專利名稱：一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備。
技術(shù)背景焊接絕熱氣瓶是ー種用于貯運(yùn)低溫液態(tài)氧、液態(tài)氮、液態(tài)氬等氣體的深冷壓カ容器，其設(shè)計溫度低達(dá)_196°C，而外界常溫為20°C，所以需要良好的保冷(絕熱)結(jié)構(gòu)。高真空多層絕熱結(jié)構(gòu)是目前國內(nèi)外公認(rèn)的、絕熱效果最佳的絕熱結(jié)構(gòu)。這樣就需要用到抽真空設(shè)備，把空間內(nèi)抽成真空以加強(qiáng)絕熱效果?，F(xiàn)有技術(shù)中的抽真空設(shè)備使用的是擴(kuò)散泵，而擴(kuò)散泵的缺點(diǎn)是體積大，能耗高，對真空室有很重的油污染，不環(huán)保，工作效率低，穩(wěn)定性差。因此，有必要予以改迸。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種體積小，能耗低，對真空室污染小更環(huán)保且工作效率高、性能更穩(wěn)定的帶分子泵的三級抽真空設(shè)備。本實(shí)用新型的發(fā)明目的是按下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的ー種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，包括旋片真空泵、羅茨真空泵、分子泵和若干氣瓶接ロ，所述旋片真空泵、所述羅茨真空泵、所述分子泵和所述若干氣瓶接ロ依次連接在一起。所述旋片真空泵和所述羅茨真空泵之間還設(shè)有電磁真空帶充氣閥。
所述羅茨真空泵和所述分子泵之間依次還設(shè)有蝶閥、手動插板閥和電動插板閥。分子泵和所述若干氣瓶接ロ之間依次還設(shè)有冷阱、氣動高真空擋板閥。所述氣瓶接ロ上設(shè)有真空計。所述旋片真空泵和所述羅茨真空泵都連接有冷卻水。所述氣瓶接ロ與絕熱氣瓶連接。本實(shí)用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)具有如下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型由于分子泵體積小，能耗低，對真空室污染小更環(huán)保且工作效率高，而且使用三級配置，使得整個抽真空設(shè)備改變了原有抽真空設(shè)備的缺陷，性能更穩(wěn)定。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參見圖1，按照本實(shí)用新型提供的ー種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，包括旋片真空泵I、羅茨真空泵2、分子泵3和若干氣瓶接ロ 4，旋片真空泵I、羅茨真空泵2、分子泵3和若干氣瓶接ロ 4依次連接在一起。旋片真空泵I和羅茨真空泵2之間還設(shè)有電磁真空帶充氣閥5。羅茨真空泵2和分子泵3之間依次還設(shè)有蝶閥6、手動插板閥7和電動插板閥8。分子泵3和若干氣瓶接ロ 4之間依次還設(shè)有冷阱9、氣動高真空擋板閥10。氣瓶接ロ 4上設(shè)有真空計11。旋片真空泵I和羅茨真空泵2都連接有冷卻水12。氣瓶接ロ 4與絕熱氣瓶連接。上述實(shí)施例僅供說明本實(shí)用新型之用，而并非對本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和 變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由各權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于包括旋片真空泵、羅茨真空泵、分子泵和若干氣瓶接口，所述旋片真空泵、所述羅茨真空泵、所述分子泵和所述若干氣瓶接口依次連接在一起。
2.如權(quán)利要求I所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述旋片真空泵和所述羅茨真空泵之間還設(shè)有電磁真空帶充氣閥。
3.如權(quán)利要求I所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述羅茨真空泵和所述分子泵之間依次還設(shè)有蝶閥、手動插板閥和電動插板閥。
4.如權(quán)利要求I所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述分子泵和所述若干氣瓶接口之間依次還設(shè)有冷阱、氣動高真空擋板閥。
5.如權(quán)利要求I所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述氣瓶接口上設(shè)有真空計。
6.如權(quán)利要求I或2所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述旋片真空泵和所述羅茨真空泵都連接有冷卻水。
7.如權(quán)利要求I或4或5所述一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，其特征在于所述氣瓶接口與絕熱氣瓶連接。
專利摘要一種帶分子泵的三級抽真空設(shè)備，包括旋片真空泵、羅茨真空泵、分子泵和若干氣瓶接口，所述旋片真空泵、所述羅茨真空泵、所述分子泵和所述若干氣瓶接口依次連接在一起。本實(shí)用新型具有能耗低，對真空室污染小更環(huán)保且工作效率高、性能更穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號F04B41/06GK202579114SQ20122009803
公開日2012年12月5日 申請日期2012年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月13日
發(fā)明者王應(yīng)毅 申請人:浙江普陽深冷裝備有限公司