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一種分子泵的總線控制裝置和方法

文檔序號:5425868閱讀:400來源:國知局
專利名稱:一種分子泵的總線控制裝置和方法
一種分子泵的總線控制裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及一種光伏導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)線的檢測和控制裝置和方法,特別涉及一種太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置和方法。
背景技術(shù)
太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備生產(chǎn)線簡稱光伏導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)線,它可以將普通玻璃鍍上一層導(dǎo)電金屬薄膜,在此TCO玻璃膜面鍍制PIN半導(dǎo)體薄膜并加裝背板組成薄膜太陽能電池板。本發(fā)明涉及到此生產(chǎn)線中分子泵的檢測及控制。分子泵安裝在某一腔體上,它是一種通過高速旋轉(zhuǎn)(20000轉(zhuǎn)/分)將沖量傳給氣體分子,使氣體分子產(chǎn)生高作用力并沿著特定方向運行可將腔體內(nèi)氣體分子排出,將腔體成為真空環(huán)境的一種現(xiàn)代真空技術(shù)對無油高真空環(huán)境要求而產(chǎn)生的裝置。在光伏生產(chǎn)線上有此類裝置幾十個之多;它決定著濺射腔室內(nèi)的真空環(huán)境,對鍍膜濺射過程有決定性的影響。在以往的光伏鍍膜生產(chǎn)線上,每個分子泵由一根10芯電纜(控制信號、報警信號的數(shù)字量信號;轉(zhuǎn)速的模擬量信號的反饋)連接至電柜內(nèi),要占用幾十個輸入輸出模塊,而且眾多的電纜節(jié)點造成設(shè)備安裝時工作量增大;模擬量信號抗干擾能力弱也使設(shè)備故障率升高。即便如此,一些實時的狀態(tài)如分子泵的溫度、當前電流等信號由于線路限制無法獲取,在這種情況下,必須找到一種更好方法來解決這些問題。
中國專利CN201010529343涉及一種基于虛擬儀器技術(shù)的四極桿質(zhì)譜測控系統(tǒng)及方法,其系統(tǒng)包括上位機和四極桿質(zhì)譜測試設(shè)備,所述四極桿質(zhì)譜測試設(shè)備包括至少一電磁閥、至少一氣動閥、一四極桿分析器、一分子泵、一離子泵、一真空機組、一 USB-CAN轉(zhuǎn)換器和一超高真空腔;所述上位機包括主控模塊、數(shù)據(jù)信號分析模塊、存儲模塊、I/O卡、USB接口和顯示器,所述主控模塊中包括閥門開關(guān)控制模塊和串口通信模塊。采用本發(fā)明可充分發(fā)揮虛擬儀器技術(shù)LabVIEW編程的簡單和界面友好等優(yōu)點,以及四極桿質(zhì)譜分析器的優(yōu)點,實現(xiàn)性價比較高、測控程序簡單且易于調(diào)試和維護的質(zhì)譜測控系統(tǒng)。
中國專利CN200810305976涉及一種天車加料裝置的總線控制方法,其特征在于:該方法是在天車加料裝置附近設(shè)置一個天車加料裝置控制箱,并在天車加料裝置控制箱中設(shè)有總線模塊,將天車加料裝置和天車上的信號線就近與天車加料裝置控制箱中的總線模塊連接,以縮短信號線的長度;通過總線模塊將各種信號按主控可編程邏輯控制器(PLC)的總線協(xié)議編譯成一個總線信號,通過一根總線電纜與設(shè)在遠方的主控可編程邏輯控制器(PLC)連接,由主控可編程邏輯控制器(PLC)實現(xiàn)對天車加料裝置與天車的加料連鎖控制,以解決多路信號線遠距離傳輸造成的信號線又多又長維護困難的問題。
中國專利CN200720010128公開了一種數(shù)控系統(tǒng),其中上位機(I)和總線控制器(2)構(gòu)成主設(shè)備;該主設(shè)備通過傳輸線依次串接包括所述伺服驅(qū)動器(3)、PLC的從設(shè)備并連接回主設(shè)備從而構(gòu)成一個閉合環(huán)路;主設(shè)備和從設(shè)備之間通過以物理層+傳輸介質(zhì)連接的鏈路傳輸數(shù)據(jù);正常狀態(tài)下,上位機發(fā)出信息僅單向依次傳送到各個從設(shè)備,各個從設(shè)備響應(yīng)信息并且將反饋信息依次通過下級的從設(shè)備送回到上位機;各種信息在傳輸線中以數(shù)據(jù)電報的形式傳輸,主要包括主設(shè)備的命令信息和從設(shè)備返回的數(shù)據(jù)以及觸發(fā)從設(shè)備執(zhí)行命令的數(shù)據(jù)。根據(jù)本實用新型實現(xiàn)的數(shù)控系統(tǒng)具有卓越的高速控制能力,能使得數(shù)控機床在高速進給情況下,獲得極高的加工精度。
