專利名稱：排氣泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置中的處理腔室、其他密閉腔室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等使用的排氣泵，特別涉及能夠?qū)崿F(xiàn)耐久性、泵生產(chǎn)階段中的連通開口部的加工性及排氣性能的提高的排氣泵。
背景技術(shù)：
在利用螺紋槽將氣體排氣的形式的排氣泵中，作為不改變?cè)摫谜w的大小而使排氣性能提高的I個(gè)方法，已知有例如在專利文獻(xiàn)I中公開的方法。該方法如在該文獻(xiàn)I的圖I中記載那樣，在筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)的外周及內(nèi)周上設(shè)置螺紋槽(30、31)。由此，在筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)與包圍其外周的外側(cè)筒形固定部件(33)之間，形成螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，并且在筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)與由其內(nèi)周包圍的內(nèi)側(cè)筒形固定部件(7)之間形成螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，由這些內(nèi)外的螺紋槽排氣通路并行將氣體分子排氣。但是，在采用上述方法的排氣泵中，為了向內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路引導(dǎo)氣體分子，采用在筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)的連結(jié)環(huán)部(無附圖標(biāo)記)上開設(shè)連通開口部(4b)的結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)通過筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)繞其軸心旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力或筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)的熱膨脹等而筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)變形時(shí)，在連通開口部(4b)的緣部上發(fā)生應(yīng)力集中，轉(zhuǎn)子(4)容易從形成有連通開口部(4b)的連結(jié)環(huán)部(無附圖標(biāo)記)附近損壞等，有耐久性的問題。此外，根據(jù)采用上述方法的排氣泵，如專利文獻(xiàn)I的圖I及圖2所示那樣，在連通開口部(4b)的上方存在旋轉(zhuǎn)翼(5)。因此，必須從筒形旋轉(zhuǎn)部件(4a)的下部開口向其內(nèi)周側(cè)插入工具而開設(shè)加工連通開口部(4b)(參照本申請(qǐng)圖2 (a)的工具T4的加工)，所以需要尺寸較長(zhǎng)的工具，如果工具的支承系統(tǒng)的剛性較弱，則在連通開口部(4b)的開設(shè)加工時(shí)在工具上發(fā)生晃動(dòng)等，在連通開口部(4b)的加工性上也有問題。進(jìn)而，通過上述方法的采用，排氣泵的排氣性能提高，但隨著近年來的半導(dǎo)體及平板、太陽能面板等的大型化，生產(chǎn)它們的密閉腔室也成為大型，在密閉腔室內(nèi)使用的反應(yīng)性氣體等的氣體量也增加，所以對(duì)于作為將這樣的氣體排氣的機(jī)構(gòu)的排氣泵要求進(jìn)一步的排氣性能的提聞。另外，在以上的說明中，括號(hào)內(nèi)的附圖標(biāo)記是在專利文獻(xiàn)I中使用的附圖標(biāo)記。專利文獻(xiàn)I :實(shí)開平5 - 38389號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題及要求而做出的，其目的是提供一種適合于實(shí)現(xiàn)耐久性、泵生產(chǎn)階段中的連通開口部的加工性及排氣性能的提高的排氣泵。為了達(dá)到上述目的，第I本發(fā)明是一種排氣泵，具備筒形旋轉(zhuǎn)部件；支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；夕卜側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置；內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間；連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路；其特征在于，在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼與上述連通開口部上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設(shè)上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。在上述第I本發(fā)明中，也可以是，通過比上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼還要下游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件是在形成有上述連通開口部的位置處向遠(yuǎn)離上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼的方向而傾斜的向下梯度的錐形狀，上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼與上述連通開口部上游端之間的間隙使其成為上述尺寸以上。此外，第I本發(fā)明是一種排氣泵，具備筒形旋轉(zhuǎn)部件；支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置；內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部 件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間；連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路；其特征在于，在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼與相鄰于該旋轉(zhuǎn)翼的旋轉(zhuǎn)翼之間的開口區(qū)域是在該開口區(qū)域中用來開設(shè)上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。第2本發(fā)明是一種排氣泵，具備筒形旋轉(zhuǎn)部件；支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置；內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間；連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路；其特征在于，上述多個(gè)連通開口部的位置相對(duì)于排氣泵的泵軸心點(diǎn)對(duì)稱地配置。在上述第2本發(fā)明中，在上述“筒形旋轉(zhuǎn)部件”中，包括由直徑一樣的筒體那樣的形狀構(gòu)成的結(jié)構(gòu)、以及由將直徑不同的多個(gè)筒體在其軸向上連結(jié)那樣的形狀構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。第3本發(fā)明是一種排氣泵，其特征在于，具備筒形旋轉(zhuǎn)部件；支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置；內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間；連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路；加強(qiáng)機(jī)構(gòu)，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將上述連通開口部周邊加強(qiáng)。
