專利名稱：一種帶有破空功能的分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氦質(zhì)譜檢漏儀，尤其涉及一種帶有破空功能的分子泵。
背景技術(shù)：
氦質(zhì)譜檢漏儀在停機后，分子泵在維持高真空下從每分鐘七萬至九萬轉(zhuǎn)降到停止狀態(tài)，需要很長時間。這會帶來一些問題，比如停機后便移動設(shè)備，會對分子泵產(chǎn)生損壞；在真空狀態(tài)下降速時會在共振區(qū)維持較長時間，同樣會對分子泵產(chǎn)生損壞。這些問題都降低了分子泵的使用壽命。在目前市場上氦質(zhì)譜檢漏儀所用的分子泵都不具備破空功能，增加破空功能后可以使分子泵在停止工作后從高轉(zhuǎn)速快速降至停止狀態(tài)。

實用新型內(nèi)容本實用新型目的就是為了彌補已有技術(shù)的缺陷，提供一種適用在氦質(zhì)譜檢漏儀中的帶有破空功能的分子泵。本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體，所述的分子泵泵體上分別設(shè)有兩個中間進氣口和一個分子排氣口，所述的分子泵泵體上分子排氣口處還設(shè)有分子泵破空閥，所述的分子泵破空閥還連接有過濾一體化節(jié)流裝置，可以有效過濾粉塵與水汽。所述的分子泵破空閥為通徑小于O. 75mm的兩位兩通常開閥。本實用新型的工作原理是在分子泵停止工作后，通過過濾一體化節(jié)流裝置與分子泵破空閥向分子泵內(nèi)部緩慢放入適量的空氣，使分子泵負載加大，最終達到使分子泵快速停止運轉(zhuǎn)，放入空氣所產(chǎn)生的負載是在分子泵承受范圍以內(nèi)的。本實用新型的優(yōu)點是本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，所用材料為常規(guī)材料，成本低，延長了分子泵的使用壽命，能使分子泵在停止工作后從高轉(zhuǎn)速快速降至停止狀態(tài)。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖I所示，一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體1，所述的分子泵泵體I上分別設(shè)有兩個中間進氣口 2和3和一個分子排氣口 4，所述的分子泵泵體I上分子排氣口 4處還設(shè)有分子泵破空閥5，所述的分子泵破空閥5還連接有過濾一體化節(jié)流裝置6，可以有效過濾粉塵與水汽。所述的分子泵破空閥5為通徑小于O. 75mm的兩位兩通常開閥。
權(quán)利要求1.一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體，所述的分子泵泵體上分別設(shè)有兩個中間進氣口和一個分子排氣口，其特征在于所述的分子泵泵體上分子排氣口處還設(shè)有分子泵破空閥，所述的分子泵破空閥還連接有過濾一體化節(jié)流裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種帶有破空功能的分子泵，其特征在于所述的分子泵破空閥為通徑小于O. 75mm的兩位兩通常開閥。
專利摘要本實用新型公開了一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體，所述的分子泵泵體上分別設(shè)有兩個中間進氣口和一個分子排氣口，所述的分子泵泵體上分子排氣口處還設(shè)有分子泵破空閥，所述的分子泵破空閥還連接有過濾一體化節(jié)流裝置。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，所用材料為常規(guī)材料，成本低，延長了分子泵的使用壽命，能使分子泵在停止工作后從高轉(zhuǎn)速快速降至停止狀態(tài)。
文檔編號F04D29/00GK202732472SQ201220257850
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月2日
發(fā)明者張志 , 胡眉 申請人:安徽皖儀科技股份有限公司