中國專利CN201020267699公開了一種基于總線控制的基礎(chǔ)雷管裝填自動化生產(chǎn)線,包括多個基礎(chǔ)雷管裝填工位,每個基礎(chǔ)雷管裝填工位均設(shè)有一臺可編程控制器PLC和一臺模擬工位運行觸摸屏,還設(shè)有手持式觸摸屏;基礎(chǔ)雷管裝填工位的模擬顯示裝置與可編程控制器PLC聯(lián)接,可編程控制器PLC與手持式觸摸屏聯(lián)接,所有的可編程控制器PLC均通過總線與工業(yè)控制計算機IPC聯(lián)接。本發(fā)明利用EC20PLC的雙通信口功能、觸摸屏的雙通信口功能以及工控機的雙通信口板卡,通過ECBUS總線和MODBUS總線,將多個分工位的PLC聯(lián)接成一個完整的連鎖控制系統(tǒng),實現(xiàn)了雷管裝填自動化生產(chǎn)線的安全、穩(wěn)定、高效運行,降低了人力物力,提高了本質(zhì)安全性。
在現(xiàn)有專利中未見關(guān)于分子泵的總線控制方法。本發(fā)明克服了現(xiàn)有分子泵控制方法造成的設(shè)備故障率高、控制模塊耗費大、分子泵的各種動態(tài)參數(shù)不方便隨時由操作人員了解掌握,提供一種安裝方便、控制更加可靠,操作人員能隨時掌控此裝置的解決方案。發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置和方法,采取了總線控制方法,避免了以前控制線在設(shè)備中穿插帶來的干擾問題,增加了設(shè)備的穩(wěn)定性,非常適于實用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。
本發(fā)明提供的一種分子泵的總線控制裝置,該裝置包括:主控可編程邏輯控制器(PLC)、通訊模塊、開關(guān)電源、總線電纜、監(jiān)控計算機和分子泵,所述監(jiān)控計算機通過以太網(wǎng)與主控可編程邏輯控制器(PLC)相連接;所述主控可編程邏輯控制器(PLC)的通訊模塊通過總線電纜連接所述的分子泵。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn): 所述的分子泵具有總線功能。
所述的總線協(xié)議與主控可編程邏輯控制器(PLC)的協(xié)議一致或兼容,可以采用CONTROLNET 協(xié)議、PROFIBUS 協(xié)議或 DEVICENET 協(xié)議。
本發(fā)明與原控制方案的優(yōu)點: 1.省去數(shù)百根控制線,大大降低了設(shè)備的故障率。
2.采取了總線控制方法,避免了以前控制線在設(shè)備中穿插帶來的干擾問題,增加了設(shè)備的穩(wěn)定性。
3.省去多個模塊減少設(shè)備成本。
4.可隨時讀出分子泵需要的各種參數(shù)及報警參與控制,能大大提高設(shè)備正常運行的能力。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實施,并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實施例,并配合附圖,詳細說明如下。


參考所附附圖,以更加充分的描述本發(fā)明的實施例。然而,所附附圖僅用于說明和闡述,并不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限制。
圖1繪示太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置的示意圖。
標號說明:1.監(jiān)控計算機,2.主控可編程邏輯控制器(PLC),3.通訊模塊,4.開關(guān)電源,5.以太網(wǎng),6.分子泵,7.總線電纜。
具體實施方式
為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實施例,對依據(jù)本發(fā)明提出的一種太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置和方法,詳細說明如下。
本發(fā)明的不同實施例將詳述如下,以實施本發(fā)明的不同的技術(shù)特征,可理解的是,以下所述的特定實施例的單元和配置用以簡化本發(fā)明,其僅為范例而不限制本發(fā)明的范圍。
圖1所示為太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置,該裝置包括:主控可編程邏輯控制器(PLC)、通訊模塊、開關(guān)電源、總線電纜、監(jiān)控計算機和分子泵,監(jiān)控計算機通過以太網(wǎng)與主控可編程邏輯控制器(PLC)相連接;主控可編程邏輯控制器(PLC)的通訊模塊通過總線電纜連接所述的分子泵。