在上述第3本發(fā)明中，在上述“筒形旋轉(zhuǎn)部件”中，包括由直徑一樣的筒體那樣的形狀構(gòu)成的結(jié)構(gòu)、以及由將直徑不同的多個(gè)筒體在其軸向上連結(jié)那樣的形狀構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。在第3本發(fā)明中，也可以是，上述加強(qiáng)機(jī)構(gòu)由第I加強(qiáng)構(gòu)造以及第2加強(qiáng)構(gòu)造中的某一個(gè)加強(qiáng)構(gòu)造或兩者的加強(qiáng)構(gòu)造來構(gòu)成，所述第I加強(qiáng)構(gòu)造是通過在上述連通開口部周邊的筒形旋轉(zhuǎn)部件外周上安裝加強(qiáng)部件來減少該連通開口部周邊處的筒形旋轉(zhuǎn)部件的變形之構(gòu)造，所述第2加強(qiáng)構(gòu)造是通過在上述連通開口部周邊的轉(zhuǎn)子6內(nèi)周下端上形成伸出部來減少該連通開口部周邊處的筒形旋轉(zhuǎn)部件的變形之構(gòu)造。上述第I加強(qiáng)構(gòu)造可以采用將由高強(qiáng)度材料構(gòu)成的環(huán)作為加強(qiáng)部件安裝到上述連通開口部周邊的筒形旋轉(zhuǎn)部件外周上來構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。上述環(huán)也可以由與上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的形成材料相比線膨脹系數(shù)較低、并且彈性系數(shù)較大的材料形成。第4本發(fā)明是一種排氣泵，具備筒形旋轉(zhuǎn)部件；支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件 可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置；內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間；連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路；其特征在于，在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼的開口區(qū)域成對(duì)面的位置上設(shè)有上述連通開口部。在第I本發(fā)明中，作為排氣泵的具體的結(jié)構(gòu)，如上述那樣采用了最下段的旋轉(zhuǎn)翼與連通開口部上游端之間的間隙為能夠在該間隙中插入用來開設(shè)連通開口部的工具的尺寸以上的結(jié)構(gòu)。因此，能夠在這樣的間隙中將工具從筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周側(cè)插入而開設(shè)加工連通開口部，其開設(shè)加工用尺寸較短的工具就足夠，所以在連通開口部的開設(shè)加工時(shí)不易發(fā)生工具的晃動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)連通開口部的加工性提高。此外，采用了最下段的旋轉(zhuǎn)翼與相鄰于該旋轉(zhuǎn)翼的旋轉(zhuǎn)翼之間的開口區(qū)域?yàn)槟軌蛟谠撻_口區(qū)域中插入用來開設(shè)上述連通開口部的工具的尺寸以上的結(jié)構(gòu)。通過該結(jié)構(gòu)，也能夠得到與上述同樣的效果。在第2本發(fā)明中，作為排氣泵的具體的結(jié)構(gòu)，如上述那樣，采用了將開設(shè)在筒形旋轉(zhuǎn)部件上的多個(gè)連通開口部相對(duì)于排氣泵的泵軸心點(diǎn)對(duì)稱地配置的結(jié)構(gòu)。因此，轉(zhuǎn)子的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。在第3本發(fā)明中，作為排氣泵的具體的結(jié)構(gòu)，如上述那樣，采用通過設(shè)在筒形旋轉(zhuǎn)部件上的加強(qiáng)機(jī)構(gòu)將連通開口部周邊加強(qiáng)的結(jié)構(gòu)，所以因離心力或熱膨脹等帶來的連通開口部周邊處的筒形旋轉(zhuǎn)部件的變形變小，將因該變形而在連通開口部的緣部發(fā)生的應(yīng)力集中緩和，由此筒形旋轉(zhuǎn)部件不易從連通開口部附近損壞等，能夠?qū)崿F(xiàn)排氣泵的耐久性提高。在第4本發(fā)明中，作為排氣泵的具體的結(jié)構(gòu)，如上述那樣，采用在與以多段設(shè)在比連通開口部還要上游的筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼的開口區(qū)域?qū)χ玫奈恢蒙显O(shè)置連通開口部的結(jié)構(gòu)。因此，氣體分子能夠穿過連通開口部向內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路平順且效率良好地轉(zhuǎn)移，能夠?qū)崿F(xiàn)排氣泵的排氣性能提高。


圖I是表示采用本發(fā)明前的排氣泵的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明的情況下的作為第一實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖2 (b)是作為第二實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。圖3 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明的情況下的作為第三實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖3 (b)是作為第四實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。圖4 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第五實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖4 (b)是圖4 Ca)的A向視圖。圖5 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第六實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖5 (b)是圖5 Ca)的A向視圖。
