專利名稱：一種冷卻裝置的制作方法
技術領域：
一種冷卻裝置 技術領域[0001]本實用新型涉及冷卻器技術領域，特別是一種用于分子泵的冷卻裝置。
背景技術：
[0002]分子泵是一種常用的真空獲得設備，其內部成型有腔室，在腔室中安裝有高轉速 電機，工作時高速旋轉的轉子將腔室內的氣體分子壓縮，并使之獲得定向速度至排氣口排 出。分子泵腔室中的電機轉子在高速旋轉的過程中會產生很大的熱量，為了保證分子泵的 性能，需要對分子泵泵體及腔室進行冷卻?，F(xiàn)有技術的一般方法是在鋁制泵體上直接成型 水槽，并向水槽中通入冷卻水對分子泵進行冷卻。這種冷卻方式直接有效，但是由于鋁制泵 體的化學穩(wěn)定性較差，冷卻水和水槽長時間接觸很容易發(fā)生化學反應，導致水槽被冷卻水 腐蝕而發(fā)生漏水的情況，嚴重影響分子泵的使用壽命。[0003]為了防止分子泵被冷卻水腐蝕，增加分子泵的使用壽命，現(xiàn)有技術如中國專利 CN102374800A公開了一種雙層盤管冷卻器，包括冷卻器筒體，設置在冷卻器筒體上的冷卻 水進口和冷卻水出口，在冷卻器筒體內裝有雙層盤管，雙層盤管是由一根管道繞制而成的 內外層結構，外層結構的外層接口伸出冷卻器筒體連接冷卻水進口，內層接口伸出冷卻器 筒體連接冷卻水出口。[0004]如果將上述雙層盤管結構用作分子泵的冷卻裝置，可以防止冷卻水與分子泵的泵 體直接接觸，防止漏水情況的發(fā)生，確保分子泵的使用壽命。但是雙層盤管主要用于放置在 筒體內部并通過對流換熱對筒體內的流體進行冷卻，而分子泵內部腔室的氣壓變化明顯， 如果將雙層盤管直接安裝在分子泵的腔室中，雙層盤管很可能無法承受壓力的變化而導致 破裂，可靠性很低；如果將雙層盤管設置在腔室外，為了保證冷卻裝置的效果，則需要雙層 盤管與分子泵的泵體緊密貼合，但是，盤管內外層結構的特點使得裝配人員在安裝過程中 很難通過一般工藝將盤管和泵體緊密貼合，裝配難度很大。實用新型內容[0005]本實用新型所要解決的技術問題在于現(xiàn)有技術中的分子泵冷卻裝置存在可靠性 低且裝配難度大，而提供了一種可靠性高且容易裝配的冷卻裝置。[0006]為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下[0007]—種冷卻裝置，設置在分子泵的泵體上，用于冷卻所述泵體及所述泵體內的腔室； 所述冷卻裝置包括，[0008]冷卻管，其兩端分別與所述泵體上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻介質；[0009]所述冷卻管盤設于所述泵體內的同一水平面上。[0010]上述冷卻裝置中，所述冷卻管包括內管、外管和連接管，所述連接管用于連接所述 內管和所述外管，且所述連接管與所述內管、所述外管的連接接口處的管徑相等。[0011]上述冷卻裝置中，所述內管、所述外管和所述連接管的管徑均相等。[0012]上述冷卻裝置中，所述冷卻管在所述泵體上預置的入口和出口位置均設置有管接頭。[0013]上述冷卻裝置中，所述泵體上成型有用于設置所述冷卻管的凹槽。[0014]上述冷卻裝置中，所述凹槽為圓弧槽。[0015]上述冷卻裝置中，還包括[0016]蓋板，用于將所述冷卻管固定在所述凹槽中，所述蓋板為圓環(huán)形板件，所述泵體和 所述蓋板的相應位置分別成型有用于固定的螺紋孔。[0017]上述冷卻裝置中，所述冷卻管為銅管。[0018]上述冷卻裝置中，所述連接管為圓弧形管。[0019]上述冷卻裝置中，所述連接管的彎曲半徑為10mm。[0020]本實用新型的上述技術方案相比現(xiàn)有技術具有以下優(yōu)點[0021]①本實用新型的冷卻裝置，設置在分子泵的泵體上，冷卻裝置包括冷卻管，冷卻管 兩端分別與泵體上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻介質，且冷卻管盤設于泵體內的 同一水平面上。