本實用新型的目的在于提供一種多級干式真空 泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的一種多級干式真空泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，包括總進(jìn)水管路、總出水管路、變頻 器水冷塊、腔體水冷塊、電磁閥和集水器，冷卻水通過總進(jìn)水管路進(jìn)入，先冷卻上下泵電機(jī) 變頻器水冷塊，之后分為三路，一路冷卻水流經(jīng)多級干泵電機(jī)后進(jìn)入齒輪腔上下表面腔體 水冷塊，最后進(jìn)入電磁閥和集水器，由電磁閥控制通斷匯入總出水管；一路冷卻水進(jìn)入羅茨 泵電機(jī)后進(jìn)入齒輪腔上下表面腔體水冷塊，最后進(jìn)入電磁閥和集水器，由電磁閥控制通斷 并匯入總出水管；另一路直接接入電磁閥和集水器后由電磁閥集水器再分出兩路，一路 流經(jīng)羅茨泵軸承腔、油箱和泵體下表面腔體水冷塊進(jìn)行冷卻后進(jìn)入電磁閥和集水器由電磁 閥控制通斷匯入總出水管路，一路流經(jīng)多級干泵的腔體上下表面腔體水冷塊進(jìn)行冷卻后進(jìn) 入電磁閥和集水器由電磁閥控制通斷匯入總出水管路；所述冷卻水管路采用導(dǎo)熱好的紫銅管制成，并嵌在鋁制水冷塊內(nèi)，鋁塊與多級干 泵表面之間涂有導(dǎo)熱硅膠并采用螺釘固定；所述進(jìn)水管路和出水管路通過4個電磁閥和1個電磁閥集水器連接并控制，所述 電磁閥設(shè)置在電磁閥和集水器組件上，每個電磁閥與各自的管路和電磁閥集水器相連接。本實用新型的優(yōu)點與積極效果為[0010]1.本實用新型對兩個電機(jī)的變頻器水冷，羅茨泵電機(jī)、多級泵電機(jī)、羅茨泵和多級 干泵可以選擇冷卻；2.本實用新型采用4個電磁閥和一個電磁閥集水器控制進(jìn)水和出水節(jié)約空間；3.本實用新型水冷管采用紫銅管，水冷管與泵表面接觸部分采用銅管鑲嵌在鋁塊 內(nèi)方式，鋁塊與多級干泵表面之間涂有導(dǎo)熱硅膠并采用螺釘固定，傳熱效果好；4.本使用新型可以有效地降低泵體的溫度，保證泵的正常運行保證人員安全。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1電磁閥和集水器，2總出水管路，3總進(jìn)水管路，4多級干泵電機(jī)，5變頻器 水冷塊，6羅茨泵電機(jī)，7腔體水冷塊。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳述。如圖1所示，冷卻水通過總進(jìn)水管路3進(jìn)入，先冷卻上下泵電機(jī)變頻器水冷塊5，這 樣保證任何情況下變頻器都得到冷卻，之后分為三路，一路冷卻水流經(jīng)多級干泵電機(jī)4后 進(jìn)入齒輪腔上下表面腔體水冷塊7，最后進(jìn)入電磁閥和集水器1，由電磁閥控制通斷匯入總 出水管2 ；—路冷卻水進(jìn)入羅茨泵電機(jī)6后進(jìn)入齒輪腔上下表面腔體水冷塊7，最后進(jìn)入電 磁閥和集水器1，由電磁閥控制通斷并匯入總出水管2 ；由于齒輪腔發(fā)熱量也比較大所以這 里也對其進(jìn)行水冷另一路直接接入電磁閥和集水器1后由電磁閥集水器再分出兩路，一路流經(jīng)羅茨 泵軸承腔、油箱和泵體下表面腔體水冷塊7進(jìn)行冷卻后進(jìn)入電磁閥和集水器1由電磁閥控 制通斷匯入總出水管路，一路流經(jīng)多級干泵電機(jī)4的腔體上下表面腔體水冷塊7進(jìn)行冷卻 后進(jìn)入電磁閥和集水器1由電磁閥控制通斷匯入總出水管路。所述進(jìn)水管路和出水管路通過4個電磁閥和1個電磁閥集水器連接并控制，所述 電磁閥設(shè)置在電磁閥和集水器1組件上，每個電磁閥與各自的管路和電磁閥集水器相連 接。本實用新型在抽氣過程中可以有效地降低泵體的溫度，保證泵的正常運行保證人 員安全，可廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)使用的干 式真空泵機(jī)組中。
