專利名稱：渦輪分子泵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種潤(rùn)輪分子泵裝置(Turbo Molecular Pump)。
背景技術(shù)：
渦輪分子泵裝置安裝在半導(dǎo)體裝置、液晶等的制造裝置中，使內(nèi)置的轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)，而將氣體分子從進(jìn)風(fēng)口引入，并從出風(fēng)口排出，從而使制造裝置內(nèi)部高真空。渦輪分子泵裝置中有具有如下一體型構(gòu)造的裝置:在內(nèi)置著轉(zhuǎn)子的渦輪分子泵上利用緊固部件而固定著驅(qū)動(dòng)控制該渦輪分子泵的控制單元(電源裝置)。如果使控制單元與渦輪分子泵一體化，那么與渦輪分子泵的電動(dòng)機(jī)、或磁性軸承連接的電纜的引導(dǎo)會(huì)變得簡(jiǎn)單，從而提高連接作業(yè)的效率。因此，這種使渦輪分子泵和控制單元一體化的渦輪分子泵裝置尤其優(yōu)選地用于需要多個(gè)渦輪分子泵裝置的大型制造裝置中。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子以高速旋轉(zhuǎn)，所以存在因干擾等導(dǎo)致轉(zhuǎn)子破壞的情況。如果轉(zhuǎn)子受到破壞，那么轉(zhuǎn)子的碎片會(huì)碰撞到殼體部件上，而對(duì)殼體部件賦予大的破壞扭矩(急停止扭矩)。在渦輪分子泵的進(jìn)風(fēng)口的周緣部設(shè)置著法蘭盤，利用緊固部件將該法蘭盤緊固在制造裝置上，從而將渦輪分子泵固定在制造裝置上。控制單元是利用緊固部件而緊固并固定在制造裝置上所固定的渦輪分子泵上。在轉(zhuǎn)子受到破壞的情況下，由轉(zhuǎn)子的碎片導(dǎo)致對(duì)殼體部件賦予的破壞扭矩也會(huì)被傳遞給控制單元。為了使緊固控制單元和渦輪分子泵的緊固部件的強(qiáng)度能夠承受破壞扭矩，而必須使緊固部件的尺寸較大，由此，會(huì)使控制單元大型化。因此，已知有如下渦輪分子泵裝置:在渦輪分子泵的殼體的底面形成著八邊形的環(huán)狀凹部，且在控制單元的殼體上設(shè)置著嵌合于環(huán)狀凹部的環(huán)狀凸部(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在該渦輪分子泵裝置中，通過使兩殼體以環(huán)狀凹部和環(huán)狀凸部的角部接觸而吸收破壞扭矩。
背景技術(shù)：
文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2010-236469號(hào)公報(bào)在將控制單元緊固在渦輪分子泵上的構(gòu)造中，轉(zhuǎn)子的破壞扭矩也會(huì)被傳遞給控制單元。因此，在專利文獻(xiàn)I所示的利用渦輪分子泵和控制單元的殼體來吸收轉(zhuǎn)子的破壞扭矩的構(gòu)造的情況下，控制單元的殼體必須具有能夠承受破壞扭矩的強(qiáng)度。因此，必須使控制單元的殼體的壁厚增大，或由強(qiáng)度較大的材料形成殼體，而成為使裝置大型化、或制造成本上升的主要原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的渦輪分子泵裝置存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的渦輪分子泵裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其作用在殼體部件上的破壞扭矩從殼體部件的第一、第二安裝部傳遞給外部裝置，由此可使緊固渦輪分子泵和控制單元的緊固部件及控制單元的殼體的強(qiáng)度變小，從而可使控制單元小型化，及/或使制造成本降低，非常適于實(shí)用。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。