圖6 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第七實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖6 (b)是圖6 (a)的A向視圖。圖7 (a)是在圖2 (a)的筒形旋轉(zhuǎn)部件上開設(shè)連通開口部時(shí)能夠使用的工具的另一例和使用該工具開設(shè)連通開口部的作業(yè)的說明圖，圖7 (b)是用圖7 (a)的工具開設(shè)的連通開口部的B向視圖。圖8 (a)是在圖2 (a)的筒形旋轉(zhuǎn)部件上開設(shè)連通開口部時(shí)能夠使用的工具的另一例和使用該工具開設(shè)連通開口部的作業(yè)的說明圖，圖8 (b)是用圖8 (a)的工具開設(shè)的連通開口部的B向視圖。圖9 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為另一實(shí)施例的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖9 (b)是圖9 (a)的A向視圖。圖10 (a)是作為第2本發(fā)明的一實(shí)施方式的排氣泵(僅用螺紋槽排氣部排氣的形式)的剖視圖，圖10 (b)是圖10 (a)的A向視圖。圖11 (a)是作為第2本發(fā)明的另一實(shí)施方式的排氣泵(僅用螺紋槽排氣部排氣的形式)的剖視圖，圖11 (b)是圖11 (a)的A向視圖。圖12是在圖I的排氣泵中采用第3本發(fā)明的情況下的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。圖13是在構(gòu)造與圖I的排氣泵不同的別的排氣泵(僅用螺紋槽排氣部排氣的形式)中采用第3本發(fā)明的情況下的排氣泵的剖視圖。圖14是表示在圖I的排氣泵中采用第4本發(fā)明的情況下的連通開口部與最下段的旋轉(zhuǎn)翼的位置關(guān)系的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照對(duì)說明書添附的附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。 圖I的排氣泵的概要>>
圖I是表示采用本發(fā)明前的排氣泵的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖。該圖的排氣泵P作為例如半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置中的處理腔室或其他密閉腔室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等使用。該排氣泵在外裝殼體I內(nèi)，具有通過旋轉(zhuǎn)翼13和固定翼14將氣體排氣的翼排氣部Pt、利用螺紋槽19A、19B將氣體排氣的螺紋槽排氣部Ps、和它們的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。外裝殼體I為將筒狀的泵殼體IA和有底筒狀的泵座IB在其筒軸方向上用螺栓一體地連結(jié)的有底圓筒形。泵殼體IA的上端部側(cè)作為氣體吸氣口 2開口，在泵座IB的下端部側(cè)面上設(shè)有氣體排氣口 3。氣體吸氣口 2通過設(shè)在泵殼體IA上緣的凸緣IC上的未圖示的螺栓連接在例如半導(dǎo)體制造裝置的處理腔室等、為高真空的未圖示的密閉腔室上。氣體排氣口 3連接而連通到未圖示的輔助泵上。在泵殼體IA內(nèi)的中央部設(shè)有內(nèi)置各種電氣元件的圓筒狀的定子柱4，定子柱4以其下端側(cè)螺紋止動(dòng)固定在泵座IB上的形態(tài)立設(shè)。在定子柱4的內(nèi)側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)子軸5，轉(zhuǎn)子軸5配置為，使其上端部朝向氣體吸氣口 2的方向、其下端部朝向泵座IB的方向。此外,轉(zhuǎn)子軸5的上端部設(shè)置為,使其從定子柱4的圓筒上端面向上方突出。上述轉(zhuǎn)子軸5受徑向磁軸承10和軸向磁軸承11將徑向和軸向可旋轉(zhuǎn)地支承，在此狀態(tài)下被驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12是由固定子12A和旋轉(zhuǎn)子12B構(gòu)成的構(gòu)造，設(shè)在轉(zhuǎn)子軸5的大致中央附近。該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的固定子12A設(shè)在定子柱4的內(nèi)側(cè)，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的旋轉(zhuǎn)子12B —體地安裝在轉(zhuǎn)子軸5的外周面?zhèn)取较虼泡S承10在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的上下配置有各I組合計(jì)兩組，軸向磁軸承11在轉(zhuǎn)子軸5的下端部側(cè)配置有I組。兩組徑向磁軸承10、10分別具備安裝在轉(zhuǎn)子軸5的外周面上的徑向電磁鐵靶10A、對(duì)置于它的設(shè)置在定子柱4內(nèi)側(cè)面上的多個(gè)徑向電磁鐵10B、以及徑向方向變位傳感器IOC而構(gòu)成。徑向電磁鐵靶IOA由層疊了高透磁率材料的鋼板的層疊鋼板構(gòu)成，徑向電磁鐵IOB通過徑向電磁鐵靶IOA將轉(zhuǎn)子軸5在徑向上用磁力吸引。徑向方向變位傳感器IOC檢測(cè)轉(zhuǎn)子軸5的徑向變位。并且，通過基于徑向方向變位傳感器IOC中的檢測(cè)值(轉(zhuǎn)子軸5的徑向變位)控制徑向電磁鐵IOB的勵(lì)磁電流，用磁力將轉(zhuǎn)子軸5浮起支承到徑向規(guī)定位置。軸向磁軸承11具備安裝在轉(zhuǎn)子軸5的下端部外周上的圓盤形狀的電樞盤11A、夾著電樞盤IlA上下對(duì)置的軸向電磁鐵11B、和設(shè)置在從轉(zhuǎn)子軸5的下端面稍稍離開的位置上的軸向方向變位傳感器IlC而構(gòu)成。電樞盤IlA由透磁率較高的材料構(gòu)成，上下的軸向電磁鐵IlB將電樞盤IlA從其上下方向用磁力吸引。軸向方向變位傳感器IlC檢測(cè)轉(zhuǎn)子軸5的軸向變位。并且，通過基于軸向方向變位傳感器IlC中的檢測(cè)值(轉(zhuǎn)子軸5的軸方向變位)控制上下的軸向電磁鐵IlB的勵(lì)磁電流，將轉(zhuǎn)子軸5用磁力浮起支承在軸方向規(guī)定位置上。在定子柱4的外側(cè)，作為筒形旋轉(zhuǎn)部件而設(shè)有轉(zhuǎn)子6。轉(zhuǎn)子6 (筒形旋轉(zhuǎn)部件)為包圍定子柱4的外周那樣的圓筒形狀。該轉(zhuǎn)子6用上游側(cè)端部(第I連結(jié)環(huán)部60)連結(jié)在轉(zhuǎn)子軸5上。此外，上述轉(zhuǎn)子6是將直徑不同的多個(gè)(在圖I的例子中是兩個(gè))筒體在其軸向上連結(jié)那樣的形狀，為用位于轉(zhuǎn)子6的大致中間的中間部件(第2連結(jié)環(huán)部61)將該筒體連結(jié)的結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，上述轉(zhuǎn)子6構(gòu)成為，通過如上述那樣一體化在轉(zhuǎn)子軸5上，經(jīng)由轉(zhuǎn)子軸5受徑向磁軸承10、10及軸向磁軸承11可繞其軸心(轉(zhuǎn)子軸5)旋轉(zhuǎn)地支承。因而，在圖I的排氣泵P中，轉(zhuǎn)子軸5、徑向磁軸承10、10及軸向磁軸承11作為將轉(zhuǎn)子6可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承的支承機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能。此外，由于轉(zhuǎn)子6與轉(zhuǎn)子軸5 —體地旋轉(zhuǎn)，所以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子軸5的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子6的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能。作為轉(zhuǎn)子6與轉(zhuǎn)子軸5的一體化構(gòu)造的一例，在圖I的排氣泵P中，在轉(zhuǎn)子軸5的上端部外周上形成臺(tái)階狀的肩部9，比該肩部9靠上的轉(zhuǎn)子軸5上端部嵌入在轉(zhuǎn)子6的輪轂孔7中，通過將轉(zhuǎn)子6與肩部9螺紋止動(dòng)固定，轉(zhuǎn)子6和轉(zhuǎn)子軸5 —體化。<翼排氣部Pt的詳細(xì)結(jié)構(gòu)>