在實施本發(fā)明的太陽能薄膜電池導(dǎo)電玻璃磁控濺射設(shè)備上分子泵的總線控制裝置時,我們使用了具有總線功能的分子泵,使用總線把當前設(shè)備上的60個分子泵與主控可編程邏輯控制器(PLC)的通訊模塊連接,總線協(xié)議與主控可編程邏輯控制器(PLC)的協(xié)議一致或兼容,可以采用CONTROLNET協(xié)議、PROFIBUS協(xié)議或DEVICENET協(xié)議。主控可編程邏輯控制器(PLC)通過總線可以檢測分子泵的轉(zhuǎn)速,電流,溫度,及控制信號和報警信號并將它們傳遞給監(jiān)控計算機直觀的顯示出來。根據(jù)這些信號系統(tǒng)可以有效控制分子泵的正常運行,并實時監(jiān)測分子泵狀態(tài)。
本發(fā)明克服了采取了總線控制方法,避免了以前控制線在設(shè)備中穿插帶來的干擾問題,增加了設(shè)備的穩(wěn)定性,同時省去多個模塊減少設(shè)備成本。并可隨時讀出分子泵需要的各種參數(shù)及報警參與控制,能大大提高設(shè)備正常運行的能力,非常具有實用性。
通過說明和附圖,給出了具體實施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實施例。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例,然而,這些內(nèi)容并不作為局限。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,閱讀上述說明后,各種變化和修正無疑將顯而易見。因此,所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容,都應(yīng)認為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種分子泵的總線控制裝置,該裝置包括:主控可編程邏輯控制器(PLC)、通訊模塊、開關(guān)電源、總線電纜、監(jiān)控計算機和分子泵,其特征在于:所述監(jiān)控計算機通過以太網(wǎng)與主控可編程邏輯控制器(PLC)相連接;所述主控可編程邏輯控制器(PLC)的通訊模塊通過總線電纜連接所述的分子泵。
2.如權(quán)利要求1所述的分子泵的總線控制裝置,其特征在于:所述分子泵具有總線功倉泛。
3.如權(quán)利要求1所述的分子泵的總線控制裝置,其特征在于:所述的總線協(xié)議與主控可編程邏輯控制器(PLC)的協(xié)議一致或兼容,可以采用CONTROLNET協(xié)議、PROFIBUS協(xié)議或DEVICENET 協(xié)議。
4.一種如權(quán)利要求1所述的分子泵的總線控制裝置的總線控制方法,其特征在于:所述主控可編程邏輯控制器(PLC)的通訊模塊通過總線電纜連接所述的分子泵,由主控可編程邏輯控制器(PLC)通過總線電纜檢測分子泵的轉(zhuǎn)速、電流、溫度及控制信號和報警信號,再通過以太網(wǎng)將上述信號傳遞給所述的監(jiān)控計算機,根據(jù)信號系統(tǒng)由主控可編程邏輯控制器(PLC)實現(xiàn)對分子泵正常運行的有效控制。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種分子泵的總線控制裝置,該裝置包括主控可編程邏輯控制器、通訊模塊、開關(guān)電源、總線電纜、監(jiān)控計算機和分子泵,監(jiān)控計算機通過以太網(wǎng)與主控可編程邏輯控制器相連接;主控可編程邏輯控制器的通訊模塊通過總線電纜連接分子泵??偩€協(xié)議與主控可編程邏輯控制器的協(xié)議一致或兼容,可采用CONTROLNET協(xié)議、PROFIBUS協(xié)議或DEVICENET協(xié)議。本發(fā)明省去數(shù)百根控制線,大大降低了設(shè)備的故障率;采取了總線控制方法,避免了以前控制線在設(shè)備中穿插帶來的干擾問題,增加了設(shè)備的穩(wěn)定性;省去多個模塊減少設(shè)備成;可隨時讀出分子泵需要的各種參數(shù)及報警參與控制,能大大提高設(shè)備正常運行的能力。
文檔編號F04D27/00GK103104529SQ201110359860
公開日2013年5月15日 申請日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月15日
發(fā)明者何光俊, 胡加玉, 陳佳磊, 柳玉浩 申請人:上海北玻玻璃技術(shù)工業(yè)有限公司, 洛陽北方玻璃技術(shù)股份有限公司, 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司
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