專利名稱：用于最優(yōu)化泵的操作的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本公開描述了總體上涉及過濾的系統(tǒng)和方法。更具體地說，在此描述的實施例涉及提供具有可以存儲被用于確定泵的操作的信息的過濾器信息標簽的過濾器。
背景技術：
對于精確控制通過泵送裝置分發(fā)流體所必需的量和/或速率來說，存在許多應用。在半導體加工方面，例如，重要的是，控制向半導體晶片涂敷諸如光致抗蝕劑化學品的光化學品的量和速率。在加工期間涂敷至半導體晶片的涂層通常需要橫跨晶片表面的、以埃(angstrom)測量的厚度均勻性。必須控制向晶片涂敷加工化學品的速率，以便確保均勻地涂敷加工流體?，F(xiàn)今，在半導體工業(yè)中使用的許多光化學品非常昂貴，經(jīng)常費用高達I公升1000 美元。因此，優(yōu)選的是，確保化學品加工設備正確操作。另外，希望縮減用于在晶片上分發(fā)流體的周期時間。

發(fā)明內(nèi)容
在此描述的實施例提供了用于利用有關連接至泵的過濾器的信息來控制泵的操作的系統(tǒng)和方法。在此描述的一個實施例可以包括泵，該泵具有一個或多個電動機，該一個或多個電動機用于將流體汲取到泵的入口中并從該泵的出口分發(fā)流體，和可去除過濾器，該可去除過濾器設置在泵入口與泵出口之間的流體流徑中。該泵還可以包括泵控制器，該泵控制器被設置成，接收過濾器信息，接收加工流體信息，基于過濾器信息和加工流體信息接入操作例程庫，以選擇用于泵的操作例程，以及根據(jù)所選擇操作例程操作泵。所選擇操作例程可以包括起動例程、分發(fā)周期、其它例程的分發(fā)周期的所選擇段。另一實施例可以包括具有泵和泵管理系統(tǒng)的泵系統(tǒng)。該泵可以包括一個或多個電動機，該一個或多個電動機用于將流體汲取到泵的入口中并從該泵的出口分發(fā)流體，可去除過濾器，該可去除過濾器處于泵入口與泵出口之間的流體流徑中，電子標簽讀取器，該電子標簽讀取器被定位并設置成，從電子標簽讀取過濾器信息，以及泵控制器。該泵控制器可以耦接至電子標簽讀取器并且被設置成，從電子標簽讀取器接收過濾器信息，通過通信鏈路傳送過濾器信息，以及控制泵的操作以分發(fā)流體。該泵管理系統(tǒng)可以被設置成，從泵接收過濾器信息，基于過濾器信息和加工流體信息接入操作例程庫，以選擇用于泵的操作例程。該泵管理系統(tǒng)可以將所選擇操作例程傳送至泵控制器。另一實施例可以包括一種用于控制控制泵的操作的方法，該方法包括以下步驟將可去除過濾器連接至泵，其中，該可去除過濾器具有存儲過濾器信息的電子標簽；利用電子標簽讀取器從該電子標簽接收針對該可去除過濾器的過濾器信息；基于過濾器信息和加工流體的流體特性接入操作例程庫，以選擇用于該可去除過濾器和加工流體的操作例程；以及根據(jù)所選擇操作例程操作泵。根據(jù)一個實施例，過濾器信息可以存儲在RFID標簽中并且通過RFID標簽讀取器來讀取。


通過參照結合附圖的下列描述，可以獲取對這些實施例及其優(yōu)點的更完整理解，附圖中，相同標號指示相同特征，并且其中圖I是半導體制造系統(tǒng)的一部分的一個實施例的圖解表不圖；圖2是根據(jù)一個實施例的多級(multiple stage)泵(“多級(multi-stage)泵”)的圖解表不圖；圖3和4A-4G是針對分發(fā)周期的各個實施例的閥和電動機定時的圖解表示圖；圖5是例示起動(priming)例程的一個實施例的流程圖；
圖6A和6B是泵的一個實施例的圖解表不圖；圖7是過濾器和多支管(manifold)的一個實施例的圖解表示圖；圖8是過濾器的一個實施例的圖解表示圖；圖9是閥裝配件的一個實施例的圖解表示圖；圖10是泵和連接部的一個實施例的圖解表示圖；圖11是用于控制泵的操作的系統(tǒng)的一個實施例的圖解表示圖；圖12是例示用于利用過濾器信息標簽來影響泵的操作的方法的一個實施例的流程圖；圖13是用于最優(yōu)化泵的起動的方法的一個實施例的圖解表示圖；圖14是最優(yōu)化針對泵的分發(fā)周期的一個實施例的圖解表示圖；圖15是用于利用過濾器信息的方法的一個實施例的圖解表示圖；圖16是軟件架構的一個實施例的圖解表示圖；以及圖17是例示通過選擇最佳起動例程而減少起動時間的圖形。