在圖I的排氣泵P中，構(gòu)成為，使比轉(zhuǎn)子6 (筒形旋轉(zhuǎn)部件)的大致中間還要上游(從轉(zhuǎn)子6的大致中間到轉(zhuǎn)子6的氣體吸氣口 2側(cè)端部的范圍)作為翼排氣部Pt發(fā)揮功能。以下，詳細(xì)地說明該翼排氣部Pt。在比轉(zhuǎn)子6的大致中間還要上游側(cè)的轉(zhuǎn)子6外周面上，一體地設(shè)有多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13。這些旋轉(zhuǎn)翼13以轉(zhuǎn)子6的旋轉(zhuǎn)軸心(轉(zhuǎn)子軸5)或外裝殼體I的軸心(以下稱作“泵軸心”)為中心以放射狀排列(參照?qǐng)D9 (b))。另一方面，在泵殼體IA的內(nèi)周面?zhèn)仍O(shè)有多個(gè)固定翼 14，這些固定翼14以泵軸心為中心以放射狀排列配置。并且，通過將上述旋轉(zhuǎn)翼13和固定翼14沿著泵軸心交替地多級(jí)配置，形成翼排氣部Pt。哪個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13都是與轉(zhuǎn)子6的外徑加工部一體地通過切削加工切出形成的葉片狀的切削加工品，以最適合于氣體分子的排氣的角度傾斜。此外，哪個(gè)固定翼14也以最適合于氣體分子的排氣的角度傾斜。在由以上的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的翼排氣部Pt中，通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的起動(dòng)，轉(zhuǎn)子軸5、轉(zhuǎn)子6及多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13 —體地高速旋轉(zhuǎn)，最上段的旋轉(zhuǎn)翼13對(duì)從氣體吸氣口 2入射的氣體分子賦予朝下方向的動(dòng)量。具有該朝下方向的動(dòng)量的氣體分子被固定翼14向下一段的旋轉(zhuǎn)翼13側(cè)送入。通過將以上那樣的向氣體分子的動(dòng)量的賦予和送入動(dòng)作反復(fù)多段進(jìn)行，將氣體吸氣口 2側(cè)的氣體分子排氣，以使其朝向轉(zhuǎn)子6的下游依次轉(zhuǎn)移。<螺紋槽排氣部Ps的詳細(xì)結(jié)構(gòu)>
在圖I的排氣泵P中，構(gòu)成為，使比轉(zhuǎn)子6 (筒形旋轉(zhuǎn)部件)的大致中間還要下游(從轉(zhuǎn)子6的大致中間到轉(zhuǎn)子6的氣體排氣口 3側(cè)端部的范圍)作為螺紋槽排氣部Ps發(fā)揮功能。以下，詳細(xì)地說明該螺紋槽排氣部Ps。比轉(zhuǎn)子6的大致中間還要下游側(cè)的轉(zhuǎn)子6是作為螺紋槽排氣部Ps的旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)的部分，為經(jīng)由規(guī)定的空隙插入、收容到螺紋槽排氣部Ps的內(nèi)外雙重圓筒形的螺紋槽排氣部定子18A、18B間的結(jié)構(gòu)。內(nèi)外雙重圓筒形的螺紋槽排氣部定子18A、18B中的外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A作為外側(cè)筒形固定部件配置，以使其將轉(zhuǎn)子6的外周(比轉(zhuǎn)子6的大致中間還要下游)包圍。此外，在該外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A的內(nèi)周部，形成有變化為深度朝向下方小徑化的圓錐形狀的螺紋槽19A。該螺紋槽19A從螺紋槽排氣部定子18A的上端到下端以螺旋狀刻設(shè)，通過這樣的螺紋槽19A，在轉(zhuǎn)子6與外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A之間設(shè)置螺旋狀的螺紋槽排氣通路(以下稱作“外側(cè)螺紋槽排氣通路SI，，)。另外，外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A的下端部被泵座IB支承。內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B作為內(nèi)側(cè)筒形固定部件配置，以使其被轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周包圍。在該內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B的外周部上也同樣形成有螺紋槽19B。通過這樣的螺紋槽19B，在轉(zhuǎn)子6與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B之間也設(shè)置螺旋狀的螺紋槽排氣通路(以下稱作“內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2”)。另外，內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B也是其下端部受泵座IB支承。雖然圖示省略，但也可以構(gòu)成為，通過將前面說明的螺紋槽19A、19B形成在轉(zhuǎn)子6的外周面或內(nèi)周面上，設(shè)置上述那樣的外側(cè)螺紋槽排氣通路SI或內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2。在螺紋槽排氣部Ps中，由于通過螺紋槽19A和轉(zhuǎn)子6的外周面上的牽引效果或螺紋槽19B與轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面上的牽引效果將氣體一邊壓縮一邊移送，所以螺紋槽19A的深度設(shè)定為，使其在外側(cè)螺紋槽排氣通路SI的上游入口側(cè)(距氣體吸氣口 2較近的通路開口端)最深、在其下游出口側(cè)(距氣體排氣口 3較近的通路開口端)最淺。螺紋槽19B也是同樣的。構(gòu)成為，外側(cè)螺紋槽排氣通路SI的上游入口連通到形成在多段配置的旋轉(zhuǎn)翼13中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E的下游的間隙G (以下稱作“最終間隙G”)，該通路SI的下游出口連通到氣體排氣口 3側(cè)。構(gòu)成為，內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2的上游入口在轉(zhuǎn)子6的大致中間朝向轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面開口，該通路S2的下游出口與外側(cè)螺紋槽排氣通路SI的下游出口合 流連通到氣體排氣口 3。在轉(zhuǎn)子6的大致中間的中間部件上設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過將這些連通開口部H都形成為、使其將轉(zhuǎn)子6的表背面間貫通，發(fā)揮功能，以將存在于轉(zhuǎn)子6的外周側(cè)的氣體的一部分向位于該轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周側(cè)的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2引導(dǎo)。另外，最終間隙G是多段配置的旋轉(zhuǎn)翼13中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E與連通開口部H的上游端(連通開口部H的上游側(cè)端部)之間的間隙。