一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，包括儲液罐、閥門、文丘里管，噴射泵，管道和噴射頭，儲液罐通過管道和文丘里管和噴射泵相連，文丘里管一端與與噴射泵相連，文丘里出液口與噴射頭相連接，在出液管上加了一個回流管與噴射泵相連接。通過該裝置，可以實現(xiàn)不管壓力過大或者過小，都可以實現(xiàn)有效的調(diào)節(jié)，大大提高了噴射效率高，噴射穩(wěn)定性也大大增強，并且噴射泵并不需要時刻工作，增加了其使用壽命長，減小了電耗，簡化了結(jié)構(gòu)，使裝置更加安全可靠。
【專利說明】—種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射栗

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵。

【背景技術(shù)】
[0002]目前在半導(dǎo)體加工時，常常要用到三氟乙胺噴射裝置，但是現(xiàn)在的三氟乙胺噴射裝置結(jié)構(gòu)比較單一，存在噴射不穩(wěn)定，經(jīng)常出現(xiàn)噴射過多或者過少的問題，浪費了許多原材料，而且設(shè)備停機一段時間可能還會存在回流現(xiàn)象，也會導(dǎo)致噴射不穩(wěn)定的現(xiàn)象。當噴射不穩(wěn)定時，會導(dǎo)致相應(yīng)產(chǎn)品的質(zhì)量難以控制，影響了工人的工作效率和后續(xù)的工作進展。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的的目的在于提供一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，引入了文丘里管和噴射泵等裝置，使之無需外力動力，安裝使用方便，噴射效率高，噴射穩(wěn)定，使用壽命長，簡化了結(jié)構(gòu)，安全可靠。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，采用如下技術(shù)方案:
[0005]一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，包括儲液罐和單向閥，單向閥包括第一單向閥、第二單向閥和第三單向閥，儲液罐內(nèi)連接有儲液罐出液管，儲液罐出液管的另一端連接有噴射泵進液管，噴射泵進液管上設(shè)有第一單向閥，噴射泵進液管的另一端連接有噴射泵，噴射泵下端連接有噴射泵出液管，噴射泵側(cè)面連接有回流管，回流管上設(shè)有第三單向閥，回流管的另一端連接有出液管，出液管上端連接有文丘里管，出液管下端連接有噴射頭，出液管上安裝有壓力控制表，噴射泵進液管和儲液罐出液管的連接處連接有文丘里進液管，文丘里進液管的另一端連接有文丘里管，文丘里進液管上設(shè)有第二單向閥，文丘里管連接有噴射泵出液管。文丘里管有兩個進液口，當文丘里進液管所進的液體壓力達不到要求時，此時打開噴射泵和第一閥門，那么出液管的液體壓力就會增加，達到噴射壓力的要求；當文丘里進液管所進的液體壓力超過所需的壓力時，此時關(guān)閉第一閥門和噴射泵，并且打開第三閥門，使出液管的一部分液體通過回流管進入噴射泵，這樣噴射壓力就減小了，也就可以達到噴射的要求了。這樣的調(diào)節(jié)方式簡單有效，噴射泵也不需要時時工作，不但可以增加噴射泵的使用壽命，而且可以減少其電耗，增加了一個回流裝置，有效地減少了原料的浪費。
[0006]進一步，噴射泵上設(shè)有進液口，出液口和回流口，進液口連接噴射泵進液管，出液口連接噴射泵出液管，回流口連接回流管。這里的噴射泵增加了一個回流口，可以有效地調(diào)節(jié)其噴射溶液的壓力大小，大大地提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
[0007]進一步，所述文丘里管包括入口段、收縮段、喉段和出口段，入口段連接收縮段，收縮段連接喉段，喉段連接出口段。
[0008]進一步，入口段內(nèi)安裝有噴嘴，噴嘴地增加可以讓液體均勻地進入下一段，增加了其液體流動的穩(wěn)定性。
[0009]進一步，出口段內(nèi)安裝消音器，出口段設(shè)有文丘里出液口，出液口連接出液管，文丘里管液體流動產(chǎn)生的雜音可以通過消音器有效的減小。
[0010]進一步，A 口段設(shè)有第一進液口和第二進液口，入口段設(shè)有第一進液口和第二進液口，第一進液口連接噴射泵出液管，第二進液口連接文丘里進液管。文丘里管增加了一個進液口，可以通過調(diào)節(jié)兩個進液口的流量，達到我們所選的理想工作壓力。
[0011]由于采用上述技術(shù)方案，具有以下有益效果:
[0012]本實用新型為一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，儲液罐出液管分別連接文丘里管和噴射泵，文丘里管有兩個進液口，當文丘里進液管所進的液體壓力達不到要求時，此時打開噴射泵和第一閥門，那么出液管的液體壓力就會增加，達到噴射壓力的要求；當文丘里進液管所進的液體壓力超過所需的壓力時，此時關(guān)閉第一閥門和噴射泵，并且打開第三閥門，使出液管的一部分液體通過回流管進入噴射泵，這樣噴射壓力就減小了，也就可以達到噴射的要求了。這樣的調(diào)節(jié)方式簡單有效，噴射泵也不需要時時工作，不但可以增加噴射泵的使用壽命，而且可以減少其電耗。增加了一個回流裝置，有效地減少了原料的浪費。使之可以按照工作所需的壓力進行噴射，使噴射效率高，噴射穩(wěn)定，使用壽命長，簡化了結(jié)構(gòu)，安全可靠。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0014]圖1為本實用新型一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為文丘里管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實用新型一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵壓力過低時的工作示意圖；
[0017]圖4為本實用新型一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵壓力過高時的工作示意圖。