為達(dá)到上述目的，依據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的特征在于包括:渦輪分子泵，包含殼體部件、與收納在殼體部件內(nèi)的轉(zhuǎn)子，使轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)而將氣體分子從殼體部件的進(jìn)風(fēng)口輸送到出風(fēng)口 ；及控制單元，驅(qū)動(dòng)控制渦輪分子泵；且在殼體部件中形成著設(shè)置在進(jìn)風(fēng)口的一側(cè)且用來安裝在外部裝置上的第一安裝部、與設(shè)置在出風(fēng)口的一側(cè)且用來安裝在外部裝置上的第二安裝部；渦輪分子泵和 控制單元是通過緊固部件而固定。外部裝置其上安裝了第一安裝部與外部裝置其上安裝了第二安裝部可以是同一個(gè)外部裝置，也可以是不同的外部裝置。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明渦輪分子泵裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:根據(jù)本發(fā)明，作用在殼體部件上的破壞扭矩從殼體部件的第一、第二安裝部傳遞給外部裝置。因此，可使緊固渦輪分子泵和控制單元的緊固部件及控制單元的殼體的強(qiáng)度變小，從而可使控制單元小型化，及/或使制造成本降低。綜上所述，本發(fā)明的課題在于使一體地安裝在渦輪分子泵上的控制單元小型化、或者降低制造成本。上殼體(12)通過插入到法蘭盤(12a)的貫通孔(51)中的緊固部件
(61)而緊固在外部裝置的第一安裝部件(91)上。緊固在上殼體(12)上的第一基座(14)通過插入到法蘭盤(14b)的貫通孔(52)中的緊固部件￠3)而緊固在外部裝置的第二安裝部件(92)上?？刂茊卧?70)通過緊固部件￠5)而緊固在第二基座(15)上。由于轉(zhuǎn)子
(30)破壞時(shí)的扭矩不作用在緊固部件￠5)上，所以可使緊固部件￠5)及控制單元(70)的殼體的強(qiáng)度較小。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖1是表示本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的一實(shí)施方式的剖視圖。圖2是本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的實(shí)施方式2的剖視圖。圖3是本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的實(shí)施方式3的剖視圖。1:渦輪分子泵裝置2:翼片排氣部3:螺桿槽排氣部5:轉(zhuǎn)子軸6:轉(zhuǎn)子翼片7:定子翼片8:螺桿定子8a:螺旋狀突部Sb:螺桿槽部9:轉(zhuǎn)子圓筒部10:渦輪分子泵11:殼體部件12:上殼體12a:第一法蘭盤12b:第二法蘭盤13:基座13a:基座上部13b:基座下部
14:第一基座14a:第三法蘭盤14b:第四法蘭盤15:第二基座15a:第五法蘭盤21:間隔片25:進(jìn)風(fēng)口30:轉(zhuǎn)子31:徑向方向的磁性軸承32:軸向方向的磁性軸承33a、33b:徑向位移傳感器33c:軸向位移傳感器34、36:機(jī)械軸承35:電動(dòng)機(jī)38:轉(zhuǎn)子圓盤41:螺釘42:密封部件45:出風(fēng)口51、52、53、92a、92b:貫通孔 54:槽61 68:緊固部件70:控制單元91:第一安裝部件92:第二安裝部件
具體實(shí)施例方式(實(shí)施方式I)以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的一實(shí)施方式的剖視圖。圖1中所圖示的渦輪分子泵裝置I包括渦輪分子泵10、與安裝在該渦輪分子泵10的底部的控制單元70。渦輪分子泵10包括包含上殼體12和基座13的殼體部件11。上殼體12和基座13具有經(jīng)由密封部件42而緊密地固定、且從外部密封的構(gòu)造。在殼體部件11的中心軸上配置著轉(zhuǎn)子軸5。在轉(zhuǎn)子軸5上配置著以與轉(zhuǎn)子軸5為同軸的方式而安裝的轉(zhuǎn)子30。