通過由上述翼排氣部Pt的排氣動(dòng)作移送而到達(dá)外側(cè)螺紋槽排氣通路SI的上游入口或最終間隙G的氣體分子進(jìn)入到外側(cè)螺紋槽排氣通路SI、或從連通開口部H進(jìn)入到內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2中，通過轉(zhuǎn)子6的外周面和螺紋槽19A中的牽引效果或轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面和螺紋槽19B中的牽引效果，一邊被從過渡流壓縮為粘性流一邊朝向氣體排氣口 3轉(zhuǎn)移，最終通過未圖示的輔助泵被向外部排氣。圖2 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明的情況下的作為第一實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖2 (b)是作為第二實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。此外，圖3Ca)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明的情況下的作為第三實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖3 (b)是作為第四實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。如前面說明那樣，在圖I的排氣泵P中，在比轉(zhuǎn)子6的大致中間還要上游的轉(zhuǎn)子6外周上以多段設(shè)有旋轉(zhuǎn)翼13。并且，在圖2 (a)和圖2 (b)以及圖3 (a)和圖3 (b)的例子中，通過設(shè)計(jì)為，使最終間隙G成為在其之間能夠插入用來開設(shè)連通開口部H的工具Tl的尺寸以上，構(gòu)成為，能夠從轉(zhuǎn)子6的外周面?zhèn)葘⒐ぞ叩纸釉谵D(zhuǎn)子6上而開設(shè)連通開口部H。如果參照?qǐng)D2 (a)和圖2 (b)，則在將上述那樣的能夠插入工具Tl的尺寸以上的最終間隙G如圖2 (a)那樣設(shè)計(jì)得比較大的情況下，通過將向最終間隙G的工具Tl的插入角度Θ設(shè)定得較大，能夠如圖2 (a)那樣與轉(zhuǎn)子6的軸心大致平行地開設(shè)連通開口部H。另一方面，在將上述最終間隙G如圖2 (b)那樣設(shè)計(jì)得比較小的情況下，為了避免最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E與工具Tl的接觸，工具Tl的插入角度Θ比圖2 Ca)的例子小，所以連通開口部H如圖2 (b)那樣成為相對(duì)于泵軸心傾斜而被開設(shè)的形態(tài)。在圖2 (a)及圖2 (b)的例子中，構(gòu)成為，通過將開設(shè)連通開口部H的部分向比最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E還要下方遠(yuǎn)離，能夠向最終間隙G插入工具Tl，但在圖3 (a)及圖3 (b)的例子中，構(gòu)成為，通過開設(shè)連通開口部H的部分為向從最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E遠(yuǎn)離的方向傾斜的向下梯度的錐形狀的結(jié)構(gòu)的采用，最終間隙G成為上述尺寸以上(能夠插入用來開設(shè)連通開口部H的工具Tl的尺寸以上)。在本實(shí)施方式中，最終間隙G是在多段配置的旋轉(zhuǎn)翼13中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E與連通開口部H的上游端中最下游側(cè)的位置之間的間隙。如果參照?qǐng)D3 (a)和圖3 (b)，則在將上述錐形狀的傾斜角度α如圖3 (a)那樣設(shè)計(jì)得比較大的情況下，通過將向最終間隙G的工具Tl的插入角度Θ設(shè)定得較大，能夠如圖3 (a)那樣與泵軸心大致平行地開設(shè)連通開口部H。另一方面，在將上述錐形狀的傾斜角度α如圖3 (b)那樣設(shè)計(jì)得比較小的情況下，為了避免最下段的旋轉(zhuǎn)翼13Ε與工具Tl的接觸，工具Tl的插入角度Θ與圖3 (a)的例子相比變小，所以連通開口部H如圖3 (b)那樣成為相對(duì)于泵軸心傾斜而被開設(shè)的形態(tài)。在以上說明的圖2 (a)和圖2 (b)、圖3 (a)和圖3 (b)的例子中，作為排氣泵P的具體的結(jié)構(gòu)，采用了形成在最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E的下游的最終間隙G為在其之間能夠插入用來開設(shè)連通開口部H的工具Tl的尺寸以上的結(jié)構(gòu)。因此，能夠在該最終間隙G中插入 該工具而開設(shè)加工連通開口部H，該開設(shè)加工通過尺寸較短的工具就足夠，所以在連通開口部H的開設(shè)加工時(shí)不易發(fā)生工具的晃動(dòng)，連通開口部H的加工性較好。圖4 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第五實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖4 (b)是圖4 (a)的A向視圖，圖5 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第六實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖5 (b)是圖5 (a)的A向視圖，圖6 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為第七實(shí)施方式的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖6 (b)是圖6 (a)的A向視圖。雖然圖示省略，但這些實(shí)施方式的連通開口部H相對(duì)于泵軸心點(diǎn)對(duì)稱地配置。圖4 (a)、圖5 (a)和圖6 (a)的例子在從轉(zhuǎn)子6的外周側(cè)向最終間隙G插入工具T5這一點(diǎn)上與圖2 (a)、圖2 (b)、圖3 (a)及圖3 (b)的例子相同。與這些例子不同的點(diǎn)是，沿與泵軸心方向大致直角方向?qū)⒐ぞ逿5插入，通過使工具T5向泵軸心方向移動(dòng)而開設(shè)連通開口部H，所以該連通開口部H為槽形狀(參照?qǐng)D4 (b)、圖5 (b)、圖6 (b))。在圖4 (a)的例子中，使向與泵軸心方向大致直角方向的工具T5的插入量(以下稱作“工具插入量”)變少而使向泵軸心方向的工具T5的移動(dòng)量(以下稱作“工具移動(dòng)量”)變多。具體而言，關(guān)于工具插入量，設(shè)為從轉(zhuǎn)子6外周面到達(dá)其內(nèi)周面的深度(相當(dāng)于形成連通開口部H的位置處的轉(zhuǎn)子6外周的大致壁厚的量)，關(guān)于工具移動(dòng)量，設(shè)為轉(zhuǎn)子6的壁厚以上。在此情況下，由該工具T5開設(shè)的連通開口部H如圖4 (a)、圖4 (b)那樣形成。此夕卜，在該圖4 (a)的例子中，如圖4 (b)那樣構(gòu)成為，設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過配置為、使這些多個(gè)連通開口部H的位置相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。在圖5 Ca)的例子中，與圖4 Ca)的例子相比，使工具插入量變多，使工具移動(dòng)量變少。具體而言，關(guān)于工具插入量，設(shè)為從轉(zhuǎn)子6外周面到達(dá)其內(nèi)周面的深度以上，工具移動(dòng)量設(shè)為相當(dāng)于轉(zhuǎn)子6的壁厚的量。在此情況下，通過該工具T5開設(shè)的連通開口部H如圖5 (a)、圖5 (b)那樣形成。