專利名稱:真空系統(tǒng)保護(hù)裝置及真空玻璃抽真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
真空系統(tǒng)保護(hù)裝置及真空玻璃抽真空系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及真空系統(tǒng)的保護(hù)裝置及對真空玻璃的抽真空系統(tǒng)有保護(hù)功能的快速反應(yīng)閥。
背景技術(shù):
[0002]真空系統(tǒng)中抽真空均采用真空泵,真空泵按照工作原理基本上可以分為兩種類型,即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達(dá)到抽氣目的的真空泵,例如分子泵、擴(kuò)散泵等;氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵內(nèi)一般都設(shè)置有用于吸附氣體分子的吸附劑,例如吸附泵、吸氣劑泵等。[0003]真空泵正常穩(wěn)定工作,需要保證抽真空空間始終保持在密閉環(huán)境下,在抽氣過程中一旦抽空空間漏氣,由于內(nèi)外壓差的關(guān)系,大量的空氣會快速涌入真空泵,對于氣體傳輸泵,受到強(qiáng)勁的氣流沖擊,可能會影響其中構(gòu)件的正常工作,嚴(yán)重的可能會造成真空泵損壞,導(dǎo)致抽真空效率低以及無法抽真空等問題。對于氣體捕集泵,大量涌入的空氣分子會吸附在氣體捕集泵的吸附劑上,造成吸附劑的快速失效,同樣會導(dǎo)致抽真空效率低以及無法抽真空等問題。[0004]為了防止發(fā)生以上問題,在抽真空過程中需要有專門的值守人員進(jìn)行監(jiān)控,一旦發(fā)現(xiàn)抽空空間漏氣或真空泵工作異常,需要人為強(qiáng)制關(guān)閉真空泵。如果抽空空間發(fā)生小范圍漏氣一般是不容易察覺的,一旦值守人員未發(fā)現(xiàn)漏氣而令真空泵長期在漏氣狀態(tài)下工作,會嚴(yán)重影響抽真空效率以及真空泵的使用壽命;如果抽空空間發(fā)生大范圍漏氣,一旦值守人員反應(yīng)不及沒能關(guān)閉真空泵,會造成真空泵的損壞。實用新型內(nèi)容[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本實用新型的目的之一在于提供一種無需專人值守, 一旦發(fā)生漏氣能夠快速對真空泵進(jìn)行保護(hù)的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置。本實用新型的另一目的在于提供一種用于保護(hù)真空玻璃的真空泵的快速反應(yīng)閥。[0006]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有第一腔室和第二腔室,第一腔室與抽空空間相連,第二腔室與真空泵的輸入口相連,第一和第二腔室之間通過抽氣口連通,所述抽氣口處設(shè)置有可活動封堵結(jié)構(gòu),正常抽真空狀態(tài)下,封堵結(jié)構(gòu)處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置,抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵;當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣,所述封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動,從預(yù)設(shè)位置移動到封堵位置以封堵抽氣口,阻止大氣涌入真空泵。[0007]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道,該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。[0008]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開,所述抽氣口設(shè)置在隔板上, 抽氣口的大小和形狀與所述封堵結(jié)構(gòu)相配。4[0009]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列,所述封堵結(jié)構(gòu)處于第一腔室內(nèi),正常抽真空狀態(tài)下封堵結(jié)構(gòu)通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。[0010]進(jìn)一步,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有至少一根彈簧,彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的頂面或底面將封堵結(jié)構(gòu)吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。[0011]進(jìn)一步,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置一根彈簧,所述殼體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置,該導(dǎo)向裝置可以是貫穿封堵結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。[0012]進(jìn)一步,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有四根彈簧,四根彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的四角處。[0013]進(jìn)一步,所述真空系統(tǒng)保護(hù)裝置為閥結(jié)構(gòu),所述殼體為閥體,所述封堵結(jié)構(gòu)為閥-I-H心。[0014]進(jìn)一步,所述閥芯為封堵塞。[0015]進(jìn)一步,所述殼體能夠放倒使用。[0016]本實用新型的真空玻璃抽真空系統(tǒng),包括真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵,所述真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵依次連接,快速反應(yīng)閥包括閥體和閥芯,閥體具有第一腔室和第二腔室,第一腔室與真空室相連,第二腔室與真空泵的輸入口相連,第一和第二腔室之間通過抽氣口連通,閥芯設(shè)置在抽氣口處,正常抽真空狀態(tài)下,閥芯處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置,抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵;當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣,閥芯在氣壓作用下能夠快速移動,從預(yù)設(shè)位置移動到封堵位置以封堵抽氣口,阻止大氣涌入真空泵。[0017]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道,該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。