權(quán)利要求1.一種多級干式真空泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，包括總進(jìn)水管路(3)、總出水管路 (2)、變頻器水冷塊(5)、腔體水冷塊(7)、電磁閥和集水器(1)，其特征在于冷卻水通過總 進(jìn)水管路(3)進(jìn)入，先冷卻上下泵電機(jī)變頻器水冷塊(5)，之后分為三路，一路冷卻水流經(jīng) 多級干泵電機(jī)(4)后進(jìn)入齒輪腔上下表面腔體水冷塊(7)，最后進(jìn)入電磁閥和集水器(1)， 由電磁閥控制通斷匯入總出水管(2 )； —路冷卻水進(jìn)入羅茨泵電機(jī)(6 )后進(jìn)入齒輪腔上下表 面腔體水冷塊(7)，最后進(jìn)入電磁閥和集水器(1)，由電磁閥控制通斷并匯入總出水管(2)；另一路直接接入電磁閥和集水器(1)后由電磁閥集水器再分出兩路，一路流經(jīng)羅茨泵 軸承腔、油箱和泵體下表面腔體水冷塊(7)進(jìn)行冷卻后進(jìn)入電磁閥和集水器(1)由電磁閥 控制通斷匯入總出水管路，一路流經(jīng)多級干泵電機(jī)(4)的腔體上下表面腔體水冷塊(7)進(jìn) 行冷卻后進(jìn)入電磁閥和集水器(1)由電磁閥控制通斷匯入總出水管路。
2.按權(quán)利要求1所述的多級干式真空泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，其特征在于所述冷 卻水管路采用導(dǎo)熱好的紫銅管制成，并嵌在鋁制水冷塊內(nèi)，鋁塊與多級干泵表面之間涂有 導(dǎo)熱硅膠并采用螺釘固定。
3.按權(quán)利要求1所述的多級干式真空泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，其特征在于所述進(jìn) 水管路和出水管路通過4個電磁閥和1個電磁閥集水器連接并控制，所述電磁閥設(shè)置在電 磁閥和集水器(1)組件上，每個電磁閥與各自的管路和電磁閥集水器相連接。
專利摘要本實用新型公開一種多級干式真空泵機(jī)組的水循環(huán)冷卻系統(tǒng)。包括總進(jìn)水管路、總出水管路，冷卻水通過總進(jìn)水管冷卻上下泵電機(jī)變頻器水冷塊后分為三路，一路冷卻多級干泵電機(jī)齒輪腔后總出水管路；一路冷卻水冷卻羅茨泵電機(jī)和齒輪腔后匯入總出水管路；另一路直接接入電磁閥集水器后再分出兩路，一路冷卻羅茨泵軸承腔、油箱和泵體下表面水冷塊后匯入總出水管路，一路流經(jīng)多級干泵的腔體上下表面腔體水冷塊進(jìn)行冷卻后匯入總出水管路。本實用新型的優(yōu)點1.對變頻器總進(jìn)行水冷，對羅茨泵電機(jī)、多級干泵的電機(jī)、羅茨泵表面和多級干泵表面可以選擇冷卻；2.采用電磁閥和電磁閥集水器控制進(jìn)水和出水節(jié)約空間；3.傳熱效果好。
文檔編號F04B39/06GK201884247SQ20102064318
公開日2011年6月29日 申請日期2010年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月6日
發(fā)明者劉在行, 張振厚, 王光玉 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司