冷卻管設置在分子泵腔室的外部，避免了腔室中氣壓的變化對冷卻管的損 害，大幅降低了冷卻管發(fā)生破裂的幾率，提高了冷卻裝置的可靠性；并且，冷卻管盤設于泵 體的同一水平面上，這樣的設計，可以事先將冷卻管成型，在安裝時直接放置在分子泵泵體 的相應位置，極大地降低了冷卻裝置的裝配難度。[0022]②本實用新型的冷卻裝置，內管、外管和連接管的管徑均相等。這樣的設計，冷卻 介質在冷卻管中平穩(wěn)流動，避免了冷卻管內部紊流對冷卻管的損傷，提高了冷卻裝置的使 用壽命。[0023]③本實用新型的冷卻裝置，泵體上成型有用于設置冷卻管的凹槽，且凹槽為圓弧 槽。這樣的設計，冷卻管與泵體緊密貼合，冷卻管與泵體的接觸面積較大，有利于熱量的傳 導，提升了冷卻裝置的冷卻效果。[0024]④本實用新型的冷卻裝置，冷卻管為銅管。與鋁制材料相比，銅管的化學穩(wěn)定性更 好，冷卻管不會受到冷卻介質的腐蝕而發(fā)生漏水，提高了冷卻裝置的使用壽命。


[0025]為了使本實用新型的內容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實用新型的具體實施 例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中[0026]圖1是本實用新型冷卻裝置的裝配示意圖；[0027]圖2是本實用新型泵體的俯視圖；[0028]圖3是本實用新型冷卻管的俯視圖。[0029]圖中附圖標記表示為1-泵體，11-凹槽，12-腔室，2-冷卻管，21-內管，22-連接 管，23-外管，24-管接頭，3-蓋板。
具體實施方式
[0030]實施例一[0031]如圖1-3所示，是本實用新型的冷卻裝置的優(yōu)選實施例。所述冷卻裝置設置在分 子泵的泵體I上，用于冷卻所述泵體I及所述泵體I內的腔室12，所述冷卻裝置包括冷卻管 2和蓋板3。在本實施例中，所述冷卻管2為銅管。進一步地,所述冷卻管2為直徑8mm的無氧銅管。[0032]所述冷卻管2盤設于所述泵體I內的同一水平面上，在本實施例中，所述泵體I上 成型有用于設置所述冷卻管2的凹槽11，且所述凹槽11為圓弧槽。所述凹槽11的形狀適 于與所述冷卻管2緊密貼合，以提升所述冷卻裝置的冷卻效果。[0033]所述冷卻管2的兩端分別與所述泵體I上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻 介質。在本實施例中，所述冷卻管2在所述泵體I上預置的入口和出口位置均設置有管接 頭24。進一步地，所述冷卻介質為冷卻水。[0034]所述冷卻管2包括內管21、外管23和連接管22，其中所述連接管22用于連接所 述內管21和所述外管23。在本實施例中，所述內管21、所述外管23和所述連接管22為一 體成型的。進一步地，所述連接管22為圓弧形管，且所述連接管22的彎曲半徑為10mm。[0035]在本實施例中，所述連接管22與所述內管21、所述外管23的連接接口處的管徑相 等。進一步地，所述內管21、所述外管23和所述連接管22的管徑均相等。[0036]所述蓋板3用于將所述冷卻管2固定在所述凹槽11中，所述蓋板3為圓環(huán)形板件， 所述泵體I和所述蓋板3的相應位置分別成型有用于固定的螺紋孔。在本實施例中，所述 螺紋孔沿所述蓋板3的周向均勻分布，進一步地，所述螺紋孔的數(shù)目為四個。[0037]實施例二[0038]與實施例一相比，在本實施例中，所述內管21和所述外管23之間還設置有至少一 個主管，所述連接管22將所述內管21、所述主管、所述外管23依次連接形成所述冷卻管2。 在本實施例中，所述主管的數(shù)目為一個。[0039]相應地，與實施例一相比，本實施例的所述凹槽11也需要進行相應的調整，以使 所述凹槽11適于與所述冷卻管2緊密貼合。