專利名稱：鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型提供了一種鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置。
背景技術(shù)：
廣泛應(yīng)用于高真空領(lǐng)域的分子泵，因能獲得無油蒸汽污染的清潔真空，代表了當(dāng)今高真空技術(shù)的主要發(fā)展方向。目前，分子泵在發(fā)達(dá)國家的市場占有率已超過80%。近年來我國的高真空產(chǎn)業(yè)中，渦輪分子泵的研發(fā)、制造以及市場占有率也有了迅猛的發(fā)展。但是， 國產(chǎn)與進(jìn)口的渦輪分子泵相比較，無論在抽速、極限真空，還是在安全可靠運(yùn)行等方面仍有著相當(dāng)?shù)牟罹?。作為傳統(tǒng)的雙軸流臥式渦輪分子泵，吸氣口一般設(shè)置在轉(zhuǎn)子中央上方，其抽氣路徑是真空室的氣體分子通過吸氣口擴(kuò)散傳輸至轉(zhuǎn)子的中央空間后，被設(shè)置在轉(zhuǎn)子兩邊的由多級動(dòng)、靜葉輪組成的渦輪抽氣單元抽走。作為分子泵的吸氣口與兩個(gè)渦輪抽氣單元之間形成的轉(zhuǎn)子中央空間，主要用來保障氣體分子在吸氣口與兩個(gè)渦輪抽氣單元間的傳輸所需的足夠流導(dǎo)，以免影響分子泵的有效抽速。但是，這個(gè)轉(zhuǎn)子中央空間的存在，影響了分子泵的單位體積抽氣性能的提升。因?yàn)?，人們在?shí)際使用中，總是青睞良好的抽氣性能同時(shí)，又兼有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧便于安裝和運(yùn)輸?shù)恼婵毡谩?br> 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在與提供一種安裝在雙軸流臥式渦輪分子泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)軸中央空間的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，該裝置隨分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，作為一個(gè)抽氣級，直接將來自吸氣口的氣體分子匯聚、壓縮后，再傳輸至位于鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置左右兩邊的由多級動(dòng)、靜葉輪組成的渦輪抽氣單元，繼續(xù)實(shí)施抽氣，以獲取系統(tǒng)的高真空。因此，在不影響氣體分子傳輸所需的足夠流導(dǎo)情況下，通過本實(shí)用新型的使用，既充分利用了分子泵殼體內(nèi)的空間，又提升了分子泵的抽氣性能。為實(shí)現(xiàn)上述目的，一種由端蓋和有相當(dāng)厚度的圓桶壁固定組裝成一體的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，其特征在于a.所述的有相當(dāng)厚度的圓桶壁上設(shè)置多條平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道，氣道的長度小于圓桶壁的寬度；b.所述的端蓋上設(shè)置氣道和轉(zhuǎn)軸安裝孔。本實(shí)用新型鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置所采用的技術(shù)方案是由圓桶結(jié)構(gòu)演變的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，就是在相當(dāng)厚度的圓桶壁上設(shè)置多條平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道，使圓桶內(nèi)外氣體分子互相聯(lián)通。當(dāng)鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置與轉(zhuǎn)子兩邊的渦輪抽氣單元同軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，圓桶壁上的矩形氣道匯聚、壓縮來自吸氣口的氣體分子，經(jīng)圓桶兩頭端蓋處氣體通道的傳輸，再被位于鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置左右兩邊的渦輪抽氣單元抽走。本實(shí)用新型的有益效果在不改變雙軸流臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，利用分子泵的吸氣口與兩個(gè)渦輪抽氣單元之間形成的轉(zhuǎn)子中央空間，同軸安裝鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，使來自吸氣口的氣體分子在擴(kuò)散作用基礎(chǔ)上增加了本實(shí)用新型鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置對氣體分子的抽氣作用，由此提高了渦輪抽氣單元的工作壓強(qiáng)，從而提升了分子泵的抽氣速度和極限真空度，也相應(yīng)提升了分子泵的單位體積的抽氣性能。本實(shí)用新型的氣體分子匯聚和壓縮機(jī)理，不但適用于氣體的分子態(tài)，同樣適用于氣體的粘滯態(tài)，可作為提升其它真空泵抽氣性能的借鑒。