【具體實施方式】
[0018]如圖1至圖4所示，一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，包括儲液罐I和單向閥，單向閥包括第一單向閥81、第二單向閥71和第三單向閥91，儲液罐I內(nèi)連接有儲液罐出液管6，儲液罐出液管6的另一端連接有噴射泵進液管8，噴射泵進液管8上設(shè)有第一單向閥81，噴射泵進液管8的另一端連接有噴射泵3，噴射泵3上設(shè)有進液口 31，出液口 33和回流口 32，進液口 31連接所述噴射泵進液管8，出液口 33連接所述噴射泵出液管10，回流口 32連接所述回流管9，回流管9上設(shè)有第三單向閥91，回流管9的另一端連接有出液管4，出液管4上端連接有文丘里管2，文丘里管2從右到左依次分為入口段24、收縮段25、喉段26和出口段27，入口段24上有第一進液口 23、第一進液口 22和噴嘴21，出口段27內(nèi)有消音器28，可以減小工作的雜音，出口段27有文丘里出液口 33，出液口 33連接出液管4，出液管4下端連接有噴射頭5，出液管4上安裝有壓力控制表41，噴射泵進液管8和儲液罐出液管46的連接處連接有文丘里進液管7，文丘里進液管7的另一端連接有文丘里管2，文丘里進液管7上設(shè)有第二單向閥71，文丘里管2連接有噴射泵出液管10。
[0019]當開始工作時，先打開第一單向閥81，噴射泵3啟動，開始工作，儲液罐I內(nèi)的三氟乙胺溶液通過噴射泵進液管8開始進入噴射泵3，再有噴射泵出液口 33通過噴射泵出液管10進入文丘里管2的第一進液口 23，液體從噴嘴21均勻的噴出，依次經(jīng)過文丘里管2的收縮段25、喉段26和出口段27，通過出口段27的文丘里出液口 33進入出液管4，直至液體從噴射頭5噴出。由于文丘里管2的作用，在文丘里管2噴嘴21處產(chǎn)生負壓，使液體更加順暢地向文丘里管2流動，此時打開第二單向閥71，由于文丘里管2產(chǎn)生的負壓，使溶液通過文丘里進液管7進入文丘里管2，這樣經(jīng)過噴射泵3的液體就大大減少了，如果文丘里管22進入的溶液壓力足夠提供所需的噴射壓力，那么就可以關(guān)閉噴射泵3和第一單向閥81，這樣就減小了工作電耗。如果提供的壓力過大，此時打開第三單向閥91，關(guān)閉噴射泵3，使一部分溶液回流進入噴射泵3內(nèi)，噴射泵3此時僅作為管路用于連通，經(jīng)回流后，出液管4內(nèi)的壓力顯著減小。這樣就實現(xiàn)了不管壓力過大或者過小，都可以實現(xiàn)有效地調(diào)節(jié)，大大地提高了噴射效率，噴射穩(wěn)定性也大大增強，并且噴射泵3并不需要時刻工作，增加了其使用壽命,減小了電耗，簡化了結(jié)構(gòu)，使裝置更加安全可靠。
[0020]以上僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的技術(shù)特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎(chǔ)，為解決基本相同的技術(shù)問題，實現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果，所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等，皆涵蓋于本實用新型的保護范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，包括儲液罐和單向閥，其特征在于:所述單向閥包括第一單向閥、第二單向閥和第三單向閥，所述儲液罐內(nèi)連接有儲液罐出液管，所述儲液罐出液管的另一端連接有噴射泵進液管，所述噴射泵進液管上設(shè)有所述第一單向閥，所述噴射泵進液管的另一端連接有噴射泵，所述噴射泵下端連接有噴射泵出液管，所述噴射泵側(cè)面連接有回流管，所述回流管上設(shè)有所述第三單向閥，所述回流管的另一端連接有出液管，所述出液管上端連接有文丘里管，所述出液管下端連接有噴射頭，所述出液管上安裝有壓力控制表，所述噴射泵進液管和所述儲液罐出液管的連接處連接有文丘里進液管，所述文丘里進液管的另一端連接所述文丘里管，所述文丘里進液管上設(shè)有所述第二單向閥，所述文丘里管連接所述噴射泵出液管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，其特征在于:所述噴射泵上設(shè)有進液口，出液口和回流口，所述進液口連接所述噴射泵進液管，所述出液口連接所述噴射泵出液管，所述回流口連接所述回流管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，其特征在于:所述文丘里管包括入口段、收縮段、喉段和出口段，所述入口段連接所述收縮段，所述收縮段連接所述喉段，所述喉段連接所述出口段。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，其特征在于:所述入口段內(nèi)安裝有噴嘴。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，其特征在于:所述出口段內(nèi)安裝有消音器，所述出口段設(shè)有文丘里出液口，所述出液口連接所述出液管。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種應(yīng)用于制備三氟乙胺的噴射泵，其特征在于:所述入口段設(shè)有第一進液口和第二進液口，所述第一進液口連接所述噴射泵出液管，所述第二進液口連接所述文丘里進液管。
【文檔編號】F04B53/10GK204099182SQ201420555899
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月25日
【發(fā)明者】樓良弟, 姜卓文, 王學(xué)思 申請人:浙江巨化漢正新材料有限公司