轉(zhuǎn)子軸5和轉(zhuǎn)子30是通過螺釘?shù)染o固部件68而牢固地固定著。轉(zhuǎn)子軸5是利用徑向(radial)方向的磁性軸承31 (2個(gè)部位)及軸向(thrust)方向的磁性軸承32(上下一對(duì))而非接觸地受到支撐。轉(zhuǎn)子軸5的懸浮位置由徑向位移傳感器33a、33b及軸向位移傳感器33c來檢測(cè)。利用磁性軸承31、32而旋轉(zhuǎn)自如地磁性懸浮著的轉(zhuǎn)子軸5由電動(dòng)機(jī)35高速地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子軸5的下面透過機(jī)械軸承(mechanical bearing) 34安裝著轉(zhuǎn)子圓盤38。另外，在轉(zhuǎn)子軸5的上部側(cè)設(shè)置著機(jī)械軸承36。機(jī)械軸承34、36是在緊急情況下使用的機(jī)械軸承，當(dāng)磁性軸承31、32不進(jìn)行動(dòng)作時(shí)利用機(jī)械軸承34、36來支撐轉(zhuǎn)子軸5。轉(zhuǎn)子30具有上部側(cè)和下部側(cè)的二段構(gòu)造，在上部側(cè)設(shè)置著多段的轉(zhuǎn)子翼片6。從最下段的轉(zhuǎn)子翼片6起下方設(shè)為下段側(cè)，在下段側(cè)設(shè)置著轉(zhuǎn)子圓筒部9。轉(zhuǎn)子30的上部側(cè)由上殼體12覆蓋。在上殼體12的與轉(zhuǎn)子30的上部側(cè)相對(duì)應(yīng)的內(nèi)面交替地配置著定子翼片7和間隔片21。轉(zhuǎn)子翼片6和定子翼片7是將環(huán)狀的間隔片21夾在中間，而轉(zhuǎn)子翼片6和定子翼片7沿泵的軸向交替地積層。在上殼體12的內(nèi)面，如果在基座13的上表面上交替地積層間隔片21和定子翼片7，并將上殼體12從上方蓋住并固定在基座13上， 那么定子翼片7和轉(zhuǎn)子翼片6沿著泵的軸向交替地配置。在轉(zhuǎn)子30的轉(zhuǎn)子圓筒部9的外周側(cè)，利用螺釘41將環(huán)狀的螺桿定子8固定在基座13上。螺桿定子8具有螺旋狀突部8a，在螺旋狀突部8a間形成著螺桿槽部Sb。在轉(zhuǎn)子30的轉(zhuǎn)子圓筒部9的外周面與螺桿定子8的內(nèi)周面之間設(shè)置著如可在轉(zhuǎn)子30高速旋轉(zhuǎn)時(shí)將氣體分子從上方輸送到下方的間隙。在上殼體12的上表面設(shè)置著進(jìn)風(fēng)口 25。在基座13上設(shè)置著出風(fēng)口 45，該出風(fēng)口 45連接著后泵(back pump)。使轉(zhuǎn)子30磁性懸浮，且在該狀態(tài)下利用電動(dòng)機(jī)35高速地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子30，由此將進(jìn)風(fēng)口 25側(cè)的氣體分子排向出風(fēng)口 45側(cè)。該渦輪分子泵10中，在上殼體12的內(nèi)部空間具有翼片排氣部2，在基座13的內(nèi)部空間具有螺桿槽排氣部3。翼片排氣部2由多段的轉(zhuǎn)子翼片6和多段的定子翼片7構(gòu)成，螺桿槽排氣部3由轉(zhuǎn)子圓筒部9和螺桿定子8構(gòu)成。如果利用電動(dòng)機(jī)35來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子30，則半導(dǎo)體制造裝置等外部裝置的真空腔室內(nèi)的氣體分子會(huì)從進(jìn)風(fēng)口 25流入。從進(jìn)風(fēng)口 25流入的氣體分子在翼片排氣部2中被擊濺到下游側(cè)。雖然未圖示，但轉(zhuǎn)子翼片6和定子翼片7形成為翼片的傾斜方向相反，且傾斜角度變?yōu)槭箽怏w分子從高真空側(cè)即前段側(cè)朝向下游側(cè)即后段側(cè)而難以逆行的角度。氣體分子在翼片排氣部2中被壓縮后向圖不下方的螺桿槽排氣部3輸送。