此外，在該圖5 (a)的例子中，如圖5 (b)那樣構(gòu)成為，設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過配置為、使這些多個(gè)連通開口部H的位置相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。在圖6 (a)的例子中，與圖4的例子相比，使工具插入量變多，使工具移動(dòng)量也變多(另外，在與圖5 (a)的例子的比較中，使工具插入量相同，使工具移動(dòng)量變多)。具體而言，工具插入量設(shè)為從轉(zhuǎn)子6外周面到達(dá)其內(nèi)周面的深度以上，工具移動(dòng)量為轉(zhuǎn)子6的壁厚以上。在此情況下，通過該工具T5開設(shè)的連通開口部H如圖6 (a)、圖6 (b)那樣形成。此夕卜，在該圖6 (a)的例子中，如圖6 (b)那樣構(gòu)成為，設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過配置為、使這些多個(gè)連通開口部H的位置相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。圖7 (a)和圖8 (a)分別是在圖2 (a)的轉(zhuǎn)子6上開設(shè)連通開口部H時(shí)能夠使用的工具的其他例、和使用該工具開設(shè)連通開口部H時(shí)的作業(yè)的說明圖，圖7 (b)是用圖7
(a)的工具開設(shè)的連通開口部H的B向視圖，圖8 (b)是用圖8 (a)的工具開設(shè)的連通開口 部H的B向視圖。在圖2 Ca)中，表示準(zhǔn)備在工具主軸30前端的球體31上形成有未圖示的刀刃部的工具Tl、將該工具Tl斜向推抵在轉(zhuǎn)子6的面上而開設(shè)連通開口部H的例子，但并不限定于該例。例如，如圖7 (a)所示，也可以準(zhǔn)備在工具主軸30前端的圓板體32外周上形成有未圖示的刀刃部的工具T2，通過將該工具T2水平地推抵在轉(zhuǎn)子6的面上、沿著泵軸心使該工具T2平行移動(dòng)來開設(shè)連通開口部H。在此情況下，開設(shè)的連通開口部H如圖7 (b)那樣為截面是大致四邊形狀的孔。但是，角部為了減輕應(yīng)力集中而為R形狀。此外，圖8 (a)的工具T3也可以是使球體31的部分比圖2 Ca)的工具Tl大徑的結(jié)構(gòu)，通過將該工具T3大致平行地推抵在轉(zhuǎn)子6的面上、使該工具T3沿著泵軸心平行移動(dòng)來開設(shè)連通開口部H。在此情況下，開設(shè)的連通開口部H如圖8 (b)那樣為截面是圓形的孔。圖9 (a)是在圖I的排氣泵中采用第I本發(fā)明及第2本發(fā)明的情況下的作為另一實(shí)施例的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖，圖9 (b)是圖9 (a)的A向視圖。雖然圖示省略，但本實(shí)施方式的連通開口部H相對(duì)于泵軸心點(diǎn)對(duì)稱地配置。圖I的排氣泵P的最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E可以如圖9 (b)那樣設(shè)計(jì)為，在以泵軸心為中心以放射狀排列的狀態(tài)下，相互相鄰的旋轉(zhuǎn)翼13E、13E彼此之間的開口區(qū)域OA比后述的圖14的例子大。具體而言，在圖9 (b)中，構(gòu)成為，使開口區(qū)域OA的大小為能夠?qū)⒂脕黹_設(shè)連通開口部H的工具Tl插入到該開口區(qū)域OA中的尺寸以上的大小。通過這樣的結(jié)構(gòu)的采用，能夠?qū)⒐ぞ咄ǖ阶钕露蔚男D(zhuǎn)翼13E的開口區(qū)域OA中，所以即使最終間隙G比能夠插入工具的尺寸小，也能夠加工連通開口部H。此外，在該圖9 (a)的例子中，如圖9 (b)那樣構(gòu)成為，設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過配置為、使這些多個(gè)連通開口部H的位置相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。圖10 (a)是作為第2本發(fā)明的一實(shí)施方式的排氣泵(僅用螺紋槽排氣部排氣的形式)的剖視圖，圖10 (b)是圖10 (a)的A向視圖。圖10 (a)的排氣泵P是僅具備前面說明的圖I的排氣泵P的螺紋槽排氣部Ps的形式的排氣泵(牽引泵)，所以對(duì)于與圖I的排氣泵P共通的部件賦予共通的附圖標(biāo)記，其詳細(xì)說明省略。圖10 Ca)的排氣泵P作為其泵基本結(jié)構(gòu)，具備轉(zhuǎn)子6 (筒形旋轉(zhuǎn)部件)；支承機(jī)構(gòu)(徑向磁軸承10及軸向磁軸承11)，將轉(zhuǎn)子6可繞其軸心(轉(zhuǎn)子軸5)旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12 (驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子6 ;外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A (外側(cè)筒形固定部件)，配置為，使其將轉(zhuǎn)子6的外周包圍；內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B(內(nèi)側(cè)筒形固定部件)，配置為，使其被轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周包圍；螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路SI，設(shè)在轉(zhuǎn)子6與外側(cè)螺紋槽排氣部定子18A之間；螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2，設(shè)在轉(zhuǎn)子6與內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子18B之間；連通開口部H，開設(shè)在轉(zhuǎn)子6上，將存在于該轉(zhuǎn)子6的外周附近的氣體的一部分向內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2引導(dǎo)。另外，在圖10 (a)的排氣泵P中沒有圖I的排氣泵P那樣的翼排氣部Pt，所以該圖10 (a)的排氣泵P的上述轉(zhuǎn)子6如該圖那樣為直徑一樣的筒體形狀。此外，在該圖10 Ca)的排氣泵P中，如圖10 (b)那樣構(gòu)成為，設(shè)有多個(gè)連通開口部H，通過配置為、使這些多個(gè)連通開口部H的位置相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易。 另外，圖10 (a)的多個(gè)連通開口部H例如也可以如圖11 (a)那樣開設(shè)在轉(zhuǎn)子6的外周面(側(cè)面)上，在此情況下，通過將多個(gè)連通開口部H的位置如圖11 (b)那樣配置為使其相對(duì)于排氣泵P的泵軸心為點(diǎn)對(duì)稱，也能夠得到轉(zhuǎn)子6的重心位置相對(duì)于半徑方向不易偏差，平衡的修正也變得容易的作用效果。圖12是在圖I的排氣泵中采用第3本發(fā)明的情況下的筒形旋轉(zhuǎn)部件的剖視圖。在該圖12的例子中，為了將在形成于轉(zhuǎn)子6上的連通開口部H的緣部發(fā)生的應(yīng)力集中緩和，作為將連通開口部H周邊加強(qiáng)的機(jī)構(gòu)，在轉(zhuǎn)子6上設(shè)有加強(qiáng)機(jī)構(gòu)。該加強(qiáng)機(jī)構(gòu)采用了通過在連通開口部H周邊的轉(zhuǎn)子6外周上安裝加強(qiáng)部件20而減輕因離心力或熱膨脹等帶來的連通開口部H周邊處的轉(zhuǎn)子6的變形的第I加強(qiáng)構(gòu)造、和通過在轉(zhuǎn)子6的泵軸心方向大致中間的內(nèi)周上形成伸出部21、減輕因離心力或熱膨脹等帶來的連通開口部H周邊處的轉(zhuǎn)子6的變形的第2加強(qiáng)構(gòu)造。