具體實施例方式參照在附圖中例示并且在以下描述中詳細說明的非限制實施例，對本公開及其各種特征和有利細節(jié)進行更全面說明。省略了對公知原材料、加工技術、組件以及設備的描述，以使不會在細節(jié)上不必要地模糊本公開。然而，技術人員應當明白，該詳細說明的描述和具體示例在公開優(yōu)選實施例時，僅通過例示的方式而非限制的方式給出。本發(fā)明技術人員在閱讀本公開之后，將明白處于基本發(fā)明構思范圍內(nèi)的各種代替、修改、添加或重新布置。在此描述的各種實施例涉及利用過濾器信息來確保泵的適當操作的泵送系統(tǒng)。根據(jù)一個實施例，過濾器信息存儲在可以通過合適的標簽讀取器讀取的可電子讀取的標簽中。該過濾器信息可以被分析以確定泵的適當操作。圖I是用于將流體從流體罐15分發(fā)到晶片17上的半導體制造系統(tǒng)10的一部分的一個實施例的圖解表示圖。系統(tǒng)10還可以包括泵控制器20和泵25。泵控制器20可以是板上泵25或者經(jīng)由用于傳送控制信號、數(shù)據(jù)或其它信息的一個或多個通信鏈路連接至泵25。泵控制器20控制泵25以將流體分發(fā)到晶片17上。系統(tǒng)10還包括諸如截止/反吸閥27的外部閥，其可以防止分發(fā)噴嘴處的滴落。
泵25包括可去除過濾器35，該可去除過濾器35具有包含過濾器信息45的可電子讀取過濾器信息標簽40。過濾器信息45可以包括有關過濾器35的任何信息，和可以存儲在可電子讀取標簽中的其它信息。標簽讀取器50用于從過濾器信息標簽40讀取過濾器信息45并將該信息提供給泵控制器20、系統(tǒng)管理計算機或其它計算機。在一個實施例中，過濾器信息標簽40可以是有源或無源RFID標簽，并且標簽讀取器50可以是RFID標簽讀取器。在其它實施例中，過濾器信息標簽40可以是條形碼或其它可光學讀取碼，并且標簽讀取器50可以是條形碼掃描器或者能夠讀取標簽40的其它掃描器。過濾器信息45的示例包括但不限于，零件號、設計風格、隔膜類型、保留級別(retention rating)、過濾器的世代(generation of device)、過濾器隔膜的構造、批號、序列號、設備流量、隔膜厚度、隔膜起泡點、顆粒質(zhì)量、過濾器制造商質(zhì)量信息或其它信息。設計風格指泵的、設計過濾器的類型、過濾器的容量/尺寸、過濾器中的隔膜材料的量或有關過濾器的設計的其它信息泵的類型。隔膜類型指隔膜的材料和/或厚度。保留級別指可 以通過隔膜以特定效率去除的顆粒的尺寸。過濾器的世代指該過濾器是過濾器設計的第一代、第二代、第三代，還是其它世代。過濾器隔膜的構造指過濾器是否打褶、打褶的類型或有關隔膜設計的其它信息。序列號提供單個過濾器的序列號。批號可以指定過濾器或隔膜的制造批次。設備流量指過濾器可以處理的流率同時仍產(chǎn)生良好的分發(fā)。設備流量可以在單個過濾器的制造期間確定。隔膜起泡點提供對過濾器可以處理并仍產(chǎn)生良好的分發(fā)的流率/壓力的另一測量。隔膜起泡點也可以在單個過濾器的制造期間確定。上面的示例通過說明的方式來提供，而不是對可以包含在過濾器信息45中的信息的限制。過濾器信息45可以包括表達多種信息的零件號。例如，示例零件號格式“Aabcdefgh”中的每一個字母都可以表達一條不同的信息。下表I提供了由零件號表達的信息的示例表I :
權利要求
1.一種泵，該泵包括 一個或多個電動機，該一個或多個電動機用于將流體汲取到泵的入口中并從該泵的出口分發(fā)流體； 可去除過濾器，該可去除過濾器設置在泵入口與泵出口之間的流體流徑中； 泵控制器，該泵控制器被設置成 接收過濾器信息； 接收加工流體信息； 基于過濾器信息和加工流體接入操作例程庫，以選擇用于泵的操作例程； 根據(jù)所選擇操作例程操作泵。
2.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，該可去除過濾器具有存儲過濾器信息的電子標簽，并且該泵還包括電子標簽讀取器，該電子標簽讀取器被定位并且設置成從電子標簽讀取過濾器信息。
3.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，該電子標簽讀取器包括RFID讀取器。