在螺桿槽排氣部3中，如果轉(zhuǎn)子圓筒部9相對(duì)于螺桿定子8高速旋轉(zhuǎn)，那么會(huì)產(chǎn)生利用黏性流的排氣功能，從而將從翼片排氣部2輸送到螺桿槽排氣部3的氣體壓縮，并且向出風(fēng)口 45輸送而排出。基座13包含第一基座14和第二基座15。在上殼體12上固定著第一基座14，在第一基座14上固定著第二基座15。第一基座14具有包圍螺桿定子8的外周的大致圓筒形狀，且在底部的中央部具有貫通孔。第二基座15包含筒部和平坦部，且截面大致形成為倒T字形狀，所述筒部具有收納轉(zhuǎn)子軸5、及配置在轉(zhuǎn)子軸5周圍的電動(dòng)機(jī)35、磁性軸承31、32、徑向.軸向位移傳感器33a 33c、機(jī)械軸承34、36及轉(zhuǎn)子圓盤38等的中空部，所述平坦部與第一基座14的底部相對(duì)應(yīng)。第二基座15的筒部貫通設(shè)置在第一基座14的底部的中央部的貫通孔而配置在轉(zhuǎn)子軸5和轉(zhuǎn)子圓筒部9之間的空間內(nèi)。第一基座14及第二基座15的筒部的中心與轉(zhuǎn)子軸5的中心同軸。上殼體12中，在進(jìn)風(fēng)口 25側(cè)(亦即上部)形成著從周緣部向外周側(cè)伸出的第一法蘭盤12a(第一安裝部)，在下部側(cè)形成著從周緣部向外周側(cè)伸出的第二法蘭盤12b。在第一法蘭盤12a上形成著多個(gè)貫通孔51。在第一法蘭盤12a的貫通孔51中插入螺釘?shù)染o固部件61，并將緊固部件61緊固，由此將上殼體12安裝在以二點(diǎn)鏈線進(jìn)行圖示的半導(dǎo)體制造裝置等外部裝置的第一安裝部件91上。第一基座14中，在上部側(cè)形成著從周緣部向外周側(cè)伸出的第三法蘭盤14a，在出風(fēng)口側(cè)(亦即下部)形成著從周緣部向外周側(cè)伸出的第四法蘭盤14b。在第四法蘭盤14b (第二安裝部)上形成著多個(gè)貫通孔52。在第四法蘭盤14b的貫通孔52中插入螺釘?shù)染o固部件62，并將緊固部件62緊固，由此將第一基座14安裝在以二點(diǎn)鏈線進(jìn)行圖示的半導(dǎo)體制造裝置等外部裝置的第二安裝部件92上。 在第一基座14的第三法蘭盤14a上形成著多個(gè)貫通孔53。在第三法蘭盤14a的貫通孔53中插入螺釘?shù)染o固部件63，并將緊固部件63緊固在形成于上殼體12的絲錐(tap)(未圖示)上，由此固定第一基座14和上殼體12。在第二安裝部件92中形成著貫通孔92a。第二基座15插入到第二安裝部件92的貫通孔92a中。第二基座15中，在周緣部附近形成著多個(gè)槽54，在下部側(cè)形成著從周緣部向外周側(cè)伸出的第五法蘭盤15a。在槽54中插入螺釘?shù)染o固部件64，并將緊固部件64緊固在設(shè)置于第一基座14的絲錐(未圖示)上，由此將第二基座15安裝在第一基座14上。在第二基座15上安裝著控制單元70。在第五法蘭盤15a上形成著多個(gè)貫通孔(未圖示)，在各貫通孔中插入螺釘?shù)染o固部件65，并將緊固部件65緊固在形成于控制單元70的絲錐(未圖示)上，由此將控制單元70固定在第二基座15上?？刂茊卧?0包括未圖示的電源部和控制電路部、以及收納這些部件的殼體。在電源部中,將從一次電源供給的交流電力利用交流(AC, Alternate Current)/直流(DC，Direct Current)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為直流電力。直流電力經(jīng)由3相反相器和DC/DC轉(zhuǎn)換器而被輸入到控制電路部?？刂茊卧?0的控制電路部是經(jīng)由連接器并通過電纜(均未圖示)而連接于渦輪分子泵10內(nèi)的電動(dòng)機(jī)35及磁性軸承31、32等，從而驅(qū)動(dòng)控制電動(dòng)機(jī)35及磁性軸承31、32等。在渦輪分子泵10中，因由干擾導(dǎo)致轉(zhuǎn)子翼片6與上殼體12接觸、或轉(zhuǎn)子翼片6受到破壞等若干主要原因而導(dǎo)致對(duì)殼體部件11賦予破壞扭矩。其中，在轉(zhuǎn)子圓筒部9中產(chǎn)生龜裂，該龜裂被傳遞到轉(zhuǎn)子翼片6而對(duì)轉(zhuǎn)子圓筒部9及轉(zhuǎn)子翼片6造成破壞，從而這些部件的碎片碰撞到殼體部件11時(shí)的破壞扭矩(急停止扭矩)成為非常大的值。