加強(qiáng)部件20通過將由AFPR (芳香族聚酰胺纖維強(qiáng)化塑料)、BFRP (硼纖維強(qiáng)化塑料)、CFRP (碳纖維強(qiáng)化塑料)、DFRP (聚乙烯纖維強(qiáng)化塑料)、或GFRP (玻璃纖維強(qiáng)化塑料)等高強(qiáng)度材料構(gòu)成的環(huán)如圖12那樣安裝到轉(zhuǎn)子6外周面上，能夠減輕連通開口部H周邊處的轉(zhuǎn)子6的變形、緩和在連通開口部H的緣部發(fā)生的應(yīng)力集中。為了進(jìn)一步提高由這樣的環(huán)形態(tài)的加強(qiáng)部件20帶來的轉(zhuǎn)子6的變形減輕效果，優(yōu)選的是用與轉(zhuǎn)子6的形成材料相比線膨脹系數(shù)較低、并且彈性系數(shù)較大的材料形成加強(qiáng)部件20。轉(zhuǎn)子6由鋁合金制作的情況較多，所以作為這樣的加強(qiáng)部件20的形成材料，上述高強(qiáng)度材料是優(yōu)選的。伸出部21構(gòu)成為，通過如圖12那樣形成為、使比連通開口部H還要上游的轉(zhuǎn)子6的內(nèi)壁部從該轉(zhuǎn)子6朝向下方伸出，能夠得到與前面說明的加強(qiáng)部件20同樣的效果。圖13是在構(gòu)造與圖I的排氣泵不同的別的排氣泵(僅用螺紋槽排氣部排氣的形式)中采用第3本發(fā)明的情況下的排氣泵的剖視圖。該圖13的排氣泵的基本的結(jié)構(gòu)與前面說明的圖10 (a)或圖11 (a)的排氣泵P是同樣的，所以其詳細(xì)說明省略。在圖13的排氣泵中，也作為將連通開口部H周邊加強(qiáng)的機(jī)構(gòu)而在轉(zhuǎn)子6上設(shè)有加強(qiáng)機(jī)構(gòu)。該加強(qiáng)機(jī)構(gòu)與前面說明的第I加強(qiáng)構(gòu)造同樣，通過在連通開口部H周邊的轉(zhuǎn)子6外周上安裝加強(qiáng)部件20，減輕因離心力或熱膨脹等帶來的連通開口部H周邊處的轉(zhuǎn)子6的變形。在以上說明的圖12和圖13的例子中，作為排氣泵P的具體的結(jié)構(gòu)，采用了通過設(shè)在轉(zhuǎn)子6上的加強(qiáng)機(jī)構(gòu)(加強(qiáng)部件20或伸出部21)將連通開口部H周邊加強(qiáng)的結(jié)構(gòu)，所以因離心力或熱膨脹等帶來的連通開口部H周邊處的轉(zhuǎn)子6的變形變小，通過該變形在連通開口部H的緣部發(fā)生的應(yīng)力集中被緩和，轉(zhuǎn)子6不易從連通開口部H附近損壞等，排氣泵P的耐久性提聞。圖14是表示在圖I的排氣泵中采用第4本發(fā)明的情況下的連通開口部與最下段的旋轉(zhuǎn)翼的位置關(guān)系的圖。在圖I的排氣泵P中，如前面說明那樣，在比轉(zhuǎn)子6的大致中間還要上游的轉(zhuǎn)子6外周上以多段設(shè)有旋轉(zhuǎn)翼13。最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E構(gòu)成為，在以泵軸心為中心如圖14那樣以放射狀排列的狀態(tài)下，相互相鄰的旋轉(zhuǎn)翼13E、13E彼此之間成為開口區(qū)域0A。雖然圖示省略，但比最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E靠上的各段的旋轉(zhuǎn)翼13也具備同樣的開口區(qū)域。通過位于最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E與比其靠上段一個(gè)的旋轉(zhuǎn)翼之間的較輕的氣體分子透過上述那樣的最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E的開口區(qū)域0A，向連通開口部H方向轉(zhuǎn)移。
考慮以上那樣的較輕的氣體分子的移行形態(tài)(行進(jìn)線路)，在圖14的例子中，采用將轉(zhuǎn)子6的連通開口部H設(shè)在與最下段的旋轉(zhuǎn)翼13E的開口區(qū)域OA對(duì)置的位置上的結(jié)構(gòu)。通過這樣的結(jié)構(gòu)的采用，氣體分子能夠穿過連通開口部H向內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路S2平順且效率良好地轉(zhuǎn)移，排氣泵P的排氣性能提高。在以上的說明中，為了說明的方便，將第I至第4發(fā)明的實(shí)施方式分別分開說明，但也可以將這些實(shí)施方式組合而實(shí)施。附圖標(biāo)記說明 I外裝殼體
IA泵殼體 IB泵座 IC凸緣 2氣體吸氣口 3氣體排氣口 4定子柱 5轉(zhuǎn)子軸
6轉(zhuǎn)子(筒形旋轉(zhuǎn)部件)
60第I連結(jié)環(huán)部 61第2連結(jié)環(huán)部 7輪轂孔 9肩部
10徑向磁軸承
IOA徑向電磁鐵革巴
IOB徑向電磁鐵
IOC徑向方向變位傳感器
11軸向磁軸承
IlA電樞盤
IlB軸向電磁鐵Iic軸向方向變位傳感器12驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12A固定子12B旋轉(zhuǎn)子13旋轉(zhuǎn)翼
13E最下段的旋轉(zhuǎn)翼14固定翼
18A外側(cè)螺紋槽排氣部定子(外側(cè)筒形固定部件)
18B內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣部定子(內(nèi)側(cè)筒形固定部件) 19AU9B螺紋槽20加強(qiáng)部件21伸出部30工具主軸31球體32圓板體
G最終間隙(最下段的旋轉(zhuǎn)翼與連通開口部的上游端之間的間隙)
H連通開口部
OA旋轉(zhuǎn)翼的開口區(qū)域
P排氣泵
Pt翼排氣部
Ps螺紋槽排氣部
SI外側(cè)螺紋槽排氣通路
S2內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路
T1、T2、T3、T4、T5 工具。
權(quán)利要求
1.一種排氣泵,具備 筒形旋轉(zhuǎn)部件； 支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置； 內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間； 螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間； 連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼與上述連通開口部上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設(shè)上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。
2.如權(quán)利要求I所述的排氣泵，其特征在于， 通過比上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼還要下游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件是在形成有上述連通開口部的位置處向遠(yuǎn)離上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼的方向而傾斜的向下梯度的錐形狀，上述最下段的旋轉(zhuǎn)翼與上述連通開口部上游端之間的間隙使其成為上述尺寸以上。
