一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥的制作方法
【專利摘要】一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，包括管路本體、真空發(fā)生器和回壓逆止閥；所述回壓逆止閥設(shè)于所述管路本體的中部的內(nèi)腔并將所述管路本體分為進(jìn)氣段管路和排氣段管路；所述真空發(fā)生器的壓縮空氣進(jìn)口與一空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣出口連通，所述真空發(fā)生器的進(jìn)氣口端與所述進(jìn)氣段管路連通，所述真空發(fā)生器的排氣口端與所述排氣段管路連通。由于本實(shí)用新型設(shè)有真空發(fā)生器，因此當(dāng)真空泵抽真空到一定程度后需要維持真空度階段，可以只運(yùn)行真空發(fā)生器而不運(yùn)行真空泵，利用真空發(fā)生器來維持密閉空間的真空度，從而降低真空泵電機(jī)對(duì)能源的消耗。
【專利說明】—種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，屬于真空設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]通常把能夠從密閉空間中排出氣體或使空間中的氣體分子數(shù)目不斷減少的設(shè)備稱為真空獲得設(shè)備或真空泵。目前在真空技術(shù)中，采用各種不同的方法，已經(jīng)能夠獲得從大氣壓力IO5Pa到10_13Pa，寬達(dá)18個(gè)數(shù)量級(jí)的壓力范圍。
[0003]真空泵在抽真空時(shí)，當(dāng)密閉空間的氣體被抽到一定程度使得密閉空間的真空度達(dá)到預(yù)設(shè)值后，真空泵需要繼續(xù)運(yùn)行以保持密閉空間的這種真空度，由于真空泵的電機(jī)功率一般較大，因此為了維持密閉空間的真空度而開動(dòng)真空泵會(huì)造成能源的無謂的消耗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型提供一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，包括管路本體、真空發(fā)生器和回壓逆止閥；所述回壓逆止閥設(shè)于所述管路本體的中部的內(nèi)腔并將所述管路本體分為進(jìn)氣段管路和排氣段管路；所述真空發(fā)生器的壓縮空氣進(jìn)口與一空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣出口連通，所述真空發(fā)生器的進(jìn)氣口端與所述進(jìn)氣段管路連通，所述真空發(fā)生器的排氣口端與所述排氣段管路連通；所述回壓逆止閥包括支架，復(fù)位彈簧、密封閥和環(huán)形的密封環(huán)；所述支架和密封環(huán)間隔設(shè)置，并且兩者均固設(shè)在所述管路本體的內(nèi)腔上；所述密封閥由閥頭和閥桿組成；所述所述復(fù)位彈簧套設(shè)于所述閥桿上，所述復(fù)位彈簧的一端與所述支架抵靠設(shè)置，另一端抵靠所述閥頭后端設(shè)置，所述閥頭的前端抵靠所述密封環(huán)設(shè)置。
[0006]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述進(jìn)氣段管路為波紋管。
[0007]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述排氣段管路為波紋管。
[0008]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述環(huán)形的密封環(huán)上設(shè)有密封墊圈。
[0009]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述密封環(huán)設(shè)有凹槽，所述密封墊圈嵌設(shè)于所述凹槽。
[0010]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述支架中心設(shè)有限位孔，所述閥桿插設(shè)于所述限位孔內(nèi)。
[0011]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述閥頭的前端的形狀為一凸臺(tái)，所述密封環(huán)對(duì)應(yīng)所述凸臺(tái)設(shè)置形狀匹配的凹部。
[0012]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0013]1、由于本實(shí)用新型設(shè)有真空發(fā)生器，因此當(dāng)真空泵抽真空到一定程度后需要維持真空度階段，可以只運(yùn)行真空發(fā)生器而不運(yùn)行真空泵，利用真空發(fā)生器來維持密閉空間的真空度，從而降低真空泵電機(jī)對(duì)能源的消耗；
[0014]2、由于本實(shí)用新型在真空泵的排氣口端設(shè)回壓逆止閥，因此當(dāng)真空泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可以密封真空泵的排氣口起到保壓的作用；[0015]3、由于本實(shí)用新型包括有波紋管，因此可以利用波紋管的延伸性方便地對(duì)接排氣管路與真空泵，并且可以利用波紋管的彈性而緩沖真空泵引起的震動(dòng)，以避免與真空泵排氣口連接的排氣裝置因震動(dòng)而損壞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]附圖1為本實(shí)用新型示意圖。
[0017]附圖2為閥頭一種實(shí)施方案示意圖。
[0018]以上附圖中:1、管路本體；2、真空發(fā)生器；3、回壓逆止閥；4、進(jìn)氣段管路；5、排氣段管路；6、壓縮空氣進(jìn)口 ；7、進(jìn)氣口端；8、排氣口端；9、支架；10、復(fù)位彈簧；11、密封閥；12、密封環(huán)；13、密封墊圈。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0020]須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0021]實(shí)施例:一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥
[0022]參見附圖1所示，一種用于真空泵的回壓逆止真空閥，包括管路本體1、真空發(fā)生器2和回壓逆止閥3 ;所述回壓逆止閥3設(shè)于所述管路本體的中部的內(nèi)腔并將所述管路本體I分為進(jìn)氣段管路4和排氣段管路5。即回壓逆止閥3在管路本體I的內(nèi)部將管路本體I分隔成兩部分。所述真空發(fā)生器2為普通的真空發(fā)生器，其具有三個(gè)接口，即壓縮空氣進(jìn)口 6、進(jìn)氣口端7和排氣口端8。
[0023]所述真空發(fā)生器2的壓縮空氣進(jìn)口 6與一空氣壓縮機(jī)(圖中未示出)的壓縮空氣出口連通?？諝鈮嚎s機(jī)即向真空發(fā)生器提供動(dòng)力源。所述真空發(fā)生器2的進(jìn)氣口端7與所述進(jìn)氣段管路4連通，所述真空發(fā)生器2的排氣口端8與所述排氣段管路5連通。真空發(fā)生器2相當(dāng)于一個(gè)旁路連接在管路本體I上。
[0024]所述回壓逆止閥3包括支架9，復(fù)位彈簧10、密封閥11和環(huán)形的密封環(huán)12 ;所述支9架和密封環(huán)12間隔設(shè)置，并且兩者均固設(shè)在所述管路本體I的內(nèi)腔上；所述密封閥11由閥頭和閥桿組成；所述所述復(fù)位彈簧10套設(shè)于所述閥桿上，所述復(fù)位彈簧10的一端與所述支架9抵靠設(shè)置，另一端抵靠所述閥頭后端設(shè)置。所述復(fù)位彈簧10為一壓縮彈簧，利用復(fù)位彈簧10的張力，使得所述閥頭的前端抵靠所述密封環(huán)12設(shè)置。
[0025]為了安裝方便，優(yōu)選的實(shí)施方式為:所述進(jìn)氣段管路4為波紋管?；蛘咚雠艢舛喂苈?為波紋管。
[0026]為了密封效果更好，優(yōu)選的實(shí)施方式為:所述環(huán)形的密封環(huán)上設(shè)有密封墊圈13。
[0027]為了密封墊圈13安裝方便，優(yōu)選的實(shí)施方式為:所述密封環(huán)設(shè)有凹槽，所述密封墊圈13嵌設(shè)于所述凹槽。
[0028]為了保證閥頭的平衡，優(yōu)選的實(shí)施方式為:所述支架中心設(shè)有限位孔，所述閥桿插設(shè)于所述限位孔內(nèi)。
[0029]為了密封效果更好，優(yōu)選的實(shí)施方式為:所述閥頭的前端的形狀為一凸臺(tái)，所述密封環(huán)對(duì)應(yīng)所述凸臺(tái)設(shè)置形狀匹配的凹部。
[0030]安裝方法:真空泵的進(jìn)氣口與待抽真空的空間連接，真空泵的排氣口則與回壓逆止真空閥的進(jìn)氣段管路4連接，排氣段管路5則連接一排氣管路，該排氣管路可以是例如電子半導(dǎo)體無塵車間的排氣裝置的進(jìn)氣管。
[0031]使用方法:打開真空泵，待抽真空的空間的氣體從真空泵的進(jìn)氣口進(jìn)入真空泵，并從真空泵的排氣口出，到達(dá)回壓逆止真空閥的進(jìn)氣段管路4，氣壓作用于密封閥11的閥頭，克服復(fù)位彈簧10的張力使壓縮彈簧10收縮，從而打開密封閥11，使氣體從密封閥11和密封環(huán)12之間通過，然后從排氣段管路5進(jìn)入排氣管路。真空泵運(yùn)行一段時(shí)間后，待抽真空的空間的真空度已經(jīng)達(dá)到要求，這時(shí)關(guān)閉真空泵的電機(jī)，由于此時(shí)沒有壓力作用于密封閥11的閥頭，因此復(fù)位彈簧10伸長，使得密封閥11的閥頭頂在所述密封環(huán)12上，使得外界環(huán)境的氣體不能藉由排氣段管路5進(jìn)入進(jìn)氣段管路4，從而達(dá)到保壓的效果。當(dāng)待抽真空的空間的真空度下降，但是下降幅度不大時(shí)，打開空氣壓縮機(jī)，使壓縮空氣從真空發(fā)生器2的壓縮空氣進(jìn)口 6進(jìn)入真空發(fā)生器2。在壓縮空氣的作用下，存在于進(jìn)氣段管路4 一側(cè)的氣體，則向排氣段管路5移動(dòng)，從而起到維持待抽真空的空間的真空度的作用。
[0032]上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:包括管路本體、真空發(fā)生器和回壓逆止閥；所述回壓逆止閥設(shè)于所述管路本體的中部的內(nèi)腔并將所述管路本體分為進(jìn)氣段管路和排氣段管路；所述真空發(fā)生器的壓縮空氣進(jìn)口與一空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣出口連通，所述真空發(fā)生器的進(jìn)氣口端與所述進(jìn)氣段管路連通，所述真空發(fā)生器的排氣口端與所述排氣段管路連通；所述回壓逆止閥包括支架，復(fù)位彈簧、密封閥和環(huán)形的密封環(huán)；所述支架和密封環(huán)間隔設(shè)置，并且兩者均固設(shè)在所述管路本體的內(nèi)腔上；所述密封閥由閥頭和閥桿組成；所述所述復(fù)位彈簧套設(shè)于所述閥桿上，所述復(fù)位彈簧的一端與所述支架抵靠設(shè)置，另一端抵靠所述閥頭后端設(shè)置，所述閥頭的前端抵靠所述密封環(huán)設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述進(jìn)氣段管路為波紋管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述排氣段管路為波紋管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述環(huán)形的密封環(huán)上設(shè)有密封墊圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述密封環(huán)設(shè)有凹槽，所述密封墊圈嵌設(shè)于所述凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述支架中心設(shè)有限位孔，所述閥桿插設(shè)于所述限位孔內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的回壓逆止節(jié)能真空閥，其特征在于:所述閥頭的前端的形狀為一凸臺(tái)，所述密封環(huán)對(duì)應(yīng)所述凸臺(tái)設(shè)置形狀匹配的凹部。
【文檔編號(hào)】F04B39/10GK203404041SQ201320510347
【公開日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月21日
【發(fā)明者】林冠鋐 申請(qǐng)人:鑫隆電子（蘇州）有限公司