如果轉(zhuǎn)子圓筒部9及轉(zhuǎn)子翼片6受到破壞，那么破壞產(chǎn)生的碎片會(huì)碰撞到殼體部件11上，而將碎片的旋轉(zhuǎn)方向的沖擊傳遞給殼體部件11。因此，與碎片的運(yùn)動(dòng)量相對(duì)應(yīng)的扭矩作用在殼體部件11上。以前，渦輪分子泵10只在上殼體12的第一法蘭盤12a (第一安裝部)處安裝于外部裝置，且控制單元70只緊固在渦輪分子泵的基座上。因此，作用在殼體部件11上的轉(zhuǎn)子破壞時(shí)的扭矩會(huì)作用于緊固在外部裝置上的第一安裝部，并且也作用于控制單元安裝部。因此，當(dāng)只利用緊固部件來進(jìn)行殼體部件11和控制單元70的殼體的安裝時(shí)，必須使緊固部件的強(qiáng)度具有能夠承受由作用在殼體部件11上的轉(zhuǎn)子破壞時(shí)的扭矩所賦予的剪斷力的強(qiáng)度。因此，緊固部件的尺寸會(huì)變大，隨之控制單元的尺寸變大。如果將殼體部件11和控制單元的殼體的安裝設(shè)為如專利文獻(xiàn)I般在一者及另一者中設(shè)置八邊形的環(huán)狀凹部、與嵌合在環(huán)狀凹部中的環(huán)狀凸部的構(gòu)造，那么構(gòu)造會(huì)變得復(fù)雜，且組裝繁瑣。另外，在利用緊固部件進(jìn)行殼體部件11和控制單元70的殼體的安裝及使兩殼體的嵌合部為多邊形狀的任一種情況下，都會(huì)對(duì)控制單元70的殼體傳遞作用在殼體部件11上的轉(zhuǎn)子破壞時(shí)的扭矩。因此，必須使控制單元70的殼體具有能夠承受轉(zhuǎn)子破壞時(shí)的扭矩的強(qiáng)度。為此必須使控制單元70的殼體的壁厚增大，或使用強(qiáng)度較大的高價(jià)的材料，而成為裝置大型化、或使制造成本上升的主要原因。相對(duì)于此，在本發(fā)明的一實(shí)施方式中的渦輪分子泵裝置I中，將上殼體12的第一法蘭盤12a (第一安裝部)安裝在外部裝置的第一安裝部件91上，并且將第一基座14的第四法蘭盤14b (第二安裝部)安裝在外部裝置的第二安裝部件92上。上殼體12和第一基座14在第三法蘭盤14a和第四法蘭盤14b處被固定。在該構(gòu)造中，碰撞到上殼體12上的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊主要是以傳遞到上殼體12，再傳遞到緊固第二、第三法蘭盤12b、14a的緊固部件63，再傳遞到第一基座14，再傳遞到緊固第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件62的路徑進(jìn)行傳遞。也就是說，殼體部件11所受到的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊從緊固第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件62傳遞到外部裝置的第二安裝部件92而被吸收，所以基本上不會(huì)傳遞給控制單元70。S卩，基本上由轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在將第二基座15緊固在第一基座14上的緊固部件64及將控制單元70緊固在第二基座15上的緊固部件65上。因此，緊固部件64只要具有能夠承受第二基座15和控制單元70的合計(jì)的自重的強(qiáng)度便可，緊固部件65只要具有能夠承受控制單元70的自重的強(qiáng)度便可。另外，因?yàn)橛赊D(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在控制單元70上，所以控制單元70的殼體只要具有作為控制單元70單體所需的程度的強(qiáng)度便可。作為控制單元70的殼體的材料的一例，在渦輪分子泵和控制單元為不同類型的情況下，可使用通常所使用的招鑄造品(AC4C, aluminum casting)、招壓鑄材(ADC12,aluminum die casting)等。