[0040]在其他實施例中，所述冷卻管2的直徑可以根據(jù)所述泵體I和所述腔室12的尺寸 變化，相應地，所述凹槽11的尺寸也需要進行相應調整，以使所述冷卻管2可以與所述泵體 I緊密貼合。[0041]在其他實施例中，所述連接管22的彎曲半徑還可以是15mm、18mm等。[0042]在其他實施例中，所述螺紋孔的數(shù)目還可以為三個、五個等。[0043]在其他實施例中，所述主管的數(shù)目還可以是兩個或者三個，根據(jù)所述泵體I尺寸 的不同，可以選取不同的主管數(shù)目，相應地，所述凹槽11也需要進行相應調整。[0044]在其他實施例中，所述冷卻介質還可為冷卻液或冷卻氣體，同樣可以實現(xiàn)本實用 新型的目的。[0045]在其他實施例中，所述冷卻管2還可以是分體成型的。[0046]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對 于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或 變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或 變動仍處于本實用新型創(chuàng)造的保護范圍之中。
權利要求1.一種冷卻裝置，設置在分子泵的泵體(I)上，用于冷卻所述泵體(I)及所述泵體(I)內的腔室(12);所述冷卻裝置包括， 冷卻管(2)，其兩端分別與所述泵體(I)上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻介質； 其特征在于所述冷卻管(2)盤設于所述泵體(I)內的同一水平面上。
2.根據(jù)權利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于所述冷卻管(2)包括內管(21)、外管(23)和連接管(22)，所述連接管(22)用于連接所述內管(21)和所述外管(23)，且所述連接管(22)與所述內管(21)、所述外管(23)的連接接口處的管徑相等。
3.根據(jù)權利要求2所述的冷卻裝置，其特征在于所述內管(21)、所述外管(23)和所述連接管(22)的管徑均相等。
4.根據(jù)權利要求3所述的冷卻裝置，其特征在于所述冷卻管(2)在所述泵體(I)上預置的入口和出口位置均設置有管接頭(24 )。
5.根據(jù)權利要求1-4任一所述的冷卻裝置，其特征在于所述泵體(I)上成型有用于設置所述冷卻管(2)的凹槽(11)。
6.根據(jù)權利要求5所述的冷卻裝置，其特征在于所述凹槽(11)為圓弧槽。
7.根據(jù)權利要求6所述的冷卻裝置，其特征在于還包括 蓋板(3)，用于將所述冷卻管(2)固定在所述凹槽(11)中，所述蓋板(3)為圓環(huán)形板件，所述泵體(I)和所述蓋板(3)的相應位置分別成型有用于固定的螺紋孔。
8.根據(jù)權利要求7所述的冷卻裝置，其特征在于所述冷卻管(2)為銅管。
9.根據(jù)權利要求8所述的冷卻裝置，其特征在于所述連接管(22)為圓弧形管。
10.根據(jù)權利要求9所述的冷卻裝置，其特征在于所述連接管(22)的彎曲半徑為IOmm0
專利摘要一種冷卻裝置，設置在分子泵的泵體上，用于冷卻所述泵體及所述泵體內的腔室；所述冷卻裝置包括冷卻管，所述冷卻管的兩端分別與所述泵體上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻介質；并且所述冷卻管盤設于所述泵體內的同一水平面上。本實用新型提供的冷卻裝置可靠性高且容易裝配。
文檔編號F04D29/58GK202851468SQ20122042069
公開日2013年4月3日 申請日期2012年8月23日 優(yōu)先權日2012年8月23日
發(fā)明者鄒蒙, 陳智勇 申請人:北京中科科儀股份有限公司