3.—種排氣泵,具備 筒形旋轉(zhuǎn)部件； 支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置； 內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間； 螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間； 連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼與相鄰于該旋轉(zhuǎn)翼的旋轉(zhuǎn)翼之間的開口區(qū)域是在該開口區(qū)域中用來開設(shè)上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。
4.一種排氣泵,具備 筒形旋轉(zhuǎn)部件； 支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置； 內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間； 螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間； 連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 上述多個(gè)連通開口部的位置相對(duì)于排氣泵的泵軸心點(diǎn)對(duì)稱地配置。
5.—種排氣泵,其特征在于,具備 筒形旋轉(zhuǎn)部件； 支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置； 內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間； 螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間； 連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路； 加強(qiáng)機(jī)構(gòu)，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將上述連通開口部周邊加強(qiáng)。
6.如權(quán)利要求5所述的排氣泵，其特征在于， 上述加強(qiáng)機(jī)構(gòu)由第I加強(qiáng)構(gòu)造以及第2加強(qiáng)構(gòu)造中的某一個(gè)加強(qiáng)構(gòu)造或兩者的加強(qiáng)構(gòu)造來構(gòu)成，所述第I加強(qiáng)構(gòu)造是通過在上述連通開口部周邊的筒形旋轉(zhuǎn)部件外周上安裝加強(qiáng)部件來減少連通開口部周邊處的筒形旋轉(zhuǎn)部件的變形之構(gòu)造，所述第2加強(qiáng)構(gòu)造是通過在上述連通開口部周邊的筒形旋轉(zhuǎn)部件內(nèi)周上形成伸出部來減少連通開口部周邊處的筒形旋轉(zhuǎn)部件的變形之構(gòu)造。
7.如權(quán)利要求6所述的排氣泵，其特征在于， 上述第I加強(qiáng)構(gòu)造將由高強(qiáng)度材料構(gòu)成的環(huán)作為加強(qiáng)部件安裝到上述連通開口部周邊的筒形旋轉(zhuǎn)部件外周上來構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求7所述的排氣泵，其特征在于， 上述環(huán)由與上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的形成材料相比線膨脹系數(shù)較低、并且彈性系數(shù)較大的材料來形成。
9.一種排氣泵,具備 筒形旋轉(zhuǎn)部件； 支承機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地支承；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將上述筒形旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 外側(cè)筒形固定部件，對(duì)上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周成包圍之狀而配置； 內(nèi)側(cè)筒形固定部件，被上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的內(nèi)周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述外側(cè)筒形固定部件之間； 螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路，設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件與上述內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間； 連通開口部，開設(shè)在上述筒形旋轉(zhuǎn)部件上，將存在于該筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉(zhuǎn)部件的外周上以多段設(shè)置的多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼中的最下段的旋轉(zhuǎn)翼的開口區(qū)域成對(duì)面的位置上設(shè)有上述連通開口部。
全文摘要
提供一種適合于實(shí)現(xiàn)耐久性、泵生產(chǎn)階段中的連通開口部的加工性、及排氣性能的提高的排氣泵。排氣泵具備筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)、筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的支承機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、對(duì)包圍筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的外周成包圍之狀而配置的外側(cè)筒形固定部件、被筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的內(nèi)周成被包圍之狀而配置的內(nèi)側(cè)筒形固定部件、設(shè)在筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)與外側(cè)筒形固定部件之間的螺旋狀的外側(cè)螺紋槽排氣通路、設(shè)在筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)與內(nèi)側(cè)筒形固定部件之間的螺旋狀的內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路、和開設(shè)在筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)上、將存在于筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的外周附近的氣體的一部分引導(dǎo)進(jìn)上述內(nèi)側(cè)螺紋槽排氣通路的連通開口部(H)；設(shè)在比連通開口部(H)還要上游的筒形旋轉(zhuǎn)部件(6)的外周上的最下段的旋轉(zhuǎn)翼(13E)與連通開口部(H)上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設(shè)連通開口部(H)的工具能夠插入的尺寸以上。
文檔編號(hào)F04D19/04GK102834620SQ20118001969
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2011年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月28日
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