另外,也可以使用聚碳酸酯等在耐沖擊性、耐熱性、阻燃性等方面顯示較高的物性的工程塑膠(Engineering plastics)。這樣一來，可使緊固部件64、65的強(qiáng)度比以前小，且可將控制單元70的殼體設(shè)為低價(jià)且壁厚較小的部件。由此，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，可使控制單元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。(實(shí)施方式2)圖2是本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的實(shí)施方式2的剖視圖。實(shí)施方式2與實(shí)施方式I的不同方面在于,設(shè)為使實(shí)施方式I中的第一基座14和第二基座15在實(shí)施方式2中一體化而成的基座13。以下，以與實(shí)施方式I不同的方面為中心進(jìn)行說明，對(duì)與實(shí)施方式I相同的部件附上相同的附圖編號(hào)而省略說明。S卩，圖2中所圖示的基座13包含基座上部13a和基座下部13b，所述基座上部13a是包圍轉(zhuǎn)子軸5、電動(dòng)機(jī)35等的外周的中央側(cè)的圓筒部和包圍螺桿定子8的外周的周緣側(cè)的圓筒部連結(jié)而成，所述基座下部13b是一體地設(shè)置在該基座上部13a的下表面。在基座上部13a上形成著第四法蘭盤14b，與實(shí)施方式I同樣地，在形成于第四法蘭盤14b的貫通孔52中插入緊固部件62，并利用緊固部件62將基座13緊固在外部裝置的第二安裝部件92上。另外，在基座下部13b上形成著法蘭盤15a，與實(shí)施方式I同樣地，在形成于法蘭盤15a的貫通孔中插入緊固部件65，并利用緊固部件65將控制單元70緊固在基座13上。在實(shí)施方式2中，碰撞到上殼體12上的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊主要是以傳遞到上殼體12，再傳遞到緊固第二、第三法蘭盤12b、14a的緊固部件63，再傳遞到緊固基座13的第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件62的路徑進(jìn)行傳遞。在該構(gòu)造中，殼體部件11受到的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊也是從緊固第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件62傳遞到外部裝置的第二安裝部件92而被吸收，所以基本上不會(huì)傳遞給控制單元70。因此，基本上由轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在將控制單元70緊固在殼體部件11上的緊固部件67上。因此，緊固部件67只要具有能夠承受控制單元70的自重的強(qiáng)度便可。另外，因?yàn)橛赊D(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在控制單元70上，所以控制單元70的殼體只要具有作為控制單元70單體所需的程度的強(qiáng)度即可。因此，與實(shí)施方式I同樣地，可使控制單元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。另外，因?yàn)榛?3為I個(gè)部件，所以與實(shí)施方式I相比可更有效地進(jìn)行組裝。(實(shí)施方式3)圖3是本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的實(shí)施方式3的剖視圖。實(shí)施方式3中也是與實(shí)施方式I同樣地，包含使第一、第二基座14、15—體化而成的基座13。實(shí)施方式3與實(shí)施方式2的不同方面在于,實(shí)施方式3中不具有在實(shí)施方式2中形成于基座上部13a的第四法蘭盤14b。以下，以與實(shí)施方式2不同的方面為中心進(jìn)行說明，對(duì)與實(shí)施方式2相同的部件附上相同的附圖編號(hào)而省略說明。