[0018]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開,所述抽氣口設(shè)置在隔板上, 抽氣口的大小和形狀與所述閥芯相配。[0019]進(jìn)一步,所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列,所述閥芯處于第一腔室內(nèi),正常抽真空狀態(tài)下閥芯通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。[0020]進(jìn)一步,所述閥芯上設(shè)置有至少一根彈簧,彈簧設(shè)置在閥芯的頂面或底面將閥芯吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。[0021]進(jìn)一步,所述閥芯上設(shè)置一根彈簧,所述閥體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置,該導(dǎo)向裝置可以是貫穿閥芯的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在閥芯上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在閥芯上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。[0022]進(jìn)一步,所述閥芯上設(shè)置有四根彈簧,其分別設(shè)置在閥芯的四角處。[0023]進(jìn)一步,所述閥芯為封堵塞。[0024]進(jìn)一步,所述閥體能夠放倒使用。[0025]本實用新型的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置通過壓差控制抽真空通道關(guān)斷,一旦抽真空空間發(fā)生漏氣,在保護(hù)裝置的兩個腔室間會產(chǎn)生壓力差,從而可以快速驅(qū)動保護(hù)裝置中的封堵結(jié)構(gòu)封閉抽真空通道,可以有效防止大氣涌入真空泵,使真空泵能夠得到有效保護(hù)。
[0026]圖1為實施例1的抽真空系統(tǒng)的示意圖;[0027]圖2為實施例2的抽真空系統(tǒng)的示意圖;[0028]圖3為實施例3的抽真空系統(tǒng)的示意圖;[0029]圖4為實施例4的抽真空系統(tǒng)的示意圖;[0030]圖5為實施例5的抽真空系統(tǒng)的示意圖。
具體實施方式
[0031]實施例1 [0032]如圖1所示,本實用新型的抽真空系統(tǒng),包括真空室1、快速反應(yīng)閥2和真空泵5, 真空室1、快速反應(yīng)閥2和真空泵5通過管道依次連通,快速反應(yīng)閥2具有沿豎直方向排列的第一腔室21和第二腔室22,第一腔室21與真空室1相連,第二腔室22與真空泵5的輸入口相連,第一腔室21和第二腔室22之間通過隔板23隔開,隔板23上具有連通第一腔室 21和第二腔室22的抽氣口 231,封堵塞3通過彈簧4支撐在第一腔室21中,正常抽真空狀態(tài)下,封堵塞3處于與抽氣口 231相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置,抽空空間1內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口 231抽至真空泵5 ;如果抽空空間1發(fā)生漏氣,封堵塞3在氣壓作用下能夠快速向上移動堵住抽氣口 231,阻止大氣涌入真空泵5。其中,抽氣口 231的設(shè)置位置以及大小是與封堵塞3的安裝位置和大小相匹配的,封堵塞3的上密封面的寬度比抽氣口的寬度略大。[0033]實施例2 [0034]如圖2所示,為本實用新型的抽真空系統(tǒng)的另一種形式,其中在快速反應(yīng)閥中的第一和第二腔室之間又設(shè)置了一條用于抽真空的旁路通道6,并且在其中設(shè)置了可以控制通道連通或斷開的閥門61。在抽真空開始階段抽真空系統(tǒng)中并不會形成很大壓差,即使發(fā)生真空室漏氣,空氣也不會大量涌入至真空泵,為了提高抽真空系統(tǒng)的效率,在抽真空開始階段控制旁路通道6內(nèi)的閥門61打開,真空室內(nèi)的空氣可分別從旁路通道6和抽氣口抽至真空泵,與實施例1相比可以提高抽真空的效率。在經(jīng)過粗抽真空后,控制閥門61關(guān)閉,此時既能保證抽真空的正常進(jìn)行,如果真空室發(fā)生漏氣又能保證封堵塞可以堵住抽氣通道, 阻止大氣涌入真空泵,對真空泵進(jìn)行有效保護(hù)。本實施例中除了增加用于抽氣的旁路通道6 以外,還在封堵塞上加裝了多根彈簧,使真空室發(fā)生漏氣時封堵塞能夠穩(wěn)定上移,確保封堵塞可以堵住抽氣口。[0035]實施例3 [0036]如圖3所示,與上述實施例不同的是封堵塞還可以吊掛在第一腔室中,為了進(jìn)一步提高封堵塞上移的穩(wěn)定度,在快速反應(yīng)閥中還設(shè)置了導(dǎo)向柱7,其沿豎直方向固定在第一腔室中,封堵塞套裝在導(dǎo)向柱7上并且可沿導(dǎo)向柱滑動。[0037]實施例4 [0038]如圖4所示,為快速反應(yīng)閥中導(dǎo)向裝置的另一種形式,其包括滑軌71和滑輪72,滑軌71沿豎直方向固定在第一腔室中,滑輪72安裝在封堵塞上并架設(shè)在滑軌上,使封堵塞能夠沿滑軌移動。[0039]實施例5 [0040]如圖5所示,導(dǎo)向裝置還可以為導(dǎo)管73和套環(huán)74,導(dǎo)管73沿豎直方向固定在第一腔室中,套環(huán)74安裝在封堵塞上并套裝在導(dǎo)管73上,使封堵塞能夠沿導(dǎo)管73移動。[0041]上述實施例中并未對封堵塞的形狀加以限定,其中封堵塞可以設(shè)計為梯形,使封堵塞能夠更加嚴(yán)密地將抽氣口堵住。本實用新型的抽真空系統(tǒng)應(yīng)用在真空玻璃封裝中,即使抽氣過程中出現(xiàn)真空玻璃破裂也可以有效地對真空泵進(jìn)行保護(hù),還能保證真空玻璃封裝的安全、快速進(jìn)行。在抽真空空間發(fā)生漏氣時,本實用新型的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)基于壓差原理來驅(qū)動封堵塞的動作,控制封堵塞堵住抽氣通道,防止大量空氣涌入真空泵,造成真空泵損毀,有效保護(hù)真空泵的工作安全。 需要指出的是上述實施例只是示例性的對本實用新型加以說明,根據(jù)本實用新型的精神所做出任意變形,如對彈簧數(shù)量的變更、封堵塞的形狀、快速反應(yīng)閥放倒使用、導(dǎo)向裝置的常規(guī)改變,均不應(yīng)認(rèn)為脫離本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有第一腔室和第二腔室,第一腔室與抽空空間相連,第二腔室與真空泵的輸入口相連,第一和第二腔室之間通過抽氣口連通,所述抽氣口處設(shè)置有可活動封堵結(jié)構(gòu),正常抽真空狀態(tài)下,封堵結(jié)構(gòu)處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置,抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵;當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣,所述封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動,從預(yù)設(shè)位置移動到封堵位置以封堵抽氣口,阻止大氣涌入真空泵。