圖1為本實(shí)用新型總體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型圓桶壁A-A方向截面示意圖；圖3a、圖北分別為本實(shí)用新型端蓋截面圖和其結(jié)構(gòu)示意圖；圖如、圖4b分別為本實(shí)用新型圓桶壁上矩形氣道的外部示意圖和其B-B方向的氣道截圖；圖5a、圖5b、圖5c、圖5d、圖5e、圖5f、圖5g為本實(shí)用新型矩形氣道的兩個(gè)軸向側(cè)截面不同傾斜角時(shí)B-B方向的截圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。參見圖1，〔1〕為端蓋?！?〕為有相當(dāng)厚度的圓桶壁。端蓋〔1〕和圓桶壁〔2〕固定組裝成一體?！?〕為設(shè)置在有相當(dāng)厚度的圓桶壁〔2〕上多條平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道，使圓桶內(nèi)外氣體分子互相聯(lián)通，氣道的長度小于圓桶壁〔2〕的寬度；圖2為圖1中圓桶壁〔2〕的A-A方向截面圖，其氣道〔3〕的截圖為等腰梯形狀。參見圖3a、圖3b，〔4〕為設(shè)置在端蓋〔1〕上的氣道，使圓桶內(nèi)的氣體分子通過此氣道〔4〕傳輸給位于鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置左右兩邊的渦輪抽氣單元。〔5〕為設(shè)置在端蓋〔1〕 中心的轉(zhuǎn)軸安裝孔，使本實(shí)用新型固定在雙軸流臥式渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)軸上，實(shí)現(xiàn)鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置隨渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子同軸高速旋轉(zhuǎn)。參見圖4a、圖4b，〔6〕為平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道〔3〕的B-B方向的兩個(gè)側(cè)截面，兩個(gè)側(cè)截面〔6〕相對圓桶表面的傾斜角可各自在0°至180°之間改變，氣道〔3〕 的B-B方向的氣道截圖為平行四邊形狀。通過改變氣道〔3〕的B-B方向兩個(gè)側(cè)截面〔6〕相對圓桶表面的傾斜角，可以使氣道〔3〕的B-B方向的氣道截圖為四邊形或梯形狀，見圖fe、圖 5b、圖5c、圖5d、圖5e、圖5f、圖5g所示的截圖例。當(dāng)本實(shí)用新型選用氣道〔3〕的B-B方向不同形狀的氣道截圖例時(shí)，將會(huì)改變氣道〔3〕所產(chǎn)生的對氣體分子的匯聚和壓縮作用的效果。當(dāng)鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置隨分子泵的轉(zhuǎn)子同軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過高速旋轉(zhuǎn)的氣道〔 3〕的平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的兩個(gè)側(cè)面，與來自分子泵吸氣口的氣體分子發(fā)生相互頻繁的碰撞，由此產(chǎn)生氣體分子向圓桶中心的定向運(yùn)動(dòng)，將氣體分子匯聚和壓縮在圓桶內(nèi)。這些匯聚和壓縮在圓桶內(nèi)的氣體分子經(jīng)過端蓋〔1〕上的氣道〔4〕的傳輸，再由渦輪抽氣單元實(shí)施繼續(xù)的抽氣作用，從而提高分子泵的抽氣速度和極限真空度，達(dá)到提升分子泵單位體積的抽氣性能的效果。以上實(shí)施例僅供說明本實(shí)用新型之用，而非對本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本實(shí)用新型的范疇，應(yīng)受本實(shí)用新型的各項(xiàng)權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求1.一種由端蓋〔1〕和有相當(dāng)厚度的圓桶壁〔2〕固定組裝成一體的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，其特征在于a.所述的有相當(dāng)厚度的圓桶壁〔2〕上設(shè)置多條平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道〔3〕， 氣道〔3〕的長度小于圓桶壁〔2〕的寬度；b.所述的端蓋〔1〕上設(shè)置氣道〔4〕和轉(zhuǎn)軸安裝孔〔5〕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，其特征在于矩形氣道〔3〕的兩個(gè)側(cè)截面〔6〕相對圓桶表面的傾斜角可各自在0°至180°之間改變。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，其特征在于氣道〔3〕的氣道截圖為四邊形或梯形狀。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種鼠籠式聚氣導(dǎo)流裝置，由端蓋和圓桶壁固定組裝成一體，其特點(diǎn)是在相當(dāng)厚度的圓桶壁上設(shè)置多條平行于圓桶中心轉(zhuǎn)軸的矩形氣道，氣道的長度小于圓桶壁的寬度，使圓桶內(nèi)外氣體分子互相聯(lián)通。氣道的平行于中心轉(zhuǎn)軸的兩個(gè)側(cè)面相對圓桶表面的傾斜角可各自在0°至180°之間改變。端蓋中心設(shè)置轉(zhuǎn)軸安裝孔，使本實(shí)用新型固定在雙軸流臥式渦輪分子泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)軸的中央空間，端蓋上設(shè)置的氣道是匯聚和壓縮在圓桶內(nèi)氣體分子的流出通道。當(dāng)本實(shí)用新型隨渦輪分子泵轉(zhuǎn)子同軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，先經(jīng)過高速旋轉(zhuǎn)的氣道產(chǎn)生對吸氣口氣體分子的抽氣作用，然后由渦輪抽氣單元繼續(xù)實(shí)施抽氣作用，從而達(dá)到提升渦輪分子泵抽氣性能的目的。
文檔編號(hào)F04D19/04GK202301197SQ201120302170
公開日2012年7月4日 申請日期2011年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月19日
發(fā)明者李晨, 胡忠浩 申請人:李晨