S卩，圖3中所圖示的基座13也包含基座上部13a和基座下部13b，所述基座上部13a連結(jié)包圍轉(zhuǎn)子軸5、電動(dòng)機(jī)35等的外周的中央側(cè)的圓筒部和包圍螺桿定子8的外周的周緣側(cè)的圓筒部，所述基座下部13b —體地設(shè)置在該基座上部13a的下表面?；虏?3b的寬度小于基座上部13a的底部的寬度，且在基座上部13a的底部的周緣部形成著多個(gè)絲錐(tap)(未圖示)。基座下部13b中，在第二安裝部件92的貫通孔92a的周圍形成著與設(shè)置在基座上部13a的底部的周緣部的各絲錐相對(duì)應(yīng)的貫通孔92b。將基座下部13b插入到第二安裝部件92的貫通孔92a中，且在各貫通孔92b中插入緊固部件66而緊固在設(shè)置于基座上部13a的各絲錐上，由此將殼體部件11安裝在外部裝置的第二安裝部件92上?？刂茊卧?0是通過將緊固部件67緊固在設(shè)置于基座下部13b的底面上的絲錐(未圖示)上，而安裝在基座13上。在實(shí)施方式3中，碰撞到上殼體12上的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊主要是以傳遞到上殼體12，再傳遞到緊固第二、第三法蘭盤12b、14a的緊固部件63，再傳遞到緊固基座13的第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件66的路徑進(jìn)行傳遞。在該構(gòu)造中，殼體部件11受到的轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊是從緊固第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件66傳遞到外部裝置的第二安裝部件92而被吸收，所以基本上不會(huì)傳遞給控制單元70。因此，基本上由轉(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在將控制單元70緊固在殼體部件11上的緊固部件67上。因此，緊固部件67只要具有能夠承受控制單元70的自重的強(qiáng)度便可。另外，因?yàn)橛赊D(zhuǎn)子30的碎片的沖擊而導(dǎo)致殼體部件11受到的扭矩不作用在控制單元70上，所以控制單元70的殼體只有具有作為控制單元70單體所需的程度的強(qiáng)度便可。因此，與實(shí)施方式I同樣地，可使控制單元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。另外，與實(shí)施方式2同樣地，因?yàn)榛?3為I個(gè)部件，所以與實(shí)施方式I相比可更有效地進(jìn)行組裝。如以上所說明般，根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵裝置的各實(shí)施方式，通過在基座13、14上設(shè)置向外部裝置安裝的第二安裝部，而主要由緊固第四法蘭盤14b和外部裝置的第二安裝部件92的緊固部件62、66來承受轉(zhuǎn)子30破壞時(shí)的扭矩。也就是說，設(shè)為轉(zhuǎn)子30破壞時(shí)的扭矩不作用在將控制單元70緊固在基座13上的緊固部件64、65上的構(gòu)造。因此，可使緊固部件64、65的強(qiáng)度較小，另外，可將控制單元70的殼體設(shè)為低價(jià)且壁厚較小的部件。因此，發(fā)揮如下效果:可使控制單元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。此外，在所述各實(shí)施方式中，對(duì)使用螺釘作為緊固部件62、66的情況進(jìn)行了例示。然而，也可以使用引腳作為緊固部件62、66，通過壓入或鉚接引腳頭部而固定。另外，在所述各實(shí)施方式中，省略了對(duì)冷卻渦輪分子泵的冷卻裝置的說明，但通常在基座13的下部安裝著冷卻裝置，本發(fā)明當(dāng)然可應(yīng)用于包含冷卻裝置的渦輪分子泵裝置。