2.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道,該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。
3.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開,所述抽氣口設(shè)置在隔板上,抽氣口的大小和形狀與所述封堵結(jié)構(gòu)相配。
4.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列,所述封堵結(jié)構(gòu)處于第一腔室內(nèi),正常抽真空狀態(tài)下封堵結(jié)構(gòu)通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。
5.如權(quán)利要求4所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有至少一根彈簧,彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的頂面或底面將封堵結(jié)構(gòu)吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。
6.如權(quán)利要求5所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置一根彈簧,所述殼體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置,該導(dǎo)向裝置可以是貫穿封堵結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。
7.如權(quán)利要求5所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有四根彈簧,四根彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的四角處。
8.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述真空系統(tǒng)保護(hù)裝置為閥結(jié)構(gòu),所述殼體為閥體,所述封堵結(jié)構(gòu)為閥芯。
9.如權(quán)利要求4-7任一項所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置,其特征在于,所述殼體能夠放倒使用。
10.真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,包括真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵,所述真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵依次連接,快速反應(yīng)閥包括閥體和閥芯,閥體具有第一腔室和第二腔室,第一腔室與真空室相連,第二腔室與真空泵的輸入口相連,第一和第二腔室之間通過抽氣口連通,閥芯設(shè)置在抽氣口處,正常抽真空狀態(tài)下,閥芯處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置,抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵;當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣,閥芯在氣壓作用下能夠快速移動,從預(yù)設(shè)位置移動到封堵位置以封堵抽氣口,阻止大氣涌入真空泵。
11.如權(quán)利要求10所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道,該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。
12.如權(quán)利要求10所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開,所述抽氣口設(shè)置在隔板上,抽氣口的大小和形狀與所述閥芯相配。
13.如權(quán)利要求10所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列,所述閥芯處于第一腔室內(nèi),正常抽真空狀態(tài)下閥芯通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。
14.如權(quán)利要求13所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述閥芯上設(shè)置有至少一根彈簧,彈簧設(shè)置在閥芯的頂面或底面將閥芯吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。
15.如權(quán)利要求14所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述閥芯上設(shè)置一根彈簧,所述閥體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置,該導(dǎo)向裝置可以是貫穿閥芯的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在閥芯上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在閥芯上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。
16.如權(quán)利要求14所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述閥芯上設(shè)置有四根彈簧,其分別設(shè)置在閥芯的四角處。
17.如權(quán)利要求13-16任一項所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述閥體能夠放倒使用。
專利摘要本實用新型公開了真空系統(tǒng)保護(hù)裝置及真空玻璃抽真空系統(tǒng),該保護(hù)裝置,包括兩個腔室和封堵結(jié)構(gòu),兩個腔室通過抽氣口連通,封堵結(jié)構(gòu)處于間隔抽氣口的預(yù)設(shè)位置。本實用新型的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)基于壓差原理來驅(qū)動封堵結(jié)構(gòu)的動作,控制封堵結(jié)構(gòu)能夠快速堵住抽氣通道,防止大量空氣涌入真空泵,造成真空泵損毀,有效保護(hù)真空泵的工作安全。
文檔編號F04B49/22GK202250769SQ20112033662
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者史建波, 李彥兵 申請人:洛陽蘭迪玻璃機(jī)器股份有限公司