4.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，該過濾器信息包括零件號。
5.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，該過濾器信息包括專用于單個可去除過濾器的信息、
6.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，所選擇操作例程包括起動例程。
7.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，該泵控制器還被設置成，在起動例程期間監(jiān)測泵的操作，并且基于包括在過濾器信息中的、專用于該可去除過濾器的信息來調(diào)節(jié)泵的操作。
8.根據(jù)權利要求I所述的泵，其中，所選擇操作例程包括過濾例程。
9.根據(jù)權利要求8所述的泵，其中，該泵控制器還被設置成，在過濾例程期間監(jiān)測泵的操作，并且基于包括在過濾器信息中的、專用于該單個過濾器的信息來調(diào)節(jié)泵的操作。
10.一種泵系統(tǒng)，該泵系統(tǒng)包括 泵，該泵包括 一個或多個電動機，該一個或多個電動機用于將流體汲取到泵的入口中并從該泵的出口分發(fā)流體； 可去除過濾器，該可去除過濾器處于泵入口與泵出口之間的流體流徑中； 電子標簽讀取器，該電子標簽讀取器被定位并設置成，從電子標簽讀取過濾器信息； 泵控制器，該泵控制器耦接至電子標簽讀取器，該泵控制器被設置成 從電子標簽讀取器接收過濾器信息； 通過通信鏈路傳送過濾器信息；以及 控制泵的操作以分發(fā)流體； 泵管理系統(tǒng)，該泵管理系統(tǒng)被設置成 從泵接收過濾器信息； 基于過濾器信息和加工流體信息接入操作例程庫，以選擇用于泵的操作例程；以及 將所選擇操作例程傳送至泵控制器。
11.根據(jù)權利要求10所述的泵系統(tǒng)，其中，該電子標簽讀取器包括RFID讀取器。
12.根據(jù)權利要求10所述的泵系統(tǒng)，其中，該過濾器信息包括零件號。
13.根據(jù)權利要求10所述的泵系統(tǒng)，其中，該過濾器信息包括專用于單個可去除過濾器的信息。
14.根據(jù)權利要求10所述的泵系統(tǒng)，其中，所選擇操作例程包括起動例程。
15.根據(jù)權利要求14所述的泵系統(tǒng)，其中，該泵控制器還被設置成，在起動例程期間監(jiān)測泵的操作，并且基于包括在過濾器信息中的、專用于該可去除過濾器的信息來調(diào)節(jié)起動例程。
16.根據(jù)權利要求10所述的泵系統(tǒng)，其中，該操作例程包括過濾例程。
17.根據(jù)權利要求16所述的泵系統(tǒng)，其中，該泵控制器還被設置成，在過濾例程期間監(jiān)測泵的操作，并且基于包括在過濾器信息中的、專用于該可去除過濾器的信息來調(diào)節(jié)泵的操作。
18.一種用于控制控制泵的操作的方法，該方法包括以下步驟 將可去除過濾器連接至泵，其中，該可去除過濾器具有存儲過濾器信息的電子標簽； 利用電子標簽讀取器從該電子標簽接收針對該可去除過濾器的過濾器信息； 基于過濾器信息和加工流體的流體特性接入操作例程庫，以選擇用于該可去除過濾器和加工流體的操作例程；以及根據(jù)所選擇操作例程操作泵。
19.根據(jù)權利要求18所述的方法，其中，所選擇操作例程包括最佳起動例程。
20.根據(jù)權利要求18所述的方法，其中，所選擇操作例程包括最佳過濾例程。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于最優(yōu)化泵的操作的方法和系統(tǒng)。本發(fā)明描述了總體上涉及過濾的系統(tǒng)和方法。更具體地說，在此描述的實施例涉及基于過濾器信息和加工流體信息來最優(yōu)化泵的操作例程。該過濾器信息可以存儲在過濾器上的電子可讀標簽上。
文檔編號F04B41/06GK102770872SQ201180010843
公開日2012年11月7日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權日2010年2月26日
發(fā)明者J·M·布拉金, P·J·瑪古恩, R·A·拉米瑞 申請人:恩特格里公司