此外，本發(fā)明可在發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形而加以應(yīng)用，要點(diǎn)在于只要為如下渦輪分子泵裝置便可，即，包括:渦輪分子泵，包含殼體部件、與收納在殼體部件內(nèi)的轉(zhuǎn)子，使轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)而將氣體分子從殼體部件的進(jìn)風(fēng)口輸送到出風(fēng)口 ；及控制單元，驅(qū)動(dòng)控制渦輪分子泵；在殼體部件中形成著設(shè)置在進(jìn)風(fēng)口的一側(cè)且周來安裝在外部裝置上的第一安裝部、與設(shè)置在出風(fēng)口的一側(cè)且用來安裝在外部裝置上的第二安裝部，渦輪分子泵和控制單元是通過緊固部件而固定。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種渦輪分子泵裝置，其特征在于包括: 渦輪分子泵，包含殼體部件、與收納在所述殼體部件內(nèi)的轉(zhuǎn)子，使所述轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)而將氣體分子從所述殼體部件的進(jìn)風(fēng)口輸送到出風(fēng)口 ；及 控制單元，驅(qū)動(dòng)控制所述渦輪分子泵；且 在所述殼體部件中形成著設(shè)置在所述進(jìn)風(fēng)口的一側(cè)且用來安裝在外部裝置上的第一安裝部、與設(shè)置在所述出風(fēng)口的一側(cè)且用來安裝在外部裝置上的第二安裝部； 所述渦輪分子泵和所述控制單元是通過緊固部件而固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵裝置，其特征在于: 所述轉(zhuǎn)子包含轉(zhuǎn)子翼片和轉(zhuǎn)子圓筒部，所述殼體部件包含上殼體和基座，所述上殼體覆蓋所述轉(zhuǎn)子翼片的外周且在內(nèi)周側(cè)配置著定子翼片，所述基座覆蓋所述轉(zhuǎn)子圓筒部的外周、且在周緣部緊固在所述上殼體上，所述第二安裝部包含設(shè)置在所述基座的周緣部、且向外周側(cè)伸出的法蘭盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的渦輪分子泵裝置，其特征在于: 所述基座包括，第一基座，具有所述第二安裝部；及第二基座，安裝在所述第一基座上，且具有用于安裝所述控制單元的安裝部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵裝置，其特征在于: 所述轉(zhuǎn)子包含轉(zhuǎn)子翼片和轉(zhuǎn)子圓筒部，所述殼體部件包含上殼體和基座，所述上殼體覆蓋所述轉(zhuǎn)子翼片的外周且在內(nèi)周側(cè)配置著定子翼片，所述基座覆蓋所述轉(zhuǎn)子圓筒部的外周、且在周緣部緊固在所述上殼體上，所述第二安裝部設(shè)置在所述基座的低部上的所述控制單元的周緣部。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于使一體地安裝在渦輪分子泵上的控制單元小型化、或者降低制造成本。上殼體(12)通過插入到法蘭盤(12a)的貫通孔(51)中的緊固部件(61)而緊固在外部裝置的第一安裝部件(91)上。緊固在上殼體(12)上的第一基座(14)通過插入到法蘭盤(14b)的貫通孔(52)中的緊固部件(63)而緊固在外部裝置的第二安裝部件(92)上?？刂茊卧?70)通過緊固部件(65)而緊固在第二基座(15)上。由于轉(zhuǎn)子(30)破壞時(shí)的扭矩不作用在緊固部件(65)上，所以可使緊固部件(65)及控制單元(70)的殼體的強(qiáng)度較小。
文檔編號(hào)F04D19/04GK103104512SQ20121035967
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月9日
發(fā)明者筒井慎吾 申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所